JP2022121188A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022121188A JP2022121188A JP2021018400A JP2021018400A JP2022121188A JP 2022121188 A JP2022121188 A JP 2022121188A JP 2021018400 A JP2021018400 A JP 2021018400A JP 2021018400 A JP2021018400 A JP 2021018400A JP 2022121188 A JP2022121188 A JP 2022121188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- base portion
- detection
- base
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 215
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 91
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 59
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000352 supercritical drying Methods 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002637 fluid replacement therapy Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/005—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by dipping them into or mixing them with a chemical liquid, e.g. organic; chemical, e.g. organic, dewatering aids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
- H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67748—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a single workpiece
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Abstract
【課題】超臨界状態の処理流体を用いて基板を乾燥させるにあたって、基板の表面に発生するパーティクルを抑制する。【解決手段】パターン形成面に液膜が形成された基板を、超臨界流体を用いて乾燥させる基板処理装置は、基板を収容するとともに超臨界流体が供給される処理容器と、パターン形成面を上向きにした状態で基板を下方から支持するベース部を有し、処理容器内において基板を保持する基板保持部と、ベース部の水平面に対する傾きを検出する第1検出部と、ベース部の水平面に対する傾きを調整する姿勢調整機構と、第1検出部の検出結果に基づいて姿勢調整機構を制御することによりベース部の水平出しを行う制御部とを備える。【選択図】図1
Description
本開示は、基板処理装置および基板処理方法に関する。
近年、半導体装置の製造において、処理液により上面が濡れている基板を超臨界状態の処理流体と接触させ、超臨界状態の処理流体で処理液を置換することにより基板を乾燥させる超臨界乾燥処理が行われつつある。特許文献1には、超臨界乾燥方法および当該方法を実施するための装置が記載されている。特許文献1には、最初にチャンバ内の基板の下方に超臨界流体を小流量で供給することにより初期加圧による基板の破損を防止し、チャンバ内の圧力が既定の圧力に到達した後に基板の上面に向けて超臨界流体を大流量で供給することが記載されている。
本開示は、超臨界状態の処理流体を用いて基板を乾燥させるにあたって、基板の表面に発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供する。
本開示の一態様によれば、パターン形成面に液膜が形成された基板を、超臨界流体を用いて乾燥させる基板処理装置であって、前記基板を収容するとともに前記超臨界流体が供給される処理容器と、前記パターン形成面を上向きにした状態で前記基板を下方から支持するベース部を有し、前記処理容器内において前記基板を保持する基板保持部と、前記ベース部の水平面に対する傾きを検出する第1検出部と、を備えた基板処理装置が提供される。
本開示によれば、超臨界状態の処理流体を用いて基板を乾燥させるにあたって、基板の表面に発生するパーティクルを抑制することができる。
基板処理装置の一実施形態としての超臨界乾燥装置1について添付図面を参照して説明する。説明の便宜のため、必要に応じて、各図に表記したXYZ直交座標系を用いて方向を示すこととする。X方向およびY方向は互いに直交する水平方向、Z方向は鉛直方向である。
図1に示すように、超臨界乾燥装置1は、超臨界チャンバとして形成された処理容器10を有する。処理容器10の内部には処理空間12が形成されている。処理容器10はその側面に、処理空間12の入り口となる開口部14を有する。
処理容器10は、流体供給部16および流体排出部18を有する。流体供給部16には、図示しない超臨界の処理流体(例えば超臨界状態にある二酸化炭素)の供給源から処理流体が供給され(矢印を参照)、流体供給部16から処理空間12内に吐出される。流体供給部16は例えばバーノズルからなる。処理流体は、流体排出部18を介して処理空間12の外部に排出される(矢印を参照)。処理流体の供給系および排出系の詳細な説明は省略するが、超臨界乾燥装置における任意の公知の構成を採用することが可能である。
超臨界乾燥装置は、基板保持部20を有している。図示された実施形態では、基板保持部20は、水平方向(X方向)に移動可能なトレイとして形成されており、概ね板状のベース部22と、ベース部22の一端に連結された蓋体24とを有している。
ベース部(ベース部本体)22の上面には、少なくとも3つ(図示例では4つ)の支持ピン26が上方に突出するように設けられている。支持ピン26は、例えば、ベース部(ベース部本体)22に内蔵されたリニアアクチュエータ260(図2を参照)により鉛直方向に昇降させることができる。支持ピン26は、主に、支持ピン26により支持されている半導体ウエハ等の基板Wの高さ位置の微調整および姿勢(水平面に対する傾き)の微調整を行うために用いることができる。なお、ここでは、支持ピン26を除くベース部22の部分(板状部分)をベース部本体とも呼ぶ。
ベース部22と蓋体24との間には、ベース部22の水平面に対する傾きを調整するための姿勢調整機構28が設けられている。図2に示すように、姿勢調整機構28は、例えば、コの字形(角括弧形)断面の基体281と、基体281に取り付けられた全部で8個の可動押しピン282とから構成することができる。各可動押しピン282はリニアアクチュエータ283により鉛直方向に移動させることができる。リニアアクチュエータ283は例えばボールねじを備えていてもよい。8個の可動押しピン282は2組に分けられている。図4に概略的に示されるように、第1組の4つの可動押しピン282が蓋体24の一側に、第2組の4つの可動押しピン282が蓋体24の他側に、それぞれ設けられている。この構成によれば、各可動押しピン282の先端の高さ位置(Z方向位置)を調節することにより、ベース部22の水平面に対する傾き(詳細には、傾き方向および傾き量の両方)を自由に調節できることは明らかである。姿勢調整機構28の構成は、図2に示されたものに限定されるものではなく、ベース部22の水平面に対する傾きを自由に調整できるのであれば任意の構成を採用することができる。
基板保持部20は「処理位置(後述する図6および図8に示す位置)」と「退避位置(図1に示す位置)」との間で水平方向に進退可能である。基板保持部20が処理位置にあるときには、蓋体24が処理容器10の開口部14に挿入されて開口部14を密閉し、また、ベース部22が処理空間12に収容される。基板保持部20が退避位置にあるときに、蓋体24が開口部14を開放し、ベース部22が処理空間12の外側に退出する。
処理容器10は、台座30に固定されている。台座30は、例えば、X方向を長辺方向とし、Y方向を短辺方向とする平面視で概ね長方形の形状に構成することができる。台座30は、基板処理装置の機枠40(フレーム)に対して、3つ以上(例えば4つ)の昇降アクチュエータ32を介して取り付けられている。機枠40は、超臨界乾燥装置の様々な構成要素が固定される不動の構造物と見なすことができる。昇降アクチュエータ32は長方形の台座30の四隅に設けることができる。昇降アクチュエータ32は、例えば電気回転モータとボールねじ等を有するリニアアクチュエータとすることができる。
台座30の上には水平方向(X方向)に延びるガイドレール34が設けられている。ガイドレール34の上には、図示しない駆動機構(例えば走行体36に内蔵されている)が発生する駆動力によりガイドレール34に沿って移動する走行体36が設けられている。走行体36にはアーム38を介して、基板保持部20が取り付けられている。従って、走行体36をガイドレール34に沿って移動させることにより、基板保持部20を前述した処理位置と退避位置との間で移動させることができる。
退避位置にある基板保持部20の下方には、図示しない基板リフター移動機構により鉛直方向に昇降可能な基板リフター60が設けられている。基板リフター60は3本以上(図示例では3本)のリフトピン62を有する。基板リフター60を上昇させて上昇位置に位置させることにより、基板保持部20(詳細には支持ピン26)により支持された基板Wをリフトピン62の先端で支持して持ち上げることができる。これを可能とするために、ベース部22にはリフトピン62が通ることができる貫通孔が設けられている。貫通孔の位置は図3および図4において、参照符号62Pで示されている。
基板リフター60が上昇位置にあるときに、図1のY方向奥側から手前側に向けて超臨界乾燥装置1内に進入してきた図示しない基板搬送アームと、基板リフター60との間で基板Wの受け渡しを行うことができる。つまり、基板Wの搬入時には、以下の手順(S1)~(S3)を実行することにより、処理前の基板Wの搬入を行うことができる。(S1)基板保持部20を退避位置に位置させた状態で、空の基板リフター60を上昇位置に位置させる。(S2)図示しない基板搬送アームが基板リフター60のリフトピン62上に基板Wを置く。(S3)基板搬送アームをベース部22の上方から退避させた後に基板リフター60を下降させ、これにより基板Wを基板リフター60からベース部22の支持ピン26に渡す。処理後の基板Wの搬出時には上記と逆の手順を実行すればよい。
基板リフター60は上下方向のみに移動可能に構成してもよく、この場合も、基板リフター60とその周辺部品との干渉を回避することは可能である。これに代えて、基板リフター60を上下方向だけでなくY方向(図1の紙面奥行き方向)にも移動可能に構成してもよい。こうすることにより、基板リフター60とその周辺部品との干渉を回避することが容易となる。
超臨界乾燥装置1は、複数の測距センサを有している。測距センサは、例えば、赤外線あるいはレーザ等を用いた光学的な測距センサとすることができる。測距センサは、機枠40それ自体または機枠40に固定された図示しないセンサ保持体に固定されている。複数の測距センサには、複数(図示例では4つ)の第1の測距センサ51、複数(図示例では5つ)の第2の測距センサ52、複数(図示例では5つ)の第3の測距センサ53、および複数(図示例では4つ)の第4の測距センサ54が含まれる。
第1の測距センサ51は、退避位置(図1に示した位置)にある基板保持部20のベース部22の下方に位置し、第1の測距センサ51の各々から基板保持部20のベース部22の下面までの鉛直方向距離(Z方向に沿って測定した距離)を測定する。
第2の測距センサ52は、退避位置にある基板保持部20のベース部22の下方に位置し、第2の測距センサ52の各々から基板保持部20のベース部22上(詳細には支持ピン26上)に支持された基板Wの下面までの鉛直方向距離を測定する。第2の測距センサ52のセンサ光を基板Wの下面までに到達させるため、基板保持部20のベース部22には、第2の測距センサ52と同数の貫通孔が設けられている。貫通孔は、基板保持部20が退避位置にあるときに、第2の測距センサ52の光軸(センサ光の光路)上に位置する。貫通孔は、例えば図3および図4において参照符号52pで示した位置に設けることができる。
第2の測距センサ52のセンサ光が基板Wの下面に到達可能でありさえすれば、第2の測距センサ52と同数の貫通孔が設けられていなくてもよい。つまり、ベース部22に、何らかの切り欠きが設けられていればよい。
第3の測距センサ53は、退避位置にある基板保持部20のベース部22の上方に位置し、第3の測距センサ53の各々から基板保持部20のベース部22上に支持された基板Wの上面(詳細には基板Wの上面に形成された液膜の表面)までの鉛直方向距離を測定する。
第4の測距センサ54は、台座30の四隅の上方に位置し、第4の測距センサ54の各々から台座30の四隅までの鉛直方向距離を測定する。第4の測距センサ54の測定値に基づき、水平面に対する台座30の傾き(台座30の上面の傾き)を検出することができる。
図3では、第1の測距センサ51のセンサ光のベース部22の下面への照射位置51pの例が黒丸で示されている。破線で示す大きな丸Weは基板Wの周縁(エッジ)の位置を示している。第1の測距センサ51のセンサ光の照射位置51pは、平面視で基板Wの周縁近傍にある。照射位置51pは、基板Wの中心を中心とする円の円周上であってかつ円周をN等分(Nは第1の測距センサの数であり、図示例では4である)した角度位置にそれぞれ配置されている。
第1の測距センサ51の検出値に基づいて、水平面(重力方向に垂直な平面)に対するベース部22の傾き方向および 傾き量(傾き角度)を特定することができる。Nが3以上であれば、ベース部22の傾き方向および傾き量を特定することができることは明らかであるが、ここではN=4として冗長化することにより測定信頼性を高めている。
なお、超臨界乾燥装置1の据え付け時に第1の測距センサ51の校正(機械的な校正、電気的な校正、演算処理上の校正のいずれでもよい)がなされており、例えば、測定対象面(ここではベース部22の下面)が水平であるなら、第1の測距センサ51の検出値が全て同じになるようになっている。この点については、第2~第4の測距センサにおいても同じである。
図3では、第2の測距センサ52のセンサ光の基板W下面への照射位置52pの例が白丸で示されている。第2の測距センサ52のセンサ光の照射位置52pは、基板Wの中心に1つ、周縁近傍に4つある。基板Wの周縁近傍の4つの照射位置52pは、基板Wの中心を中心とする円の円周上であってかつ円周を4等分した角度位置にそれぞれ配置されている。
第2の測距センサ52の検出値に基づいて、水平面に対する基板Wの傾き方向および傾き量(傾き角度)を特定することができる。基板Wの表面にはIPA液膜が存在しているため、基板Wの表面側から基板Wそれ自体の傾きを精確に測定することは困難であるが、基板Wの裏面に検出光を照射することにより基板Wの傾きを精確に測定することが可能となる。
また、基板Wの中心にも第2の測距センサの照射位置52pが設定されているため、基板Wに撓みが生じていた場合には、その撓みも検出することができる。第2の測距センサ52の数は5つに限定されるものではなく、求められる冗長性に応じて変更することができる。
図3に示すように、2つのアーム38を基板保持部20の蓋体24の両側に取り付けることが好ましい。そうすることにより、アーム38がその移動範囲内において第1の測距センサ51および第2の測距センサ52に対して干渉(衝突)しないことが保証される装置設計(部品レイアウト)が容易となる。
図4では、第3の測距センサ53のセンサ光の基板Wの上面(詳細には上面にある液パドルの表面)への照射位置53pの例が、ハッチングが付けられた丸で示されている。第3の測距センサ53のセンサ光の照射位置53pは、第2の測距センサ52と同様に、基板Wの中心に1つ、周縁近傍に4つ設定されている。図示例では、第3の測距センサ53のセンサ光の照射位置53pは、第2の測距センサ52のセンサ光の照射位置52pを、基板Wの中心周りに45度ずらした位置にあるが、これに限定されるものではない。
第3の測距センサ53の検出値に基づいて、基板Wの上面にある液膜(パドル)の液面の高さおよびその均一性を検出することができる。液面の高さが高すぎると、処理容器10の処理空間12を画定する天井壁の下面に液が接触するおそれがある。液面の高さが低すぎると、早期の乾燥により、乾燥不良が生じるおそれがある。液面高さが不均一な場合には、上記天井壁の下面への液の局所的な接触が生じるおそれがある。また、液面高さが不均一である場合には、液膜の厚さが不均一である可能性があり、この場合、局所的な乾燥不良、パーティクルの大量発生またはパターン倒壊が生じるおそれがある。
なお、ベース部22の上面に設けられた例えば4つの支持ピン26は、例えば第3の測距センサ53のセンサ光の照射位置53p(周縁近傍の4つ)の真下に設けることができる。これに代えて、4つの支持ピン26を、基板Wの中心を中心とする円の円周を4等分した角度位置に配置してもよい。
図1に示すうように、超臨界乾燥装置1は制御部100を有する。制御部100は、たとえばコンピュータであり、演算部101と記憶部102とを備える。記憶部102には、超臨界乾燥装置1(または超臨界乾燥装置1を含む基板処理システム)において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。演算部101は、記憶部102に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって超臨界乾燥装置の動作を制御する。プログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部100の記憶部102にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。
次に、超臨界乾燥装置1の動作、特に基板搬送アーム(図示せず)から基板リフター60を介して退避位置にある基板保持部20の支持ピン26に基板Wが渡された時点から、当該基板Wの処理のために基板保持部20が退避位置から処理位置まで移動する時点までの動作について説明する。なお、この基板Wは、例えば、その表面(パターン形成面)にIPAのパドル(液膜)が形成され、かつ、その表面のパターンの凹部内がIPAで満たされている。この基板Wは、例えば、図示しない枚葉式洗浄装置において(1)ウエットエッチング、薬液洗浄等の薬液処理、(2)薬液をリンス液により洗い流すリンス処理、(3)リンス液をIPAに置換してIPAのパドル(液膜)を形成するIPA置換処理が順次施されたものである。多くの場合、複数の超臨界乾燥装置1と複数の上記枚葉式洗浄装置とが組み合わされて1つの基板処理(液処理および乾燥)システムが形成され、この基板処理システム内で、上記基板搬送アームにより基板が搬送される。
以下に説明する動作は、制御部100の記憶部102に記憶されるか制御部100の上位コンピュータから送信された処理レシピに基づいて、制御部100の制御の下で自動的に実施される。
<調整工程1:台座30の水平出し>
まず、退避位置にある基板保持部20の支持ピン26上に表面(パターン形成面)を上向きにして置かれた基板Wに対して、第1~第3の測距センサ51~53の各々から検出光が照射され、また台座30の上面の四隅に第4の測距センサ54からの検出光が照射される。そして、第4の測距センサ54の検出結果に基づいて、台座30の水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、4つの昇降アクチュエータ32の1つ以上を適宜動作させることにより台座30の水平出しが行われる。なお、台座30の水平出し(傾き調整)は、基板処理直前のこのタイミングに限らず、基板の処理後、待機時(例えば基板Wが超臨界乾燥装置1から搬出された後に次の基板Wの搬入を待っているとき)に行ってもよい。台座30の水平出しは、超臨界乾燥装置1の運転時の任意のタイミングで行うことができ、例えば超臨界乾燥処理中に行ってもよい。
まず、退避位置にある基板保持部20の支持ピン26上に表面(パターン形成面)を上向きにして置かれた基板Wに対して、第1~第3の測距センサ51~53の各々から検出光が照射され、また台座30の上面の四隅に第4の測距センサ54からの検出光が照射される。そして、第4の測距センサ54の検出結果に基づいて、台座30の水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、4つの昇降アクチュエータ32の1つ以上を適宜動作させることにより台座30の水平出しが行われる。なお、台座30の水平出し(傾き調整)は、基板処理直前のこのタイミングに限らず、基板の処理後、待機時(例えば基板Wが超臨界乾燥装置1から搬出された後に次の基板Wの搬入を待っているとき)に行ってもよい。台座30の水平出しは、超臨界乾燥装置1の運転時の任意のタイミングで行うことができ、例えば超臨界乾燥処理中に行ってもよい。
<調整工程2:ベース部22の水平出し>
次に、再び第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、第1の測距センサ51の検出結果に基づいて、ベース部22の水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、基板保持部20に設けられた姿勢調整機構28を動作させることにより、ベース部22の水平出しが行われる。
次に、再び第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、第1の測距センサ51の検出結果に基づいて、ベース部22の水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、基板保持部20に設けられた姿勢調整機構28を動作させることにより、ベース部22の水平出しが行われる。
<調整工程3:基板Wの水平出し>
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、第2の測距センサ52の検出結果に基づいて、ベース部22上にある基板Wの水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、ベース部22に設けられた支持ピン26を動作させることにより、基板Wの水平出しが行われる。
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、第2の測距センサ52の検出結果に基づいて、ベース部22上にある基板Wの水平面に対する傾きが検出される。傾きが許容範囲を超えていた場合には、ベース部22に設けられた支持ピン26を動作させることにより、基板Wの水平出しが行われる。
<調整工程4:基板Wの高さ調整>
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、 第3の測距センサ53の検出結果に基づいて、ベース部22上にある基板Wの表面上にあるIPAパドルの表面の高さが検出される。高さが許容範囲を超えていた場合には、ベース部22に設けられた支持ピン26を動作させることにより、基板Wの高さを適正な高さまで下げる。
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。そして、 第3の測距センサ53の検出結果に基づいて、ベース部22上にある基板Wの表面上にあるIPAパドルの表面の高さが検出される。高さが許容範囲を超えていた場合には、ベース部22に設けられた支持ピン26を動作させることにより、基板Wの高さを適正な高さまで下げる。
<調整工程5:最終確認>
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。第1~第4の測距センサ51~54の検出値から求められた台座30の水平面に対する傾き、ベース部22の水平面に対する傾き、基板Wの水平面に対する傾き、基板Wの表面上にあるIPAパドルの表面の高さの全てに問題が無ければ、基板保持部20を処理位置に移動させて超臨界乾燥処理を開始することができる。
次に、第1~第4の測距センサ51~54の各々から検出光が照射される。第1~第4の測距センサ51~54の検出値から求められた台座30の水平面に対する傾き、ベース部22の水平面に対する傾き、基板Wの水平面に対する傾き、基板Wの表面上にあるIPAパドルの表面の高さの全てに問題が無ければ、基板保持部20を処理位置に移動させて超臨界乾燥処理を開始することができる。
超臨界乾燥処理は、本件出願人の先行出願(例えば特開2020-170873号、その他多数有り)などに記載された公知の方法で実行することができる。例えば、超臨界状態の処理流体(例えば二酸化炭素)の供給源(図示せず)から処理空間12内に処理流体を供給することにより処理空間12内を所定の圧力まで昇圧し(昇圧工程)、その後、処理空間12内に超臨界流体を流通させることにより基板W上のIPAを処理流体で置換する(流通工程)。置換が完了したら処理空間12内から処理流体を排出して処理空間12を常圧まで減圧する。これにより超臨界状態の処理流体が気化し、パターン倒壊を防止しつつ基板Wを乾燥させることができる。このとき基板Wの表面が傾いていると、IPA膜厚の面内均一性が悪化し、これにより超臨界流体置換の面内均一性の悪化が生じ、これによりパターン倒壊またはパーティクルレベルの悪化が生じることがある。しかしながら、本実施形態によれば、基板Wの表面を安定して水平に維持することができ、望ましい処理結果を得ることができる。
(1)台座30の水平面に対する傾きの調整(台座30の水平出し)、(2)ベース部22の水平面に対する傾きの調整(ベース部22の水平出し)、(3)基板Wの水平面に対する傾きの調整(基板Wの水平出し)、(4)基板Wの表面上にあるIPAパドルの表面の高さの調整(基板の高さの調整)の全てを各基板Wの処理の前に実行することが好ましい。しかしながら全ての調整を行うにはある程度の時間がかかる。調整に時間をかけすぎるとIPAパドルが乾燥し、パドルの膜厚が薄くなったり、あるいは部分的にパドルが消失して基板Wの表面が露出するおそれがある。この場合も、パターン倒壊またはパーティクルレベルの悪化が生じることがある。
上記の問題が生じることを防止するため、基板Wが基板保持部20に搬入されてから予め定められた時間が経過したら、上記(1)~(4)の調整を途中で停止し、基板保持部20を処理位置に移動させて超臨界乾燥処理を開始させてもよい。この場合、残りの調整は次の基板Wが基板保持部20に搬入された時に行えばよい。つまり、例えば、1枚目の基板Wに対して上記(1)および(2)の調整が終了した時点で予め定められた時間が経過したら、調整はその時点で終了して、上記(3)および(4)の調整は2枚目の基板Wに対して行ってもよい。
第1変形実施形態として、図5に示す位置に、ベース部22の上面に吸着パッド70を設けてもよい。吸着パッド70を配置する位置は、例えば、平面視で、第2の測距センサ52の基板W下面への照射位置の近くにすることができる。なお、ベース部22の中央部には、第2の測距センサ52からの検出光を通すための貫通孔(図3における52pの位置)があるため、この貫通孔を囲むように3つの吸着パッド70が配置されている。なお、吸着パッド70を設けた場合には、基板の水平出しおよび高さ調節は下記の手順により行うことができる。すなわち、まず、第2の測距センサ52による検出結果に基づいて支持ピン26を昇降させて、基板Wの水平出しを行う。このとき、支持ピン26の昇降量に応じた基板Wの変位が第2の測距センサ52により検出されない場合には、基板Wが沿っていると判断する。そして、支持ピン26の昇降量に応じた基板Wの変位が認められない支持ピン26に最も近い吸着パッド70を用いて基板Wを吸着することにより当該支持ピン26に基板Wを密接させればよい。そうすれば、当該支持ピン26による基板Wの高さ調節が可能となる。
例えば、各吸着パッド70をベース部22に対して上下方向に昇降可能に設けてもよい。そうすることにより、基板Wの水平出しおよび高さ調節に加えて、基板Wの反りの修正も行うことができる。この場合、吸着パッド70は、例えば、リニアアクチュエータ(図示せず)を介してベース部22に取り付けることができる。この場合は、前述した第3工程および第4工程は、各吸着パッド70の高さを調節することにより行うことができる。
基板Wの反り具合に関わらず基板Wを常に吸着パッド70で吸着する場合には、支持ピン26を設けなくてもよい。基板Wの反り具合に応じて吸着パッド70を用いるか用いないかを決定する場合には、例えば、吸着パッド70を用いるときに支持ピン26の高さを下げてもよい。
第2および第3変形実施形態として、ベース部22の水平面に対する傾きを、ベース部22と一体の蓋体24の傾きを検出することにより間接的に検出するデバイス(蓋体傾き検出デバイス)を設けてもよい。
第2変形実施形態の構成が図6および図7に示されている。第2変形実施形態は、蓋体傾き検出デバイスとして複数の第5の測距センサ55を備えている。第5の測距センサ55は、第1~第4の測距センサ51~54と同様に、赤外線あるいはレーザ等を用いた光学的な測距センサとすることができ、機枠40それ自体または機枠40に固定された図示しないセンサ保持体に固定される。図6に示すように基板保持部20が処理位置に位置しているときに、第5の測距センサ55は、蓋体24の前面24F(これは鉛直面である)に設定された複数(好ましくは3つ以上の、図示例では4つ)の照射位置55pに対してセンサ光を照射する。各測距センサ55と照射位置55pまでの距離に基づいて、各照射位置55pの座標を特定することができ、これに基づいて蓋体24の傾きを検出することができる。照射位置55pを3つ以上設定することにより、蓋体24の任意の方向に関する傾きを検出することができる。
第3変形実施形態の構成が図8および図9に示されている。第3変形実施形態は、蓋体傾き検出デバイスとして1つ以上の傾斜センサ56を有している。傾斜センサ56が多軸センサ(異なる方向を向いた2つ以上の軸周りの角度位置を検出することができるもの)の場合には、傾斜センサ56の数は1つでよく、この場合、傾斜センサ56(56F)を例えば蓋体24の前面24Fに設けることができる。傾斜センサ56が一軸センサ(1つだけの軸周りの角度位置を検出することができるもの)の場合には、傾斜センサ56を蓋体24の異なる方向を向いた2つの面(例えば前面24Fおよび側面24S(これは前面24Fに対して垂直である)に設けることができる。なお、側面24Sに傾斜センサ56(56S)を設ける場合には、基板保持部20が処理位置に位置しているときに蓋体24が処理容器10の前面よりも前方に突出して、蓋体24の側面24Sが処理容器10により覆われないようにすることが好ましい。
上記の第2および第3変形実施形態によれば、基板保持部20が処理位置に位置する基板Wの乾燥処理中あるいは乾燥処理開始の直前に、蓋体24の傾きに基づいてベース部22の傾きを検出することができる。このため、例えば基板保持部20と処理容器10との間で不適切な干渉が生じることによりベース部22(つまりその上の基板W)が傾いたときに、そのような事象が生じたことを検出することができる。ベース部22の異常な傾きが検出されたときには、制御部100がアラームを発生させてオペレータに異常が生じたことを通知してもよいし、超臨界乾燥装置1の運転を停止させてもよい。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
基板Wは例えば半導体ウエハであるが、これに限定されるものではなく半導体装置製造の分野で用いられる他の基板(セラミック基板、ガラス基板)であってもよい。
W 基板
10 処理容器
20 基板保持部
22 ベース部
51 第1検出部
10 処理容器
20 基板保持部
22 ベース部
51 第1検出部
Claims (15)
- パターン形成面に液膜が形成された基板を、超臨界流体を用いて乾燥させる基板処理装置であって、
前記基板を収容するとともに前記超臨界流体が供給される処理容器と、
前記パターン形成面を上向きにした状態で前記基板を下方から支持するベース部を有し、前記処理容器内において前記基板を保持する基板保持部と、
前記ベース部の水平面に対する傾きを検出する第1検出部と、
を備えた基板処理装置。 - 前記ベース部の水平面に対する傾きを調整する姿勢調整機構と、
前記第1検出部の検出結果に基づいて前記姿勢調整機構を制御することにより前記ベース部の水平出しを行う制御部と、
をさらに備えた、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記処理容器は、基板を収容するための開口部を有し、
前記基板保持部は、前記ベース部に接続されるとともに前記開口部を塞ぐ蓋体を含み、
前記基板保持部は、処理位置と退避位置との間で進退可能であり、
前記基板保持部が前記処理位置にあるときに、前記蓋体が前記開口部を塞ぐとともに前記ベース部が前記処理容器内に収容され、
前記基板保持部が前記退避位置にあるときに、前記蓋体が前記開口部を開放するとともに前記ベース部が前記処理容器の外に退出し、
前記第1検出部は、前記基板保持部が前記退避位置にあるときの前記ベース部の水平面に対する傾きを検出することができる位置に設けられている、請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記第1検出部は、前記退避位置にある前記基板保持部の前記ベース部の下方に設けられている、請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記第1検出部は、前記ベース部の下面の3か所以上の高さ位置を測定することができる3つ以上の光学的センサを含む、請求項3または4に記載の基板処理装置。
- 前記ベース部に支持された前記基板の上面に形成された液膜の表面の高さ位置を検出する第2検出部をさらに備えた、請求項3から5のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記第2検出部は、前記退避位置にある前記基板保持部の前記ベース部の上方に設けられている、請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記ベース部は、ベース部本体と、前記ベース部本体から上方に突出して前記基板を下方から支持する複数の支持部材と、前記ベース部本体に対して前記複数の支持部材を昇降させる昇降機構と、を有しており、
前記制御部は、前記第1検出部の検出結果に基づき前記姿勢調整機構による前記ベース部の水平出しを行った後に、前記第2検出部の検出結果に基づき前記昇降機構による前記液膜の表面の高さ位置の調節を行う、請求項3が請求項2に従属する場合における請求項6または7に記載の基板処理装置。 - 前記ベース部により支持された前記基板の水平面に対する傾きを検出する第3検出部をさらに備えた、請求項3から8のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記第3検出部は、前記退避位置にある前記基板保持部の前記ベース部の下方に設けられている、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記第3検出部は、前記ベース部の下面の3か所以上の高さ位置を測定することができる3つ以上の光学的センサを含み、前記光学的センサから照射される光が前記基板の下面に照射されることを可能とする切り欠きが前記ベース部に設けられている、請求項9または10に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記第1検出部の検出結果に基づき前記姿勢調整機構により前記ベース部の水平出しを行った後であってかつ、前記第2検出部の検出結果に基づき前記昇降機構による前記液膜の表面の高さ位置の調整の実行と同時、若しくはその前、若しくはその後に、前記第3検出部の検出結果に基づき前記昇降機構により前記基板の水平出しを行う、請求項8および請求項8に従属する請求項9から11のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- パターン形成面に液膜が形成された基板を、超臨界流体を用いて乾燥させる基板処理方法であって、前記超臨界流体を用いた乾燥を行う前に実行される工程として、
前記パターン形成面を上向きにした状態で前記基板を下方から支持する基板保持部のベース部の水平面に対する傾きを検出する第1検出工程と、
前記第1検出工程の検出結果に基づいて、前記ベース部の水平出しを行うベース部水平出し工程と、
を備えた基板処理方法。 - 前記超臨界流体を用いた乾燥を行う前に実行される工程として、
前記ベース部に支持された前記基板の上面に形成された液膜の表面の高さ位置を検出する第2検出工程と、
前記第1検出工程の検出結果に基づき前記ベース部の水平出しを行った後に、前記第2検出工程の検出結果に基づき前記液膜の表面の高さ位置の調節を行う液膜高さ調節工程と、
をさらに備えた請求項13に記載の基板処理方法。 - 前記超臨界流体を用いた乾燥を行う前に実行される工程として、
前記ベース部により支持された前記基板の水平面に対する傾きを検出する第3検出工程と、
前記第1検出工程の検出結果に基づき前記ベース部の水平出しを行った後であってかつ、前記第2検出工程の検出結果に基づく前記液膜の表面の高さ位置の調整の実行と同時に、若しくはその前に、若しくはその後に、前記第3検出工程の検出結果に基づき前記基板の水平出しを行う、請求項14に記載の基板処理方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021018400A JP2022121188A (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 基板処理装置および基板処理方法 |
TW111103260A TW202234986A (zh) | 2021-02-08 | 2022-01-26 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
CN202210102360.7A CN114914172A (zh) | 2021-02-08 | 2022-01-27 | 基板处理装置和基板处理方法 |
KR1020220014126A KR20220114485A (ko) | 2021-02-08 | 2022-02-03 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US17/649,933 US20220254658A1 (en) | 2021-02-08 | 2022-02-04 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021018400A JP2022121188A (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022121188A true JP2022121188A (ja) | 2022-08-19 |
Family
ID=82704732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021018400A Pending JP2022121188A (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220254658A1 (ja) |
JP (1) | JP2022121188A (ja) |
KR (1) | KR20220114485A (ja) |
CN (1) | CN114914172A (ja) |
TW (1) | TW202234986A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111630637A (zh) * | 2018-01-26 | 2020-09-04 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9587880B2 (en) | 2012-05-31 | 2017-03-07 | Semes Co., Ltd. | Apparatus and method for drying substrate |
-
2021
- 2021-02-08 JP JP2021018400A patent/JP2022121188A/ja active Pending
-
2022
- 2022-01-26 TW TW111103260A patent/TW202234986A/zh unknown
- 2022-01-27 CN CN202210102360.7A patent/CN114914172A/zh active Pending
- 2022-02-03 KR KR1020220014126A patent/KR20220114485A/ko unknown
- 2022-02-04 US US17/649,933 patent/US20220254658A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114914172A (zh) | 2022-08-16 |
TW202234986A (zh) | 2022-09-01 |
US20220254658A1 (en) | 2022-08-11 |
KR20220114485A (ko) | 2022-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10756046B2 (en) | Bonding apparatus, bonding system, bonding method and storage medium | |
JP4642787B2 (ja) | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 | |
JP5381118B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP6908757B2 (ja) | 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2016127086A (ja) | 基板吸着補助部材及び基板搬送装置 | |
JP2000260852A (ja) | 検査ステージ及び検査装置 | |
JP2009200063A (ja) | 基板の変形検出機構,処理システム,基板の変形検出方法及び記録媒体 | |
JP7308688B2 (ja) | 基板処理装置および基板乾燥方法 | |
KR102440092B1 (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 | |
JP2016186962A (ja) | 熱処理装置、熱処理における異常検出方法及び読み取り可能なコンピュータ記憶媒体 | |
JP2022121188A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP7406039B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2006237262A (ja) | 加熱処理装置 | |
US20190312006A1 (en) | Bonding apparatus, bonding system, bonding method, and recording medium | |
KR102410974B1 (ko) | 반도체 제조 장치의 구동 방법 | |
JP7183223B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2015034813A (ja) | 塗布装置 | |
JP2018147994A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4826544B2 (ja) | 加熱処理装置、加熱処理方法及び記憶媒体 | |
JP2017118049A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP2004273965A (ja) | 基板処理装置 | |
KR20230080770A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2022185826A (ja) | 樹脂被覆方法及び樹脂被覆装置 | |
JP2023098690A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR20230100185A (ko) | 조사 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231109 |