JP2023030578A - 部品装着装置および部品装着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】部品の装着品質の低下を抑制できる部品装着装置を提供する。【解決手段】部品装着装置１は、ワークにペーストを転写するピンと、部品を吸着する吸着ノズルとを有する搭載ヘッド１０Ａと、ピンの先端部にペーストを供給するためのペースト供給部と、ピンの先端部に供給されたペーストがワークに転写されるように搭載ヘッド１０Ａを制御する制御部１００と、ワークに転写されたペーストを撮像する認識カメラ１１Ａと、ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定する認識処理部３００と、を備え、制御部１００は、ワークに転写されたペーストに異常がないと判定された場合に、ワークに転写されたペーストの上に部品を装着するように搭載ヘッド１０Ａを制御する。【選択図】図６

Description

本開示は、ワークに部品を装着する部品装着装置および部品装着方法に関する。

先端に接合材が付着しているピンによって基板に接合材を転写する前後のピンの先端の画像に基づいて、ピンから基板に転写された接合材の量を推定する技術が開示されている（例えば特許文献１）。

基板に接着剤を転写するピンの先端に接着剤を転写後、カメラでピンの先端を撮像し、ピンの先端に接着剤が良好な状態で付着しているか否かを検査する技術が開示されている（例えば特許文献２）。

国際公開第２０１８／１６３３３１号 特開２０１１－８２２４２号公報

しかしながら、上記特許文献１および２に開示された技術では、基板などのワークに接合材や接着剤などのペーストが転写された後のワークの状態は確認しておらず、ワークにおける転写品質が悪い場合、部品の装着品質が低下するおそれがある。

そこで、本開示は、部品の装着品質の低下を抑制できる部品装着装置などを提供する。

本開示の一態様に係る部品装着装置は、ワークに部品を装着する部品装着装置であって、前記ワークにペーストを転写するピンと、前記部品を吸着する吸着ノズルとを有する装着部と、前記ピンの先端部にペーストを供給するためのペースト供給部と、前記先端部に供給されたペーストが前記ワークに転写されるように前記装着部を制御する制御部と、前記ワークに転写されたペーストを撮像する撮像部と、前記ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定する判定部と、を備え、前記制御部は、前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着するように前記装着部を制御する。

なお、これらの包括的または具体的な側面は、システム、装置、方法、記録媒体、または、コンピュータプログラムで実現されてもよく、システム、装置、方法、記録媒体、および、コンピュータプログラムの任意な組み合わせで実現されてもよい。

本開示に係る部品装着装置などによれば、部品の装着品質の低下を抑制できる。

実施の形態に係る部品装着装置の平面視図である。 実施の形態に係る搭載ヘッドの斜視図である。 実施の形態に係るペースト転写ユニットの斜視図である。 実施の形態に係るペースト転写ユニットの構造説明図である。 実施の形態に係るペースト転写ユニットの動作を説明するための図である。 実施の形態に係る部品装着装置の機能構成図である。 実施の形態に係る部品装着装置の動作の第一例を示すフローチャートである。 転写不可エリアの一例を示す図である。 転写可能エリアの一例を示す図である。 部品の第１サイズおよびピンの第２サイズを説明するための図である。 ピンおよびノズルを有する搭載ヘッドによって部品を基板に装着する手順を説明するための図である。 実施の形態に係る部品装着装置の動作の第二例を示すフローチャートである。 基板に転写されたペーストの正常および異常を説明するための図である。 基板に転写された正常なペーストの上に装着される部品を示す図である。 実施の形態に係る部品装着装置の動作の第三例を示すフローチャートである。

本開示の部品装着装置は、ワークに部品を装着する部品装着装置であって、前記ワークにペーストを転写するピンと、前記部品を吸着する吸着ノズルとを有する装着部と、前記ピンの先端部にペーストを供給するためのペースト供給部と、前記先端部に供給されたペーストが前記ワークに転写されるように前記装着部を制御する制御部と、前記ワークに転写されたペーストを撮像する撮像部と、前記ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定する判定部と、を備え、前記制御部は、前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着するように前記装着部を制御する。

これによれば、ワークに転写されたペーストが撮像されるため、ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定することができる。ワークに転写されたペーストに異常がない場合に、正常なペーストの上に部品が装着されるため、部品の装着品質の低下を抑制できる。

また、前記判定部は、前記画像における前記ワークに転写されたペーストのサイズまたは位置に基づいて、前記異常があるか否かを判定してもよい。例えば、前記判定部は、前記ペーストの外径が第１所定値以上第２所定値以下の場合に、前記異常がないと判定してもよい。また、例えば、前記判定部は、前記ペーストの体積が第３所定値以上第４所定値以下の場合に、前記異常がないと判定してもよい。また、例えば、前記判定部は、前記ワークに転写されるペーストの転写設定位置と前記ワークに転写されたペーストの位置との間の距離が第５所定値以下の場合に、前記異常がないと判定してもよい。

これによれば、ワークに転写されたペーストのサイズまたは位置が規定値からずれている場合に、ワークに転写されたペーストに異常があると判定することができる。例えば、ワークに転写されたペーストのサイズは、外径であってもよいし、体積であってもよい。また、ワークに転写されたペーストの位置は、転写設定位置に対する位置であってもよい。

また、前記異常があると判定された場合にエラーを報知する報知部をさらに備えていてもよい。

これによれば、ワークに転写されたペーストの異常を報知できる。

また、前記装着部は、前記ピンおよび前記吸着ノズルをそれぞれ複数有し、前記判定部は、前記画像に基づいて、前記複数のピンの各々によって前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定し、前記制御部は、前記複数のピンの各々によって前記ワークに転写されたペーストのうち、前記異常があると判定されたペーストを除いたペーストの各々の上に前記部品を装着するように前記装着部を制御してもよい。

これによれば、複数のピンの各々によってワークに転写されたペーストのうち、異常がないペーストの上に部品を装着することができる。

また、前記装着部は、前記ピンが設けられた第１装着部と、前記第１装着部と別体に設けられ、前記吸着ノズルが設けられた第２装着部と、を有し、前記制御部は、前記先端部に供給されたペーストが前記ワークに転写されるように前記第１装着部を制御し、前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着するように前記第２装着部を制御してもよい。

このように、ピンと装着ノズルとが別体に設けられた装着部を用いてもよい。

本開示の部品装着方法は、ワークに部品を装着する部品装着方法であって、前記ワークにペーストを転写するピンの先端部に供給されたペーストを前記ワークに転写し、前記ワークに転写されたペーストを撮像し、前記ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定し、前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着する処理を含む。

これによれば、部品の装着品質の低下を抑制できる部品装着方法を提供できる。

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。

（実施の形態）
以下、図１から図１５を用いて実施の形態について説明する。

まず、図１から図５を用いて部品装着装置１、搭載ヘッド１０Ａおよびペースト転写ユニット７の構造を説明する。

図１は、実施の形態に係る部品装着装置１の平面視図である。

図２は、実施の形態に係る搭載ヘッド１０Ａの斜視図である。

図３は、実施の形態に係るペースト転写ユニット７の斜視図である。

図４は、実施の形態に係るペースト転写ユニット７の構造説明図である。

図５は、実施の形態に係るペースト転写ユニット７の動作を説明するための図である。

図１に示されるように、部品装着装置１の基台１ａには、基板搬送方向（Ｘ方向）に基板搬送機構２が配設されている。基板搬送機構２は部品装着作業（例えばはんだなどを用いた部品の実装作業または接着剤などを用いた部品の取り付け作業）の対象となる基板３を搬送する。基板３は、ワークの一例である。なお、ワークは、部品であってもよい。例えば、部品装着装置１によって、基板３に装着された部品上にさらに部品が装着されてもよい。以下で、基板３と記載しているところは、部品（例えば基板３に装着された部品）と置き換えることができる。基板搬送機構２の両側に部品を供給する部品供給部が配設されており、フロント側の部品供給部４Ａには、テープに保持された電子部品を供給する複数のテープフィーダ６Ａおよびテープフィーダ６Ａなどの他のパーツフィーダと装着互換性を有するペースト転写ユニット７が、テープフィーダ６Ａと並列して着脱自在に装着されている。ペースト転写ユニット７（具体的には後述する成膜ステージ２４（図３参照））は、以下に説明する搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１またはノズル５２に吸着された部品へ転写により供給（塗布）されるペースト２５（図３参照）が膜状に形成されている。ピン５１は、基板３にペーストを転写する転写ピンであり、ノズル５２は、基板３に装着される部品を吸着する吸着ノズルである。リア側の部品供給部４Ｂにも、例えば複数のテープフィーダ６Ｂが着脱自在に装着されている。なお、部品供給部４Ｂにはペースト転写ユニット７が設けられていないが、設けられていてもよい。また、テープフィーダ６Ｂの代わりにトレイフィーダが設けられていてもよい。

図２に示されるように、搭載ヘッド１０Ａの下部には下方に突没自在な複数のツール取り付け部５３が設けられている。ツール取り付け部５３は６本×２列のマトリクス状に設けられており、そのうちの一方の列（６本）のツール取り付け部５３には２つのピン５１および４つのノズル５２が着脱自在に取り付けられ、他の列（６本）のツール取り付け部５３には６つのピン５１が着脱自在に取り付けられている。なお、図示していないが、搭載ヘッド１０Ｂの下部にはツール取り付け部５３が６本×１列設けられており、６本のツール取り付け部５３には６つのノズル５２が着脱自在に取り付けられる。搭載ヘッド１０Ａおよび１０Ｂは、基板３にペーストを転写するピン５１または部品を吸着するノズル５２を有する装着部の一例である。また、搭載ヘッド１０Ａは、基板３にペーストを転写するピン５１と、部品を吸着するノズル５２とを有する装着部の一例である。なお、別体となっている搭載ヘッド１０Ａと搭載ヘッド１０Ｂとをまとめて装着部としてもよい。

基台１ａのＸ方向の一端部には、基板搬送機構２と直交するＹ方向にＹ軸テーブル８が配設されている。Ｙ軸テーブル８には２基のＸ軸テーブル９Ａおよび９ＢがＹ方向に移動自在に結合されており、Ｘ軸テーブル９Ａには搭載ヘッド１０Ａ、Ｘ軸テーブル９Ｂには搭載ヘッド１０Ｂが装着されている。Ｘ軸テーブル９ＡおよびＹ軸テーブル８が駆動されることにより、搭載ヘッド１０Ａは下部に装着されたピン５１およびノズル５２のＸＹ平面の移動が行われる。また、搭載ヘッド１０Ａのツール取り付け部５３が制御されることで、ピン５１およびノズル５２の搭載ヘッド１０Ａに対する昇降（Ｚ方向（図４参照）の移動）およびＺ軸回りの回転が行われる。Ｘ軸テーブル９ＢおよびＹ軸テーブル８が駆動されることにより、搭載ヘッド１０Ｂは下部に装着されたノズル５２のＸＹ平面の移動が行われる。また、搭載ヘッド１０Ｂのツール取り付け部５３が制御されることで、ノズル５２の搭載ヘッド１０Ｂに対する昇降およびＺ軸回りの回転が行われる。

Ｘ軸テーブル９Ａには、搭載ヘッド１０Ａと一体的に移動する認識カメラ１１Ａが装備されており、Ｘ軸テーブル９Ｂには、搭載ヘッド１０Ｂと一体的に移動する認識カメラ１１Ｂが装備されている。搭載ヘッド１０Ａおよび１０Ｂが基板３の上方を移動することにより、認識カメラ１１Ａおよび１１Ｂも共に移動して基板３を撮像する。また、搭載ヘッド１０Ａおよび１０Ｂがペースト転写ユニット７の上方を移動することにより、認識カメラ１１Ａおよび１１Ｂも共に移動してペースト転写ユニット７（成膜ステージ２４のペーストの転写エリア２６（図３参照））を撮像する。認識カメラ１１Ａおよび１１Ｂは、転写エリア２６を撮像する撮像部の一例である。また、認識カメラ１１Ａは、基板３に転写されたペーストを撮像する撮像部の一例である。

基台１ａにおいて部品供給部４Ａおよび４Ｂと基板搬送機構２との間には、部品認識カメラ１２Ａおよび１２Ｂならびにノズルストッカ１３Ａおよび１３Ｂが配設されている。ノズルストッカ１３Ａは搭載ヘッド１０Ａに装着されるノズル５２を複数の部品種について収納しており、搭載ヘッド１０Ａをノズルストッカ１３Ａにアクセスさせて所定のノズル交換動作を実行させることにより、搭載ヘッド１０Ａにおけるノズル５２を部品種に応じて交換することができる。同様に、ノズルストッカ１３Ｂは搭載ヘッド１０Ｂに装着されるノズル５２を複数の部品種について収納しており、搭載ヘッド１０Ｂをノズルストッカ１３Ｂにアクセスさせて所定のノズル交換動作を実行させることにより、搭載ヘッド１０Ｂにおけるノズル５２を部品種に応じて交換することができる。

部品を保持した搭載ヘッド１０Ａを部品認識カメラ１２Ａの上方でＸ方向に相対移動させることにより、部品認識カメラ１２Ａは部品の画像を下方から読み取り、これにより搭載ヘッド１０Ａに保持された状態における部品の種類や形状が認識される。なお、部品認識カメラ１２Ａはピン５１の画像を下方から読み取り、これによりピン５１の先端部に転写されたペーストの状態が認識されてもよい。搭載ヘッド１０Ａによる部品の搭載動作においては、認識カメラ１１Ａによる基板認識結果と、部品認識カメラ１２Ａによる部品認識結果を加味して基板３における搭載位置の補正が行われる。同様に、部品を保持した搭載ヘッド１０Ｂを部品認識カメラ１２Ｂの上方でＸ方向に相対移動させることにより、部品認識カメラ１２Ｂは部品の画像を下方から読み取り、これにより搭載ヘッド１０Ｂに保持された状態における部品の種類や形状が認識される。搭載ヘッド１０Ｂによる部品の搭載動作においては、認識カメラ１１Ｂによる基板認識結果と、部品認識カメラ１２Ｂによる部品認識結果を加味して基板３における搭載位置の補正が行われる。

図３および図４に示されるように、ペースト転写ユニット７は長尺形状のベース部２０に以下に説明する各部を設けた構成となっており、ベース部２０は部品供給部４Ａに設けられたフィーダベース１６（図４の（ａ）参照）に、長手方向をＹ方向に合わせて着脱自在に装着される。図３に示される前側は図４の（ａ）における右側に対応し、図３に示される後側は図４の（ａ）における左側に対応する。なお、ここでは、搭載ヘッド１０Ａがペースト転写ユニット７へアクセスする例を説明するが、搭載ヘッド１０Ｂがペースト転写ユニット７へアクセスしてもよい。

ペースト転写ユニット７はフィーダベース１６と係合してベース部２０を固定するための係合部２０ａが設けられており、さらに係合部２０ａから後方にはハンドル２１が突出して設けられている。ペースト転写ユニット７をフィーダベース１６に装着する際には、ベース部２０の下面側をフィーダベース１６の上面に沿わせ、ハンドル２１を把持して前方に押し込むことにより、係合部２０ａがフィーダベース１６の後端部に係合し、これによりベース部２０は所定位置に装着される。

ベース部２０の上面にはガイドレール２２が長手方向に配設されており、ガイドレール２２にスライド自在に嵌着したスライダ２３は成膜ステージ２４の下面に固着されている。図４に示されるように、成膜ステージ２４の下面に結合されたナット３４には送りねじ３２が螺合しており、送りねじ３２はベース部２０の後端部側に配置されたモータ３１によって回転駆動される。したがってモータ３１を駆動することにより、成膜ステージ２４はベース部２０の上面において長手方向に往復動する。

すなわち、ガイドレール２２、スライダ２３、ナット３４、送りねじ３２およびモータ３１は、成膜ステージ２４をベース部２０に対して長手方向に往復動させるステージ駆動手段となっている。このステージ駆動手段は、作業者の安全を確保するため安全カバー３３で覆われている。ここで、ステージ駆動手段の駆動源としてのモータ３１を搭載ヘッド１０Ａのアクセス方向の反対側（図４の（ａ）の左側）に配置した構成となっており、これにより、搭載ヘッド１０Ａのペースト転写ユニット７へのアクセスが阻害されないようになっている。なお、搭載ヘッド１０Ａは、例えば、図４の（ａ）の右側からペースト転写ユニット７へアクセスする。

成膜ステージ２４は矩形状部材の上面側に底面が平滑な凹部を形成した構造であり、この凹部の底面は膜状のペースト２５を形成（成膜）するための膜形成面２４ａとなっている。成膜ステージ２４は、ピン５１の先端部または部品の電極に転写されるペースト２５が膜状に形成されているペースト転写部の一例である。また、成膜ステージ２４は、ピン５１の先端部にペーストを供給するためのペースト供給部の一例である。ペーストは、例えば、はんだ、接着剤またはフラックスなどである。膜形成面２４ａには、搭載ヘッド１０Ａに設けられたピン５１、またはノズル５２に吸着された部品にペーストを転写する転写エリア２６が設定されている。転写エリア２６のサイズは、搭載ヘッド１０Ａが有する複数のピン５１および／または複数のノズル５２に吸着された複数の部品に対して、一括してペーストを転写することができるように設定されている。このとき、成膜ステージ２４は矩形形状であることから、成膜ステージ２４の幅寸法に対して極力大きな転写エリア２６を設定することができ、ペースト転写ユニット７の全体幅を極力小さくすることが可能となっている。

ペースト転写ユニット７は、転写エリア２６の後方の位置であって搭載ヘッド１０Ａとの干渉が生じない位置に配置された、成膜スキージユニット２８および掻寄せユニット２９を備える。成膜スキージユニット２８および掻寄せユニット２９は、成膜ステージ２４においてペーストの成膜を行う成膜部の一例である。成膜スキージユニット２８と掻寄せユニット２９との間には、ペースト供給シリンジ３０のニードル３０ａが挿入配置されている。成膜スキージユニット２８は、ベース部２０に立設されたブラケット２７によって保持されており、これにより、ベース部２０に対して水平方向の位置が固定された形態となっている。

成膜スキージユニット２８の詳細構造について、図４の（ａ）および（ｂ）を参照して説明する。なお、図４の（ｂ）は、図４の（ａ）におけるＡ断面を示している。

図４の（ａ）に示されるように、成膜スキージユニット２８は、下方に延出して下端部が膜形成面２４ａとの間に膜形成隙間ｇ（図５の（ａ）参照）を保って配設されたスキージ２８ａを備えており、スキージ２８ａは連結部材３５に結合されている。連結部材３５はブラケット２７にスライドユニット３７を介して装着されており、したがってスキージ２８ａはブラケット２７に対して上下動自在となっている。

膜形成面２４ａにペースト２５が供給された状態の成膜ステージ２４を上述したステージ駆動手段によってＹ方向に水平移動させることにより、スキージ２８ａは膜形成面２４ａにおいてペースト２５を延展して膜形成隙間ｇに応じた厚みの膜を形成する。そして膜形成後の成膜ステージ２４を搭載ヘッド１０Ａによるアクセス方向側（図４の（ａ）の右側）へ移動させることにより、図４の（ａ）に示されるように、膜状のペースト２５が形成された転写エリア２６を、搭載ヘッド１０Ａによるペーストの転写動作位置に位置させることができる。

掻寄せユニット２９は下方に延出したスクレーパ２９ａを備えている。スクレーパ２９ａは下方に付勢されて、成膜ステージ２４の高さ位置に関わらず常に膜形成面２４ａに当接した状態にある。成膜ステージ２４をステージ駆動手段によってＹ方向に往復動させることにより、スクレーパ２９ａは成膜ステージ２４上のペースト２５を掻き寄せる。

成膜ステージ２４の上方には、反射式の光センサ１４が、スキージ２８ａとスクレーパ２９ａとの間に配設されている。反射式の光センサ１４の検査光軸１４ａによる検出方向は膜形成面２４ａを向いている。光センサ１４は検査光を膜形成面２４ａに照射し、その反射光を受光する。この受光信号を検出処理部１５によって検出処理することにより、膜形成面２４ａにおけるペースト２５の残量を検出する。そしてこの検出結果を制御・駆動ユニット４５が受信することにより、ペーストの補給の要否を判断する。

したがって、光センサ１４、検出処理部１５および制御・駆動ユニット４５は、スキージ２８ａとスクレーパ２９ａとの間に検出方向を膜形成面２４ａに向けて配設された光センサ１４によってペースト２５の残量を検出して補給の要否を判断するペースト残量検出手段を構成する。このペースト残量検出手段は、スクレーパ２９ａによるペースト２５の掻取り動作に際し、成膜ステージ２４が移動開始した後に光センサ１４によってペースト２５を検出するようになっている。そしてペースト残量検出手段によりペーストの補給が必要と判断された場合には、ペースト供給シリンジ３０およびニードル３０ａより成るペースト供給手段によって、成膜ステージ２４にペーストが供給される。検出処理部１５は、成膜可否判定部の一例である。

連結部材３５には上下方向に配設された昇降部材３６が結合されており、ベース部２０の内部に貫入した昇降部材３６の下端部には、カムフォロア３８が結合されている。ベース部２０の内部にはモータ４０が水平姿勢で配設されており、モータ４０の回転軸に結合された円板カム３９は、カムフォロア３８に当接している。この状態でモータ４０を回転駆動することにより、昇降部材３６は円板カム３９のカム特性にしたがって昇降し、これによりスキージ２８ａは膜形成面２４ａに対して昇降する。

すなわち、昇降部材３６、カムフォロア３８、円板カム３９およびモータ４０はスキージ２８ａの上下方向の位置を調整するスキージ位置調整手段となっており、後述する成膜動作において、スキージ２８ａの上下方向の位置を調整して、スキージ２８ａの下端部と膜形成面２４ａとの間の膜形成隙間ｇを変更することができ、これにより膜形成面２４ａにおけるペースト２５の膜の厚さが可変となっている。なお、スキージ位置調整手段として、ここではカムフォロア３８と円板カム３９とを組み合わせたカム機構を採用しているが、昇降部材３６を任意に昇降させることが可能な直動機構であれば、カム機構以外の駆動方式を用いることができる。

図４の（ａ）に示されるように、ベース部２０の下面側に設けられた係合部２０ａには、ユニット側接続部４１を構成するエアカプラ４１ａおよび電気コネクタ４１ｂが設けられており、エアカプラ４１ａおよび電気コネクタ４１ｂは、それぞれエア配管および電気配線によってペースト転写ユニット７に内蔵された制御・駆動ユニット４５に接続されている。制御・駆動ユニット４５は、ステージ駆動手段の駆動源であるモータ３１や成膜スキージユニット２８の駆動源であるモータ４０の制御・駆動、ペースト供給シリンジ３０からペーストを吐出させるための圧空の供給や制御、さらに光センサ１４および検出処理部１５による膜形成面２４ａにおけるペーストの補給要否の判断を行う機能を有している。

フィーダベース１６の後端部には、エアカプラ４２ａおよび電気コネクタ４２ｂより成るベース側接続部４２が備えられており、エアカプラ４２ａおよび電気コネクタ４２ｂは、それぞれエア配管および電気配線によって制御・電源部４３および圧空供給源４４と接続されている。ペースト転写ユニット７をフィーダベース１６に沿って前方にスライドさせて装着した状態では、ユニット側接続部４１はベース側接続部４２に嵌合する。これにより制御・電源部４３が制御・駆動ユニット４５と電気的に接続され、さらに制御・駆動ユニット４５には圧空供給源４４から圧空が供給可能となる。そしてペースト転写ユニット７を後方へスライドさせることによりこれらの接続が遮断される。

すなわちペースト転写ユニット７は、フィーダベース１６に設けられたベース側接続部４２と接続され、制御信号の伝達や動力の供給を行うユニット側接続部４１を備えた構成となっている。これによりペースト転写ユニット７のフィーダベース１６への装着動作のみで、別途接続作業を行うことなく、制御・駆動ユニット４５には制御・電源部４３からの制御信号の伝達および駆動電力の供給がなされ、また圧空供給源４４からは駆動用の圧空が制御・駆動ユニット４５に対して供給される。

次に図５を参照して、ペースト転写ユニット７によって行われる成膜動作および掻寄せ動作について説明する。まず図５の（ａ）は、成膜ステージ２４が後退位置にあって、成膜動作の開始前にスキージ２８ａおよびスクレーパ２９ａが膜形成面２４ａにおいて成膜開始側の端部（この例では右端部）に位置し、スキージ２８ａおよびスクレーパ２９ａの間にニードル３０ａを介してペースト２５が供給された状態を示している。成膜動作の開始に際してはスキージ２８ａの下端部と膜形成面２４ａとの間の膜形成隙間ｇを、部品の電極にペーストを転写するのに適正な膜厚ｔに設定される。

次いで、ステージ移動手段を駆動して、図５の（ｂ）に示されるように、成膜ステージ２４を前進させる（矢印ｂ）。これにより、膜形成面２４ａ上においてペースト２５がスキージ２８ａによって延展され、膜形成面２４ａには膜厚ｔのペースト２５が形成される。そして図５の（ｃ）に示されるように、搭載ヘッド１０Ａが成膜ステージ２４上に移動し、ピン５１および／または部品を吸着したノズル５２を昇降させて（矢印ｃ）、転写動作を行うことにより、ピン５１の先端部および／または部品の電極にペーストが転写（供給）される。

この後、ペースト２５の掻寄せ動作が行われる。すなわち、図５の（ｄ）に示されるように、スキージ２８ａを上昇（矢印ｄ）させた状態で、成膜ステージ２４を後退させる（矢印ｅ）。これにより、膜形成面２４ａ上に存在するペースト２５はスクレーパ２９ａによって一方側に掻き寄せられ、スキージ２８ａとスクレーパ２９ａとの間に溜められ、これにより図５の（ａ）に示す状態に戻る。そしてこの後、成膜動作と掻寄せ動作が同様に反復して実行される。

次に、図６を用いて部品装着装置１の制御系の構成を説明する。

図６は、実施の形態に係る部品装着装置１の機能構成図である。

制御部１００は、搭載制御部１０１および転写制御部１０２を備える。搭載制御部１０１は、機構駆動部２００を介して、Ｘ軸テーブル９Ａおよび９Ｂ、Ｙ軸テーブル８、搭載ヘッド１０Ａおよび１０Ｂによる動作を制御する。転写制御部１０２は、機構駆動部２００を介して、搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１および／またはノズル５２を成膜ステージ２４の転写エリア２６におけるペースト２５に対して下降させることにより、ピン５１および／またはノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写する転写動作、ならびに、ペースト転写ユニット７における成膜動作を制御する。図４の（ａ）に示される制御・駆動ユニット４５などは、制御部１００の一例である。

認識処理部３００は、認識カメラ１１Ａおよび１１Ｂならびに部品認識カメラ１２Ａおよび１２Ｂによる撮像により得られた画像の認識処理を行う。認識処理部３００は、ピン５１の先端部またはノズル５２に吸着された部品の電極へのペーストの転写が行われるように設定された、転写エリア２６における転写設定位置（転写設定エリア）において、ピン５１の先端部またはノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写できるか否かを、転写エリア２６の撮像により得られる画像に基づいて判定する判定部の一例である。また、認識処理部３００は、基板３に転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、基板３に転写されたペーストに異常があるか否かを判定する判定部の一例である。

操作・入力部４００は、部品装着装置１への作業者の操作または入力を受け付ける。操作・入力部４００は、例えば、キーボード、マウスまたはタッチパネルなどである。

表示部５００は、作業者へ情報の表示を行うディスプレイなどである。表示部５００の表示内容は特に限定されないが、例えば、部品装着装置１の状態、作業者が行う作業内容、エラーなどが表示部５００に表示されてもよい。例えば、表示部５００によってエラー報知が行われる場合、表示部５００は、報知部の一例となる。

記憶部６００は、部品情報記憶部６０１および転写情報記憶部６０２を備える。部品情報記憶部６０１は、部品装着装置１において装着の対象となる部品についての部品情報を記憶する。これらの部品情報には、部品のサイズについてのデータが含まれる。転写情報記憶部６０２は、部品のサイズ（第１サイズ）またはピン５１のサイズ（第２サイズ）に応じた転写設定位置を記憶する。転写設定位置は、成膜ステージ２４の転写エリア２６における、部品の電極またはピン５１の先端部にペーストを転写する位置であり、部品のサイズまたはピン５１のサイズ、および、成膜後にすでに転写が行われた転写エリア２６における位置に応じて設定される。つまり、転写設定位置は、転写エリア２６のうちの、成膜後まだ転写が行われていない位置から、ペーストが転写される部品またはピンのサイズに応じて設定される。

次に、図７を用いて部品装着装置１の動作の第一例を説明する。

図７は、実施の形態に係る部品装着装置１の動作の第一例を示すフローチャートである。

まず、制御部１００は、部品装着装置１において装着の対象となる部品を吸着するように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ１０１）。

次に、部品認識カメラ１２Ａは、搭載ヘッド１０Ａのノズル５２に吸着された部品を撮像し、認識処理部３００は、部品の撮像により得られる画像に基づいて、部品が正しくノズル５２に吸着されているかなどを判定する部品認識処理を行う（ステップＳ１０２）。例えば、部品が正しくノズル５２に吸着されていないなど、部品認識処理でエラーがあった場合には、その旨を示すエラー報知が行われてもよい。エラー報知は、ブザー音の出力、ランプの点灯もしくは点滅または表示部５００への表示などにより行われる。

次に、認識カメラ１１Ａは、ペースト２５が膜状に形成されている成膜ステージ２４の転写エリア２６を撮像する（ステップＳ１０３）。

次に、認識処理部３００は、転写エリア２６の撮像により得られる画像に基づいて、転写設定位置において、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写できるか否かを判定する（ステップＳ１０４）。ここで、ペーストを転写できない転写不可エリアおよびペーストを転写できる転写可能エリアの一例について図８および図９を用いて説明する。

図８は、転写不可エリアの一例を示す図である。

図９は、転写可能エリアの一例を示す図である。

例えば、転写不可エリアは、図８に示されるように、ペースト２５に欠けまたは気泡などが発生しているエリアである。欠けまたは気泡などは、転写エリア２６の撮像により得られる画像に基づいて、その発生を認識することができ、この場合、認識処理部３００は、転写設定位置において部品の電極にペーストを転写できないと判定することができる。なお、図９の上側に示されるように、例えばＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）部品の電極に転写した後に成膜ステージ２４の転写エリア２６にできるＱＦＰ部品の電極に対応した窪みに囲まれたエリアを転写可能エリアとしてもよい。例えば、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）部品の電極にペーストを転写する場合に、図９の下側に示されるように、このような転写可能エリアにおいてＢＧＡ部品の電極にペーストを転写できる場合があるためである。

なお、部品装着装置１において装着の対象の部品であって、電極にペーストが転写される部品には、リード部品や表面実装部品など様々な種類がある。リード部品には、さらに、アキシャル部品、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）部品、ＳＩＰ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｉｎｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）部品、ＰＧＡ（Ｐｉｎ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）部品などがある。また、表面実装部品には、上述したＱＦＰ部品やＢＧＡ部品の他に、ＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）部品、ＳＳＯＰ（Ｓｈｒｉｎｋ Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）部品、ＳＯＪ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｊ－ｌｅａｄｅｄ）部品、チップ部品、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｎｏ－Ｌｅａｄｓ）部品、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）部品などがある。部品のサイズは、このような部品の種類によって異なるが、部品情報記憶部６０１には、部品のサイズの情報が記憶されており、認識処理部３００は、部品のサイズの情報を部品情報記憶部６０１から取得し、ペーストが転写される部品のサイズにも基づいて、転写設定位置において部品の電極にペーストを転写できるか否かを判定する。

ここで、部品のサイズ（第１サイズ）について図１０を用いて説明する。なお、図１０には、ピン５１のサイズ（第２サイズ）についても示している。

図１０は、部品の第１サイズおよびピン５１の第２サイズを説明するための図である。

部品の第１サイズは、部品がリード部品の場合には、図１０の（ａ）に示されるように、部品の本体（パッケージ）の外周を超えて部品の電極を全て囲む領域であってもよい。また、図示していないが、部品の第１サイズは、部品が表面実装部品の場合には、部品の本体（パッケージ）の外周よりも小さい領域であって、部品の電極を全て囲む領域であってもよい。

ピン５１の第２サイズは、ピン５１の軸方向に垂直なピン５１の断面のサイズであってもよいし、図１０の（ｂ）に示されるように、上記断面を囲む、一辺がピンの直径の正方形であってもよい。

図７での説明に戻り、転写設定位置において、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写できると判定された場合（ステップＳ１０４でＹｅｓ）、制御部１００は、転写設定位置において、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ１０５）。

次に、部品認識カメラ１２Ａは、搭載ヘッド１０Ａのノズル５２に吸着され、電極にペーストが転写された部品を撮像し、認識処理部３００は、部品の撮像により得られる画像に基づいて、部品が正しくノズル５２に吸着されているか、部品が落下していないか、電極にペーストが正しく転写されているかなどを判定する部品認識処理を行う（ステップＳ１０６）。例えば、部品が正しくノズル５２に吸着されていない、電極にペーストが正しく転写されていないなど、部品認識処理でエラーがあった場合には、その旨を示すエラー報知が行われてもよい。

そして、制御部１００は、基板３に部品を装着させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ１０７）。

一方、認識処理部３００は、転写設定位置において、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写できないと判定した場合（ステップＳ１０４でＮｏ）、転写設定位置を除いた転写エリア２６に、部品の電極にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する（ステップＳ１０８）。すなわち、認識処理部３００は、転写エリア２６の転写設定位置以外のエリアで部品の電極へのペーストの転写が可能か否かを判定する。例えば、認識処理部３００は、転写エリア２６の撮像により得られる画像と、部品の第１サイズとに基づいて、部品の電極にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する。具体的には、認識処理部３００は、部品の第１サイズよりも大きい、部品の電極にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する。部品の電極にペーストを転写できるエリアは、例えば、図８に示されるような転写不可エリアではなく、図９に示されるような転写可能エリアである。

部品の電極にペーストを転写できるエリアがあると判定された場合（ステップＳ１０８でＹｅｓ）、制御部１００は、当該エリアにおいて、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ１０５）。

部品の電極にペーストを転写できるエリアがないと判定された場合（ステップＳ１０８でＮｏ）、検出処理部１５は、成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能か否かを判定する（ステップＳ１０９）。例えば、ペースト２５の残量が所定量よりも減っている場合には、ペースト２５の成膜が可能でないと判定される。なお、所定量は適宜設定される。

なお、成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能か否かの判定方法は、ペースト２５の残量に基づく方法に限らない。例えば、前回、成膜ステージ２４にペーストが供給されてから成膜動作が行われた回数が所定数以下であるか否かに基づいて、成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能か否かが判定されてもよい。この場合、部品装着装置１は、光センサ１４を備えていなくてもよい。

成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能であると判定された場合（ステップＳ１０９でＹｅｓ）、制御部１００は、成膜動作をするように成膜スキージユニット２８および掻寄せユニット２９を制御する（ステップＳ１１０）。これにより、図５の（ｂ）に示されるように、成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が行われる。

成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能でないと判定された場合（ステップＳ１０９でＮｏ）、表示部５００は、成膜ステージ２４においてペースト２５の成膜が可能でないことを示すエラーを報知（表示）する（ステップＳ１１１）。なお、エラーの報知は、表示部５００に限らず、報知部の一例としてブザーまたはスピーカなどから音声により行われてもよいし、報知部の一例としてランプなどから点灯または点滅により行われてもよい。

なお、搭載ヘッド１０Ｂが有するノズル５２に吸着された部品の電極にペーストが転写されてもよく、第一例での説明において搭載ヘッド１０Ａとしているところを搭載ヘッド１０Ｂ、認識カメラ１１Ａとしているところを認識カメラ１１Ｂ、部品認識カメラ１２Ａとしているところを部品認識カメラ１２Ｂとしてもよい。この場合、搭載ヘッド１０Ｂが装着部の一例となる。

なお、上記の第一例では、ノズル５２に吸着された部品の電極にペーストを転写し、電極にペーストが転写された部品を基板３に装着する例を説明したが、これに限らない。例えば、図１１に示されるように、ピン５１の先端部にペーストを転写し、先端部にペーストが転写されたピン５１によって、基板３における部品が装着される箇所にペーストを転写し、基板３に転写されたペーストの上にノズル５２に吸着された部品を装着してもよい。

図１１は、ピン５１およびノズル５２を有する搭載ヘッド１０Ａによって部品を基板３に装着する手順を説明するための図である。

制御部１００は、先端部にペーストが転写されたピン５１および部品を吸着したノズル５２を有する搭載ヘッド１０Ａを基板３の上方に移動させ、ピン５１の先端部を基板３上の部品装着位置Ｒの直上に位置させる（図１１の（ａ））。そして、制御部１００は、ピン５１を搭載ヘッド１０Ａに対して下方に突没させることにより、基板３上の部品装着位置Ｒに、ピン５１の先端部に付着させたペーストＢｄを転写させる。このペーストＢｄの転写は、具体的には、ピン５１を搭載ヘッド１０Ａに対して下降させ（図１１の（ｂ）に示す矢印Ｃ１）、ピン５１の先端部に付着しているペーストＢｄが基板３に接触したところでピン５１を上昇させる（図１１の（ｃ）中に示す矢印Ｃ２）ことによって行われる。

制御部１００は、基板３上の部品装着位置Ｒに、ピン５１によってペーストＢｄを付着させたら、搭載ヘッド１０Ａを水平方向にスライド移動させ（図１１の（ｄ）中に示す矢印Ｄ１）、ノズル５２の下端を部品装着位置Ｒの直上に位置させる（図１１の（ｄ））。そして、制御部１００は、ノズル５２を搭載ヘッド１０Ａに対して下方に突没させることにより、基板３上のペーストＢｄが転写された部品装着位置Ｒに、ノズル５２に吸着させた部品Ｃｐを装着させる。この部品Ｃｐの基板３への装着は、具体的には、ノズル５２を搭載ヘッド１０Ａに対して下降させ（図１１の（ｅ）中に示す矢印Ｅ１）、ノズル５２の下端に吸着させている部品Ｃｐが基板３に接触したところでノズル５２による部品Ｃｐの吸着を解除し、その後ノズル５２を上昇させることによって行われる（図１１の（ｆ）中に示す矢印Ｅ２）。なお、部品Ｃｐを基板３上の部品装着位置Ｒに装着するときは、予め求めている基板３の位置ずれと部品Ｃｐの吸着ずれが修正されるように、基板３に対するノズル５２の位置補正（回転補正を含む）が行われてもよい。

次に、図１２を用いて部品装着装置１の動作の第二例を具体的に説明する。

図１２は、実施の形態に係る部品装着装置１の動作の第二例を示すフローチャートである。

ステップＳ２０１からステップＳ２０３までの処理は、図７を用いて説明した第一例におけるステップＳ１０１からステップＳ１０３までの処理と同じであるため説明は省略する。

認識処理部３００は、転写エリア２６の撮像により得られる画像に基づいて、転写設定位置において、ピン５１の先端部にペーストを転写できるか否かを判定する（ステップＳ２０４）。例えば、認識処理部３００は、ピン５１のサイズの情報を記憶部６００などから取得し、ペーストが転写されるピン５１のサイズにも基づいて、転写設定位置においてピン５１の先端部にペーストを転写できるか否かを判定する。

転写設定位置において、ピン５１の先端部にペーストを転写できると判定された場合（ステップＳ２０４でＹｅｓ）、制御部１００は、転写設定位置において、ピン５１の先端部にペーストを転写させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ２０５）。

次に、部品認識カメラ１２Ａは、搭載ヘッド１０Ａのノズル５２に吸着された部品およびピン５１を撮像し、認識処理部３００は、部品およびピン５１の撮像により得られる画像に基づいて、部品が正しくノズル５２に吸着されているか、転写動作によって部品が落下していないか、ピン５１の先端部にペーストが正しく転写されているかなどを判定する部品およびピン５１の認識処理を行う（ステップＳ２０６）。例えば、部品が正しくノズル５２に吸着されていないなど部品認識処理でエラーがあった場合には、その旨を示すエラー報知が行われてもよい。また、例えば、ピン５１の先端部にペーストが正しく転写されていないなどピン認識処理でエラーがあった場合には、その旨を示すエラー報知が行われてもよい。

次に、制御部１００は、図１１の（ａ）から（ｃ）に示されるように、ピン５１の先端部に転写（供給）されたペーストが基板３に転写されるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ２０７）。

次に、認識カメラ１１Ａは、基板３に転写されたペーストを撮像する（ステップＳ２０８）。

次に、認識処理部３００は、基板３に転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、基板３に転写されたペーストに異常があるか否かを判定する（ステップＳ２０９）。例えば、認識処理部３００は、基板３に転写されたペーストの撮像により得られる画像における基板３に転写されたペーストのサイズまたは位置に基づいて、異常があるか否かを判定してもよい。

例えば、認識処理部３００は、白黒カメラなどによる撮像により得られる画像においてペーストのエッジを判定することができ、すなわちペーストのサイズ（面積）を判定することができる。或いは、認識処理部３００は、ステレオ方式、ＴｏＦ（Ｔｉｍｅ ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ）方式または構造化照明を用いた方式などの任意の方式によって立体情報を取得することで、ペーストのサイズ（体積）を判定することができる。例えば、認識処理部３００は、ペーストの外径が第１所定値以上第２所定値以下の場合に、異常がないと判定することができる。すなわち、ペーストの外径が目標とする外径に対して小さすぎず、かつ、大きすぎない場合に、異常がないと判定することができる。また、例えば、認識処理部３００は、ペーストの体積が第３所定値以上第４所定値以下の場合に、異常がないと判定することができる。すなわち、ペーストの体積が目標とする体積に対して小さすぎず、かつ、大きすぎない場合に、異常がないと判定することができる。

さらに、例えば、認識処理部３００は、基板３に転写されるペーストの転写設定位置（例えば部品の電極が実装されるランドの中心座標など）と基板３に転写されたペーストの位置（例えばペーストの中心座標など）との間の距離が第５所定値以下の場合に、異常がないと判定してもよい。すなわち、ペーストの位置がランドなどから所定値以上離れすぎていない場合に、異常がないと判定することができる。第１所定値、第２所定値、第３所定値、第４所定値および第５所定値は特に限定されず、例えば、ピン５１のサイズまたは部品のサイズなどに応じて適宜設定される。

ここで、基板３に転写されたペーストの正常および異常について図１３および図１４を用いて説明する。

図１３は、基板３に転写されたペーストの正常および異常を説明するための図である。

図１４は、基板３に転写された正常なペーストの上に装着される部品を示す図である。

図１３の（ａ）には、基板３に転写された正常なペーストが示され、図１３の（ｂ）および（ｃ）には、基板３に転写された異常なペーストが示される。例えば、図１３の（ａ）に示されるように、部品の電極が実装されるランドなどからペーストがはみ出ておらず、サイズも小さすぎない場合には、基板３に転写されたペーストに異常がないと判定される。例えば、図１３の（ｂ）に示されるように、部品の電極が実装されるランドに対してペーストのサイズが小さすぎる場合には、基板３に転写されたペーストに異常があると判定される。例えば、図１３の（ｃ）に示されるように、部品の電極が実装されるランドの中心に対してペーストの中心が離れすぎている場合には、基板３に転写されたペーストに異常があると判定される。図１４に示されるように、基板３に転写されたペーストに異常がない場合には、正常なペーストの上に部品が装着されるため、部品の装着品質の低下を抑制できる。

図１２での説明に戻り、基板３に転写されたペーストに異常がないと判定された場合（ステップＳ２０９でＮｏ）、制御部１００は、基板３に転写されたペーストの上に部品を装着するように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ２１０）。

基板３に転写されたペーストに異常があると判定された場合（ステップＳ２０９でＹｅｓ）、表示部５００は、基板３に転写されたペーストに異常があることを示すエラーを報知（表示）する（ステップＳ２１１）。なお、エラーの報知は、表示部５００に限らず、報知部の一例としてブザーまたはスピーカなどから音声により行われてもよいし、報知部の一例としてランプなどから点灯または点滅により行われてもよい。

一方、認識処理部３００は、転写設定位置において、ピン５１の先端部にペーストを転写できないと判定した場合（ステップＳ２０４でＮｏ）、転写設定位置を除いた転写エリア２６に、ピン５１の先端部にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する（ステップＳ２１２）。すなわち、認識処理部３００は、転写エリア２６の転写設定位置以外のエリアでピン５１の先端部へのペーストの転写が可能か否かを判定する。例えば、認識処理部３００は、転写エリア２６の撮像により得られる画像と、ピン５１の第２サイズとに基づいて、ピン５１の先端部にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する。具体的には、認識処理部３００は、ピン５１の第２サイズよりも大きい、ピン５１の先端部にペーストを転写できるエリアがあるか否かを判定する。

ピン５１の先端部にペーストを転写できるエリアがあると判定された場合（ステップＳ２１２でＹｅｓ）、制御部１００は、当該エリアにおいて、ピン５１の先端部にペーストを転写させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ２０５）。

ステップＳ２１２からステップＳ２１４までの処理は、図７を用いて説明した第一例におけるステップＳ１０８からステップＳ１１０までの処理と同じであるため説明は省略する。

なお、上記の第二例では、ピン５１から基板３へのペーストの転写およびノズル５２から基板３への部品の装着が、ピン５１およびノズル５２の両方を有する１つの搭載ヘッド１０Ａによって行われる例を説明したが、これに限らない。例えば、ピン５１から基板３へのペーストの転写と、ノズル５２から基板３への部品の装着とが、それぞれ異なる搭載ヘッドによって行われてもよい。これについて、図１５を用いて説明する。例えば、図１５で説明する第三例では、搭載ヘッド１０Ａのピン５１および搭載ヘッド１０Ｂのノズル５２が用いられる。また、この場合、搭載ヘッド１０Ａは、ノズル５２を有していなくてもよい。

図１５は、実施の形態に係る部品装着装置１の動作の第三例を示すフローチャートである。

まず、制御部１００は、部品装着装置１において装着の対象となる部品を吸着するようにリア側の搭載ヘッド１０Ｂを制御する（ステップＳ３０１）。

次に、リア側の部品認識カメラ１２Ｂは、搭載ヘッド１０Ｂのノズル５２に吸着された部品を撮像し、認識処理部３００は、部品の撮像により得られる画像に基づいて、部品認識処理を行う（ステップＳ３０２）。

次に、フロント側の認識カメラ１１Ａは、ペースト２５が膜状に形成されている転写エリア２６を撮像する（ステップＳ３０３）。

次に、認識処理部３００は、転写エリア２６の撮像により得られる画像に基づいて、転写設定位置において、搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１の先端部にペーストを転写できるか否かを判定する（ステップＳ３０４）。

転写設定位置において、搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１の先端部にペーストを転写できると判定された場合（ステップＳ３０４でＹｅｓ）、制御部１００は、転写設定位置において、フロント側の搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１の先端部にペーストを転写させるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ３０５）。

次に、フロント側の部品認識カメラ１２Ａは、搭載ヘッド１０Ａが有するピン５１を撮像し、認識処理部３００は、ピン５１の撮像により得られる画像に基づいて、ピン５１の先端部にペーストが正しく転写されているかなどを判定するピン５１の認識処理を行う（ステップＳ３０６）。

次に、制御部１００は、ピン５１の先端部に転写（供給）されたペーストが基板３に転写されるように搭載ヘッド１０Ａを制御する（ステップＳ３０７）。

次に、リア側の認識カメラ１１Ｂは、基板３に転写されたペーストを撮像する（ステップＳ３０８）。部品を吸着しているノズル５２を有する搭載ヘッド１０Ｂに認識カメラ１１Ｂが設けられており、搭載ヘッド１０Ｂが基板３上に移動して部品を基板３に装着する際に認識カメラ１１Ｂによる撮像が行われる。

次に、認識処理部３００は、基板３に転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、基板３に転写されたペーストに異常があるか否かを判定する（ステップＳ３０９）。

基板３に転写されたペーストに異常がないと判定された場合（ステップＳ３０９でＮｏ）、制御部１００は、基板３に転写されたペーストの上に部品を装着するように搭載ヘッド１０Ｂを制御する（ステップＳ３１０）。

ステップＳ３１１での処理は、図１２を用いて説明した第二例におけるステップＳ２１１での処理と同じであり、ステップＳ３１２からステップＳ３１４までの処理は、図１２を用いて説明した第二例におけるステップＳ２１２からステップＳ２１４までの処理と同じであるため、それぞれ説明は省略する。

第一例および第二例では、搭載ヘッド１０Ａを装着部の一例として説明したが、第三例では、搭載ヘッド１０Ａおよび１０Ｂをまとめて装着部とする。具体的には、第三例では、装着部は、ピン５１が設けられた第１装着部（搭載ヘッド１０Ａ）と、第１装着部と別体に設けられ、ノズル５２が設けられた第２装着部（搭載ヘッド１０Ｂ）とを有する。そして、制御部１００は、ピン５１の先端部に供給されたペーストが基板３に転写されるように第１装着部（搭載ヘッド１０Ａ）を制御し、基板３に転写されたペーストに異常がないと判定された場合に、基板３に転写されたペーストの上に部品を装着するように第２装着部（搭載ヘッド１０Ｂ）を制御する。

なお、搭載ヘッド１０Ａは、図２に示されるように、ピン５１およびノズル５２をそれぞれ複数有していてもよく、搭載ヘッド１０Ｂは、ノズル５２を複数有していてもよい。この場合、複数のピンの各々によって基板３上の複数箇所にペーストが転写されてもよい。そして、認識処理部３００は、基板３に転写された複数箇所のペーストの撮像により得られる画像に基づいて、複数のピン５１の各々によって基板３に転写されたペーストに異常があるか否かを判定し、制御部１００は、複数のピン５１の各々によって基板３に転写されたペーストのうち、異常があると判定されたペーストを除いたペーストの各々の上に部品を装着するように搭載ヘッド１０Ａまたは１０Ｂを制御してもよい。

以上説明したように、基板３に転写されたペーストが撮像されるため、基板３に転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、基板３に転写されたペーストに異常があるか否かを判定することができる。基板３に転写されたペーストに異常がない場合に、正常なペーストの上に部品が装着されるため、部品の装着品質の低下を抑制できる。

（その他の実施の形態）
以上、本開示の部品装着装置１について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、および、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれる。

例えば、本開示は、部品装着装置１を構成する各構成要素が行うステップ（処理）を含む部品装着方法として実現できる。

部品装着方法は、ワークに部品を装着する方法であって、ワークにペーストを転写するピンの先端部に供給されたペーストをワークに転写し（図１２のステップＳ２０７または図１５のステップＳ３０７）、ワークに転写されたペーストを撮像し（図１２のステップＳ２０８または図１５のステップＳ３０８）、ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定し（図１２のステップＳ２０９または図１５のステップＳ３０９）、異常がないと判定された場合に、ワークに転写されたペーストの上に部品を装着する（図１２のステップＳ２１０または図１５のステップＳ３１０）処理を含む。

例えば、部品装着方法におけるステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本開示は、部品装着方法に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本開示は、そのプログラムを記録したＣＤ－ＲＯＭなどである非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。

例えば、本開示が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリおよび入出力回路などのハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリまたは入出力回路などから取得して演算したり、演算結果をメモリまたは入出力回路などに出力したりすることによって、各ステップが実行される。

また、上記実施の形態の部品装着装置１に含まれる各構成要素は、専用または汎用の回路として実現されてもよい。

また、上記実施の形態の部品装着装置１に含まれる各構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。

また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路または汎用プロセッサで実現されてもよい。プログラム可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、または、ＬＳＩ内部の回路セルの接続および設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。

さらに、半導体技術の進歩または派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、作業者支援システムに含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。

その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素および機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

本開示は、部品装着装置を用いて基板などに部品を装着する分野において有用である。

１ 部品装着装置
１ａ 基台
２ 基板搬送機構
３ 基板
４Ａ、４Ｂ 部品供給部
６Ａ、６Ｂ テープフィーダ
７ ペースト転写ユニット
８ Ｙ軸テーブル
９Ａ、９Ｂ Ｘ軸テーブル
１０Ａ、１０Ｂ 搭載ヘッド
１１Ａ、１１Ｂ 認識カメラ
１２Ａ、１２Ｂ 部品認識カメラ
１３Ａ、１３Ｂ ノズルストッカ
１４ 光センサ
１４ａ 検査光軸
１５ 検出処理部
１６ フィーダベース
２０ ベース部
２０ａ 係合部
２１ ハンドル
２２ ガイドレール
２３ スライダ
２４ 成膜ステージ
２４ａ 膜形成面
２５ ペースト
２６ 転写エリア
２７ ブラケット
２８ 成膜スキージユニット
２８ａ スキージ
２９ 掻寄せユニット
２９ａ スクレーパ
３０ ペースト供給シリンジ
３０ａ ニードル
３１、４０ モータ
３２ 送りねじ
３３ 安全カバー
３４ ナット
３５ 連結部材
３６ 昇降部材
３７ スライドユニット
３８ カムフォロア
３９ 円板カム
４１ ユニット側接続部
４１ａ、４２ａ エアカプラ
４１ｂ、４２ｂ 電気コネクタ
４２ ベース側接続部
４３ 制御・電源部
４４ 圧空供給源
４５ 制御・駆動ユニット
５１ ピン
５２ ノズル
５３ ツール取り付け部
１００ 制御部
１０１ 搭載制御部
１０２ 転写制御部
２００ 機構駆動部
３００ 認識処理部
４００ 操作・入力部
５００ 表示部
６００ 記憶部
６０１ 部品情報記憶部
６０２ 転写情報記憶部

Claims (9)

1. ワークに部品を装着する部品装着装置であって、
   前記ワークにペーストを転写するピンと、前記部品を吸着する吸着ノズルとを有する装着部と、
   前記ピンの先端部にペーストを供給するためのペースト供給部と、
   前記先端部に供給されたペーストが前記ワークに転写されるように前記装着部を制御する制御部と、
   前記ワークに転写されたペーストを撮像する撮像部と、
   前記ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定する判定部と、を備え、
   前記制御部は、前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着するように前記装着部を制御する、
   部品装着装置。
2. 前記判定部は、前記画像における前記ワークに転写されたペーストのサイズまたは位置に基づいて、前記異常があるか否かを判定する、
   請求項１に記載の部品装着装置。
3. 前記判定部は、前記ペーストの外径が第１所定値以上第２所定値以下の場合に、前記異常がないと判定する、
   請求項２に記載の部品装着装置。
4. 前記判定部は、前記ペーストの体積が第３所定値以上第４所定値以下の場合に、前記異常がないと判定する、
   請求項２に記載の部品装着装置。
5. 前記判定部は、前記ワークに転写されるペーストの転写設定位置と前記ワークに転写されたペーストの位置との間の距離が第５所定値以下の場合に、前記異常がないと判定する、
   請求項２に記載の部品装着装置。
6. 前記異常があると判定された場合にエラーを報知する報知部をさらに備える、
   請求項１から５のいずれか１項に記載の部品装着装置。
7. 前記装着部は、前記ピンおよび前記吸着ノズルをそれぞれ複数有し、
   前記判定部は、前記画像に基づいて、前記複数のピンの各々によって前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定し、
   前記制御部は、前記複数のピンの各々によって前記ワークに転写されたペーストのうち、前記異常があると判定されたペーストを除いたペーストの各々の上に前記部品を装着するように前記装着部を制御する、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の部品装着装置。
8. 前記装着部は、前記ピンが設けられた第１装着部と、前記第１装着部と別体に設けられ、前記吸着ノズルが設けられた第２装着部と、を有し、
   前記制御部は、
   前記先端部に供給されたペーストが前記ワークに転写されるように前記第１装着部を制御し、
   前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着するように前記第２装着部を制御する、
   請求項１から７のいずれか１項に記載の部品装着装置。
9. ワークに部品を装着する部品装着方法であって、
   前記ワークにペーストを転写するピンの先端部に供給されたペーストを前記ワークに転写し、
   前記ワークに転写されたペーストを撮像し、
   前記ワークに転写されたペーストの撮像により得られる画像に基づいて、前記ワークに転写されたペーストに異常があるか否かを判定し、
   前記異常がないと判定された場合に、前記ワークに転写されたペーストの上に前記部品を装着する、
   部品装着方法。

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