JP2022123136A - 引っ掻き傷および指紋の視認性が低下した低コントラストの反射防止物品 - Google Patents
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Abstract
Description
CT=(CS・DOL)/(t-2DOL) (1)
により与えられ、式中、tはガラス物品の物理的厚さ(μm)である。本開示の様々な部分において、CTおよびCSは、ここで、メガパスカル(MPa)で表され、物理的厚さtは、マイクロメートル(μm)またはミリメートル(mm)のいずれかで表され、DOLはマイクロメートル(μm)で表されている。
モデル例1および2は、表7および8に示されたのと同じ構造を有する物品である。モデル例1は、化学強化したアルカリアルミノホウケイ酸塩ガラス基体およびその基体上に配置された反射防止コーティングを備える。モデル例2は、サファイア基体およびその基体上に配置された反射防止コーティングを備える。反射防止コーティングに配置された順序で、反射防止コーティングの材料、および各材料層の厚さが、表7および8に与えられている。
モデル例3は、表9に示された構造を有する物品であり、化学強化したABSガラス基体およびその基体上に配置された反射防止コーティングを備える。反射防止コーティングに配置された順序で、反射防止コーティングの材料、および各材料層の厚さが、表9に与えられている。
モデル例4は、表10に示された構造を有する物品であり、サファイア基体およびその基体上に配置された反射防止コーティングを備える。反射防止コーティングに配置された順序で、反射防止コーティングの材料、および各材料層の厚さが、表10に与えられている。
モデル例5は、表11に示された構造を有する物品であり、化学強化したABSガラス基体およびその基体上に配置された反射防止コーティングを備える。反射防止コーティングに配置された順序で、反射防止コーティングの材料、および各材料層の厚さが、表11に与えられている。
モデル例6は、表12に示された構造を有する物品であり、化学強化したABSガラス基体およびその基体上に配置された2つの反射防止コーティングを備える。一方の反射防止コーティングは、耐引掻性層(すなわち、2000nm厚のAlOxNy層)を備え、基体上に配置されている。第2の反射防止コーティングは、第1の反射防止コーティング上に配置されている。物品に配置された順序で、両方の反射防止コーティングに使用された材料、および各材料層の厚さが、表12に与えられている。
モデル比較例7は、モデル比較例1のような構造を有する物品である。図10A~10Bは、清浄な状態におけるモデル比較例7の被覆表面、並びに表面欠陥条件D、EおよびFを有するその被覆表面の、モデル反射率の変化を示しており、汚染物質は指紋擬似媒質である。図10Aは、清浄な状態におけるモデル比較例7の被覆表面、並びに異なる表面欠陥条件後の被覆表面の、反射率を示している。その反射率は、汚染物質の厚さが増加するに連れて増加する。詳しくは、清浄な状態において、反射率は、約425nmから約650nmの範囲の可視スペクトル内で、約0.5%未満である。表面欠陥条件D後の反射率は、同じ可視スペクトル範囲内で約9%超であり、表面欠陥条件EおよびF後の反射率は、可視スペクトルのより狭い範囲に亘り、約12%ほど大きい絶対反射率の振幅を有する振動を含み、最大反射率は、約12%より大きい。清浄な状態と表面欠陥D~Fとの間の反射率の増加は、約11.5%以上の絶対反射率とモデル化された。このように、表面欠陥の視認性は、表面欠陥のない、反射防止コーティングの残りと比べた場合、著しく増加している。図10Bは、表面欠陥条件D~Fの各々に関する、図10Aに示されたモデル構造のコントラスト比を示している。そのコントラスト比スペクトルは、約400nmから約700nmの範囲の可視スペクトルに亘り、著しく振動し、条件DおよびEに関して、100を超えている。
モデル例8は、モデル例3と同じ構造を有する物品を含んだ。
モデル例9は、モデル例4と同じ構造を有する物品を含んだ。
モデル例10は、モデル例6と同じ構造を有する物品を含んだ。図13Aは、清浄な状態におけるモデル例10の被覆表面、並びに表面欠陥条件D、EおよびFを有するその被覆表面の、垂直入射でのモデル反射率の変化を示している。図13Aに示されるように、その反射率は、汚染物質の厚さが増加するに連れて増加する;しかしながら、反射率の増加は、モデル比較例7と比べると、減少している。清浄な状態において、反射率は、約400nmから約700nmの範囲の可視スペクトル内で、約1.5%から2%の範囲にある。反射率は、表面欠陥条件DおよびEの後に、同じ可視スペクトル範囲内で、約7.5%未満まで増加している。反射率は、表面欠陥条件Fの後に、同じ可視スペクトル範囲内で、約8%未満まで増加している。この反射率の増加は、約6.5%未満の絶対反射率である。モデル比較例7と比べた場合、2000nmまでの指紋擬似媒質の付加を含む表面欠陥の視認性は、著しく低下しているであろう。図13Bは、異なる厚さの指紋擬似媒質の付加後の、モデル例10のコントラスト比を示している。2000nmまでの厚さを有する指紋擬似媒質が被覆表面上に存在する場合でさえ、約400nmから約700nmの範囲の可視スペクトルに亘り、5.5未満のコントラスト比値が観察され、これは、モデル比較例7に観察されたコントラスト比よりも著しく小さい。
反射防止コーティングが、清浄な状態にある場合と、表面欠陥を含む場合の、物品の反射率スペクトルを理解するために、例11~12でモデル化を使用した。このモデル化は、反射防止コーティングに使用されることのある様々な材料から形成された層、およびABSガラスの基体から収集した屈折率データに基づいた。反射防止コーティングの層は、真空蒸着により形成した。形成された層のいくつかは、異なる厚さ(例えば、100nmおよび2000nm)で形成されたSiO2、およびAlOxNyを含んだ。光学膜の形成層および基体の屈折率(波長の関数として)を、分光偏光解析法を使用して測定した。表13~15は、測定した屈折率および分散曲線を含む。次いで、このように測定した屈折率を使用して、モデル例11および12の反射率スペクトルを計算した。
基体表面を有する基体と、
被覆表面を形成する、前記基体表面上に配置された反射防止コーティングと、
を備えた物品であって、
前記被覆表面は、可視スペクトルに亘り、該被覆表面が清浄な状態にある場合の第1の平均反射率、および前記反射防止コーティングの約20nmから約500nmの表面厚が該被覆表面から除去された後の第2の平均反射率を示し、これにより、約0.5から約50の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)が与えられ、前記反射防止コーティングの厚さは前記表面厚より大きく、前記反射率はCIE光源下で測定される、物品。
前記第1の平均反射率が、約450nmから約650nmの範囲の可視スペクトルの少なくとも一部に亘り約0.6%から約6.0%の範囲にあり、前記第2の平均反射率が、前記可視スペクトルに亘り約8%以下である、実施形態1に記載の物品。
前記反射防止コーティングが、前記基体表面上に配置された第1の層および該第1の層上に配置された、層厚を有する第2の層を備え、前記表面厚が、前記第2の層の層厚以上である、実施形態1または2に記載の物品。
前記被覆表面が、該被覆表面が清浄な状態にある場合の第1の反射率、および前記反射防止コーティングの表面厚が該被覆表面から除去された後の第2の反射率を示し、該第1の反射率および該第2の反射率の少なくとも一方が、前記可視スペクトルに亘り、約2%以下の絶対反射率の平均振動振幅を示す、実施形態1から3いずれか1つに記載の物品。
前記可視スペクトル内の約100nmの波長幅に亘り、前記第1の反射率および該第2の反射率の少なくとも一方が、約2%以下の絶対反射率の最大振動振幅を示す、実施形態4に記載の物品。
前記反射率が、約0度から約60度の範囲の入射照明角で測定される、実施形態1から5いずれか1つに記載の物品。
前記第1の反射率および前記第2の反射率の少なくとも一方が、前記可視スペクトルに亘り、平均反射率値に対して、20%未満の反射率振動を示す、実施形態1から6いずれか1つに記載の物品。
前記第2の平均反射率が約3%未満である、実施形態1から7いずれか1つに記載の物品。
前記表面厚が約25nmまでであり、前記第2の平均反射率が約6%以下であり、前記被覆表面が、前記可視スペクトルに亘り、約0.5から約10の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)を示す、実施形態1から8いずれか1つに記載の物品。
前記表面厚が約50nmまでであり、前記第2の平均反射率が約8%以下であり、前記被覆表面が、前記可視スペクトルに亘り、約0.5から約20の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)を示す、実施形態1から9いずれか1つに記載の物品。
前記表面厚が約500nmまでであり、前記第2の平均反射率が約12%以下であり、前記被覆表面が、前記可視スペクトルに亘り、約0.5から約50の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)を示す、実施形態1から10いずれか1つに記載の物品。
前記被覆表面が、前記可視スペクトルに亘り、約10未満のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)を示し、前記第1の平均反射率および前記第2の平均反射率が、約0度から約60度の範囲の入射照明角で測定される、実施形態1から11いずれか1つに記載の物品。
前記コントラスト比が、前記可視スペクトルに亘り、絶対比の単位で約1以下の平均振幅を有する振動を示す、実施形態1から12いずれか1つに記載の物品。
前記光源がD65光源またはF2光源を含む、実施形態1から13いずれか1つに記載の物品。
表面を有する基体と、
被覆表面を形成する、前記表面上に配置された反射防止コーティングと、
を備えた物品であって、
前記物品の前記被覆表面が、該物品が清浄な状態にある場合、約450から約650nmの範囲の可視スペクトルに亘り約0.6%から約6.0%の範囲にある第1の平均反射率、および前記被覆表面が、約100nmから約2000nmの範囲の厚さを有する指紋擬似媒質の層を含む場合、前記可視スペクトルに亘り約10%以下の第2の平均反射率を示し、前記指紋擬似媒質が1.4~1.6の屈折率を有する、物品。
前記可視スペクトルに亘り、前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率の比が約20以下であり、該比が、絶対比の単位で約10以下の平均振幅の振動を示す、実施形態15に記載の物品。
前記被覆表面が、前記指紋擬似媒質の層を備え、前記可視スペクトルに亘り、約8%以下の絶対反射率の最大反射率値を有し、該被覆表面が、前記指紋擬似媒質の層を備え、前記可視スペクトルに亘り、約7.5%以下の絶対反射率の最大振動振幅を持つ反射率を有する、実施形態15または16に記載の物品。
基体表面を有する基体と、
被覆表面を形成する、前記基体表面上に配置された反射防止コーティングと、
を備えた物品であって、
前記被覆表面が、清浄な状態において、光源の下の垂直入射から約0度から約75度の範囲の入射照明角を使用して測定した場合の第1の色座標(a* 1、b* 1)、および前記被覆表面から、前記反射防止コーティングの約0.1nmから約140nmの範囲の表面厚を除去した後の前記光源の下の前記入射照明角を使用して測定した場合の第2の色座標(a* 2、b* 2)を示し、
Δa*b*が約6以下である、物品。
前記被覆表面から約100nm以上の押込み深さに亘り、バーコビッチ圧子硬度試験により該被覆表面上で測定して、約5GPa以上の硬度を示す、実施形態18に記載の物品。
前記入射照明角が約60度であり、前記表面厚が約0.1から約100nmの範囲にあり、Δa*b*が約3未満である、実施形態18または19に記載の物品。
20、200 基体
22、220 表面
30、300 反射防止コーティング
32、320 被覆表面
34、340 表面欠陥
311 第1の層
312 第2の層
360 表面厚
365 汚染物質
Claims (10)
- 基体表面を有する基体と、
被覆表面を形成する、前記基体表面上に配置された反射防止コーティングと、
を備えた物品であって、
前記被覆表面は、可視スペクトルに亘り、該被覆表面が清浄な状態にある場合の第1の平均反射率、および前記反射防止コーティングの20nmから500nmの表面厚が該被覆表面から除去された後の第2の平均反射率を示し、これにより、0.5から50の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)が与えられ、前記反射防止コーティングの厚さは前記表面厚より大きく、前記反射率はCIE光源下で測定される、物品。 - 基体表面を有する基体と、
被覆表面を形成する、前記基体表面上に配置された反射防止コーティングと、
を備えた物品であって、
前記被覆表面は、可視スペクトルに亘り、該被覆表面が清浄な状態にある場合の第1の反射率、および前記被覆表面に、100nmから2000nmの範囲の厚さを有し、1.4~1.6の屈折率を有する、材料または汚染物質が付加された場合の第2の反射率を示し、これにより、0.5から50の範囲のコントラスト比(前記第2の平均反射率:前記第1の平均反射率)が与えられ、前記反射防止コーティングの厚さは前記表面厚より大きく、前記反射率はCIE光源下で測定される、物品。 - 前記反射防止コーティングが、バーコビッチ圧子硬度試験により測定して、8GPa以上の硬度を示す、請求項1または2記載の物品。
- 前記第2の平均反射率が、450nmから650nmの範囲の可視スペクトルに亘り、10%未満である、請求項1~3いずれか1項記載の物品。
- 前記第2の平均反射率が、450nmから650nmの範囲の可視スペクトルに亘り、0.1%から8%の範囲である、請求項1~4いずれか1項記載の物品。
- 前記第1の平均反射率が、450nmから650nmの範囲の可視スペクトルに亘り、0.5%から7%の範囲である、請求項1~5いずれか1項記載の物品。
- 前記反射防止コーティングが、第1の低屈折率副層及び第2の高屈折率副層を含み、
前記第1の低屈折率副層が、SiO2を含み、
前記第2の高屈折率副層が、SiuAlvOxNy、Ta2O5、Nb2O5、AlN、Si3N4、SiNX、AlOxNy、SiOxNy、HfO2、TiO2、ZrO2、Y2O3、Al2O3、およびMoO3、またはこれらの組み合わせを含む、請求項1~6のうちのいずれか1項に記載の物品。 - 前記基体が、結晶質基体またはガラスセラミック基体を含む、請求項1~7のうちのいずれか1項に記載の物品。
- 前記被覆表面の除去は、前記反射防止コーティングの表面または中の引っ掻き傷、切れ端、および摩耗区域のうちの少なくとも1つである、請求項1、3~8のうちのいずれか1項に記載の物品。
- 付加された前記材料又は前記汚染物質は、1.49の屈折率を有する油、指紋、指紋残留物、指紋疑似媒質、および、前記反射防止コーティングの剥離区域の少なくとも1つを含む、請求項2~8のうちのいずれか1項に記載の物品。
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US20220011478A1 (en) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Corning Incorporated | Textured region of a substrate to reduce specular reflectance incorporating surface features with an elliptical perimeter or segments thereof, and method of making the same |
CN113702383A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-11-26 | 信利光电股份有限公司 | 一种盖板质量检测设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000031569A1 (en) * | 1998-11-20 | 2000-06-02 | Sola International Holdings Ltd. | Coated lens to reduce visual perception of stains |
JP2017518529A (ja) * | 2014-05-23 | 2017-07-06 | コーニング インコーポレイテッド | 引っ掻き傷および指紋の視認性が低下した低コントラストの反射防止物品 |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4128303A (en) | 1976-04-05 | 1978-12-05 | Kabushiki Kaisha Hoya Lens | Anti reflection coating with a composite middle layer |
US4995684A (en) | 1986-06-18 | 1991-02-26 | Raytheon Company | Impact resistant and tempered optical elements |
US4966437A (en) * | 1988-04-19 | 1990-10-30 | Litton Systems, Inc. | Fault-tolerant anti-reflective coatings |
JP3333609B2 (ja) * | 1993-10-28 | 2002-10-15 | 日東電工株式会社 | 反射防止層の油脂膜除去方法 |
JPH0894805A (ja) | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Olympus Optical Co Ltd | 光学膜の製造方法及び光学素子 |
US5719705A (en) * | 1995-06-07 | 1998-02-17 | Sola International, Inc. | Anti-static anti-reflection coating |
US5847876A (en) * | 1996-06-25 | 1998-12-08 | Mcdonnell Douglas | Fingerprint resistant anti-reflection coatings |
US5948481A (en) | 1996-11-12 | 1999-09-07 | Yazaki Corporation | Process for making a optical transparency having a diffuse antireflection coating |
JP2000171630A (ja) | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Asahi Optical Co Ltd | 光学多層薄膜の形成方法 |
JP2003215309A (ja) * | 2001-04-17 | 2003-07-30 | Sony Corp | 反射防止フィルム及び反射防止層付きプラスチック基板 |
US7445273B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-11-04 | Guardian Industries Corp. | Scratch resistant coated glass article resistant fluoride-based etchant(s) |
DE102004027842A1 (de) * | 2004-06-08 | 2006-01-12 | Institut für Neue Materialien Gemeinnützige GmbH | Abrieb- und kratzfeste Beschichtungen mit niedriger Brechzahl auf einem Substrat |
JP4961100B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2012-06-27 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止フィルム、偏光板、および画像表示装置 |
WO2006016592A1 (en) | 2004-08-12 | 2006-02-16 | Fujifilm Corporation | Anti-reflection film |
KR101300850B1 (ko) * | 2006-02-27 | 2013-08-27 | 코니카 미놀타 어드밴스드 레이어즈 인코포레이티드 | 반사 방지 필름, 반사 방지 필름의 제조 방법, 편광판 및 표시 장치 |
JP2009122416A (ja) | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 光学薄膜フィルム |
CN102016652B (zh) * | 2008-04-24 | 2012-12-26 | 旭硝子株式会社 | 低反射玻璃及显示器用保护板 |
JP2011527661A (ja) | 2008-07-11 | 2011-11-04 | コーニング インコーポレイテッド | 民生用途のための圧縮面を有するガラス |
CN102137822B (zh) | 2008-07-29 | 2015-12-09 | 康宁股份有限公司 | 用于化学强化玻璃的双阶段离子交换 |
JP2010167744A (ja) | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 耐指紋性に優れた製品およびその製造方法 |
CN102024508B (zh) | 2009-09-14 | 2013-05-01 | 群康科技(深圳)有限公司 | 导电片结构 |
DE102009056594A1 (de) * | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Q-Cells Se | Antireflexionsbeschichtung sowie Solarzelle und Solarmodul |
US8939606B2 (en) * | 2010-02-26 | 2015-01-27 | Guardian Industries Corp. | Heatable lens for luminaires, and/or methods of making the same |
JP2012004349A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Az Electronic Materials Kk | シリコンオキシナイトライド膜の形成方法およびそれにより製造されたシリコンオキシナイトライド膜付き基板 |
TWI502617B (zh) * | 2010-07-21 | 2015-10-01 | 應用材料股份有限公司 | 用於調整電偏斜的方法、電漿處理裝置與襯管組件 |
DE102010048088A1 (de) | 2010-10-01 | 2012-04-05 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Optische Linse mit kratzfester Entspiegelungsschicht |
US20120200816A1 (en) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | Guardian Industries Corp. | Electronic devices having reduced susceptibility to newton rings, and/or methods of making the same |
US20120275026A1 (en) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | Unipixel Displays, Inc. | Low reflectance fingerprint resistant surface for displays |
EP2785662A2 (en) * | 2011-11-30 | 2014-10-08 | Corning Incorporated | Process for making of glass articles with optical and easy-to-clean coatings |
WO2013082488A2 (en) | 2011-11-30 | 2013-06-06 | Corning Incorporated | Optical coating method, apparatus and product |
WO2013105210A1 (ja) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | ナルックス株式会社 | 光学多層膜 |
JP5181380B1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-04-10 | ナルックス株式会社 | 光学多層膜 |
CN102850761B (zh) | 2012-09-26 | 2015-04-01 | 上海锦湖日丽塑料有限公司 | 一种耐刮擦的聚碳酸酯及其制备方法 |
JP2014071166A (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光学部材及びその製造方法 |
TWI615367B (zh) | 2012-10-12 | 2018-02-21 | 康寧公司 | 具有保留強度之物品 |
US9359261B2 (en) * | 2013-05-07 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9703011B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with a gradient layer |
CN103395247B (zh) | 2013-07-30 | 2015-05-13 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | 盖板玻璃及其制备方法 |
-
2015
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000031569A1 (en) * | 1998-11-20 | 2000-06-02 | Sola International Holdings Ltd. | Coated lens to reduce visual perception of stains |
JP2017518529A (ja) * | 2014-05-23 | 2017-07-06 | コーニング インコーポレイテッド | 引っ掻き傷および指紋の視認性が低下した低コントラストの反射防止物品 |
Also Published As
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