JP2022180054A - 磁気記録再生装置、及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】筐体内に不可逆性吸着部材を組み入れ磁気記録再生装置内の汚染ガスを吸着する。【解決手段】磁気記録再生装置１０用の筐体１０１は、金属製のケース１２と、ケースを封止するための金属製のトップカバー１４を有する。ケースには、磁気記録媒体及び磁気ヘッド等の部品が収容されている。筐体の内部から外気へ通じる呼吸孔として、トップカバーに、呼吸フィルター用の第１開孔１１０及び不活性ガス等を注入可能な第２開孔１１１を設ける。第１開孔は、トップカバーの内表面１０１ａに設けられた第１の開口と、トップカバーの外表面１０１ｂに設けられた第２の開口とを結んでいる。第１の開口の近傍には、装置内の湿度調整を行うために使用される呼吸フィルター１００が配置される。呼吸フィルター１００には、トップカバーの外側から第１開孔を通してピン型不可逆性吸着部材２－１が取り付けられている。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、磁気記録再生装置、及びその製造方法に関する。

従来、密封型ハードディスク装置（ＨＤＤ）における汚染ガスを吸着する吸着剤には、多くの有機物を吸着させるための活性炭や、湿度を調整するためのシリカゲル等の多孔質体を使用している。これらの多孔質体はいずれも可逆性である。例えば、活性炭においては、ガスの濃度や温度によって吸着脱離現象が起こり、シリカゲルにおいても、湿度や温度により吸着する水分量が変化する。可逆性の多孔質体は再生可能であり、多量の有機ガスや水分を除去する場合には有効である。

しかし、ＨＤＤ内には、わずか１％以下でも存在すると不良を起こす可能性のある汚染ガスがある。例えば、酸素は、ヘッドの磁性部分を酸化して特性劣化を起こし、シロキサンは、ヘッドと媒体の隙間に微粒子を発生してクラッシュの原因となることがある。ところが、従来の密封型ＨＤＤに使用されている活性炭等の吸着剤では酸素やシロキサンを吸着させる能力は低く、これらを除去するためには特殊な吸着剤を追加することが必要となる。さらに、これらの吸着剤は可逆性であるため、一度吸着しても後に脱離する可能性がある。そのため、酸素やシロキサンなどの除去には、吸着したガスを脱離しない、不可逆性の吸着剤を使用することが望まれる。このような不可逆性吸着部材は、空気に触れると数時間でその吸着性能が劣化するため、封止する直前にＨＤＤ内に組み込む必要がある。

米国特許出願公開第２０２０／００６６３０８号明細書 米国特許第８７６０７９７号明細書 米国特許第１０４２４３３６号明細書

本発明の実施形態は、筐体内に不可逆性吸着部材を組み入れることにより、磁気記録再生装置内の汚染ガスを吸着することを目的とする。

実施形態によれば、磁気記録再生装置用の密封された筐体内に不可逆性吸着部材を備えた磁気記録再生装置が提供される。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の一例を表す概略的な断面図である。 図１の部分的な拡大図である。 ピン型不可逆性吸着部材の構成を表す概略図である。 第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の一例を表すフロー図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図である。 第１の実施形態に係る磁気記録再生装置の分解斜視図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図である。 図７の部分的な拡大図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図である。 図１０の部分的な拡大図である。 シート型不可逆性吸着部材の一例を模式的に表す断面図である。 シート型不可逆性吸着部材の他の例を模式的に表す断面図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図である。 図１５の部分的な拡大図である。 密閉されたピン型不可逆性吸着部材の構成を表す断面図である。 第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の一例を表すフロー図である。 第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図である。 密閉された不可逆性吸着部材の他の例が適用された磁気記録再生装置の部分的な図である。 密閉されたシート型不可逆性吸着部材の構成を表す断面図である。 密閉された不可逆性吸着部材のさらに他の例が適用された磁気記録再生装置の部分的な図である。

本発明の実施形態は、以下の第１ないし第３の実施形態を含む。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置は、磁気記録再生装置用の密閉された筐体内に不可逆性吸着部材を備えている。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置によれば、密閉された筐体内に不可逆性吸着部材を組み入れることにより、磁気記録再生装置内の酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法は、第１実施形態に係る磁気記録再生装置を得るための方法の一例であって、筐体内に、磁気記録再生装置の部品を取り付け、磁気記録再生装置について試験を行い、試験済みの磁気記録再生装置の筐体内に不可逆性吸着部材を取り付け、続いて筐体を封止することを含む。
第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法によれば、筐体内に不可逆性吸着部材を取り付け、続いて筐体を封止することにより、製造時に不可逆性吸着部材が空気にさらされる時間をなるべく少なくして可逆性吸着部材の吸着性能の低下を抑制し、筐体内の酸素やシロキサン等の汚染ガスを、不可逆性吸着部材に十分吸着することが可能となる。

第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法は、第１実施形態に係る磁気記録再生装置を得るための方法の一例であって、筐体内に、磁気記録再生装置の部品と、密閉された不活性な不可逆性吸着部材を取り付け、磁気記録再生装置に関する試験を行い、試験済みの磁気記録再生装置の筐体内の密閉された不可逆性吸着部材を開放して活性化し、続いて筐体を封止することを含む。
第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法によれば、試験前の筐体内に不活性な不可逆性吸着部材を取り付け、試験後に活性化させて、続いて筐体を封止することにより、製造時に不可逆性吸着部材が空気にさらされる時間をなるべく少なくして、可逆性吸着部材の吸着性能の低下を抑制し、筐体内の酸素やシロキサン等の汚染ガスを、不可逆性吸着部材に十分吸着することが可能となる。

実施形態に使用される不可逆性吸着部材は、不可逆性吸着剤を加工したもので、磁気記録再生装置内に装着しやすい形状が使用される。
不可逆性吸着部材の形状として、ピン型、シート型および袋型などがあげられる。
以下、図面を参照し、種々の形状の不可逆性吸着部材を適用した例を示し、実施形態を具体的に説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

実施例１
図１に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の一例を表す概略的な断面図を示す。
図２は、図１の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０は、不可逆性吸着部材としてピン型不可逆性吸着部材２－１を使用し、呼吸フィルター１００に取り付けた例を示す。

図示するように、磁気記録再生装置１０用の筐体１０１は、例えば金属製のケース１２と、ケース１２を封止するための例えば金属製のトップカバー１４を有する。ケース１２には、図示しない磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の部品が収容されている。筐体１０１の内部から外気へ通じる呼吸孔として、例えばトップカバー１４に、呼吸フィルター用の第１開孔１１０、及び不活性ガス等を注入可能な第２開孔１１１を設けることができる。第１開孔１１０は、トップカバー１４の内表面１０１ａに設けられた第１の開口１１０ａと、トップカバー１４の外表面１０１ｂに設けられた第２の開口１１０ｂとを結んでいる。第１の開口１１０ａの近傍には、装置内の湿度調整を行うために使用される呼吸フィルター１００が配置される。呼吸フィルター１００には、トップカバー１４の外側から第１開孔１１０を通してピン型不可逆性吸着部材２－１が取り付けられている。また、第２開孔１１１の内表面１０１ａ側の開口には、塵埃等の侵入を防止するために通気性メンブレンフィルター１３１が設けられている。

図２に示すように、呼吸フィルター１００には、底部１０５ｂと側壁部１０５ａと底部１０５ｂに対向する開口部に設けられた通気性部材１０５ｃとを有する例えば樹脂製のケース１０５が設けられる。ケース１０５内には、例えば活性炭及びシリカゲルを含む第１吸着層１０７を収容することができる。通気性部材１０５ｃとしては、例えば通気性メンブレンフィルターを設けることができる。底部１０５ｂは第１の開口１１０ａ側に面して配置可能であり、第１の開口１１０ａと連通可能な開孔１０８を有する。開孔１０８の少なくとも一部は通気性を有する。ここでは例えば開孔１０８の端部に通気性部材１０８ａ例えば通気性メンブレンフィルターが設けられている。
ピン型不可逆性吸着部材２－１は、トップカバー１４の開孔１１０及び呼吸フィルター１００の開孔１０８内に挿入され、ピン型不可逆性吸着部材２－１の頭頂部２－１ａは、トップカバー１４の第２の開口１１０ｂ周囲の領域１０１ｃに支持されている。このため、頭頂部２－１ａの直径は、第２の開口１１０ｂの孔径よりも大きくなっている。

図３は、ピン型不可逆性吸着部材の構成を表す概略図を示す。
図３に示すように、ピン型不可逆性吸着部材２－１は、ピン型のケース１４０と、ケース１４０内に設けられた、例えば酸素、シロキサン、及び水蒸気等の汚染ガスを不可逆的に吸着し得る不可逆性吸着剤１４７とを有する。ピン型のケース１４０は、中央部に開口を有する円板状の頭頂部２－１ａと、両端に開口を有し、一方の開口が頭頂部２－１ａの中央部の開口と連通するように設けられた円筒形の収容部２－１ｂとを含む。また、頭頂部２－１ａ側に設けられた一方の開口には例えば通気性メンブレンフィルター等の通気性部材１４２、一方の開口と対向する他方の開口には例えば通気性メンブレンフィルター等の通気性部材１４３が各々設けられている。不可逆性吸着剤１４７は例えば粒状であり、収容部２－１ｂ内に収容されている。

磁気記録再生装置１０内では、呼吸フィルター１００の通気性部材１０５ｃと開孔１０８端部１０８ａを介して筐体１０１の内部とピン型不可逆性吸着部材２－１との間の流路が確保されており、筐体１０１内の汚染ガスを十分に吸着することができる。
また、図１に示すように、トップカバー１４上は、ケース１２に溶着された外カバー１２０で覆われている。外カバー１２０は、例えばアルミニウムなどの金属シートからなり、トップカバー１４の第１開孔１１０及び第２開孔１１１に対向する位置に、各々、筐体１０１の内部から外気へ通じる呼吸孔として、第３開孔１１２及び第４開孔１１３を有する。ピン型不可逆性吸着部材２－１を第３開孔１１２を通してトップカバー１４上に設置するために、第３開孔１１２の孔径は、頭頂部２－１ａの大きさよりも大きくなっている。第３開孔１１２及び第４開孔１１３上は、各々シール１２３、１２４により塞がれている。シール１２３、１２４としてはアルミニウム等の金属シートを用いた封止材を用いることができる。

実施形態に使用可能な不可逆性吸着剤は、例えば、酸素やシロキサン等の汚染ガスを不可逆的に吸着する材料である。不可逆性吸着剤として、粒状、シート状、あるいは繊維状等の種々の形状に加工したものを使用することが可能である。このような不可逆性吸着剤の例として、例えば、エージレス（三菱ガス化学社製）等の脱酸素剤、及びモレキュラーシーブ等の吸湿剤をあげることができる。
不可逆性吸着剤１４７は空気に触れるとすぐに酸素の吸着を開始し、数時間で飽和してしまうため、ピン型不可逆性吸着部材２－１は、ＨＤＤに設置するまでは低湿度無酸素雰囲気中に保管され、ＨＤＤを封止する直前に取り出して使用することができる。

頭頂部２－１ａは、例えば５～１５ｍｍの直径を有し、収容部２－１ｂは、例えば１～１２ｍｍの直径と、５～１５ｍｍの深さを有することができる。
第１開孔１１０及び第２の開口１１０ｂは、頭頂部２－１ａの直径より小さく、収容部２－１ｂの直径以上の大きさを有し、例えば４～１３ｍｍの孔径を有することができる。
呼吸フィルター１００の開孔１０８は、頭頂部２－１ａの直径より小さく、収容部２－１ｂの直径以上の大きさを有し、例えば４～１３ｍｍの孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの深さを有することができる。
外カバー１２０の第３開孔１１２は、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの孔径を有することができる。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０では、筐体に設けられた第１開孔１１０、第３開孔１１２を介して、筐体１０１の外側から呼吸フィルター１００に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０を取り付けた後に、ピン型不可逆性吸着部材２－１の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０の筐体１０１が封止される直前まで、ピン型不可逆性吸着部材２－１を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際は、呼吸フィルター１００は加熱や真空乾燥などで再生できるため、そのまま使用できるが、不可逆性吸着部材２－１は再生不可のため、交換が必要となる。これに対し、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０では、トップカバー及び外カバーを取り外すことなくシール１２３をはがして不可逆性吸着部材２－１を新品に取り換えることができる。

図４に、第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の一例を表すフロー図を示す。
磁気記録再生装置１０は、以下のように製造することができる。
図１に示すように、まず、ケース１２に磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の磁気記録再生装置のための部品、トップカバー１４、及び外カバー１２０を取り付けることにより、磁気記録再生装置の部分を組み立てる（ＳＴ１）。
次に、磁気記録再生装置の動作確認、及び性能検査などの各種試験を行う（ＳＴ２）。

その後、筐体１０１内の空気を排気した後、第４開孔１１３を介して第２開孔１１１から例えばヘリウムなどの不活性ガスを導入して内圧を調整すると共に、外カバー１２０の第３開孔１１２から、トップカバー１４の第１開孔１１０及び呼吸フィルター１００の開孔１０８に、ピン型不可逆性吸着部材２－１の円筒形の収容部２－１ｂを挿入することにより、筐体１０１にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付ける（ＳＴ３）。
続いて、外カバー１２０の第３開孔１１２及び第４開孔１１３を、例えばアルミニウムなどからなる金属製シール１２３、１２４で閉塞することにより、筐体１０１内を封止し（ＳＴ４）、磁気記録再生装置１０を得る。

このように、第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法では、磁気記録再生装置１０に、筐体の外から呼吸孔としての開孔を介して筐体内の呼吸フィルターに取り付け可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を用いることにより、磁気記録再生装置の各種試験が完了した後に、筐体にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付けることができる。
このため、筐体が封止される直前まで、ピン型不可逆性吸着部材を空気から遮断して保持して、ピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となる。これにより、第２実施形態係る磁気記録再生装置の製造方法では、使用するピン型不可逆性吸着部材の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

図５に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０’は、不可逆性吸着部材としてピン型不可逆性吸着部材を使用し、呼吸フィルターに取り付けた他の例を示す。
図示するように、この磁気記録再生装置１０’には、段差を持つ第３開孔１１２－１を有する外カバー１２０－１が設けられる。第３開孔１１２－１は、例えば２段階の孔径を有し、トップカバー１４側の第１開口１１２－１ａの孔径よりも外気側の第２開口１１２－１ｂの孔径の方が大きくなっており、第１開口１１２－１ａの周囲の領域１２０－１ａが第１開口１１２－１ａの中心に向かって延出した形状となり、段差を持つ孔となる。また、磁気記録再生装置１０’では、ピン型不可逆性吸着部材２-１は、外カバー１２０－１の第３開孔１１２－１、トップカバー１４の第１開孔１１０、及び呼吸フィルター１００の開孔１０８内に挿入され、ピン型不可逆性吸着部材２－１の頭頂部２－１ａが、外カバー１２０－１の第３開孔１１２－１の第１開口１１２－１ａ周囲の領域１２０－１ａに支持されるように、取り付けられている。例えば外カバー１２０－１の第３開孔１１２－１の第１開口１１２－１ａは頭頂部２－１ａの直径よりも小さく、例えば３～１４ｍｍの孔径を有することができる。また、第２開口１１２－１ｂは、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば５～１６ｍｍの孔径を有することができる。

このように、磁気記録再生装置１０’は、外カバー１２０－１の第３開孔１１２－１が段差のある形状を有し、及びピン型不可逆性吸着部材２-１の頭頂部２－１ａを支持する領域が外カバー１２０－１にある。磁気記録再生装置１０’の他の構成は、磁気記録再生装置１０の構成と同様である。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０’では、筐体に設けられた第１開孔１１０、第３開孔１１２を介して、呼吸フィルター１００に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０を取り付けた後、ピン型不可逆性吸着部材２－１の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０’の筐体１０１を封止する直前まで、ピン型不可逆性吸着部材２－１を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このようにして、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０’内では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。

また、磁気記録再生装置１０’は、段差のない第３開孔１１２を持つ外カバー１２０の代わりに、２段階の孔径を有する第３開孔１１２－１を有する外カバー１２０－１を使用すること、ピン型不可逆性吸着部材２-１は、その頭頂部２－１ａが、トップカバー１４の第２の開口１１０ｂ周囲の領域１０１ｃに支持される代わりに、第３開孔１１２－１の第１開口１１２－１ａの周囲の領域１２０－１ａに支持されるように取り付けること以外は、磁気記録再生装置１０と同様にして製造することが可能である。
実施例１の磁気記録再生装置をハードディスクドライブ（ＨＤＤ）に適用した例について詳細に説明する。

図６は、トップカバーを外して示す第１の実施形態に係る磁気記録再生装置の分解斜視図である。
磁気記録再生装置１０としてのＨＤＤは、偏平なほぼ矩形状の筐体１０１を備えている。この筐体１０１は、上面の開口した矩形箱状のケース１２と、トップカバー１４と、を有している。ケース１２は、トップカバー１４と隙間を置いて対向する矩形状の底壁１２ａと、底壁の周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有し、例えば、アルミニウムにより一体に成形されている。トップカバー１４は、例えば、ステンレスにより矩形板状に形成されている。トップカバー１４は、複数のねじ１３によりケース１２の側壁１２ｂ上にねじ止めされ、ケース１２の上部開口を閉塞する。

筐体１０１内には、ディスク状の磁気記録媒体として複数枚の磁気ディスク１８、および磁気ディスク１８を支持および回転させるスピンドルモータ１９が設けられている。スピンドルモータ１９は、底壁１２ａ上に配設されている。各磁気ディスク１８は、例えば、直径８８．９ｍｍ（３．５インチ）に形成され、その上面または下面に磁気記録層を有している。各磁気ディスク１８は、スピンドルモータ１９の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２０によりクランプされ、ハブに固定されている。これにより、各磁気ディスク１８は、ケース１２の底壁１２ａと平行に位置した状態に支持されている。各磁気ディスク１８は、スピンドルモータ１９により所定の回転数で回転される。

なお、ここでは、例えば７枚の磁気ディスク１８が筐体１０１内に配置されているが、磁気ディスク１８の枚数はこれに限られない。
筐体１０１内には、磁気ディスク１８に対して情報の記録、再生を行なう複数の磁気ヘッド１７、および、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１８に対して移動自在に支持したアクチュエータアッセンブリ２２が設けられている。また、筐体１０１内には、アクチュエータアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１８の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１８から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、および変換コネクタ等の電子部品が実装された基板ユニット（ＦＰＣユニット）２１が設けられている。

ケース１２の底壁１２ａの外面には、プリント回路基板２７がねじ止めされている。プリント回路基板２７は、スピンドルモータ１９の動作を制御するとともに、基板ユニット２１を介して、ＶＣＭ２４および磁気ヘッド１７の動作を制御する制御部を構成している。
アクチュエータアッセンブリ２２は、アクチュエータブロック２９と、アクチュエータブロック２９から同一方向に延出する複数本、例えば、８本のアーム３０と、各アーム３０の延出端に取付けられた複数のヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）３２と、を有している。アクチュエータブロック２９は、底壁１２ａに立設された支持シャフト（枢軸）２６に、ユニット軸受を介して、回動自在に支持されている。各ＨＧＡ３２は、アーム３０から延出するサスペンション（ロードビーム）と、ロードビームおよびアーム３０上に配置された図示しないフレクシャ（配線部材）と、フレクシャのジンバル部に搭載された磁気ヘッド１７と、を有している。
アクチュエータアッセンブリ２２は、アクチュエータブロック２９からアーム３０と反対の方向に延出した図示しない支持フレームと、この支持フレームに取付けられたボイスコイルと、を更に備えている。ボイスコイルは、底壁１２ａに設置された一対のヨーク３８間に位置し、これらのヨーク３８、および何れかのヨーク３８に固定された磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。

ＦＰＣユニット２１は、フレキシブルプリント回路基板により形成された本体２１ａを有し、この本体２１ａはケース１２の底壁１２ａに固定されている。本体２１ａ上には変換コネクタ等の電子部品が実装されている。変換コネクタは、底壁１２ａを貫通して、プリント回路基板２７に接続されている。ＦＰＣユニット２１は本体２１ａから延出した中継フレキシブルプリント回路基板（以下、中継ＦＰＣと称する）２１ｂを有している。中継ＦＰＣ２１ｂの延出端部は、アクチュエータブロック２９の側面（設置面）に取付けられている。中継ＦＰＣ２１ｂの延出端部は、前述したフレクシャを介して磁気ヘッド１７に電気的に接続されている。

本実施形態によれば、ＨＤＤは、筐体１０１内に設けられた湿度調整のための呼吸フィルター１００と、呼吸フィルター１００に取り付けられ、酸素やシロキサン等の汚染ガスを吸着するピン型不可逆性吸着部材２－１とをさらに備えている。呼吸フィルター１００は、筐体１０１の内面に固定されている。ピン型不可逆性吸着部材２－１は、筐体１０１の外面から挿入して呼吸フィルター１００に取り付けられている。トップカバー１４上には、筐体１０１を封止する図示しない外カバーをさらに設けることができる。また、トップカバー１４及び外カバーには、呼吸フィルター１００のための呼吸孔として図示しない第１開孔、及び第１開孔とは異なる第２開孔を設けることが可能であり、ピン型不可逆性吸着部材２－１の取り付けに使用し得る。

実施例２
図７に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図を示す。
図８は、図７の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－１は、不可逆性吸着部材としてピン型不可逆性吸着部材２－１を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた例を示す。

図示するように、磁気記録再生装置１０－１用の筐体１０１－１は、例えば金属製のケース１２と、ケース１２を封止するための例えば金属製のトップカバー１４－１を有する。ケース１２には、図示しない磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の部品が収容されている。筐体１０１－１の内部から外気へ通じる呼吸孔として、例えばトップカバー１４－１に、呼吸フィルター用の第１開孔１１０－１、及び不活性ガス等を注入可能な第２開孔１１１－１を設けることができる。第２開孔１１１－１は、トップカバー１４－１の内表面１０１ａに設けられた第１の開口１１１－１ａと、トップカバー１４－１の外表面１０１ｂに設けられた第２の開口１１１－１ｂとを結んでいる。第１開孔１１０－１の筐体１０１－１の内部側には、装置内の湿度調整を行うために使用され、ケース１０５－１内に収容された例えば活性炭及びシリカゲルを含む第１吸着層１０７を有する呼吸フィルター１００－１が設けられている。ケース１０５－１は、底部１０５－１ｂと側壁部１０５－１ａと底部１０５－１ｂに対向する開口部を有する例えば樹脂製の本体と、開口部に設けられた通気性部材としての通気性メンブレンフィルター１０５－１ｃとを有する。また、第２開孔１１１－１には、トップカバー１４－１の外側から第２開孔１１１－１を通してピン型不可逆性吸着部材２－１が取り付けられている。

ピン型不可逆性吸着部材２－１は、図３と同様の構成を有する。ピン型不可逆性吸着部材２－１の頭頂部２－１ａは、第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持されている。このため、頭頂部２－１ａの直径は、第２の開口１１１－１ｂの孔径よりも大きくなっている。また、円筒形の収容部２－１ｂは、第２開孔１１１－１に挿入され、トップカバー１４－１の内表面１０１ａから突出している。開口１１１－１ａの周囲には、突出した円筒形の収容部２－１ｂを取り囲む例えば樹脂製の側壁１３２が設けられ、側壁１３２の筐体１０１－１内部側の端面には、塵埃等の侵入を防止するために例えば通気性メンブレンフィルター１３１－１が設けられている。

磁気記録再生装置１０－１内では、通気性メンブレンフィルター１３１－１を介して筐体１０１の内部とピン型不可逆性吸着部材２－１との間の流路が確保されており、筐体１０１内の汚染ガスを十分に吸着することができる。
また、図７に示すように、トップカバー１４－１上は、ケース１２に溶着された外カバー１２０－２で覆われている。外カバー１２０－２は、例えばアルミニウムなどの金属シートからなり、トップカバー１４－１の第１開孔１１０－１及び第２開孔１１１－１に対向する位置に、各々、第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１を有する。ピン型不可逆性吸着部材２－１を第４開孔１１３－１を通してトップカバー１４上に設置するために、第４開孔１１３－１の孔径は、頭頂部２－１ａの大きさよりも大きくなっている。第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１上は、各々シール１２３、１２４により塞がれている。

第２開孔１１１－１は、頭頂部２－１ａの直径より小さく、収容部２－１ｂの直径以上の大きさを有し、例えば２～１３ｍｍの孔径を有することができる。
外カバー１２０の第４開孔１１３－１は、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの孔径を有することができる。
このように、磁気記録再生装置１０－１では、第２開孔１１１－１にピン型不可逆性吸着部材２－１が取り付けられ、及び第２開孔１１１－１の開口１１１－１ａの周囲にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り囲む例えば樹脂製の側壁１３２、及び側壁１３２の端面に通気性メンブレンフィルター１３１－１がさらに設けられたトップカバー１４－１を使用する。磁気記録再生装置１０－１の他の構成は磁気記録再生装置１０と同様である。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－１では、第４開孔１１３－１を介して筐体１０１－１の外側から第２開孔１１１－１に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を使用することにより、筐体１０１－１のケース１２にトップカバー１４－１、外カバー１２０－２を取り付けた後に、ピン型不可逆性吸着部材２－１の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０－１の筐体１０１－１が封止される直前まで、ピン型不可逆性吸着部材２－１を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－１では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－１を用いると、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－１を新品に取り換えることができる。

また、実施例２の磁気記録再生装置１０－１は、第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例を適用して、実施例１の磁気記録再生装置１０と同様に、製造することが可能である。但し、実施例２では、ケース底部１０５ｂに開孔１０８を有する呼吸フィルター１００の代わりに、ケース１０５－１の底部に開孔を持たない呼吸フィルター１００－１を使用する。また、実施例２では、トップカバー１４の代わりに、第２開孔１１１－１の開口１１１－１ａの周囲にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り囲む例えば樹脂製の側壁１３２、及び側壁１３２の端面に通気性メンブレンフィルター１３１－１がさらに設けられたトップカバー１４－１を使用する。さらに、実施例２では、筐体１０１の外から呼吸フィルター１００にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付ける代わりに、筐体１０１－１の外から第２開孔１１１－１にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付ける。

第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例によれば、磁気記録再生装置１０－１に、筐体の外から呼吸孔としての開孔に取り付け可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を用いることにより、磁気記録再生装置の各種試験が完了した後に、筐体にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付けることができる。このため、筐体が封止される直前まで、ピン型不可逆性吸着部材を空気から遮断して保持して、ピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となる。これにより、第２実施形態係る磁気記録再生装置の製造方法では、使用するピン型不可逆性吸着部材の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。
図９に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－１’は、不可逆性吸着部材としてピン型不可逆性吸着部材を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた他の例を示す。

図示するように、この磁気記録再生装置１０－１’には、段差のない第４開孔１１３－１を有する外カバー１２０－２の代わりに、段差を持つ第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３が設けられる。第４開孔１１３－２は、例えば２段階の孔径を有し、トップカバー１４側の第１開口１１３－２ａの孔径よりも外気側の第２開口１１３－２ｂの孔径の方が大きくなっており、第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａが第１開口１１３－２ａの中心に向かって延出した形状となり、段差を持つ孔となる。また、磁気記録再生装置１０－１’では、ピン型不可逆性吸着部材２-１は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２、及びトップカバー１４－１の開孔１１１－１に挿入され、ピン型不可逆性吸着部材２－１の頭頂部２－１ａが、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａ周囲の領域１２０－３ａに支持されるように、取り付けられている。例えば外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａは頭頂部２－１ａの直径よりも小さく、例えば２～１３ｍｍの孔径を有することができる。また、第２開口１１３－２ｂは、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの孔径を有することができる。
このように、磁気記録再生装置１０－１’は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２が段差のある形状を有し、及びピン型不可逆性吸着部材２－１の頭頂部２－１ａを支持する領域が外カバー１２０－３にある。磁気記録再生装置１０－１’の他の構成は、磁気記録再生装置１０－１と同様である。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－１’では、筐体１０１－１の外側から第４開孔１１３－２を介して、第２開孔１１１－１に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－１を使用することにより、筐体１０１－１のケース１２にトップカバー１４－１、外カバー１２０－３を取り付けた後、ピン型不可逆性吸着部材２－１の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０－１’の筐体１０１－１を封止する直前まで、ピン型不可逆性吸着部材２－１を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－１が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このようにして、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－１’内では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際トップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－１を新品に取り換えることができる。

また、磁気記録再生装置１０－１’は、段差のない第４開孔１１３－１を持つ外カバー１２０－２の代わりに、２段階の孔径を有する第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３を使用すること、ピン型不可逆性吸着部材２－１は、その頭頂部２－１ａが、トップカバー１４の第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持される代わりに、第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａに支持されるように取り付けること以外は、磁気記録再生装置１０－１と同様にして製造することが可能である。
実施例３
図１０に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図を示す。
図１１は、図１０の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－２は、不可逆性吸着部材としてシート型不可逆性吸着部材２－２を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた例を示す。

図示するように、磁気記録再生装置１０－２用の筐体１０１は、例えば金属製のケース１２と、ケース１２を封止するための例えば金属製のトップカバー１４を有する。ケース１２には、図示しない磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の部品が収容されている。筐体１０１の内部から外気へ通じる呼吸孔として、例えばトップカバー１４に、呼吸フィルター用の第１開孔１１０－１、及び不活性ガス等を注入可能な第２開孔１１１－１を設けることができる。第２開孔１１１－１は、トップカバー１４の内表面１０１ａに設けられた第１の開口１１１－１ａと、トップカバー１４の外表面１０１ｂに設けられた第２の開口１１１－１ｂとを結んでいる。第１開孔１１０－１の筐体１０１－１の内部側には、装置内の湿度調整を行うために使用され、ケース１０５－１内に収容された例えば活性炭及びシリカゲルを含む第１吸着層１０７を有する呼吸フィルター１００－１が設けられている。ケース１０５－１は、底部１０５－１ｂと側壁部１０５－１ａと底部１０５－１ｂに対向する開口部を有する例えば樹脂製の本体と、開口部に設けられた通気性部材としての通気性メンブレンフィルター１０５－１ｃとを有する。また、第２開孔１１１－１には、トップカバー１４の外側から第２開孔１１１－１の周囲の領域１０１ｄにシート型不可逆性吸着部材２－２が設けられている。

図１２は、シート型不可逆性吸着部材の一例を模式的に表す断面図である。
シート型不可逆性吸着部材２－２として、例えば図１２に示すように、繊維状に加工した不可逆性吸着剤１０７－１を織り込んだ織布シート１４５－３を使用することができる。シート型不可逆性吸着部材２－２の周縁部２－２ａは、第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持されている。このため、シート型不可逆性吸着部材２－２の直径は、第２の開口１１１－１ｂの孔径よりも大きくなっている。また、第２開孔１１１－１の内表面１０１ａ側の第１の開口１１１－１ａには、塵埃等の侵入を防止するために例えば通気性メンブレンフィルター１３１－２が設けられている。

磁気記録再生装置１０－１内では、通気性メンブレンフィルター１３１－２を介して筐体１０１の内部とピン型不可逆性吸着部材２－２のとの間の流路が確保されており、筐体１０１内の汚染ガスを十分に吸着することができる。
また、図１０に示すように、トップカバー１４上は、ケース１２に溶着された外カバー１２０－２で覆われている。外カバー１２０－２は、例えばアルミニウムなどの金属シートからなり、トップカバー１４の第１開孔１１０－１及び第２開孔１１１－１に対向する位置に、各々、第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１を有する。シート型不可逆性吸着部材２－２を第４開孔１１３－１を通してトップカバー１４上に設置するために、第４開孔１１３－１の孔径は、シート型不可逆性吸着部材２－２の大きさよりも大きくなっている。第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１上は、各々シール１２３、１２４により塞がれている。なお、第２開孔１１１－１は、シート型不可逆性吸着部材２－２の大きさより小さく、例えば２～１０ｍｍの孔径を有することができる。また、外カバー１２０の第４開孔１１３－１は、シート型不可逆性吸着部材２－２の大きさよりも十分に大きい孔径を有し、例えば４～１２ｍｍの孔径を有することができる。

このように、磁気記録再生装置１０－２は、第２開孔１１１－１にシート型不可逆性吸着部材２－２が取り付けられている。磁気記録再生装置１０－２の他の構成は、磁気記録再生装置１０と同様である。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－２では、第４開孔１１３－１を介して筐体１０１－１の外側から第２開孔１１１－１に取り付けることが可能なシート型不可逆性吸着部材２－２を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－２を取り付けた後に、シート型不可逆性吸着部材２－２の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０－２の筐体１０１が封止される直前まで、シート型不可逆性吸着部材２－２を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にシート型不可逆性吸着部材２－２が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－２では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなくシール１２４をはがすだけで不可逆性吸着部材２－２を新品に取り換えることができる。

また、磁気記録再生装置１０－２は、第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例として、実施例１の磁気記録再生装置１０と同様に製造することが可能である。但し、磁気記録再生装置１０－２では、ケース底部１０５ｂに開孔１０８を有する呼吸フィルター１００の代わりに、ケース１０５－１の底部に開孔を持たない呼吸フィルター１００－１を使用する。また、磁気記録再生装置１０－２では、筐体１０１の外から呼吸フィルター１００にピン型不可逆性吸着部材２－１を取り付ける代わりに、筐体１０１の外から第２開孔１１１－１にシート型不可逆性吸着部材２－２を取り付ける。

第２実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例によれば、磁気記録再生装置１０－２に、筐体の外から第２開孔１１１－１に取り付け可能なシート型不可逆性吸着部材２－２を用いることにより、磁気記録再生装置の各種試験が完了した後に、筐体にシート型不可逆性吸着部材２－２を取り付けることができる。このため、筐体が封止される前まで、シート型不可逆性吸着部材２－２を空気から遮断して保持し、空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となる。これにより、第２実施形態係る磁気記録再生装置の製造方法では、使用するピン型不可逆性吸着部材の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

図１４に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－２’は、不可逆性吸着部材としてシート型不可逆性吸着部材を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた他の例を示す。
図示するように、この磁気記録再生装置１０－２’には、段差のない第４開孔１１３－１を有する外カバー１２０－２の代わりに、段差を持つ第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３が設けられる。第４開孔１１３－２は、例えば２段階の孔径を有し、トップカバー１４側の第１開口１１３－２ａの孔径よりも外気側の第２開口１１３－２ｂの孔径の方が大きくなっており、第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａが第１開口１１３－２ａの中心に向かって延出した形状となり、段差を持つ孔となる。また、磁気記録再生装置１０－２’では、シート型不可逆性吸着部材２－２は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２、及びトップカバー１４の開孔１１１－１に挿入され、シート型不可逆性吸着部材２－２の周縁部２－２ａが、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａ周囲の領域１２０－３ａに支持されるように、取り付けられている。例えば外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａはシート型不可逆性吸着部材２－２の大きさよりも小さく、例えば２～１０ｍｍの孔径を有することができる。また、第２開口１１３－２ｂは、シート型不可逆性吸着部材２－２の大きさよりも十分に大きい孔径を有し、例えば４～１２ｍｍの孔径を有することができる。

このように、磁気記録再生装置１０－２’は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２が段差のある形状を有し、及びシート型不可逆性吸着部材２－２を支持する領域１２０－３ａが外カバー１２０－３にある。磁気記録再生装置１０－２’の他の構成は、磁気記録再生装置１０－２と同様である。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－２’では、筐体１０１の外側から第４開孔１１３－２に取り付けることが可能なシート型不可逆性吸着部材２－２を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－３を取り付けた後、シート型不可逆性吸着部材２－２の取り付けを行うことができる。これにより、磁気記録再生装置１０－２’の筐体１０１を封止する直前まで、シート型不可逆性吸着部材２－２を空気から遮断して保持することが可能となるので、磁気記録再生装置の製造時にシート型不可逆性吸着部材２－２が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このようにして、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－２’内では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなくシール１２４をはがすだけで不可逆性吸着部材２－２’を新品に取り換えることができる。

また、磁気記録再生装置１０－２’は、段差のない第４開孔１１３－１を持つ外カバー１２０－２の代わりに、２段階の孔径を有する第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３を使用すること、シート型不可逆性吸着部材２－２は、トップカバー１４の第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持される代わりに、第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａに支持されるように取り付けること以外は、磁気記録再生装置１０－２と同様にして、第２実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法を適用して製造することが可能である。

図１２のシート型不可逆性吸着部材２－２は、図１１に示す磁気記録再生装置１０－２及び図１４に示す磁気記録再生装置１０－２’に使用可能なシート型不可逆性吸着部材の一例であり、他のシート型不可逆性吸着部材も使用可能である。
図１３は、シート型不可逆性吸着部材の他の例を模式的に表す断面図である。
図１３に示すように、例えば通気性メンブレンフィルター等からなる２枚の通気性シート１４５－１、１４５－２の間に、シート状に加工した不可逆性吸着剤１０７－２を配置して積層した積層シート２－２’等を使用することも可能である。
実施例４
図１５に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例を表す概略的な断面図を示す。
図１６は、図１５の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－３は、不可逆性吸着部材として吸着剤が密閉されたピン型不可逆性吸着部材２－３を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた例を示す。

図示するように、磁気記録再生装置１０－３用の筐体１０１－１は、例えば金属製のケース１２と、ケース１２を封止するための例えば金属製のトップカバー１４－１を有する。ケース１２には、図示しない磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の部品が収容されている。筐体１０１－１の内部から外気へ通じる呼吸孔として、例えばトップカバー１４－１に、呼吸フィルター用の第１開孔１１０－１、及び不活性ガス等を注入可能な第２開孔１１１－１を設けることができる。第２開孔１１１－１は、トップカバー１４－１の内表面１０１ａに設けられた第１の開口１１１－１ａと、トップカバー１４－１の外表面１０１ｂに設けられた第２の開口１１１－１ｂとを結んでいる。第１開孔１１０－１の筐体１０１－１の内部側には、装置内の湿度調整を行うために使用され、ケース１０５－１内に収容された例えば活性炭及びシリカゲルを含む第１吸着層１０７を有する呼吸フィルター１００－１が設けられている。ケース１０５－１は、底部１０５－１ｂと側壁部１０５－１ａと底部１０５－１ｂに対向する開口部を有する樹脂製の本体と、開口部に設けられた通気性部材としての通気性メンブレンフィルター１０５－１ｃとを有する。また、第２開孔１１１－１には、トップカバー１４－１の外側から第２開孔１１１－１を通してピン型不可逆性吸着部材２－３が取り付けられている。

図１７は、密閉されたピン型不可逆性吸着部材の構成を表す概略図である。
図１７に示すように、ピン型不可逆性吸着部材２－３は、例えばモールド樹脂やポリアセタール樹脂などを用いて形成されたピン型のケース１４４と、ケース１４４内に設けられた、例えば酸素、シロキサン、及び水蒸気等の汚染ガスを不可逆的に吸着し得る不可逆性吸着剤１４７とを有する。ピン型のケース１４４は、円板状の頭頂部２－３ａと、頭頂部２－３ａの一方の面の中央部から垂直に延びる円筒形の収容部２－３ｂとを含み、外気に対し密閉されている。また、円筒形の収容部２－３ｂ内の頭頂部２－３ａ側には頭頂部２－３ａと距離を置いて例えば通気性メンブレンフィルター等の通気性部材１４５が設けられ、円筒形の収容部２－３ｂ内の頭頂部２－３ａと対向する端部２－３ｃ側には端部２－３ｃと距離を置いて例えば通気性メンブレンフィルター等の通気性部材１４６が各々設けられている。不可逆性吸着剤１４７は例えば粒状であり、収容部２－１ｂ内の通気性部材１４５と通気性部材１４６との間に収容されており、空気から遮断して密閉して保持されている。

ピン型不可逆性吸着部材２－３の頭頂部２－３ａは、第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持されている。このため、頭頂部２－３ａの直径は、第２の開口１１１－１ｂの孔径よりも大きくなっている。また、円筒形の収容部２－３ｂは、第２開孔１１１－１に挿入され、トップカバー１４－１の内表面１０１ａに突出している。開口１１１－１ａの周囲には、突出した円筒形の収容部２－３ｂを取り囲む例えば樹脂製の側壁１３２が設けられている。側壁１３２の筐体１０１－１内部側の端面には、塵埃等の侵入を防止するための例えば通気性メンブレンフィルター１３１－１が円筒形の収容部２－３ｂの端部と距離を置いて設けられている。側壁１３２を介してメンブレンフィルター１３１－１を設けることにより、針状部材１５０でピン型不可逆性吸着部材２－３を貫通させた際にメンブレンフィルター１３１－１が破損することを防止することができる。

磁気記録再生装置１０－３は、例えば針状部材１５０を用い、矢印の方向に示すように頭頂部２－３ａの中央部付近から端部２－３ｃの中央部付近にかけて貫通することにより、ピン型不可逆性吸着部材２－３の密閉された収容部２－３ｂを開放し、空気から遮断して不活性な状態で保持されている不可逆性吸着剤１４７を活性化することができる。通気性部材１４５、１４６が設けられていることにより、ピン型不可逆性吸着部材２－３が貫通された場合に不可逆性吸着剤１４７が出てしまうことを防いでいる。その後、開孔１１３－１は、シール１２４により閉塞することができる。これにより、端部２－３ｃ側のメンブレンフィルター１４６を介して筐体１０１－１の内部とピン型不可逆性吸着部材２－３内部との間の流路が確保され、筐体１０１－１内の汚染ガスを十分に吸着することができる。

また、図１５に示すように、トップカバー１４－１上は、ケース１２に溶着された外カバー１２０－２で覆われている。外カバー１２０－２は、例えばアルミニウムなどの金属シートからなり、トップカバー１４－１の第１開孔１１０－１及び第２開孔１１１－１に対向する位置に、各々、第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１を有する。ピン型不可逆性吸着部材２－１を第４開孔１１３－１を通してトップカバー１４－１上に設置するために、第４開孔１１３－１の孔径は、頭頂部２－１ａの大きさよりも大きくなっている。第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１上は、各々シール１２３、１２４により塞がれている。
第２開孔１１１－１は、頭頂部２－１ａの直径より小さく、収容部２－１ｂの直径以上の大きさを有し、例えば２～１３ｍｍの孔径を有することができる。

外カバー１２０の第４開孔１１３－１は、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの孔径を有することができる。
このように、磁気記録再生装置１０－３では、第２開孔１１１－１に密閉されたピン型不可逆性吸着部材２－３が取り付けられ、及び第２開孔１１１－１の開口１１１－１ａの周囲にピン型不可逆性吸着部材２－３を取り囲む例えば樹脂製の側壁１３２、及び側壁１３２の端面に通気性メンブレンフィルター１３１－１がさらに設けられたトップカバー１４－１を使用する。磁気記録再生装置１０－３の他の構成は磁気記録再生装置１０と同様である。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－３では、第４開孔１１３－１を介して筐体１０１－１の外側から第２開孔１１１－１に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－３を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－２を取り付けた後に、ピン型不可逆性吸着部材２－３の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤１４７が不活性な状態でピン型不可逆性吸着部材２－３を用いることにより、筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて頭頂部２－３ａと端部２－３ｃを貫通するだけで、不可逆性吸着剤１４７を活性化することができるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－３の不可逆性吸着剤１４７が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－３では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－３を新品に取り換えることができる。

図１８に、第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の一例を表すフロー図を示す。
磁気記録再生装置１０－３は、以下のように製造することができる。
図１６に示すように、まず、ケース１２に図示しない磁気記録媒体、及び磁気ヘッド等の磁気記録再生装置のための部品、トップカバー１４－１、及び外カバー１２０－２を取り付ける。その後、外カバー１２０－２の第４開孔１１３－１から、トップカバー１４－１の第２開孔１１１－１に、ピン型不可逆性吸着部材２－３の円筒形の収容部２－３ｂを挿入することにより、筐体１０１－１にピン型不可逆性吸着部材２－３を取り付け、磁気記録再生装置の部分を組み立てる（ＳＴ１１）。
次に、磁気記録再生装置の各種試験を行う（ＳＴ１２）。

試験後、筐体１０１－１内の空気を排気した後、第３開孔１１２－２を介して第１開孔１１０－１から例えばヘリウムなどの不活性ガスを導入して内圧を調整すると共に、図１６に示すように、針状部材１５０を、矢印の方向に頭頂部２－３ａの中央部付近から端部２－３ｃの中央部付近にかけて貫通して、頭頂部２－３ａと端部２－３ｃを開孔させることにより、密閉されたピン型不可逆性吸着部材２－３を開放し（ＳＴ１３）、空気から遮断して不活性な状態で保持されている不可逆性吸着剤１４７を活性化する。
続いて、図１５に示すように外カバー１２０－２の第３開孔１１２－２及び第４開孔１１３－１を、例えばアルミニウムなどからなる金属製シール１２３、１２４を用いて閉塞することにより、筐体１０１－１内を封止し（ＳＴ１４）、磁気記録再生装置１０－３を得る。

第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例によれば、磁気記録再生装置１０－３に、筐体の外から呼吸孔としての開孔に取り付け可能なピン型不可逆性吸着部材２－３を用いることにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－２を取り付けた後に、ピン型不可逆性吸着部材２－３の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤１４７が不活性な状態でピン型不可逆性吸着部材２－３を取り付けることが可能であり、取り付け後に試験を行っても吸着性能が低下することが無く、試験後の筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて頭頂部２－３ａと端部２－３ｃを貫通するだけで、不可逆性吸着剤１４７を活性化することができる。このように、第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法によれば、筐体が封止される直前まで、ピン型不可逆性吸着部材２－３を空気から遮断して保持して、ピン型不可逆性吸着部材２－３が空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となり、これにより、使用するピン型不可逆性吸着部材２－３の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置１０－３内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

図１９に、第１実施形態に係る磁気記録再生装置の構造の他の一例の部分的な拡大図を示す。
磁気記録再生装置１０－３’は、不可逆性吸着部材として図ピン型不可逆性吸着部材を使用し、第２開孔１１１－１に取り付けた他の例を示す。
図示するように、この磁気記録再生装置１０－３’には、段差のない第４開孔１１３－１を有する外カバー１２０－２の代わりに、段差を持つ第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３が設けられる。第４開孔１１３－２は、例えば２段階の孔径を有し、トップカバー１４側の第１開口１１３－２ａの孔径よりも外気側の第２開口１１３－２ｂの孔径の方が大きくなっており、第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａが第１開口１１３－２ａの中心に向かって延出した形状となり、段差を持つ孔となる。また、磁気記録再生装置１０－３’では、ピン型不可逆性吸着部材２-３は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２、及びトップカバー１４－１の第２開孔１１１－１に挿入され、ピン型不可逆性吸着部材２－３の頭頂部２－３ａが、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａ周囲の領域１２０－３ａに支持されるように、取り付けられている。例えば外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａは頭頂部２－３ａの直径よりも小さく、例えば２～１３ｍｍの孔径を有することができる。また、第２開口１１３－２ｂは、頭頂部２－１ａの直径よりも十分に大きい孔径を有し、例えば６～１６ｍｍの孔径を有することができる。

このように、磁気記録再生装置１０－３’は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２が段差のある形状を有し、及びピン型不可逆性吸着部材２-３の頭頂部２－３ａを支持する領域が外カバー１２０－３にある。磁気記録再生装置１０－３’の他の構成は、磁気記録再生装置１０－３と同様である。
第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－３’では、筐体１０１－１の外側から第４開孔１１３－２を介して、第２開孔１１１－１に取り付けることが可能なピン型不可逆性吸着部材２－３を使用することにより、筐体１０１－１のケース１２にトップカバー１４－１、外カバー１２０－３を取り付けた後、ピン型不可逆性吸着部材２－３’の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤１４７が不活性な状態のピン型不可逆性吸着部材２－３を用いることにより、筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて頭頂部２－３ａと端部２－３ｃを貫通するだけで、不可逆性吸着剤１４７を活性化することができるので、磁気記録再生装置の製造時にピン型不可逆性吸着部材２－３の不可逆性吸着剤１４７が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このように、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－３’では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－３を新品に取り換えることができる。

また、磁気記録再生装置１０－３’は、段差のない第４開孔１１３－１を持つ外カバー１２０－２の代わりに、２段階の孔径を有する第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３を使用すること、ピン型不可逆性吸着部材２-３’は、その頭頂部２－１ａが、トップカバー１４の第２の開口１１１－１ｂ周囲の領域１０１ｄに支持される代わりに、外カバー１２０－３に設けられた第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａに支持されるように取り付けること以外は、磁気記録再生装置１０－３と同様にして製造することが可能である。
実施例５
図２０は、密閉された不可逆性吸着部材の他の例が適用された磁気記録再生装置１０－４の部分的な図である。
図２１は、密閉された袋型不可逆性吸着部材の構成を表す断面図である。

図示するように、密閉された袋型不可逆性吸着部材２－４は、不可逆性吸着剤１０７－２を、例えばアルミ蒸着シートの袋や、三菱ガス化学社製ＰＴＳ袋などのような気密性の袋状ケース１４５－４に封入した構成を有し、密閉されたピン型不可逆性吸着部材２－３の代わりに、図１５に記載の磁気記録再生装置に適用することが可能である。また、このとき、樹脂製の側壁１３２の代わりに、樹脂製の側壁１３２の高さよりも低い高さを有し、第２開孔１１１－１との距離が近い側壁１３３を使用することができる。また、側壁１３３の筐体１０１－１内部側の端面には、塵埃等の侵入を防止するための例えば通気性メンブレンフィルター１３４を第２開孔１１１－１と十分距離を置いて設けることができる。側壁１３３を介してメンブレンフィルター１３４を設けることにより、針状部材１５０で袋型不可逆性吸着部材２－４を貫通させた際にメンブレンフィルター１３４が破損することを防止することができる。

磁気記録再生装置１０－４は、磁気記録再生装置１０－３と同様に、針状部材１５０を用いて、矢印の方向に示すように袋型不可逆性吸着部材２－４の一面の中央部付近から他方の面の中央部付近にかけて貫通することにより、袋型不可逆性吸着部材２－４の密閉を開放し、空気から遮断して不活性な状態で保持されている不可逆性吸着剤を活性化することができる。その後、第４開孔１１３－１は、磁気記録再生装置１０－３と同様にしてシール１２４により閉塞することができる。これにより、筐体１０１－１の内部と袋型不可逆性吸着部材２－４内部との間の流路が確保され、筐体１０１－１内の汚染ガスを十分に吸着することができる。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－４では、磁気記録再生装置１０－３と同様に、第４開孔１１３－１を介して筐体１０１－１の外側から第２開孔１１１－１に取り付けることが可能な袋型不可逆性吸着部材２－４を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－２を取り付けた後に、袋型不可逆性吸着部材２－４の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤が不活性な状態で袋型不可逆性吸着部材２－４を取り付けることが可能であり、筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて袋型不可逆性吸着部材２－４を貫通するだけで、不可逆性吸着剤を活性化することができるので、磁気記録再生装置の製造時に袋型不可逆性吸着部材２－４の不可逆性吸着剤が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－４では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－４を新品に取り換えることができる。
また、磁気記録再生装置１０－４は、第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法を適用して、図１８のフロー図に示すような磁気記録再生装置１０－３と同様にして製造することができる。

第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例を用いると、磁気記録再生装置１０－４に、筐体の外から呼吸孔としての開孔に取り付け可能な袋型不可逆性吸着部材２－４を用いることにより、筐体１０１－１のケース１２にトップカバー１４－１、外カバー１２０－２を取り付けた後に、袋型不可逆性吸着部材２－４の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤が不活性な状態で袋型不可逆性吸着部材２－４を取り付けることが可能であり、取り付け後に試験を行っても吸着性能が低下することが無く、試験後の筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて袋型不可逆性吸着部材２－４を貫通するだけで、不可逆性吸着剤を活性化することができる。このように、第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法によれば、筐体が封止される直前まで、袋型不可逆性吸着部材２－４を空気から遮断して保持して、袋型不可逆性吸着部材２－４が空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となり、これにより、使用する袋型不可逆性吸着部材２－４の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置１０－４内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

図２２は、密閉された不可逆性吸着部材のさらに他の例が適用された磁気記録再生装置１０－４’の部分的な図である。
図示するように、この磁気記録再生装置１０－４’には、段差のない第４開孔１１３－１を有する外カバー１２０－２の代わりに、段差を持つ第４開孔１１３－２を有する外カバー１２０－３が設けられる。第４開孔１１３－２は、例えば２段階の孔径を有し、トップカバー１４－１側の第１開口１１３－２ａの孔径よりも外気側の第２開口１１３－２ｂの孔径の方が大きくなっており、第１開口１１３－２ａの周囲の領域１２０－３ａが第１開口１１３－２ａの中心に向かって延出した形状となり、段差を持つ孔となる。また、磁気記録再生装置１０－４’では、袋型不可逆性吸着部材２－４は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２に挿入され、袋型不可逆性吸着部材２－４の周縁部２－４ａが、外カバー１２０－３に設けられた第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａ周囲の領域１２０－３ａに支持されるように取り付けられている。例えば外カバー１２０－３に設けられた第４開孔１１３－２の第１開口１１３－２ａは袋型不可逆性吸着部材２－４の大きさ例えば４～１５ｍｍよりも小さく、例えば３～１４ｍｍの孔径を有することができる。また、第２開口１１３－２ｂは、袋型不可逆性吸着部材２－２の大きさよりも十分に大きい孔径を有し、例えば５～１６ｍｍの孔径を有することができる。
このように、磁気記録再生装置１０－４’は、外カバー１２０－３の第４開孔１１３－２が段差のある形状を有し、及び袋型不可逆性吸着部材２－４を支持する領域１２０－３ａが外カバー１２０－３にある。磁気記録再生装置１０－４’の他の構成は、磁気記録再生装置１０－４と同様である。

第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－４’では、第４開孔１１３－１を介して筐体１０１－１の外側から第２開孔１１１－１に取り付けることが可能な袋型不可逆性吸着部材２－４を使用することにより、筐体１０１のケース１２にトップカバー１４、外カバー１２０－３を取り付けた後に、袋型不可逆性吸着部材２－４の取り付けを行うことができる。また、第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－４’では、不可逆性吸着剤が不活性な状態で袋型不可逆性吸着部材２－４を取り付けることが可能であり、筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて袋型不可逆性吸着部材２－４を貫通するだけで、不可逆性吸着剤を活性化することができるので、磁気記録再生装置１０－４’の製造時に袋型不可逆性吸着部材２－４の不可逆性吸着剤が空気に触れる時間をできるだけ短くして、その吸着機能が低下するリスクを最小限にすることができる。このような第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０－４’では、不可逆性吸着部材による汚染ガスの除去が十分に行なわれるため、ヘッドクラッシュ等の不良が発生しにくくなる。また、リペアなどを行う際にトップカバー及び外カバーを取り外すことなく不可逆性吸着部材２－４を新品に取り換えることができる。

また、磁気記録再生装置１０－４’は、図１８のフロー図に示すような第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法を適用して、磁気記録再生装置１０－４と同様にして製造することができる。
第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法の他の一例を用いると、磁気記録再生装置１０－４’に、筐体の外から呼吸孔としての開孔に取り付け可能な袋型不可逆性吸着部材２－４を用いることにより、筐体１０１－１のケース１２にトップカバー１４－１、外カバー１２０－２を取り付けた後に、袋型不可逆性吸着部材２－４の取り付けを行うことができる。また、不可逆性吸着剤が不活性な状態で袋型不可逆性吸着部材２－４を取り付けることが可能であり、取り付け後に試験を行っても吸着性能が低下することが無く、試験後の筐体１０１－１が封止される直前に針状部材１５０を用いて袋型不可逆性吸着部材２－４を貫通するだけで、不可逆性吸着剤活性化することができる。このように、第３実施形態に係る磁気記録再生装置の製造方法によれば、筐体が封止される直前まで、袋型不可逆性吸着部材２－４を空気から遮断して保持して、袋型不可逆性吸着部材２－４が空気に触れる時間をできるだけ短くすることが可能となり、これにより、使用する袋型不可逆性吸着部材２－４の吸着性能が低下しにくく、封止後の磁気記録再生装置１０－４’内で酸素やシロキサン等の汚染ガスを十分に吸着することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

２－１…ピン型不可逆性吸着部材、２－１ａ…頭頂部、２－１ｂ…円筒形の収容部、２－２…シート型不可逆性吸着部材、２－２ａ、２－２ａ’…周縁部、２－３…密閉されたピン型不可逆性吸着部材、２－３ａ…頭頂部、２－３ｂ…端部、２－４…密閉されたシート型不可逆性吸着部材、２－４ａ…周縁部、１０、１０’、１０－１、１０－１’、１０－２、１０－２’、１０－３、１０－３’、１０－４、１０－４’…磁気記録再生装置、１２…ケース、１４、１４－１…トップカバー、１７…磁気ヘッド、１８…磁気ディスク、１００、１００－１…呼吸フィルター、１０１、１０１－１…筐体、１０５、１０５－１…ケース、１０５ａ…側壁部、１０５ｂ…底部、１０５ｃ…通気性部材、１０７…吸着層、１０７－１…繊維状不可逆性吸着剤、１０７－２…シート状不可逆性吸着剤、１０８…開孔、１０８ａ…端部、１１０、１１０－１…第１開孔、１１１、１１１－１…第２開孔、１１２、１１２－１、１１２－２…第３開孔、１１３、１１３－１、１１３－２…第４開孔、１２０、１２０－１、１２０－２…外カバー、１２３、１２４…シール

Claims (8)

1. 磁気記録再生装置用の密封された筐体内に不可逆性吸着部材を備えた磁気記録再生装置。
2. 前記不可逆性吸着部材は、ピン型、シート型、または袋型に加工されている請求項１に記載の磁気記録再生装置。
3. 前記筐体は、トップカバー及び、前記トップカバーを覆う外カバーを含み、前記不可逆性吸着部材は、前記トップカバー、または前記外カバーに設けられている請求項１または２に記載の磁気記録再生装置。
4. 前記トップカバーは、呼吸フィルターが装着される第１開孔と、前記第１開孔とは異なる第２開孔とを含み、前記不可逆性吸着部材は、前記第１開孔または前記第２開孔のうち一方の開孔に取り付けられる請求項３に記載の磁気記録再生装置。
5. 筐体内に、磁気記録再生装置の部品を取り付け、
   前記磁気記録再生装置に関する試験を行い、
   前記試験の終了後に、不可逆性吸着部材を前記筐体に取り付け、
   前記筐体を封止する磁気記録再生装置の製造方法。
6. 筐体内に、磁気記録再生装置の部品と、密閉された不可逆性吸着部材とを取り付け、
   前記磁気記録再生装置に関する試験を行い、
   前記試験の終了後に、前記密閉された不可逆性吸着部材を開放し、
   前記筐体を封止する磁気記録再生装置の製造方法。
7. 前記不可逆性吸着部材は、ピン型、シート型、または袋型に加工されている請求項５または６に記載の磁気記録再生装置の製造方法。
8. 前記筐体は、トップカバー及び、前記トップカバーを覆う外カバーを含み、前記不可逆性吸着部材は、前記トップカバー、または、前記外カバーに設けられている請求項６または７に記載の磁気記録再生装置の製造方法。

Images