JP2022540565A - コンデンサ構造 - Google Patents
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Abstract
Description
によって与えられる。
特許文献1は、導電性ビアで互いに結合された導電層によって形成された、交互配置された垂直方向板電極によって画定された垂直方向平行板コンデンサを開示している。
アンテナ整合のために無線装置において使用されるコンデンサが、そのような応用の典型例である。
層の厚さの同じ変化Δtによる、LPP部分の静電容量の変化は、以下の関数で表され得る:
LPPおよびVPP部分が並列に接続されるとき、距離LDの変化Δtのおおよその効果は、および、したがって、総静電容量における幅VWの変化も、したがって、以下の関数で表され得る:
この簡略化された式は、フリンジング静電容量の変化を考慮していない。上記静電容量部分を直列に結合する場合には、総静電容量における距離LDおよび幅VWの変化Δtの組み合わせられた効果は、以下の関数で表され得る:
特許文献5は、交互に、および繰り返し積み重ねられた負および正の電極指状部を有するコンデンサ構造を開示している。
Claims (11)
- 交互に配置された複数の誘電体および金属化層を備える層状構造として実現されたコンデンサ構造であって、
前記コンデンサ構造は:
前記交互に配置された複数の層の誘電体材料によって分離された2つの異なる層上の略平行な2つの金属化パターンによって形成された2つの第1の電極を備える少なくとも1つの横方向平行板コンデンサ部分(LPP部分)、および、
前記複数の金属化層上に配置された、重ね合わせられた複数のスラブまたは棒部を各々が備える2つの第2の電極を備える少なくとも1つの垂直方向平行板コンデンサ部分(VPP部分)
を備え、
前記少なくとも1つのLPP部分は、前記コンデンサ構造を形成するために、前記少なくとも1つのVPP部分と電気的に結合され、および、
前記2つの第1の電極を分離する前記交互に配置された複数の層の少なくとも1つの層上の誘電体材料の厚さのバラツキであって垂直次元における前記2つの第1の電極間の距離の公称値との差を生じさせる厚さのバラツキによる、前記少なくとも1つのLPP部分の静電容量値のバラツキが、垂直次元における前記2つの第2の電極の幅の公称値との差を生じさせる厚さの同じバラツキのために、前記交互に配置された複数の層の同じ少なくとも1つの同じ厚さのバラツキによる前記少なくとも1つのVPP部分の静電容量値の正反対のバラツキによって少なくとも部分的に補償される、
コンデンサ構造。 - 前記少なくとも1つのLPP部分および前記少なくとも1つのVPP部分は、並列にまたは直列に互いに電気的に結合される、
請求項1記載のコンデンサ構造。 - 少なくとも2つのLPP部分および少なくとも2つのVPP部分を備え、
少なくとも1つのLPP部分および少なくとも1つのVPP部分が、互いに並列に電気的に結合され、少なくとも1つの他のLPP部分および少なくとも1つの他のVPP部分が、互いに直列に電気的に結合される、
請求項1または2記載のコンデンサ構造。 - 前記第2の電極は両方とも、重ね合わせられた複数のスラブまたは棒部によって各々が形成された複数の電極指状部を備え、前記2つの第2の電極の前記複数の電極指状部は、交互配置された電極指状部を有する櫛状構造を形成し、前記櫛状構造においては、隣接する電極指状部は、交番極性を有し、および/または
前記重ね合わせられた複数のスラブまたは棒部は、前記重ね合わせられた複数のスラブまたは棒部を備える2つの隣接する金属化層を分離する誘電体材料層各々を横切る1つまたは複数の導電性ビアで、互いに電気的に接続される、
請求項1~3のいずれか1項に記載のコンデンサ構造。 - 前記2つの第1の電極は、前記第2の電極の最上部および底部のスラブまたは棒部を備える前記コンデンサ構造の金属化層上に存在し、前記最上部および底部のスラブまたは棒部は、垂直次元における前記第2の電極の幅を画定する、
請求項1~4のいずれか1項に記載のコンデンサ構造。 - 前記2つの第1の電極の一方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の上限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記金属化層の上方に垂直次元において位置する前記コンデンサ構造の層上に存在し、および、前記2つの第1の電極の他方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の下限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記コンデンサ構造の層上に存在し、または、
前記2つの第1の電極の一方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の下限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記金属化層の下方に垂直次元において位置する前記コンデンサ構造の層上に存在し、および、前記2つの第1の電極の他方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の上限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記コンデンサ構造の層上に存在する、
請求項1~5のいずれか1項に記載のコンデンサ構造。 - 前記2つの第1の電極の一方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の上限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記コンデンサ構造の前記金属化層の上方に位置する前記コンデンサ構造の層上に存在し、および、前記2つの第1の電極の他方は、垂直次元における前記第2の電極の幅の下限を定める前記第2の電極のスラブまたは棒部を備える前記コンデンサ構造の前記金属化層の下方に位置する前記コンデンサ構造の層上に存在する、
請求項1~5のいずれか1項に記載のコンデンサ構造。 - 前記2つの第1の電極の隣接する面の間の垂直距離は、垂直次元における前記2つの第2の電極の幅を画定する層の厚さによって画定される、
請求項7記載のコンデンサ構造。 - 半導体素子構造、任意に前記半導体素子構造の最上部上の1つまたは複数の中間層、および、
前記半導体素子構造の最上部上または前記中間層の最上部上のいずれかに配置される、請求項1~8のいずれか1項に記載のコンデンサ構造、
を備える電子素子。 - 交互に配置された複数の誘電体および金属化層を備える層状構造としてのコンデンサ構造を製造する方法であって、
前記方法は、製造プロセス中に:
前記交互に配置された複数の層の誘電体材料によって分離される2つの第1の電極を備える少なくとも1つの横方向平行板コンデンサ部分(LPP部分)を、前記コンデンサ構造の2つの異なる層上の略平行な2つの金属化パターンを形成することによって生成するステップと、
2つの第2の電極を備える少なくとも1つの垂直方向平行板コンデンサ部分(VPP部分)を、前記複数の金属化層上の重ね合わせられた複数のスラブまたは棒部を作製することによって生成するステップと、
前記コンデンサ構造を形成するために前記少なくとも1つのLPP部分を前記少なくとも1つのVPP部分と電気的に結合するステップと、
を備え、
前記2つの第1の電極を分離する前記交互に配置された複数の層の少なくとも1つの層上の誘電体材料の厚さのバラツキであって垂直次元における前記2つの第1の電極間の距離の公称値との差を生じさせる厚さのバラツキによる、前記少なくとも1つのLPP部分の静電容量値のバラツキは、垂直次元における前記2つの第2の電極の幅の公称値との差を生じさせる厚さの同じバラツキのために、前記交互に配置された複数の層の同じ少なくとも1つの同じ厚さのバラツキによる少なくとも1つのVPP部分の静電容量値の正反対のバラツキによって少なくとも部分的に補償される、
方法。 - 電子素子を製造する方法であって、前記方法が:
半導体素子構造を製造するステップ;および
任意に前記半導体素子構造の最上部上に1つまたは複数の中間層を製造するステップ;
を備え、
前記方法が:
請求項10に記載の方法を用いて、請求項1~8のいずれか1項に記載のコンデンサ構造を、前記半導体素子構造の最上部上に、または前記1つまたは複数の中間層の最上部上に製造するステップ
をさらに備える、
方法。
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