JP2023076046A - プローブ格納治具、プローブ格納システムおよびプローブ格納方法 - Google Patents

Abstract

【課題】プローブの欠陥の確認が容易なプローブ格納治具、プローブ格納システムおよびプローブ格納方法を提供する。【解決手段】プローブ格納治具は、カンチレバー構造のアーム部およびアーム部の固定端に接続する支持部を有するプローブを格納する。プローブ格納治具は、第１ガイドプレートと第２ガイドプレートとを積層した構成を有する。第１ガイドプレートと第２ガイドプレートのそれぞれに、上面から下面まで貫通する貫通孔が形成されている。プローブ格納治具は、プローブ格納治具の上方から見て支持部の上部が露出し、プローブ格納治具の下方から見てアーム部の自由端の先端が露出した状態で、第１ガイドプレートおよび第２ガイドプレートのそれぞれの貫通孔を貫通したプローブを保持する。プローブ格納治具は、第１ガイドプレートと第２ガイドプレートによりプローブを挟むように、第１ガイドプレートと第２ガイドプレートが移動可能に構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、被検査体の検査に使用されるプローブを格納するプローブ格納治具、プローブ格納システムおよびプローブ格納方法に関する。

集積回路などの被検査体の検査に、被検査体に接触させるプローブを有する電気的接続装置が用いられている。電気的接続装置を用いた検査では、プローブの一方の端部を被検査体の電極端子に接触させる。プローブの他方の端部は、電気的接続装置の回路基板に配置された接続端子と電気的に接続される。接続端子は、テスタなどの検査装置と電気的に接続されている。プローブを介して、被検査体と検査装置との間で信号を送受信することができる。

プローブは、例えば安定な姿勢でプローブを保持する治具に格納して保管される。以下において、プローブを格納する治具を「プローブ格納治具」と称する。また、プローブとプローブ格納治具を含む構成を「プローブ格納システム」と称する。プローブを回路基板に接合して電気的接続装置を組み立てる場合には、ハンドラーなどを用いてプローブがプローブ格納治具から取り出される。プローブ格納治具から取り出されたプローブは、１つずつ回路基板に接合される。

特許第２８４６８５１号公報

電気的接続装置を組み立てる場合に、プローブを回路基板に接合する前にプローブの欠陥を確認することが望ましい。本発明は、プローブの欠陥の確認が容易なプローブ格納治具、プローブ格納システム、およびプローブ格納方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、カンチレバー構造のアーム部およびアーム部の固定端に接続する支持部を有するプローブを格納するプローブ格納治具が提供される。プローブ格納治具は、対向する上面および下面で両面がそれぞれ定義された第１ガイドプレートと第２ガイドプレートとを積層した構成を有する。第１ガイドプレートと第２ガイドプレートのそれぞれに、上面から下面まで貫通する貫通孔が形成されている。プローブ格納治具は、プローブ格納治具の上方から見て支持部の上部が露出し、プローブ格納治具の下方から見てアーム部の自由端の先端が露出した状態で、第１ガイドプレートおよび第２ガイドプレートのそれぞれの貫通孔を貫通したプローブを保持する。プローブ格納治具は、第１ガイドプレートと第２ガイドプレートによりプローブを挟むように、第１ガイドプレートと第２ガイドプレートが移動可能に構成されている。

本発明によれば、プローブの欠陥の確認が容易なプローブ格納治具、プローブ格納システムおよびプローブ格納方法を提供できる。

図１は、実施形態に係るプローブ格納治具の構成を示す模式図である。 図２は、実施形態に係るプローブ格納治具の構成を示す図１のＩＩ－ＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。 図３は、実施形態に係るプローブ格納治具の構成を示す模式的な平面図である。 図４は、実施形態に係るプローブ格納治具の全体の構成を示す模式的な平面図である。 図５は、比較例のプローブ格納治具の構成を示す模式図である。 図６Ａは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な正面図である（その１）。 図６Ｂは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な断面図である（その１）。 図６Ｃは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な平面図である（その１）。 図７Ａは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な正面図である（その２）。 図７Ｂは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な断面図である（その２）。 図７Ｃは、実施形態に係るプローブ格納方法を説明するための模式的な平面図である（その２）。 図８は、実施形態の変形例に係るプローブ格納治具の構成を示す模式図である。 図９は、プローブ格納治具に格納されたプローブの姿勢の例を示す模式図である。

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の長さや厚みの比率などは現実のものとは異なる。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。

図１に示す本発明の実施形態に係るプローブ格納治具１０は、被検査体の検査に使用されるプローブ２０を格納する。図１に示すように、プローブ２０は、カンチレバー構造のアーム部２１およびアーム部２１の固定端２０１に接続する支持部２２を有する。

プローブ格納治具１０は、対向する上面および下面で両面がそれぞれ定義された第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２とを積層した構成を有する。第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２のそれぞれに、上面から下面まで貫通する貫通孔１００が形成されている。

プローブ格納治具１０は、プローブ格納治具１０の上方から見て支持部２２の上部が露出し、プローブ格納治具１０の下方から見てアーム部２１の自由端２０２の先端が露出した状態で、プローブ２０を保持する。ここで、プローブ格納治具１０の上方から見るとは、プローブ２０の支持部２２からアーム部２１の方向を見ることである。プローブ格納治具１０の下方から見るとは、プローブ２０のアーム部２１から支持部２２の方向を見ることである。より詳細には、プローブ格納治具１０は、プローブ２０が第１ガイドプレート１１１および第２ガイドプレート１１２のそれぞれの貫通孔１００を貫通する状態で、プローブ２０を保持する。プローブ２０をプローブ格納治具１０に格納した状態において、第１ガイドプレート１１１の上面の上方に、プローブ２０の支持部２２の上部が露出する。第２ガイドプレート１１２の下面の下方に、プローブ２０のアーム部２１の自由端２０２の先端２１０が露出する。先端２１０は、被検査体に接触する部分である。

なお、プローブ格納治具１０の上方に支持部２２の上部が位置していなくても、支持部２２の上部がプローブ格納治具１０の上方から見て露出していてもよい。以下において、支持部２２の上部が外部から観察可能な状態を、プローブ格納治具１０の上方に支持部２２の上部が露出しているとも表記する。また、プローブ格納治具１０の下方にアーム部２１の自由端２０２の先端が位置していなくても、自由端２０２の先端がプローブ格納治具１０の下方から見て露出していてもよい。以下において、自由端２０２の先端が外部から観察可能な状態を、プローブ格納治具１０の下方にアーム部２１の自由端２０２の先端が露出しているとも表記する。

以下において、第１ガイドプレート１１１および第２ガイドプレート１１２などのプローブ格納治具１０を構成するガイドプレートを、ガイドプレートのそれぞれを限定しない場合は、ガイドプレート１１と表記する。ガイドプレート１１は、それぞれ貫通孔１００を有する。

図１に示すように、貫通孔１００の貫通方向、すなわちガイドプレート１１の厚さ方向を、Ｚ方向とする。図１において、Ｚ方向は紙面の上下方向であり、Ｘ方向は紙面の左右方向、Ｙ方向は紙面の奥行方向である。実施形態の説明においては、Ｙ方向から見た図を正面図とする。正面図は、Ｚ方向に平行な平面に沿ったガイドプレート１１の切断面を示す。

図１に示すように、プローブ２０の支持部２２に、Ｚ方向から見て支持部２２から外側に向いて突出する凸部２３が設けられている。プローブ格納治具１０に格納されたプローブ２０の凸部２３が、第１ガイドプレート１１１の上面に当接する。プローブ２０の凸部２３は、プローブ２０が貫通孔１００の内部を落下しないようにストッパーとして機能する。複数の凸部２３を有するプローブ２０では、それぞれの凸部２３は同じ高さに配置されていてもよい。

図１に示すプローブ格納システムでは、第１ガイドプレート１１１の上面にプローブ２０の凸部２３が当接して、第１ガイドプレート１１１の上面の上方に支持部２２の上部が露出する。アーム部２１を下方とし支持部２２を上方としてプローブ格納治具１０がプローブ２０を保持した場合に、プローブ２０の重心よりも上方の位置に凸部２３が配置されることが好ましい。プローブ２０の重心より凸部２３が上方にあることにより、プローブ格納治具１０がプローブ２０を支持する位置よりもプローブ２０の重心の位置が下方になる。プローブ２０の重心をプローブ２０が支持される位置よりも下方にすることにより、プローブ格納治具１０は、プローブ２０の姿勢が安定した状態で、プローブ２０を保持できる。

図２は、図１のＩＩ－ＩＩ方向に沿ったプローブ格納治具１０の断面図である。図３は、プローブ格納治具１０をＺ方向から見た平面図である。図３に示すように、平面図は、凸部２３より下方の位置でのプローブ２０のＸＹ平面に沿った断面を示す（以下において同様。）。また、平面図では、第２ガイドプレート１１２の貫通孔１００を、第１ガイドプレート１１１を透過して破線で表示している。詳細は後述するが、プローブ格納治具１０は、貫通孔１００の貫通方向と交差する方向に、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２が相対的に移動可能に構成されている。例えば、プローブ格納治具１０は、貫通孔１００の貫通方向に垂直な方向であるＸＹ平面において、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２が相対的に移動可能に構成されている。

貫通方向から見た平面視において、プローブ２０は矩形状である。また、平面視で、貫通孔１００は矩形状である。平面視で、プローブ２０の外形状と貫通孔１００の形状は相似であってもよい。図１～図３に示すように、プローブ２０の隣接する２つの側面が、第１ガイドプレート１１１の貫通孔１００の内壁面に当接する。そして、プローブ２０の他の隣接する２つの側面が、第２ガイドプレート１１２の貫通孔１００の内壁面に当接する。

つまり、貫通孔１００の内壁面に対向するプローブ２０の４つの辺が、第１ガイドプレート１１１の貫通孔１００の内壁面および第２ガイドプレート１１２の貫通孔１００の内壁面のいずれかと当接している。プローブ２０の４つの辺が貫通孔１００の内壁面と当接することにより、プローブ格納治具１０はプローブ２０を安定して保持する。

プローブ２０の支持部２２の側面には、固着剤２５が配置されている。例えば、固着剤２５に半田材を使用し、電気的接続装置を組み立てる工程において、リフロー半田付けによってプローブ２０の支持部２２の上面と回路基板を接合する。固着剤２５によって支持部２２と回路基板の電極端子を接合することにより、プローブ２０と回路基板に形成された回路パターンが電気的に接続される。固着剤２５が配置された部分をプローブ格納治具１０の上方に露出させることにより、プローブ格納治具１０に格納された状態で固着剤２５の状態を観察することができる。

なお、支持部２２の上面が回路基板と接合する領域である場合に、図１に示すように、支持部２２の上部の一部をＺ方向に延伸させた部分（以下、「延伸部分」という。）に、固着剤２５を配置してもよい。以下において、プローブ２０の回路基板と接合する領域を「接合部」とも称する。図１に示すプローブ２０では、延伸部分の上面が接合部である。延伸部分の側面に固着剤２５を配置することにより、リフロー半田付けの際に延伸部分の上面の周囲に半田材が流れる。半田材を接合部の周囲に流すことにより、回路基板に固着剤２５が広がることを抑制できる。

１つのプローブ格納治具１０に複数のプローブ２０を格納することができる。例えば、図４に示すように、円盤状のガイドプレート１１に複数の貫通孔１００を形成してもよい。ガイドプレート１１に形成された複数の貫通孔１００のそれぞれにプローブ２０が挿入されて、プローブ格納治具１０が複数のプローブ２０を格納する。ガイドプレート１１に形成する貫通孔１００の配置は、所望のレイアウトに従って任意に設定可能である。

図１に示したプローブ格納システムでは、プローブ格納治具１０の上方にプローブ２０の支持部２２の上部が露出する。このため、支持部２２の上面が回路基板と接合する接合部である場合に、プローブ格納治具１０に格納した状態でプローブ２０の接合部の状態を観察できる。したがって、プローブ２０を回路基板と接合することが困難であるような欠陥が接合部に生じている場合に、電気的接続装置を組み立てる工程の前に接合部の欠陥を検出できる。例えば、接合部に欠損があるプローブ２０や固着剤２５の量が接合に不十分なプローブ２０を、電気的接続装置の組み立て工程から除外できる。

また、図１に示したプローブ格納システムでは、プローブ格納治具１０の下方にプローブ２０のアーム部２１の先端２１０が露出する。このため、プローブ格納治具１０に格納した状態でプローブ２０のアーム部２１の先端２１０の状態を観察できる。したがって、先端２１０が被検査体に接触させることが困難であるような欠陥がアーム部２１に生じている場合に、電気的接続装置を組み立てる工程の前にアーム部２１の欠陥を検出できる。例えば、アーム部２１の先端２１０が曲がっていたり折れたりしているプローブ２０を、電気的接続装置の組み立て工程から除外できる。

以下に、図１に示したプローブ格納システムとの比較のために、図５に示す比較プローブ格納治具１０Ｍにプローブ２０を格納する場合を検討する。比較プローブ格納治具１０Ｍは、第１スリットプレート１１Ｍと第２スリットプレート１２Ｍを有する。第１スリットプレート１１Ｍと第２スリットプレート１２Ｍは、櫛歯状のスリットをそれぞれ有する。

比較プローブ格納治具１０Ｍでのプローブ２０の格納では、例えば図５に矢印Ｍ１および矢印Ｍ２で示すように、プローブ２０が第１スリットプレート１１Ｍのスリットと第２スリットプレート１２Ｍのスリットに挿入される。プローブ２０のアーム部２１の先端２１０を上方に向けて、第１スリットプレート１１Ｍのスリットにプローブ２０の支持部２２が挟持される。そして、第２スリットプレート１２Ｍのスリットにプローブ２０のアーム部２１が挟持される。

したがって、比較プローブ格納治具１０Ｍにプローブ２０を格納した状態では、プローブ２０の接合部を観察できない。接合部を観察できないため、比較プローブ格納治具１０Ｍからプローブ２０を取り出した後でなければ、プローブ２０の接合部の欠陥を検出することができない。また、プローブ２０の自重により、プローブ２０が、第１スリットプレート１１Ｍのスリットおよび第２スリットプレート１２Ｍのスリットに保持されている。このため、比較プローブ格納治具１０Ｍに格納したプローブ２０を安定して運搬するためには、プローブ２０を比較プローブ格納治具１０Ｍに固定する機構が必要である。

一方、プローブ格納治具１０を用いたプローブ格納システムでは、プローブ格納治具１０の上方にプローブ２０の接合部が露出し、プローブ格納治具１０の下方にプローブ２０のアーム部２１の先端２１０が露出する。したがって、プローブ格納治具１０にプローブ２０を格納した状態で、プローブ２０の接合部および先端２１０を観察することができる。更に、プローブ格納治具１０がプローブ２０を支持する位置よりも、プローブ２０の重心が下方にある。プローブ２０の重心が下方にあるため、プローブ格納治具１０に格納されたプローブ２０の姿勢が安定する。したがって、プローブ２０をプローブ格納治具１０に固定しなくても、プローブ２０を安定した姿勢で、プローブ格納治具１０に格納したプローブ２０を運搬することができる。

以上に説明したように、実施形態に係るプローブ格納治具１０は、プローブ２０の接合部およびアーム部２１の先端２１０が露出した状態で、プローブ２０を格納する。したがって、プローブ格納治具１０によれば、プローブの欠陥の確認が容易である。

以下に、図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃ～図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃを参照して、プローブ格納治具１０にプローブ２０を格納するプローブ格納方法の例を説明する。なお、図６Ａと図７Ａは正面図、図６Ｂと図７Ｂは図１のＩＩ－ＩＩ方向に沿った断面図、図６Ｃと図７ＣはＺ方向から見た平面図である。図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃ～図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃでは、固着剤２５の図示を省略している。

まず、プローブ格納治具１０およびプローブ２０を準備する。そして、図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、プローブ格納治具１０において、Ｚ方向から見て第１ガイドプレート１１１の貫通孔１００の位置と第２ガイドプレート１１２の貫通孔１００の位置を一致させる。次いで、プローブ２０を、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２のそれぞれの貫通孔１００に挿入する。具体的には、第１ガイドプレート１１１の上面に支持部２２に形成された凸部２３が当接するまで、第１ガイドプレート１１１の上面の側からプローブ２０が貫通孔１００に挿入される。

凸部２３が第１ガイドプレート１１１の上面に当接するまでプローブ２０を貫通孔１００に挿入すると、第１ガイドプレート１１１の上面の上方に、支持部２２の上部が露出する。そして、第２ガイドプレート１１２の下面の下方に、アーム部２１の自由端２０２の先端２１０が露出する。

次に、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃに示すように、貫通孔１００の貫通方向（Ｚ方向）と交差する方向に、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２を相対的に移動させる。例えば、図７Ａに示すように、Ｘ方向について、第１ガイドプレート１１１を矢印ＤＸ１に示すように紙面の右方向に移動させ、第２ガイドプレート１１２を矢印ＤＸ２に示すように紙面の左方向に移動させる。そして、Ｙ方向について、第１ガイドプレート１１１を矢印ＤＹ１に示すように紙面の右方向に移動させ、第２ガイドプレート１１２を矢印ＤＹ２に示すように紙面の左方向に移動させる。すなわち、図７Ｃに示すように、ＸＹ平面において、第１ガイドプレート１１１を矢印ＤＺ１に示すように紙面の右下方向に移動させ、第２ガイドプレート１１２を矢印ＤＺ２に示すように紙面の左上方向に移動させる。なお、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２のいずれか一方の位置を固定し、他方の位置を移動させてもよい。

第１ガイドプレート１１１がプローブ２０に対して相対的に移動することにより、第１ガイドプレート１１１の貫通孔１００の第１内壁面１０１がプローブ２０に当接する。一方、第１内壁面１０１に対向する第２内壁面１０２は、プローブ２０から離間している。また、第２ガイドプレート１１２がプローブ２０に対して相対的に移動することにより、第１内壁面１０１と同じ向きの第２ガイドプレート１１２の第３内壁面１０３とプローブ２０とが離間し、第３内壁面１０３に対向する第４内壁面１０４がプローブ２０に当接する。

上記のように第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２をＸＹ平面で移動させることにより、プローブ２０が第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２によって挟まれる。プローブ格納治具１０は、ガイドプレート１１によってプローブ２０を挟むことにより、プローブ２０の位置を固定する。

以上に説明したプローブ格納方法によれば、プローブ２０の接合部およびアーム部２１の先端２１０が露出した状態で、プローブ格納治具１０にプローブ２０が格納される。したがって、実施形態に係るプローブ格納方法によれば、プローブの欠陥の確認が容易である。

＜変形例＞
上記では、プローブ格納治具１０の有するガイドプレート１１が２枚である例を説明した。プローブ格納治具１０の有するガイドプレート１１の枚数は、３枚以上であってもよい。例えば、図８に示すように、プローブ格納治具１０が、第３ガイドプレート１１３を更に有してもよい。第３ガイドプレート１１３は、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２の積層体に積層される。第３ガイドプレート１１３に、プローブ２０が貫通する貫通孔１００が形成されている。第３ガイドプレート１１３は、貫通方向と交差する方向に第１ガイドプレート１１１および第２ガイドプレート１１２に対して相対的に移動可能に構成されている。

例えば図９に示すように、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２によって挟まれたプローブ２０が、Ｚ方向に対して傾いてプローブ格納治具１０に格納される可能性がある。第３ガイドプレート１１３を有するプローブ格納治具１０は、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２により傾いて挟まれたプローブ２０の姿勢を調整することができる。

すなわち、図９に示す状態において、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２に対して相対的に、第３ガイドプレート１１３をＸＹ平面で移動させる。具体的には、第１ガイドプレート１１１と第２ガイドプレート１１２によって挟まれたプローブ２０の側面に、プローブ２０の傾きを矯正する方向に押圧を加えるように第３ガイドプレート１１３を移動させる。図８に示したプローブ格納治具１０によれば、上記のように第３ガイドプレート１１３を移動させることにより、プローブ格納治具１０に保持されたプローブ２０の姿勢を調整することも可能である。

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記ではプローブ格納治具１０が、第１ガイドプレート１１１の上面に当接するストッパーとして凸部２３を有するプローブ２０を格納する例を説明した。しかし、プローブ２０に凸部２３が無くてもよい。すなわち、ストッパーの無いプローブ２０をプローブ格納治具１０の貫通孔１００に挿入して、プローブ２０の位置を安定させる。このとき、プローブ格納治具１０の上方に支持部２２の上部が露出し、プローブ格納治具１０の下方に先端２１０が露出した状態で、プローブ格納治具１０がプローブ２０を保持する。そして、ガイドプレート１１を移動させてプローブ２０の位置を固定する。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

１０…プローブ格納治具
１１…ガイドプレート
２０…プローブ
２１…アーム部
２２…支持部
２５…固着剤
１００…貫通孔
１０１…第１内壁面
１０２…第２内壁面
１０３…第３内壁面
１０４…第４内壁面
１１１…第１ガイドプレート
１１２…第２ガイドプレート
１１３…第３ガイドプレート
２０１…固定端
２０２…自由端
２１０…先端

Claims (11)

1. カンチレバー構造のアーム部および前記アーム部の固定端に接続する支持部を有するプローブを格納するプローブ格納治具であって、
   対向する上面および下面で両面がそれぞれ定義され、前記上面から前記下面まで貫通する貫通孔がそれぞれ形成された第１ガイドプレートと第２ガイドプレートとを積層した構成を有し、
   前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートのそれぞれの前記貫通孔を貫通し、上方から見て前記支持部の上部が露出し、下方から見て前記アーム部の自由端の先端が露出した状態で前記プローブを保持し、
   前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートにより前記プローブを挟むように、前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートが相対的に移動可能に構成されている
   プローブ格納治具。
2. 前記第１ガイドプレートの前記上面に、前記支持部から突出する凸部が当接する、請求項１に記載のプローブ格納治具。
3. 前記プローブの隣接する２つの側面が、前記第１ガイドプレートの前記貫通孔の内壁面に当接し、
   前記プローブの他の隣接する２つの側面が、前記第２ガイドプレートの前記貫通孔の内壁面に当接する
   請求項１又は２に記載のプローブ格納治具。
4. 前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートの積層体に積層され、前記プローブが貫通する前記貫通孔が形成された第３ガイドプレートを更に備え、
   前記第３ガイドプレートが、前記貫通方向と交差する方向に前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動可能に構成されている、
   請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプローブ格納治具。
5. 被検査体の検査に使用されるプローブおよび前記プローブを格納するプローブ格納治具を備えるプローブ格納システムであって、
   カンチレバー構造のアーム部および前記アーム部の固定端に接続する支持部を有し、前記支持部から突出する凸部が設けられた前記プローブと、
   対向する上面および下面で両面がそれぞれ定義され、前記上面から前記下面まで貫通する貫通孔がそれぞれ形成された第１ガイドプレートと第２ガイドプレートとを積層した構成を有するプローブ格納治具と
   を備え、
   前記プローブ格納治具が、前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートのそれぞれの前記貫通孔を貫通する前記プローブを保持し、
   前記第１ガイドプレートの前記上面に前記プローブの前記凸部が当接し、
   前記プローブ格納治具の上方から見て前記支持部の上部が露出し、
   前記プローブ格納治具の下方から見て前記アーム部の自由端の先端が露出し、
   前記プローブ格納治具が、前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートが相対的に移動可能に構成され、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートにより前記プローブが挟まれている、
   プローブ格納システム。
6. 前記プローブの隣接する２つの側面が、前記第１ガイドプレートの前記貫通孔の内壁面に当接し、
   前記プローブの他の隣接する２つの側面が、前記第２ガイドプレートの前記貫通孔の内壁面に当接する
   請求項５に記載のプローブ格納システム。
7. 前記アーム部を下方とし前記支持部を上方として前記プローブ格納治具が前記プローブを保持した場合に、前記プローブの重心よりも上方の位置に前記凸部が配置されている、請求項５又は６に記載のプローブ格納システム。
8. 前記プローブ格納治具が、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートの積層体に積層され、前記プローブが貫通する前記貫通孔が形成された第３ガイドプレートを更に備え、
   前記第３ガイドプレートが、前記貫通方向と交差する方向に前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動可能に構成されている、
   請求項５乃至７のいずれか１項に記載のプローブ格納システム。
9. 被検査体の検査に使用されるプローブをプローブ格納治具に格納するプローブ格納方法であって、
   カンチレバー構造のアーム部および前記アーム部の固定端に接続する支持部を有するプローブを準備し、
   対向する上面および下面で両面がそれぞれ定義され、前記上面から前記下面まで貫通する貫通孔がそれぞれ形成された第１ガイドプレートと第２ガイドプレートとを積層した構成を有するプローブ格納治具を準備し、
   前記プローブ格納治具の上方から見て前記支持部の上部が露出し、かつ前記プローブ格納治具の下方から見て前記アーム部の自由端の先端が露出するように、前記プローブを前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートのそれぞれの前記貫通孔に挿入し、
   前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートを相対的に移動させて、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートによって前記プローブを挟んだ状態で、前記プローブ格納治具で前記プローブを保持する、
   プローブ格納方法。
10. 前記第１ガイドプレートの前記上面に前記支持部から突出する凸部を当接させる、請求項９に記載のプローブ格納方法。
11. 前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートの積層体に積層され、前記プローブが貫通する前記貫通孔が形成された第３ガイドプレートを更に備える前記プローブ格納治具を準備し、
    前記貫通方向と交差する方向に前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に前記第３ガイドプレートを移動させて、前記プローブを前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートによって挟まれた状態の前記プローブの姿勢を調整する、
    請求項９乃至１０のいずれか１項に記載のプローブ格納方法。

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