JP2023066090A - 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】共通流路部材の剛性を高くできる液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置を提供する。【解決手段】液体を吐出する複数のノズル１１１を有するノズル板１１０と、少なくとも複数のノズル１１１に各々連通する複数の圧力室１２１を形成する第１基板１９０と、複数の圧力室１２１に通じる共通供給流路本流１５６を形成する第２基板２７０とを備え、第２基板２７０の共通供給流路本流１５６を形成する領域に、共通供給流路１５６の長手方向と交差する方向の補強部１７１が設けられている。【選択図】図３

Description

本発明は液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、複数のノズルに各々連通する複数の圧力室を形成する個別流路部材と、複数の圧力室に通じる共通流路を形成する共通流路部材とを備えるものがある。

従来、流路形成基板と、該流路形成基板に接合され当該流路形成基板とは異なる材料からなる接合基板とを有すると共に、流路形成基板の一方面側の外縁部の一部に該外縁部の他の部分よりも剛性の低い低剛性部を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、シリコンウェハに流路形成基板を複数一体的に形成すると共に当該シリコンウェハの各流路形成基板間に複数の貫通孔が所定間隔で列設されてなるブレイクパターンを形成する工程と、流路形成基板に接合基板を接合する工程と、ブレイクパターンに沿ってシリコンウェハを複数の流路形成基板に分割する工程とを具備し、且つブレイクパターンを形成する際、シリコンウェハの低剛性部に対応する部分には、貫通孔を連続して形成することが知られている（特許文献１）。

特開２００９－０３６２３８号公報

ところで、共通流路部材には複数の圧力室に通じる長い共通流路となる開口部が形成されることから剛性が低下するという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、共通流路部材の剛性を高くすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、
少なくとも、前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室を形成する第１基板と、
前記複数の圧力室に通じる共通流路を形成する第２基板と、を備え、
前記第２基板の前記共通流路を形成する領域に、前記共通流路の長手方向と交差する方向の補強部が設けられている
構成とした。

本発明によれば、共通流路部材の剛性を高くできる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。 図２は同じく断面説明図である。 第２基板の平面説明図である。 第２基板とダンパ部材とを接合した状態の説明図である。 第１基板の平面説明図である。 第１基板と第２基板とを接合した状態の斜視説明図である。 第２基板をダイシングテープと接合した状態の斜視説明図である。 エキスパンドの説明に供する平面説明図である。 補強部を設けることによる効果の説明に供する第１実施形態の第２基板の平面説明図である。 比較例１の第２基板の平面説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける第２基板をダイシングテープと共に示す斜視説明図である。 本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける第２基板の平面説明図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。 同じくノズル面と反対側から見た外観斜視説明図である。 同じく分解斜視説明図である。 同じく流路構成部材の分解斜視説明図である。 図１６の要部拡大斜視説明図である。 同じく流路部分の断面斜視説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例の概略側面説明図である。 同印刷装置の吐出ユニットの平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図７を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図２は同じく断面説明図である。図３は第２基板の平面説明図、図４は第２基板とダンパ部材を接合した状態の説明図である。なお、図４（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面説明図である。図５は第１基板の平面説明図、図６は第１基板と第２基板とを接合した状態の斜視説明図、図７は第２基板をダイシングテープと接合した状態の斜視説明図である。なお、図６ではダンパ部材は省略している。
である。

ヘッド１００は、ノズル板１１０と、第１基板１９０と、第２基板１７０と、ダンパ部材１６０と、フレーム部材１８０と、配線部材（フレキシブル配線基板）１４５などを備えている。

ノズル板１１０には、液体を吐出する複数のノズル１１１を有している。複数のノズル１１１は、二次元状にマトリクス配置されている。

第１基板１９０は、複数のノズル１１１に各々連通する複数の圧力室（個別液室、個別流路）１２１と、２以上の圧力室１２１に通じる共通流路支流である複数の共通供給流路支流１５２とを形成し、圧力室１２１を加圧する圧電素子１４０が配置されている。

また、第１基板１９０には、複数の共通供給流路支流１５２に通じる１又は複数の共通供給流路本流１５６の一部１５６ａを形成している。

第２基板１７０は、共通流路本流部材であり、複数の共通供給流路支流１５２に通じる共通流路である共通供給流路本流１５６を形成している。なお、本実施形態では、第２基板１７０の短手方向両側にそれぞれ共通流路としての共通供給流路本流１５６を配置する構成としている。

フレーム部材１８０には、供給ポート１８１と、供給ポート１８１と共通供給流路本流１５６とを通じる供給路１８３が形成されている。

この液体吐出ヘッド１００においては、図３、図６及び図７に示すように、第２基板１７０の共通供給流路本流１５６を形成する領域に、共通供給流路本流１５６の長手方向と交差する方向の複数の補強部１７１が設けられている。

本実施形態では、補強部１７１の厚さｔ２は第２基板１７０の厚さｔ１と同じにしている。したがって、共通供給流路本流１５６は、共通供給流路本流１５６の長手方向において、補強部１７１によって複数（ここでは、３つ）を開口部（流路部分）１５６Ａに分割されている。

これにより、薄層の第２基板１７０は、共通流路（ここでは、共通供給流路本流１５６）として、１つの長い開口部を形成する場合に比べて、剛性が高くなる。

このように、第２基板１７０の剛性が高くなると、液体吐出ヘッド１００の製造工程におけるエキスパンド（分割）による破損を低減することができる。

また、第２基板１７０の第１基板１９０との接合面側にはダンパ部材１６０が接合されている。第２基板１７０の第１基板１９０との接合面側にはダンパ室となる凹部１７８が形成されている。

ダンパ部材１６０は、共通供給流路支流１５２の変形可能な壁面を形成する。ダンパ部材１６０は、フィルタ部材を兼ねており、図４（ａ）に示すように、第２基板１７０の共通供給流路本流１５６に相当する領域は、多数（複数）のフィルタ孔１６４を形成したフィルタ領域１６３としている。

次に、エキスパンドについて図８も参照して説明する。図８は同説明に供する平面説明図である。

シリコンウェハ９１４には、第２基板１７０となる分割前の第２基板１７０ａが多数形成されている。このシリコンウェハ９１４に対して、ダイサー等で分割ライン９１３となるクラックを入れる。

その後、シリコンウェハ９１４が貼り付けられているダイシングテープ９１５を矢印で示すように３６０°方向から引っ張ることで、分割ライン９１３に沿って個々のチップ状態の第２基板１７０に分割することができる。

このとき、ダイシングテープ９１５の伸びに合わせて第２基板１７０に剛性が低いパターンがあると変形する可能性がある。そこで、第２基板１７０の共通供給流路本流１５６を形成する開口部に補強部１７１を設けることで、エキスパンド時の変形を抑制することができ、第２基板１７０のチップの破損や、チップ同士が擦れてシリコン片が発塵するといったことを防ぐことができる。

ここで、補強部を設けることによる効果について図９及び図１０を参照して説明する。図９は第１実施形態の第２基板の平面説明図、図１０は比較例１の第２基板の平面説明図である。各図の（ａ）はエキスパンド前の第２基板の状態を、（ｂ）は、エキスパンド後の第２基板の状態をそれぞれ示している。

第１実施形態の第２基板１７０ａは、図９にも示すように、共通供給流路本流１５６に補強部１７１を設けている。比較例１の第２基板１７０ａは、図１０に示すように、１つの細長い開口部からなる共通供給流路本流１５６を形成している。

そこで、第１実施形態の第２基板１７０ａを形成したウェハと、比較例１の第２基板１７０ａを形成したウェハとを準備し、実際にエキスパンド時に変形が生じるか、部品の破損や異物の発塵がみられるか確認をした。なお、いずれの第２基板１７０ａにもダンパ部材１６０となるＳｉのメンブレンを形成した。

この結果、比較例１では、５つのウェハ準備をし、エキスパンドしたところ、すべてのウェハのすべてのチップにて、図１０（ｂ）に示すように、エキスパンド後の第２基板１７０ｂのチップの変形が見られた。最も変形の大きいもので短手方向に最大約３５０μｍの変形が見られた。

また、第２基板１７０に形成されたダンパ部材１６０については約６割のチップにてメンブレンの破損が確認された。さらに、５つのチップを抜き取って異物の確認をしたところ、１０μｍ以上の異物が最大で１チップ当たり約５０個付着していることが確認できた。

これに対し、第１実施形態では、５つのウェハ準備をし、エキスパンドしたところ、すべてのウェハのすべてのチップにて、図９（ｂ）に示すように、エキスパンド後の第２基板１７０ｂのチップの大きな変形が見られなかった。最も変形の大きいもので短手方向に最大約１０μｍの程度で、比較例１に比べて大幅に改善されている。

また、第２基板１７０に形成されたダンパ部材１６０についてメンブレンの破損が確認できなかった。さらに、５つのチップを抜き取って異物の確認をしたところ、１０μｍ以上の異物は確認できなかった。

次に、本発明の第２実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける第２基板をダイシングテープと共に示す斜視説明図である。

本実施形態でも、第２基板１７０の共通供給流路本流１５６を形成する領域に、共通供給流路本流１５６の長手方向と交差する方向の複数の補強部１７１が設けられている。

そして、本実施形態では、補強部１７１の厚さｔ２は第２基板１７０の厚さｔ１よりも薄く（ｔ２＜ｔ１）にしている。さらに、補強部１７１は、第１基板１９０との接合面側に偏らせて設けている。

これにより、共通供給流路本流１５６は、長手方向の流路が確保され、共通供給流路本流１５６の体積を確保することができる。言い換えれば、補強部１７１の体積が大きいほど流体抵抗となってしまうために、なるべく補強部１７１の体積を減らすことで、補強部１７１を設けることによる流体抵抗を低くしている。

また、補強部１７１を第１基板１９０との接合面側に偏らせて設けることで、エキスパンド時のダイシングテープ９１５と補強部１７１とが接触する構造とすることができ、変形を防ぐ作用効果も十分に得られる。

本実施形態についても、前記第１実施形態と同様にウェハを準備して、エキスパンド時の第２基板１７０の変形・破損・異物の確認をした。この結果、第２基板１７０の変形量は最大でも１０μｍ程度であり、ダンパ部材１６０のメンブレンの破損もなく１０μｍ以上の異物もないことが確認できた。

次に、本発明の第３実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける第２基板の平面説明図であり、（ａ）は全体平面説明図、（ｂ）は部分拡大平面説明図である。

本実施形態では、第２基板１７０の共通流路本流を形成する領域３７３に多数（複数）の孔部１７４を設け、共通供給流路本流１５６を複数の孔部１７４で形成している。

これにより、第２基板１７０の剛性を高めることができる。

また、孔部１７４の開口面積を前記第１実施形態のダンパ部材１６０のフィルタ領域１６３のフィルタ孔１６４と同じ開口面積とすることができる。

これにより、第２基板１７０でフィルタ部材を兼ねることができ、前記第１実施形態のダンパ部材１６０のフィルタ領域１６３を単なる開口とすることができる。

本実施形態についても、前記第１実施形態と同様にウェハを準備して、エキスパンド時の第２基板１７０の変形・破損・異物の確認をした。なお、孔部１７４の孔径は前記第１実施形態のダンパ部材１６０のフィルタ領域１６３のフィルタ孔１６４の孔径と同じ２４μｍとした。なお、ダンパ部材１６０のフィルタ領域１６３は単なる開口としている。

この結果、第２基板１７０の変形量は１．２μｍ程度であって測定誤差レベルであること、フィルタ領域１６３を単なる開口にしたダンパ部材１６０のメンブレンの破損もなく１０μｍ以上の異物もないことが確認できた。

次に、本発明の第４実施形態について図１３ないし図１８を参照して説明する。図１３は同実施形態に係る液体吐出ヘッドをノズル面側から見た外観斜視説明図、図１４は同じくノズル面と反対側から見た外観斜視説明図、図１５は同じく分解斜視説明図、図１６は同じく流路構成部材の分解斜視説明図、図１７は図１６の要部拡大斜視説明図、図１８は同じく流路部分の断面斜視説明図である。

ヘッド１００は、循環型の液体吐出ヘッドであり、ノズル板１１０と、流路板（個別流路部材）１２０と、圧電素子１４０を含む振動板部材１３０と、共通流路支流部材１５０と、ダンパ部材１６０と、共通流路本流部材となる第２基板１７０、フレーム部材１８０と、配線部材（フレキシブル配線基板）１４５などを備えている。配線部材１４５にはヘッドドライバ（ドライバＩＣ）１４６が実装されている。

本実施形態では、流路板１２０と振動板部材１３０とによって、圧電素子１４０が配置されたアクチュエータ基板１０２を構成している。また、流路板１２０と共通流路支流部材１５０とが前記第１実施形態における第１基板１９０に相当する。

ノズル板１１０には、液体を吐出する複数のノズル１１１を有している。複数のノズル１１１は、二次元状にマトリクス配置されている。

流路板１２０は、複数のノズル１１１に各々連通する複数の圧力室（個別液室）１２１と、複数の圧力室１２１に各々通じる複数の個別供給流路１２２と、複数の圧力室１２１に各々通じる複数の個別回収流路１２３とを形成している。

振動板部材１３０は、圧力室１２１の変形な可能な壁面である振動板１３１を形成し、振動板１３１には圧電素子１４０が一体に設けられている。また、振動板部材１３０には、個別供給流路１２２に通じる供給側開口１３２と、個別回収流路１２３に通じる回収側開口１３３とが形成されている。圧電素子１４０は、振動板１３１を変形させて圧力室１２１内の液体を加圧する圧力発生手段（圧力発生素子）である。

共通流路支流部材１５０は、２以上の個別供給流路１２２に通じる複数の共通供給流路支流１５２と、２以上の個別回収流路１２３に通じる複数の共通回収流路支流１５３とを交互に隣接して形成している。

共通流路支流部材１５０には、個別供給流路１２２の供給側開口１３２と共通供給流路支流１５２を通じる供給口１５４となる貫通孔と、個別回収流路１２３の回収側開口１３３と共通回収流路支流１５３を通じる回収口１５５となる貫通孔が形成されている。

また、共通流路支流部材１５０は、複数の共通供給流路支流１５２に通じる１又は複数の共通供給流路本流１５６の一部１５６ａと、複数の共通回収流路支流１５３に通じる１又は複数の共通回収流路本流１５７の一部１５７ａを形成している。

ダンパ部材１６０は、共通供給流路支流１５２の供給口１５４と対面する（対向する）供給側ダンパと、共通回収流路支流１５３の回収口１５５と対面する（対向する）回収側ダンパを有している。なお、ダンパ部材１６０には、前記第１実施形態で説明したフィルタ領域１６３を設けることができる。

ここで、共通供給流路支流１５２及び共通回収流路支流１５３は、同じ部材である共通流路支流部材１５０に交互に並べて配列された溝部を、変形可能な壁面を形成するダンパ部材１６０で封止することで構成している。

第２基板１７０は、共通流路本流部材であり、複数の共通供給流路支流１５２に通じる共通流路としての共通供給流路本流１５６と、複数の共通回収流路支流１５３に通じる共通流路としての共通回収流路本流１５７を形成する。

フレーム部材１８０には、共通供給流路本流１５６の一部１５６ｂと、共通回収流路本流１５７の一部１５７ｂが形成されている。

共通供給流路本流１５６の一部１５６ｂはフレーム部材１８０に設けた供給ポート１８１に通じ、共通回収流路本流１５７の一部１５７ｂはフレーム部材１８０に設けた回収ポート１８２に通じている。

このヘッド１００においては、圧電素子１４０に駆動パルスを印加することによって圧電素子１４０が撓み変形をして圧力室１２１内の液体を加圧することにより、ノズル１１１から液体が滴状に吐出される。

また、ヘッド１００から液体を吐出する動作を行わないとき、あるいは、ノズル１１１から吐出されなかった液体は、回収ポート１８２及び供給ポート１８１が接続される循環経路を介して循環する。

そして、本実施形態においても、第２基板１７０には、共通供給流路本流１５６及び共通回収流路本流１５７を形成する部分に補強部１７１を設けている。なお、補強部１７１は、前記第１実施形態の厚さ、第２実施形態の厚さのいずれでもよい。また、共通供給流路本流１５６及び共通回収流路本流１５７を前記第３実施形態の構成とすることもできる。

これにより、本実施形態においても第２基板１７０の剛性を高くすることができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同印刷装置の概略側面説明図、図２０は同印刷装置の吐出ユニットの平面説明図である。

印刷装置１は、液体を吐出する装置であり、シート材Ｐを搬入する搬入部１０と、前処理部２０と、印刷部３０と、乾燥部４０と、反転機構部６０と、搬出部５０とを備えている。

印刷装置１は、搬入部１０から搬入（供給）されるシート材Ｐに対し、前処理手段である前処理部２０で必要に応じて前処理液を付与（塗布）し、印刷部３０で液体を付与して所要の印刷を行い、乾燥部４０でシート材Ｐに付着した液体を乾燥させた後、シート材Ｐを搬出部５０に排出する。

搬入部１０は、複数のシート材Ｐを収容する搬入トレイ１１（下段搬入トレイ１１Ａ、上段搬入トレイ１１Ｂ）と、搬入トレイ１１からシート材Ｐを１枚ずつ分離して送り出す給送装置１２（１２Ａ、１２Ｂ）とを備え、シート材Ｐを前処理部２０に供給する。

前処理部２０は、例えばインクを凝集させ、裏写りを防止する作用効果を有する処理液をシート材Ｐの印刷面に付与する処理液付与手段である塗布部２１などを備えている。

印刷部３０は、シート材Ｐを周面に担持して回転する担持部材（回転部材）であるドラム３１と、ドラム３１に担持されたシート材Ｐに向けて液体を吐出する液体吐出部３２を備えている。

また、印刷部３０は、前処理部２０から送り込まれたシート材Ｐを受け取ってドラム３１との間でシート材Ｐを渡す渡し胴３４と、ドラム３１によって搬送されたシート材Ｐを受け取って乾燥部４０に渡す受け渡し胴３５を備えている。

前処理部２０から印刷部３０へ搬送されてきたシート材Ｐは、渡し胴３４に設けられた把持手段（シートグリッパ）によって先端が把持され、渡し胴３４の回転に伴って搬送される。渡し胴３４により搬送されたシート材Ｐは、ドラム３１との対向位置でドラム３１へ受け渡される。

ドラム３１の表面にも把持手段（シートグリッパ）が設けられており、シート材Ｐの先端が把持手段（シートグリッパ）によって把持される。ドラム３１の表面には、複数の吸引穴が分散して形成され、吸引手段によってドラム３１の所要の吸引穴から内側へ向かう吸い込み気流を発生させる。

そして、渡し胴３４からドラム３１へ受け渡されたシート材Ｐは、シートグリッパによって先端が把持されるとともに、吸引手段による吸い込み気流によってドラム３１上に吸着担持され、ドラム３１の回転に伴って搬送される。

液体吐出部３２は、液体吐出手段である吐出ユニット３３（３３Ａ～３３Ｄ）を備えている。例えば、吐出ユニット３３Ａはシアン（Ｃ）の液体を、吐出ユニット３３Ｂはマゼンタ（Ｍ）の液体を、吐出ユニット３３Ｃはイエロー（Ｙ）の液体を、吐出ユニット３３Ｄはブラック（Ｋ）の液体を、それぞれ吐出する。また、その他、白色、金色（銀色）などの特殊な液体の吐出を行う吐出ユニットを使用することもできる。

吐出ユニット３３は、例えば、図２０に示すように、複数のノズル１１１を二次元マトリクス状に配列した本発明に係る複数の液体吐出ヘッド（ヘッド）１００をベース部材３３１に千鳥状に配置したフルライン型ヘッドである。

液体吐出部３２の各吐出ユニット３３は、印刷情報に応じた駆動信号によりそれぞれ吐出動作が制御される。ドラム３１に担持されたシート材Ｐが液体吐出部３２との対向領域を通過するときに、吐出ユニット３３から各色の液体が吐出され、当該印刷情報に応じた画像が印刷される。

液体吐出部３２で液体が付与されたシート材Ｐは、ドラム３１から受け渡し胴３５に渡され、受け渡し胴３５によって乾燥部４０にシート材Ｐを移送する搬送機構部４１に渡される。

乾燥部４０は、搬送機構部４１によって搬送されるシート材Ｐを加熱手段４２で加熱して、シート材Ｐ上に付着した液体を乾燥させる。これにより、液体中の水分等の液分が蒸発し、シート材Ｐ上に液体中に含まれる着色剤が定着し、また、シート材Ｐのカールが抑制される。

反転機構部６０は、乾燥部４０を通過したシート材Ｐに対して両面印刷を行うときに、スイッチバック方式で、シート材Ｐを反転する機構であり、反転されたシート材Ｐは両面搬送経路６１を通じて渡し胴３４よりも上流側に逆送される。

搬出部５０は、複数のシート材Ｐが積載される搬出トレイ５１を備えている。乾燥部４０から反転機構部６０を介して搬送されてくるシート材Ｐは、搬出トレイ５１上に順次積み重ねられて保持される。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

なお、ここでは、「液体吐出ユニット」について、液体吐出ヘッドとの組み合わせで説明しているが、「液体吐出ユニット」には上述した液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールやヘッドユニットと上述したような機能部品、機構が一体化したものも含まれる。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ 印刷装置（液体を吐出する装置）
３０ 印刷部
３３ 吐出ユニット
１００ 液体吐出ヘッド
１０２ アクチュエータ基板
１１０ ノズル板
１１１ ノズル
１２０ 個別流路部材
１２１ 圧力室
１２２ 個別供給流路
１２３ 個別回収流路
１２８ 供給側個別流路
１２９ 回収側個別流路
１３０ 振動板部材
１４０ 圧電素子
１５０ 共通流路支流部材
１５２ 共通供給流路支流
１５３ 共通回収流路支流
１５６ 共通供給流路本流
１５７ 共通回収流路本流
１６０ ダンパ部材
１７０ 第２基板
１７１ 補強部
１７４ 孔部
１９０ 第１基板

Claims (9)

1. 液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、
   少なくとも、前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室を形成する第１基板と、
   前記複数の圧力室に通じる共通流路を形成する第２基板と、を備え、
   前記第２基板の前記共通流路を形成する領域に、前記共通流路の長手方向と交差する方向の補強部が設けられている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記補強部の厚さは、前記第２基板の厚さよりも薄い
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記補強部は、前記第２基板の厚さ方向において偏って設けられている
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、
   少なくとも、前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室を形成する第１基板と、
   前記複数の圧力室に通じる共通流路を形成する第２基板と、を備え、
   前記第２基板の前記共通流路は、前記第２基板に設けられた複数の孔部で形成されている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 前記複数の孔部が設けられた領域の厚さは、前記第２基板の厚さよりも薄い
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記複数の孔部が設けられた領域は、前記第２基板の厚さ方向において偏って設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. １つの前記孔部の開口面積は、フィルタの１つの孔部の開口面積と同じである
   ことを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドが複数配列されている
   ことを特徴とする吐出ユニット。
9. 請求項１ないし７いずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項８に記載の吐出ユニットの少なくともいずれかを備えている
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。

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