JP2023537561A - 一連の切断動作中にワイヤソーによってワークピースから複数のスライスを切断するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
複数のスライスを切断するためのこのような方法は、ラップスライシングまたは研削スライシングによって達成することができる。
各々の当該切断動作中に、当該ワークピースに研磨作用する作動流体および硬質材料の存在下で、当該駆動装置によって、ワークピース軸に対して垂直であるとともに当該ワイヤアレイの当該平面に対して垂直である送り方向に沿って当該ワイヤアレイを通してそれぞれの当該ワークピースを送り込むステップを含み、当該送り込むステップは、
各々の当該切断動作中に、第1の温度プロファイルの仕様に従って第1の冷却流体で当該ワイヤガイドローラのチャンバの温度を調整することによって、2つのワイヤガイドローラのシェルの長さを変更しながら同時に当該ワイヤアレイを通して当該ワークピースを送り込むステップを含み、当該第1の温度プロファイルは、切断深さに依存して当該第1の冷却流体の温度を特定し、当該切断深さに依存して当該シェルの長さの変化を特定する第1の補正プロファイルと相関し、当該送り込むステップはさらに、
各々の当該切断動作中に、当該ワークピースの移動を特定する第2の補正プロファイルの仕様に従って、駆動要素によって当該ワークピースを当該ワークピース軸に沿って移動させると同時に、ワイヤアレイを通してワークピースを送り込むステップを含み、当該第1の補正プロファイルおよび当該第2の補正プロファイルは、形状偏差からずれており、本方法はさらに、
各々の当該切断動作の前に当該形状偏差を判定するステップを含む。
図1は、本発明に従った方法を実施するのに適したワイヤソーの特徴を示す。このワイヤソーは、2つのワイヤガイドローラ1の間の平面において張力がかけられたソーワイヤ3の可動ワイヤ区域で構成されたワイヤアレイ2を備える。切断動作中、ワークピース4は、駆動装置12によって、ワークピース軸に対して垂直であるとともにワイヤアレイ2の平面に対して垂直である送り方向に沿ってワイヤアレイ2を通して送り込まれる。上記動作の過程で、ワイヤアレイ2に張力をかけるワイヤガイドローラ1の長さ(したがってそのシェル8の長さ)は、第1の補正プロファイルに従って方向矢印10に対応する方向に変更され、ワークピース4は第2の補正プロファイルに従って方向矢印11に対応するワークピース軸の方向に移動される。加えて、それぞれのワイヤガイドローラの浮動軸受6(したがって、それぞれのワイヤガイドローラ自体)は、第3の補正プロファイルに従って方向矢印10に対応する方向に同時に移動させることができ、および/または、ワークピース4の温度は、冷却媒体でワークピース4を湿らせることによって閉制御ループにより制御することができる。ここで、ワークピース4の温度が制御変数を形成し、冷却媒体の温度が制御ループの操作変数を形成する。第1の補正プロファイルおよび第2の補正プロファイル、ならびに適用可能な場合、第3の補正プロファイルは、各々の切断動作の前に判定された形状偏差からずれている。第1の補正プロファイル、第2の補正プロファイル、および適用可能である場合、第3の補正プロファイルはデータ処理ユニット14に記憶される。WGHCおよびIPCを実行するための第1の制御ユニット13および第2の制御ユニット15、ならびに適用可能である場合には、WGTCを実行するための第3の制御ユニット16は、チャンバの温度を調整するための熱交換器と、ワークピース4を移動させるための駆動要素と、適用可能である場合には、ワイヤガイドローラの固定軸受の温度を調整するための熱交換器とを制御する。インゴット冷却(IC)の使用が想定される場合、ワイヤソーは、ワークピース4の温度を調整するための装置22をさらに備える。この装置22により、各々の切断動作中、冷却媒体でワークピース4を濡らせることによって閉制御ループによってワークピース4の温度が制御されている間に、ワークピース4がワイヤアレイ2を通して送り込まれる。この場合、ワークピース4の温度は制御変数を形成し、冷却媒体の温度は制御ループの操作変数を形成する。
1 ワイヤガイドローラ
2 ワイヤアレイ
3 ソーワイヤ
4 ワークピース
5 固定軸受
6 浮動軸受
7 機枠
8 シェル
9 WGTC用の固定軸受の内部温度調整のための空間
9A WGTC用の固定軸受の外部温度調整のための空間
10 方向矢印
11 方向矢印
12 駆動装置
13 WGHCのための制御ユニット
14 データ処理ユニット
15 IPCのための制御ユニット
16 WGTCのための制御ユニット
17 コア
18 チャンバ
19 上方センサ
20 下方センサ
21 スライス
22 ワークピースの温度を調整するための装置
23 回転軸
24 ボルト
25 流れ方向
26 方向矢印
Claims (8)
- 初回切断と後続切断とに分けられる一連の切断動作中に、ワイヤソーによってワークピースから複数のスライスを切断するための方法であって、前記ワイヤソーは、ソーワイヤの可動ワイヤ区域のワイヤアレイと、駆動装置とを備え、前記ワイヤアレイは、2つのワイヤガイドローラの間の平面において張力がかけられ、前記2つのワイヤガイドローラの各々は固定軸受と浮動軸受との間で支持され、少なくとも1つのチャンバとシェルとを備え、前記シェルは前記ワイヤガイドローラのコアを取り囲んでおり、前記シェルには前記ワイヤ区域のためのガイド溝が構築されており、前記方法は、
各々の前記切断動作中に、前記ワークピースに研磨作用する作動流体および硬質材料の存在下で、前記駆動装置によって、ワークピース軸に対して垂直であるとともに前記ワイヤアレイの平面に対して垂直である送り方向に沿って前記ワイヤアレイを通してそれぞれの前記ワークピースを送り込むステップを含み、前記送り込むステップは、
各々の前記切断動作中に、第1の温度プロファイルの仕様に従って第1の冷却流体で前記ワイヤガイドローラのチャンバの温度を調整することによって、前記2つのワイヤガイドローラの前記シェルの長さを変更しながら同時に、前記ワイヤアレイを通して前記ワークピースを送り込むステップを含み、前記第1の温度プロファイルは、切断深さに依存して前記第1の冷却流体の温度を特定し、前記切断深さに依存して前記シェルの長さの変化を特定する第1の補正プロファイルと相関し、前記送り込むステップはさらに、
各々の前記切断動作中に、前記ワークピースの移動を特定する第2の補正プロファイルの仕様に従って、駆動要素によって前記ワークピースを前記ワークピース軸に沿って移動させると同時に、前記ワイヤアレイを通して前記ワークピースを送り込むステップを含み、前記第1の補正プロファイルおよび前記第2の補正プロファイルは、形状偏差と異なっており、前記方法はさらに、
各々の前記切断動作の前に前記形状偏差を判定するステップを含む、方法。 - 前記形状偏差は、各々の前記切断動作の前に、既に切断されたスライスの平均形状プロファイルを基準形状プロファイルと比較することによって判定される、請求項1に記載の方法。
- 前記平均形状プロファイルは、選択されたスライスの形状プロファイルを平均化することによって判定され、選択は、スライスベースであるか、切断ベースであるか、またはスライスベースおよび切断ベースである、請求項2に記載の方法。
- 前記既に切断されたスライスは、それぞれの前記切断動作の直前の少なくとも1~5の切断動作から生じる、請求項2または3に記載の方法。
- 各々の前記切断動作の間に、第3の温度プロファイルの仕様に従って第2の冷却流体で前記ワイヤガイドローラの前記固定軸受の温度を調整することによって、前記2つのワイヤガイドローラの前記浮動軸受の同時軸方向移動を伴って、前記ワイヤアレイを通して前記ワークピースを送り込むステップを含み、前記第3の温度プロファイルは、前記第2の冷却流体の温度を前記切断深さに依存して特定し、前記第3の補正プロファイルと相関し、前記第3の補正プロファイルは、前記浮動軸受の移動を前記切断深さに依存して特定し、前記第3の補正プロファイルは、前記形状偏差と異なる、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 各々の前記切断動作中、前記ワークピースの前記温度は、冷却媒体で前記ワークピースを湿らせることにより閉制御ループによって制御され、前記ワークピースの前記温度が制御変数を形成し、前記冷却媒体の温度が前記制御ループの操作変数を形成する、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 一定の温度が前記制御ループの基準変数として特定される、請求項6に記載の方法。
- それぞれの前記切断動作の前に判定された前記形状偏差が定義された閾値に達するかまたは前記定義された閾値を超える場合、それぞれの前記切断動作の代わりにメンテナンス手段が開始される、請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
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