JP2022530497A - 高輝度レーザ生成プラズマ光源 - Google Patents
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Abstract
Description
リソグラフィ装置内のマスク・ペリクルとして使用することが知られている。この文献は,EUVリソグラフィ源のためのデブリ・トラップ・システムとしてCNT膜を使用することも提案する。
Claims (33)
- 回転ターゲット・アセンブリ(2)を備え,相互作用ゾーン(4)中のターゲット(3)であって上記回転ターゲット・アセンブリに設けられた環状溝(6)の表面上の環状溶融金属層であるターゲット上に集束されるパルス・レーザ・ビーム(8)を供給する真空チャンバ(1)と,上記相互作用ゾーンを出る短波長放射の出力ビーム(9)と,デブリ軽減手段を備え,
上記デブリ軽減手段が,上記相互作用ゾーン(4)を取り囲むように堅固に取り付けられたデブリ・シールド(24)を含み,上記デブリ・シールドが上記レーザ・ビーム(8)の入口を形成する第1の開口部(25)および上記出力ビーム(9)の出口を形成する第2の開口部(26)を備え,上記デブリ・シールド(24)が静止していることを特徴とする,
レーザ生成プラズマ光源。 - 上記溶融金属層が上記環状溝の表面上に遠心力によって形成され,上記表面が上記回転ターゲット・アセンブリの回転軸に面している,請求項1に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記回転ターゲット・アセンブリの一部が環状バリア(19)の形態の周辺部分を有するディスク(17)の形態に作られており,上記環状溝が,上記回転ターゲット・アセンブリの回転軸に面する上記環状バリアの表面上に設けられており,上記ターゲットが上記環状溝(6)内に配置される,請求項1または2に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記回転ターゲット・アセンブリが,動作中に,遠心力によって上記ターゲットの表面が上記回転ターゲット・アセンブリの回転軸に実質的に平行になるように構成されている,請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記環状溝が,半径方向および上記回転軸に沿う両方向へのターゲット材料の放出を防ぐ表面プロファイルを有している,請求項1から4のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記環状溝の表面が,少なくとも上記相互作用ゾーンの近傍において,上記回転ターゲット・アセンブリの回転軸に対して傾斜しており,好ましくは円錐面である,請求項1から5のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ターゲットの線速度が十分に高く,20m/sを超えており,上記相互作用ゾーンからのデブリ粒子の微小飛沫部分の主要出力の方向に影響が与えられる,請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記デブリ・シールド(24)が上記相互作用ゾーン(4)の近くの上記ターゲット(3)の角度セクタの反対側に配置されている,請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記デブリ・シールド(24)が円形である,請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- スリット・ギャップ(27,28)が上記回転ターゲット・アセンブリから上記シールドを分離する,請求項1から9のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記デブリ・シールドの上記第1および第2の開口部の少なくとも一つが円錐形である,請求項1から10のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記出力ビームの軸が上記回転ターゲット・アセンブリの回転面に対して45°を超える角度で方向づけられている,請求項1から11のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記集束レーザ・ビーム(8)および上記出力ビーム(9)の少なくとも一部がケーシング(11,12)によって囲まれており,それぞれが保護ガス流が供給されるように構成されている,請求項1から12のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記出力ビームが0.4nmから120nmの範囲の波長を持つ光を含む,請求項1から13のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記溶融金属がSn,Li,Ga,Pb,Bi,Zn,および/またはこれらの合金を含む,請求項1から14のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ターゲット材料の溶融を開始するように構成される誘導加熱システム(16)をさらに備えている,請求項1から15のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- ノズル(30)をさらに備え,上記ノズルが上記相互作用ゾーンにガス流を供給するように構成されている,請求項1から16のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ノズルが上記第1の開口部に位置決めされており,上記レーザ・ビームが上記ノズル(30)を通じて上記相互作用ゾーンに向けられる,請求項17に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ガスが希ガスを含む,請求項17または18に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記相互作用ゾーンへの上記ガス流の流速が60m/s~300m/sであり,上記相互作用ゾーンのガス圧が5mbar~200mbarである,請求項17から19のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ノズルが上記相互作用ゾーンから2mmを超えない距離に位置している,請求項17から20のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記相互作用ゾーン(4)に向かう上記ガス流(31)が,上記ターゲットの線速度のベクトル(33)に対して45度を超えない角度で向けられている,請求項17から21のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記相互作用ゾーンから上記デブリ・シールドの上記第1および第2の開口部(25,26)の少なくとも一つに向かう方向が上記相互作用ゾーンからのデブリ粒子の飛沫部分(31)および/またはイオン/蒸発部分(32)の主要出力の方向から大幅に異なるように,上記デブリ・シールドにおいて上記第1および第2の開口部が配置されている,請求項1から22のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記相互作用ゾーン(4)および上記回転軸(20)を通る平面(34)に関して,上記デブリ・シールドの第1および第2の開口部(25,26)の少なくとも一つが上記平面の片側に配置され,上記相互作用ゾーン内の上記ターゲットの線速度のベクトル(33)が上記平面の上記片側から離れる向きとなるように,上記デブリ・シールドにおいて上記第1および第2の開口部が配置されている,請求項1から23のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記デブリ・シールドの上記第1および第2の開口部の少なくとも一つの軸が,上記相互作用ゾーンのターゲット面に対して45°未満の角度で方向づけられている,請求項1から24のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 20nmよりも短い波長範囲において50%を超える透過度の高い透過率を有し,上記相互作用ゾーンの視線内に設置され,上記出力ビーム(9)の開口を完全に覆うカーボンナノチューブ,CNTによって作られた交換可能な膜(21)をさらに備えている,請求項1から25のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記ターゲット材料がスズまたはその合金であり,上記回転ターゲット・アセンブリが80m/sを超える十分な大きさの上記ターゲットの線速度を提供するように構成され,上記CNT膜を通過可能な300nm以上のサイズのターゲット材料の微小飛沫のCNT膜の方向への出力を抑制する,請求項26に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記CNT膜が上記相互作用ゾーンの視線の外側の側でコーティングされている,請求項26または27に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記CNT膜が高真空および中真空を有する上記真空チャンバの区画の間のウィンドウとして機能する,請求項26から28のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記パルス・レーザ・ビームが,プレパルス・レーザ・ビームおよびメインパルス・レーザ・ビームの2つの部分から構成され,これらのパラメータが上記デブリ粒子の高速イオン部分を抑制するように選択される,請求項1から29のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記メインパルス・レーザ・ビーム・エネルギーに対する上記プレパルス・レーザ・ビーム・エネルギーの比が20%未満である,および/または上記プレパルスと上記メインパルスの間の時間遅延が10ns未満である,請求項30に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記パルス・レーザ・ビームのレーザ・パルス繰り返し速度が,短波長放射およびレーザ生成プラズマのフラックスの両方によって前回のレーザ・パルスによって発生したデブリ粒子の微小飛沫部分の蒸発をもたらすために十分に高くなるように構成されている,請求項1から31のいずれか一項に記載のレーザ生成プラズマ光源。
- 上記パルス・レーザ・ビームの上記レーザ・パルス繰り返し速度が1MHzのオーダーであり,最大0.1μmのサイズの微小飛沫の蒸発を提供するものである,請求項32に記載のレーザ生成プラズマ光源。
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