JP2023540119A - マルチセクションの集光モジュールを備えた短波長放射線源 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- プラズマ(2)が短波長放射線を放出する真空チャンバ(1)内に配置される光学集光器(3)を備え,前記光学集光器(3)への前記短波長放射線の経路上にデブリ軽減手段(4)をさらに備え,
前記デブリ軽減手段(4)が,前記光学集光器(3)に至る前記短波長放射線のデブリフリーの共心ビーム(7)を出力するように配置された少なくとも2つのケーシング(6)を含み,
各ケーシング(6)の外側に,前記ケーシング(6)の内側に磁場を形成する永久磁石(9)があり,前記永久磁石(9)によって形成される磁場が前記共心ビーム(7)からデブリ粒子の荷電部分を除去して前記デブリフリーの共心ビームを提供する,
集光モジュールを備えたプラズマ短波長放射線源。 - 各ケーシングの外面が,前記プラズマ(2)からの短波長放射線伝播方向に対して実質的に平行に延在する2つの第一面(10)を含み,任意には前記2つの第一面は垂直に対して平行である,請求項1に記載の放射線源。
- 各ケーシング(6)が,前記プラズマ(2)からの前記短波長放射線伝播方向に実質的に平行に延在し,かつ前記ケーシングの前記2つの第一面(10)に対して実質的に垂直に延在する2つの第二面(12)を含む,請求項2に記載の放射線源。
- 各ケーシング(6)の第一面(10)の面積が前記ケーシング(6)の残りの面の面積よりも大きく,前記永久磁石(9)が各ケーシング(6)の前記第一面(10)と実質的に接触している,請求項2に記載の放射線源。
- 各ケーシング(6)の前記第一面(10)の面積が前記ケーシング(6)の残りの面の面積未満であり,前記永久磁石(9)が前記ケーシング(6)の前記第一面(10)以外の面に配置されている,請求項2に記載の放射線源。
- 各ケーシング(6)の前記2つの第一面(10)の間の角度が30度未満である,請求項2に記載の放射線源。
- 2つの隣り合うケーシング(6)の隣り合う面の間の角度が3~10度である,請求項2に記載の放射線源。
- 互いに最も離れたケーシング(6)の互いに最も離れた部分に配置された前記永久磁石(9)が磁心(11)によって接続されている,請求項1に記載の放射線源。
- 前記光学集光器(3)は,前記デブリフリーの共心ビーム(7)のそれぞれの経路に据え付けられた複数のミラー(8)を含む,請求項1に記載の放射線源。
- すべてのミラー(8)の反射面が回転楕円面(15)を形成し,その一つの集中点が前記プラズマ(2)であり,もう一つの集中点(16)が光学集光器のすべてのミラーの焦点である,請求項9に記載の放射線源。
- 前記デブリ軽減手段(4)が,各ケーシング(6)と前記光学集光器(3)の間に据え付けられたカーボンナノチューブ(CNT)を主成分とする膜(13)を含む,請求項1に記載の放射線源。
- 前記デブリ軽減手段(4)が各ケーシング(6)内において前記プラズマに向かう保護ガス流を含み,各CNT膜(13)が,前記短波長放射線の前記デブリフリーの共心ビーム(7)の出口用のケーシング窓としての役割と,それを通る前記保護ガスの出口を防ぐガスシャッターとしての役割を同時に果たす,請求項11に記載の放射線源。
- 前記永久磁石(9)が前記ケーシングの全長に沿って配置されている,請求項1に記載の放射線源。
- 前記デブリ軽減手段(4)が,前記ケーシング(6)のそれぞれに設置され,前記プラズマ(2)に対して径方向,かつ磁力線に対して実質的に垂直に向けられたフォイルプレート(22)を含む,請求項1に記載の放射線源。
- 前記プラズマが,レーザー生成プラズマ,zピンチプラズマ,プラズマフォーカス,放電生成プラズマ,レーザー誘導放電プラズマからなる群から選択可能なものである,請求項1に記載の放射線源。
- 前記プラズマが,回転ターゲットアセンブリ(20)によってレーザービーム(21)の焦点領域に供給される液体金属ターゲット(17)のレーザー生成プラズマである,請求項1に記載の放射線源。
- 前記ターゲット(17)が,前記回転ターゲットアセンブリ(20)に設けられる環状溝(19)の回転軸(18)に対応する面上に遠心力によって形成される溶融金属層である,請求項16に記載の放射線源。
- プラズマ形成位置においてプラズマによって放出される放射線を光学集光器によって収集するステップと,前記プラズマによって放出される放射線の少なくとも一部を焦点に案内するステップとを含み,
前記プラズマによって放出される放射線が,デブリ軽減手段に配備され,短波長放射線のデブリフリーの共心ビームを形成するように配置された,少なくとも2つのケーシングを通って外に出て光学集光器に案内される,
放射線の収集方法。 - 各ケーシングの外側で,前記ケーシングの内側に磁場を形成する永久磁石がデブリ粒子の荷電部分を軽減するために使用され,任意には保護ガス流,フォイルトラップ,CNT膜デブリ軽減要素を含む,請求項18に記載の方法。
- 前記光学集光器が,前記デブリフリーの共心ビームのそれぞれの経路に据え付けられた複数のミラーを含み,すべてのミラーの反射面が楕円面または変形楕円面上にあり,その一つの集中点が前記プラズマである,請求項18に記載の方法。
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