JP2022110920A - 樹脂組成物及び樹脂組成物充填済みシリンジ - Google Patents
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Abstract
Description
[1] シリンジと、シリンジ内に充填された樹脂組成物とを備える樹脂組成物充填済みシリンジであって、
樹脂組成物が、
水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価試験において、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たす、樹脂組成物充填済みシリンジ。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
[2] 前記評価試験が、
シリコンウエハ表面から高さ5cmの位置に設置した吐出口より、シリコンウエハ表面上に、23℃条件下、2g/秒の速度で23℃の樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、ディスペンスを停止して、樹脂組成物の樹脂ドームを形成することを含む、上記[1]に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[3] 前記評価試験において、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームとが接触していない場合、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスした時点を前記ディスペンス完了時点とし、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームが接触している場合、ディスペンスの停止後に吐出口を引き上げて、吐出口を樹脂ドームから引き離す操作を行い、吐出口が樹脂ドームから離れた時点を前記ディスペンス完了時点とする、上記[2]に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[4] ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL2とした場合、下記式(2)の条件をさらに満たす、上記[1]~[3]の何れかに記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2)
[5] 樹脂組成物の25℃における粘度が、100Pa・s以上500Pa・s以下である、上記[1]~[4]の何れかに記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[6] 樹脂組成物が、(A)熱硬化性樹脂を含む、上記[1]~[5]の何れかに記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[7] 樹脂組成物が、(B)無機充填材を含む、上記[1]~[6]の何れかに記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[8] 樹脂組成物が、(C)シランカップリング剤を含む、上記[1]~[7]の何れかに記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
[9] 水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価試験において、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たす、樹脂組成物。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
[10] 前記評価試験が、
シリコンウエハ表面から高さ5cmの位置に設置した吐出口より、シリコンウエハ表面上に、23℃条件下、2g/秒の速度で23℃の樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、ディスペンスを停止して、樹脂組成物の樹脂ドームを形成することを含む、上記[9]に記載の樹脂組成物。
[11] 前記評価試験において、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームとが接触していない場合、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスした時点を前記ディスペンス完了時点とし、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームが接触している場合、ディスペンスの停止後に吐出口を引き上げて、吐出口を樹脂ドームから引き離す操作を行い、吐出口が樹脂ドームから離れた時点を前記ディスペンス完了時点とする、上記[10]に記載の樹脂組成物。
[12] ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL2とした場合、
下記式(2)の条件をさらに満たす、上記[9]~[11]の何れかに記載の樹脂組成物。
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2)
[13] 樹脂組成物の25℃における粘度が、100Pa・s以上500Pa・s以下である、上記[9]~[12]の何れかに記載の樹脂組成物。
[14] (A)熱硬化性樹脂を含む、上記[9]~[13]の何れかに記載の樹脂組成物。
[15] (B)無機充填材を含む、上記[9]~[14]の何れかに記載の樹脂組成物。
[16] (C)シランカップリング剤を含む、上記[9]~[15]の何れかに記載の樹脂組成物。
[17] 半導体チップパッケージの絶縁層を形成するための上記[9]~[16]の何れかに記載の樹脂組成物。
[18] 回路基板の絶縁層を形成するための上記[9]~[16]の何れかに記載の樹脂組成物。
[19] 半導体チップパッケージの半導体チップを封止するための上記[9]~[16]の何れかに記載の樹脂組成物。
[20] 上記[9]~[19]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物。
[21] 上記[9]~[19]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む回路基板。
[22] 上記[21]に記載の回路基板と、当該回路基板に搭載された半導体チップと、を含む半導体チップパッケージ。
[23] 半導体チップと、当該半導体チップを封止する上記[9]~[19]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物と、を含む半導体チップパッケージ。
[24] 上記[22]又は[23]に記載の半導体チップパッケージを備える半導体装置。
[25] 水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価方法であって、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たすか否かを判定することを含む、樹脂組成物の評価方法。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
本発明の樹脂組成物充填済みシリンジは、シリンジと、シリンジ内に充填された樹脂組成物とを備える。
本発明で使用する樹脂組成物は、下記で説明する樹脂組成物の評価試験の結果において下記で説明する式(1)の条件(好ましくはさらに式(2)の条件)を満たす。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2)
本発明において樹脂組成物は、(A)熱硬化性樹脂を含んでいていてもよい。熱硬化性樹脂としては、電子機器の封止材料として使用可能な熱硬化性樹脂を用いることができる。(A)熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ウレタン樹脂、シアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。
本発明において樹脂組成物は、(A)熱硬化性樹脂として、(A-1)エポキシ樹脂を含んでいていてもよい。(A-1)エポキシ樹脂とは、エポキシ基を有する樹脂を意味する。
本発明において樹脂組成物は、(A)熱硬化性樹脂として(A-1)エポキシ樹脂を含む場合、さらに任意成分として(A-2)エポキシ硬化剤を含んでいていてもよい。(A-2)エポキシ硬化剤は、(A-1)エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させるエポキシ樹脂硬化剤としての機能を有する。
本発明において樹脂組成物は、任意の成分として(B)無機充填材を含んでいていてもよい。
本発明において樹脂組成物は、(A)及び(B)成分以外の任意成分として(C)シランカップリング剤を含んでいてもよい。
本発明における樹脂組成物は、(A)~(C)成分以外の任意の成分として(D)硬化促進剤を含んでいてもよい。(D)硬化促進剤は、樹脂組成物の硬化を促進させる硬化触媒としての機能を有する。
本発明における樹脂組成物は、(A)~(D)成分以外の任意の成分として(E)ラジカル重合性化合物を含んでいてもよい。
本発明における樹脂組成物は、さらに任意の成分として(F)ラジカル重合開始剤を含んでいてもよい。(F)ラジカル重合開始剤としては、加熱時にフリーラジカルを発生させる熱重合開始剤が好ましい。(F)ラジカル重合開始剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明における樹脂組成物は、(A)~(F)成分以外の任意の成分として(G)ポリエーテル骨格含有化合物を含んでいてもよい。(G)ポリエーテル骨格含有化合物は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明における樹脂組成物は、上述した(A)~(G)成分以外の不揮発成分として、任意の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等の有機充填材;ポリカーボネート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂;有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディングリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;リン酸エステル系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレン系分散剤、シリコーン系分散剤、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤等の分散剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤等が挙げられる。添加剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
本発明における樹脂組成物は、揮発性成分として、さらに(J)任意の有機溶剤を含有していてもよい。(J)有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。溶剤は、量が少ないほど好ましい。溶剤の量は、本発明における樹脂組成物中の全不揮発成分100質量%に対して、好ましくは3質量%以下、より好ましくは1質量%以下、更に好ましくは0.5質量%以下、更に好ましくは0.1質量%以下、更に好ましくは0.01質量%以下であり、含まないこと(0質量%)が特に好ましい。
本発明における樹脂組成物は、例えば、上述した成分を混合することによって、製造することができる。上述した成分は、一部又は全部を同時に混合してもよく、順に混合してもよい。各成分を混合する過程で、温度を適宜設定してもよく、よって、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。
本発明における樹脂組成物は、有機EL装置及び半導体等の電子機器を封止するための樹脂組成物(封止用の樹脂組成物)として好適に使用することができ、特に、半導体を封止するための樹脂組成物(半導体封止用の樹脂組成物)、好ましくは半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)として好適に使用することができる。また、樹脂組成物は、封止用途以外に絶縁層用の絶縁用途の樹脂組成物として用いることができる。例えば、前記の樹脂組成物は、半導体チップパッケージの絶縁層を形成するための樹脂組成物(半導体チップパッケージの絶縁層用の樹脂組成物)、及び、回路基板(プリント配線板を含む。)の絶縁層を形成するための樹脂組成物(回路基板の絶縁層用の樹脂組成物)として、好適に使用することができる。
樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物層と、を有する。樹脂組成物層は、本発明における樹脂組成物により形成される層である。
回路基板は、樹脂組成物の硬化物を含む。通常、回路基板は、樹脂組成物の硬化物で形成された硬化物層を含み、この硬化物層は、絶縁層又は封止層として機能しうる。この回路基板は、例えば、下記の工程(1)及び工程(2)を含む製造方法によって、製造できる。
(1)基板上に、樹脂組成物層を形成する工程。
(2)樹脂組成物層を熱硬化して、硬化物層を形成する工程。
例えば、樹脂シートを用いて回路基板を製造した場合、回路基板の製造方法は、樹脂シートの支持体を剥離する工程を含んでいてもよい。支持体は、樹脂組成物層の熱硬化の前に剥離してもよく、樹脂組成物層の熱硬化の後に剥離してもよい。
半導体チップパッケージは、樹脂組成物の硬化物を含む。この半導体チップパッケージとしては、例えば、下記のものが挙げられる。
(A)基板に仮固定フィルムを積層する工程、
(B)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(C)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(D)基板及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(E)半導体チップの基板及び仮固定フィルムを剥離した面に再配線形成層を形成する工程、
(F)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程、並びに、
(G)再配線層上にソルダーレジスト層を形成する工程、
を含む。また、前記の半導体チップパッケージの製造方法は、
(H)複数の半導体チップパッケージを、個々の半導体チップパッケージにダイシングし、個片化する工程
を含んでいてもよい。
工程(A)は、基板に仮固定フィルムを積層する工程である。基板と仮固定フィルムとの積層条件は、回路基板の製造方法における基板と樹脂シートとの積層条件と同様でありうる。
工程(B)は、半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程である。半導体チップの仮固定は、例えば、フリップチップボンダー、ダイボンダー等の装置を用いて行うことができる。半導体チップの配置のレイアウト及び配置数は、仮固定フィルムの形状、大きさ、目的とする半導体チップパッケージの生産数等に応じて適切に設定できる。例えば、複数行で、かつ複数列のマトリックス状に半導体チップを整列させて、仮固定してもよい。
工程(C)は、半導体チップ上に封止層を形成する工程である。封止層は、樹脂組成物の硬化物によって形成しうる。封止層は、通常、半導体チップ上に樹脂組成物層を形成する工程と、この樹脂組成物層を熱硬化させて封止層としての硬化物層を形成する工程とを含む方法で形成する。半導体チップ上への樹脂組成物層の形成は、例えば、基板の代わりに半導体チップを用いること以外は、前記<回路基板>で説明した基板上への樹脂組成物層の形成方法と同じ方法で行いうる。
工程(D)は、基板及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程である。剥離方法は、仮固定フィルムの材質に応じた適切な方法を採用することが望ましい。剥離方法としては、例えば、仮固定フィルムを加熱、発泡又は膨張させて剥離する方法が挙げられる。また、剥離方法としては、例えば、基板を通して仮固定フィルムに紫外線を照射して、仮固定フィルムの粘着力を低下させて剥離する方法が挙げられる。
工程(E)は、半導体チップの基板及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程である。通常、この再配線形成層は、半導体チップ及び封止層上に形成される。
工程(F)は、再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程である。再配線形成層上に再配線層を形成する方法は、回路基板の製造方法における硬化物層上への導体層の形成方法と同様でありうる。また、工程(E)及び工程(F)を繰り返し行い、再配線層及び再配線形成層を交互に積み上げて(ビルドアップ)もよい。
工程(G)は、再配線層上にソルダーレジスト層を形成する工程である。ソルダーレジスト層の材料は、絶縁性を有する任意の材料を用いることができる。中でも、半導体チップパッケージの製造のしやすさの観点から、感光性樹脂及び熱硬化性樹脂が好ましい。また、熱硬化性樹脂として、樹脂組成物を用いてもよい。
半導体チップパッケージの製造方法は、工程(A)~(G)以外に、工程(H)を含んでいてもよい。工程(H)は、複数の半導体チップパッケージを個々の半導体チップパッケージにダイシングし、個片化する工程である。半導体チップパッケージを個々の半導体チップパッケージにダイシングする方法は特に限定されない。
半導体装置は、半導体チップパッケージを備える。半導体装置としては、例えば、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、スマートフォン、タブレット型デバイス、ウェラブルデバイス、デジタルカメラ、医療機器、及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。
下記表1に示すように所定量の各成分を混合して、樹脂組成物を調製した。表1に示す各成分の詳細は、下記の通りである。
セロキサイド2021P:エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂(ダイセル製「セロキサイド2021P」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量126g/eq.)
HP4032D:ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製の「HP4032D」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量151g/eq.)
EX-991L:アルキレンオキシ骨格含有エポキシ樹脂(ナガセケムテックス社製「EX-991L」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量450g/eq.)
EG-280:フルオレン構造含有エポキシ樹脂(大阪ガスケミカル社製「EG-280」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量460g/eq.)
YX7400:ポリアルキレンオキシ構造含有樹脂(三菱化学社製「YX7400」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量440g/eq)
EP-3950L:グリシジルアミン型エポキシ樹脂(ADEKA社製「EP-3950L」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量95g/eq.)
EP-3980S:グリシジルアミン型エポキシ樹脂(ADEKA社製「EP-3980S」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量115g/eq.)
EP-4088S:ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(ADEKA社製「EP-4088S」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量170g/eq.)
ZX1059:ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂との1:1(質量比)混合品(日鉄ケミカル&マテリアルズ社製「ZX1059」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量169g/eq.)
JP-100:ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂(日本曹達社製「JP-100」、液状エポキシ樹脂、エポキシ当量210g/eq.)
2,2-ジアリルビスフェノールA:フェノール系硬化剤(シグマアルドリッチ社製、活性基(フェノール性水酸基)当量154g/eq.)
カヤハードA-A:アミン系硬化剤(4、4’-ジアミノ-3,3’-ジエチルジフェニルメタン、日本化薬製の「カヤハードA-A」、活性基(アミノ基)当量64g/eq.)
MH-700:酸無水物系硬化剤(新日本理化社製「MH-700」、活性基(酸無水物基)当量164g/eq.(酸無水物基(-COOCO-)1当量につき活性基2当量として換算))
シリカA:シリカ粒子(50%累積径D50=1.5μm、D90=3.5μm、比表面積2.78m2/g、KBM573(信越化学工業社製)で表面処理したもの)
シリカB:シリカ粒子(50%累積径D50=4μm、D90=12μm、比表面積3.01m2/g、KBM573(信越化学工業社製)で表面処理したもの)
KBM-803:(信越化学工業社製「KBM803」、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)
KBM-403:(信越化学工業社製「KBM403」、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)
2E4MZ:イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業社製「2E4MZ」)
2MA-OK-PW:イミダゾール系硬化促進剤(四国化成社製「2MA-OK-PW」)
M-130G:メタクリロイル基とポリエチレンオキシド構造とを有する化合物(新中村化学工業社製「M-130G」、メタクリロイル基当量:628g/eq.)
M-230G:メタクリロイル基とポリエチレンオキシド構造とを有する化合物(新中村化学工業社製「M-230G」、メタクリロイル基当量:1068g/eq.)
パーヘキシルO:ラジカル重合開始剤(日油社製「パーヘキシル(登録商標)O」)
ポリエーテルポリオールA:以下のように合成した樹脂である。反応容器にε-カプロラクトンモノマー(ダイセル社製「プラクセルM」)22.6g、ポリプロピレングリコール、ジオール型、3,000(富士フィルム和光純薬社製)10g、2-エチルヘキサン酸すず(II)(富士フィルム和光純薬製)1.62gを仕込み、窒素雰囲気下130℃に昇温し、約16時間攪拌させ反応させた。反応後の生成物をクロロホルムに溶かし、その生成物をメタノールで再沈殿させたのち乾燥させ、脂肪族骨格からなるヒドロキシル基末端のポリエステルポリオール樹脂Aを得た。GPC分析からMn=9000であった。
L-64:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール(ADEKA社製「L-64」)
KF-6012:ポリオキシアルキレン変性シリコーン樹脂(信越化学工業社製「KF-6012」、粘度(25℃):1500mm2/s)
実施例又は比較例で得られた樹脂組成物の粘度を、粘度校正用標準液JS52000で校正したE型粘度計RE-80U(東機産業社製)コーンローター3°×R9.7を用い、温度25℃および回転数1rpmの条件にて測定した。
実施例又は比較例で得られた樹脂組成物(室温(23℃))を200g充填した12Ozシリンジ(サンエイテック社製5194C、エンドキャップA605、先端キャップ5192RT、プランジャー5196PRS、シリンジの吐出口の内径14.22mm、外径19.30mm、開口部の内径40.26mm、吐出口から開口部まで長さ311.40mm)を用意し、シリンジの吐出口にノズル(チューブ部の材質シリコン製、シリンジ連結部の材質ポリプロピレン製、チューブ部の全長52mm、チューブ部のシリンジ連結部から露出している部分の長さ25mm、シリンジ連結部の全長52mm、ノズル吐出部(チューブ部側)の外径12mm、内径9mm、ノズル開口部(シリンジ連結部側)の外径14.22mm)を装着し、シリンジをディスペンサー(アピックヤマダ社製「液状マニュアルディスペンサー」)に装着した。水平に設置した12インチシリコンウエハ(Ra10Å以下)表面からノズル吐出口までの高さ(シリコンウエハの面に対して垂直方向の距離)を3cmに設定し、ノズル吐出口から、12インチシリコンウエハ上に、室温(23℃)下、2g/秒の速度で、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、40g±1.5gディスペンスした時点でディスペンスを停止し、樹脂組成物の樹脂ドームを形成した。
実施例又は比較例で得られた樹脂組成物(室温(23℃))を200g充填した12Ozシリンジ(サンエイテック社製5194C、エンドキャップA605、先端キャップ5192RT、プランジャー5196PRS、シリンジの吐出口の内径14.22mm、外径19.30mm、開口部の内径が40.26mm、吐出口から開口部まで長さが311.40mm)を用意し、シリンジにノズルを装着せずに、シリンジをディスペンサー(アピックヤマダ社製「液状マニュアルディスペンサー」)に装着した。水平に設置した12インチシリコンウエハ(Ra10Å以下)表面からシリンジの吐出口までの高さ(シリコンウエハの面に対して垂直方向の距離)を5cmに設定し、シリンジの吐出口から、12インチシリコンウエハ上に、室温(23℃)下、2g/秒の速度で、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、40g±1.5gディスペンスした時点でディスペンスを停止し、樹脂組成物の樹脂ドームを形成した。また、比較例3においては、ディスペンス停止時に吐出口と樹脂ドームが接触していたため、ディスペンスの停止後に吐出口を引き上げて、吐出口を樹脂ドームから引き離す操作を行った。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2)
11 シリンジ
12 樹脂組成物
13 プランジャー
14 雌ねじ部
15 吐出口
16 開口部
17 先端キャップ
18 エンドキャップ
20 ノズル
21 チューブ部
22 シリンジ連結部
23 ノズル吐出部
24 ノズル開口部
25 雄ねじ部
30 樹脂ドーム
40 シリコンウエハ
Claims (25)
- シリンジと、シリンジ内に充填された樹脂組成物とを備える樹脂組成物充填済みシリンジであって、
樹脂組成物が、
水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価試験において、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たす、樹脂組成物充填済みシリンジ。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1) - 前記評価試験が、
シリコンウエハ表面から高さ5cmの位置に設置した吐出口より、シリコンウエハ表面上に、23℃条件下、2g/秒の速度で23℃の樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、ディスペンスを停止して、樹脂組成物の樹脂ドームを形成することを含む、請求項1に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。 - 前記評価試験において、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームとが接触していない場合、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスした時点を前記ディスペンス完了時点とし、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームが接触している場合、ディスペンスの停止後に吐出口を引き上げて、吐出口を樹脂ドームから引き離す操作を行い、吐出口が樹脂ドームから離れた時点を前記ディスペンス完了時点とする、請求項2に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。 - ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL2とした場合、
下記式(2)の条件をさらに満たす、請求項1~3の何れか1項に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2) - 樹脂組成物の25℃における粘度が、100Pa・s以上500Pa・s以下である、請求項1~4の何れか1項に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
- 樹脂組成物が、(A)熱硬化性樹脂を含む、請求項1~5の何れか1項に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
- 樹脂組成物が、(B)無機充填材を含む、請求項1~6の何れか1項に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
- 樹脂組成物が、(C)シランカップリング剤を含む、請求項1~7の何れか1項に記載の樹脂組成物充填済みシリンジ。
- 水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価試験において、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たす、樹脂組成物。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1) - 前記評価試験が、
シリコンウエハ表面から高さ5cmの位置に設置した吐出口より、シリコンウエハ表面上に、23℃条件下、2g/秒の速度で23℃の樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスし、ディスペンスを停止して、樹脂組成物の樹脂ドームを形成することを含む、請求項9に記載の樹脂組成物。 - 前記評価試験において、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームとが接触していない場合、樹脂組成物を40g±1.5gディスペンスした時点を前記ディスペンス完了時点とし、
樹脂組成物のディスペンスを停止した時点で吐出口と樹脂ドームが接触している場合、ディスペンスの停止後に吐出口を引き上げて、吐出口を樹脂ドームから引き離す操作を行い、吐出口が樹脂ドームから離れた時点を前記ディスペンス完了時点とする、請求項10に記載の樹脂組成物。 - ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面の直径をL2とした場合、
下記式(2)の条件をさらに満たす、請求項9~11の何れか1項に記載の樹脂組成物。
0.40<L1/L2<0.96 ・・・(2) - 樹脂組成物の25℃における粘度が、100Pa・s以上500Pa・s以下である、請求項9~12の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A)熱硬化性樹脂を含む、請求項9~13の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (B)無機充填材を含む、請求項9~14の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (C)シランカップリング剤を含む、請求項9~15の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 半導体チップパッケージの絶縁層を形成するための請求項9~16の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 回路基板の絶縁層を形成するための請求項9~16の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 半導体チップパッケージの半導体チップを封止するための請求項9~16の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 請求項9~19の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
- 請求項9~19の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む回路基板。
- 請求項21に記載の回路基板と、当該回路基板に搭載された半導体チップと、を含む半導体チップパッケージ。
- 半導体チップと、当該半導体チップを封止する請求項9~19の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物と、を含む半導体チップパッケージ。
- 請求項22又は23に記載の半導体チップパッケージを備える半導体装置。
- 水平に設置したシリコンウエハ表面上に、樹脂組成物をディスペンスして、樹脂組成物の樹脂ドームを形成し、樹脂ドームの形状変化を測定する樹脂組成物の評価方法であって、
ディスペンス完了時点から60秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH1、
ディスペンス完了時点から180秒後の樹脂ドームのシリコンウエハとの接触面から樹脂ドーム頂点までの高さをH2とした場合、
下記式(1)の条件を満たすか否かを判定することを含む、樹脂組成物の評価方法。
0.15<H2/H1<0.90 ・・・(1)
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