JP2022513289A - ワイヤーソーによって半導体ウェーハを生成するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
JP 11 165 251 Aは、ワイヤーソーによってワークピース(インゴット)からウェーハを生成するための方法であって、ワークピースの軸方向に沿って、ワイヤーソーのワイヤー領域のワイヤーのたわみの大きさおよび方向を検出するステップと、検出の結果に応じて、ワイヤーのたわみを補正するためにワークピースの補償運動を誘発するステップとを含む、方法を開示する。
この発明の目的は、ワイヤーソーによってワークピースを処理することにより、ワークピースから半導体ウェーハを生成するための方法であって、
ワイヤー案内ローラー間に張り渡されて走行方向に動くワイヤーの配列を通して、ワークピースを供給するステップと、
ワイヤーがワークピースに係合すると、切り溝を生成するステップと、
切り溝の配置エラーを判断するステップと、
ワイヤーの配列を通るワークピースの供給中に、ワークピースの長手方向軸に沿って、判断された配置エラーに応じたワークピースの補償運動を誘発するステップとを含む、方法によって達成される。
1 ソーイングワイヤー
2 溝
3 左ワイヤー案内ローラー
4 右ワイヤー案内ローラー
5 軸
6 軸
7 回転
8 回転方向
9 ワイヤー長手方向運動
10 ワイヤー長手方向運動
11 ワイヤーウェブ
12 供給装置
13 切り溝
14 軸
15 ワークピース
16 ソーイングストリップ
17 接着剤
18 矢印方向
19 ノズル列
20 ノズル列
21 ノズル
22 噴流
23 噴流
24 目標軌跡
Claims (5)
- ワイヤーソーによってワークピースを処理することにより、前記ワークピースから半導体ウェーハを生成するための方法であって、
ワイヤー案内ローラー間に張り渡されて走行方向に動くワイヤーの配列を通して、前記ワークピースを供給するステップと、
前記ワイヤーが前記ワークピースに係合すると、切り溝を生成するステップと、
前記切り溝の配置エラーを判断するステップと、
ワイヤーの前記配列を通る前記ワークピースの供給中に、前記ワークピースの長手方向軸に沿って、判断された前記配置エラーに応じた前記ワークピースの補償運動を誘発するステップとを含む、方法。 - ワイヤーの前記配列を通る前記ワークピースの前記供給中に、前記切り溝の前記配置エラーを判断するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記切り溝に光学的放射、IR放射、X線放射もしくはγ線放射を照射することによって、前記切り溝の機械的感知によって、または、前記切り溝の誘導測定もしくは容量測定によって、前記切り溝の位置を測定し、測定された前記位置を前記切り溝の設定点位置と比較することにより、前記切り溝の前記配置エラーを判断するステップを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 複数のワークピースの処理の過程で、ワイヤーソーに特有の補正プロファイルの変化を追跡するステップと、
前記変化が確立されたしきい値を上回った場合に、予知保全処置を開始するステップとを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記ワイヤーソーに特有の補正プロファイルを編集するために、前記ワイヤーソーによって前もって生成された半導体ウェーハの局部形状を測定することにより、前記切り溝の前記配置エラーを判断するステップを含む、請求項4に記載の方法。
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