JP2023038273A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態の半導体装置は、第1の窒化物半導体層と、第1の窒化物半導体層の上に位置し、第1の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層と、第1の窒化物半導体層の上に位置し、第1の窒化物半導体層3に電気的に接続された第1の電極と、第1の窒化物半導体層の上に位置し、第1の窒化物半導体層に電気的に接続された第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間に位置したゲート電極と、第2の窒化物半導体層上に位置し、ゲート電極と同じ高さの第1のフィールドプレート電極と、第1のフィールドプレート電極と第2の電極の間に位置した第2のフィールドプレート電極と、を備える。
第2の実施形態の半導体装置は、第1の実施形態の半導体装置の変形例である。図2に第2の実施形態の半導体層101の模式断面図を示す。第2の実施形態の半導体装置101は、第1のフィールドプレート電極8上に絶縁膜12を有すること以外は、第1の実施形態の半導体装置100と共通する。第1の実施形態の変形例を含む実施形態においては、変更や付加された構成の一部又は全部を他の実施形態に採用することが出来る。
第3の実施形態の半導体装置は、第1の実施形態の半導体装置の変形例である。図3に第3の実施形態の半導体装置102の模式断面図を示す。第3の実施形態の半導体装置102は、ゲート電極6上に第1の導電層13と第2の導電層14を有し、第1のフィールドプレート電極8が階段様の形状をしていること以外は、第1の実施形態の半導体装置と共通する。
第4の実施形態の半導体装置は、第1の実施形態の半導体装置の変形例である。図4に第4の実施形態の半導体装置103の模式断面図を示す。第4の実施形態の半導体装置103は、ゲート電極6とバリア層4の間に第3の窒化物半導体層15を有し、第2のフィールドプレート電極9とドレイン電極7の間に第4のフィールドプレート電極16を有すること以外は、第1の実施形態の半導体装置と共通する。
第5の実施形態の半導体装置は、第1の実施形態の半導体装置の変形例である。図5に第5の実施形態の半導体装置104の模式断面図を示す。第5の実施形態の半導体装置104は、底面がチャネル層3中に位置するトレンチ(リセス)を有し、ゲート絶縁膜17をゲート電極6とバリア層4の間にさらに具備し、トレンチ内にゲート電極6が位置すること以外は、第1の実施形態の半導体装置100と共通する。トレンチの底面がチャネル層3内に位置することにより、ゲート電極6下の二次元電子ガスが消滅する。この形態とすることで、半導体装置104はノーマリオフ動作の実現が可能となる。ゲート電極6の構造が異なる第5の実施形態においても、第1の実施形態と同様にゲート-ドレイン間の電界のピークとゲート-ドレイン間容量が低減し、スイッチング特性に優れた半導体装置104を提供することが出来る。
第6の実施形態は、半導体装置に関する。第6の実施形態の半導体装置は、第1の実施形態と一部共通する。図6に第6の実施形態の半導体装置105の模式断面図を示す。第6の実施形態の半導体装置105は、基板1、バッファ層2、チャネル層3、バリア層4、ソース電極5、ゲート電極6、ドレイン電極7、第1のフィールドプレート電極8、及び、層間絶縁層11を備える。ゲート-ドレイン間の容量を減らす観点から第1のフィールドプレート電極8をバリア層4と直接的に接する様に設けている。第1のフィールドプレート電極8は、ソース電極5からドレイン電極7に向かう方向におけるゲート電極6とドレイン電極7の間に位置し、バリア層4と直接的に接している。他の実施形態に記載した第2のフィールドプレート電極9もゲート-ドレイン間容量を減らす効果があるが、第2のフィールドプレート電極9を設けずに第1のフィールドプレート電極8を設けた形態の半導体装置の方が第1のフィールドプレート電極8を設けずに第2のフィールドプレート電極9を設けた形態の半導体装置よりゲート-ドレイン間容量を減らすことができる。
1 基板
2 バッファ層
3 チャネル層(第1の窒化物半導体層、窒化物半導体層)
4 バリア層(第2の窒化物半導体層、窒化物半導体層)
5 ソース電極(第1の電極)
6 ゲート電極
7 ドレイン電極(第2の電極)
8 第1のフィールドプレート電極
9 第2のフィールドプレート電極
10 第3のフィールドプレート電極
11 層間絶縁膜
12 絶縁膜
13 第1の導電層
14 第2の導電層
15 第3の窒化物半導体層
16 第4のフィールドプレート電極
17 ゲート絶縁膜
100~105 半導体装置
Claims (8)
- 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層に電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層に電気的に接続された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に位置したゲート電極と、
前記第2の窒化物半導体層上に位置し、前記ゲート電極と同じ高さの第1のフィールドプレート電極と、
前記第1のフィールドプレート電極よりも前記第2の電極側に位置し、前記第1のフィールドプレート電極の上方に設けられた第2のフィールドプレート電極と、
を備え、
前記第1のフィールドプレート電極と前記第2のフィールドプレート電極は、前記第1の電極に電気的に接続し、
前記第1のフィールドプレート電極は、前記第1の電極と前記第2の電極の間に1つのみ存在する半導体装置。 - 前記ゲート電極上に第1の導電層及び第2の導電層をさらに備え、
前記第1の導電層と前記第2の電極との距離は、前記ゲート電極と前記第2の電極との距離以上であり、
前記第2の導電層と前記第2の電極との距離は、前記ゲート電極と前記第2の電極との距離以上である請求項1に記載の半導体装置。 - 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層に電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の窒化物半導体層の上に位置し、前記第1の窒化物半導体層に電気的に接続された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に位置したゲート電極と、
前記第2の窒化物半導体層上に位置し、前記ゲート電極と同じ高さの第1のフィールドプレート電極と、
前記第1のフィールドプレート電極よりも前記第2の電極側に位置し、前記第1のフィールドプレート電極の上方に設けられた第2のフィールドプレート電極と、
を備え、
前記第1のフィールドプレート電極と前記第2のフィールドプレート電極は、前記第1の電極に電気的に接続し
前記ゲート電極上に第1の導電層及び第2の導電層をさらに備え、
前記第1の導電層と前記第2の電極との距離は、前記ゲート電極と前記第2の電極との距離以上であり、
前記第2の導電層と前記第2の電極との距離は、前記ゲート電極と前記第2の電極との距離以上である半導体装置。 - 前記第1のフィールドプレート電極と前記第2のフィールドプレート電極の間に絶縁膜をさらに備えた請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極と前記第1のフィールドプレート電極との距離は、0.0μmより大きく10μm以下である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1のフィールドプレート電極と前記第2のフィールドプレート電極は、前記第1の窒化物半導体層と前記第2の窒化物半導体層の積層方向において少なくとも一部重なる請求項1ないし5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極と前記第1のフィールドプレート電極は、同じ導電材料で構成される請求項1ないし6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の電極と電気的に接続され、前記第2の電極方向に延伸し、前記ゲート電極の上方に位置している第3のフィールドプレート電極と
前記第2のフィールドプレート電極と前記第2の電極の間に第4のフィールドプレート電極をさらに備えた請求項1ないし7のいずれか1項に記載の半導体装置。
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