JP2022094583A - 光学ラインセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
典型的なCISを図1に、同様にCIS用ライン状照明光学系を図2に示す。図1においては、CISの長手方向中央部近傍における断面図が示されている。一方、図2は分解斜視図である。X方向が主走査方向であり、Y方向が副走査方向である。Z方向は、X方向及びY方向に直交している。ライン状の光源部10は、主走査方向に細長い光量分布を有する照明光学系である。
まず、第一の方法は、図3に示すように光学ラインセンサを単眼レンズ化したと見做せるアレイ構造とすることである。図3は、各受光レンズ11の視野111がほぼ重ならないようにした受光系の模式図である。すなわち、図3では、各受光レンズ11の視野111がほぼ重ならないように、各受光レンズ11を主走査方向(X方向)に離間して配置している。
次に、受光レンズの長焦点化について述べる。従来のSELFOCレンズはCISのコンパクト化やコストダウンに重きを置き、共役長のより短いレンズが求められてきた。しかしながら、この流れは、許容される被写界深度を減じてしまうことを助長する要因となっている。しかもレンズ径は益々小さくなってきいる。受光レンズを長焦点化する場合、従来の受光レンズを利用すると、N.A.が極端に小さくなる。故に回折の影響が大きくなり、受光レンズ自身の有する幾何光学的な収差によるボケよりも回折限界によるボケが光学的分解能劣化の支配要因となる。従来方式のCISは、N.A.が大きいため、回折限界による像のボケが生じることを無視出来ていた。しかし、W.D.を長くとるためには、受光レンズの焦点距離を延ばすことが必要であり、即ち、N.A.が小さくなってしまうため、従来のレンズ径では、焦点距離が増大すればするほど回折の影響もそれに伴い増大する。本実施形態では、レンズ径を大きくすることでW.D.を長くし、回折限界による像のボケを減じた場合においても、光学的分解能を劣化させない方法を提案する。
d=λ/N.A. (式1)
図7に各波長に対するN.A.と回折限界の関係を表す。同じレンズパラメータの受光レンズ11においては、受光レンズ11自身の所謂ピッチを短くすれば焦点距離は伸び、収差の影響も少なくなる。
次に、更に被写界深度を増大させる方法を記す。図10は、受光レンズ11を正立等倍多眼レンズに代えて正立縮小多眼レンズとした場合の模式図である。図10では、受光レンズ11を該受光レンズ11の視野寸法以上離間させ、かつ、読取ラインLに直交する方向に各受光素子アレイ120を該受光レンズ11の視野寸法以上離間させて配置した場合の模式図を示している。図10では、受光系の一部が平面図で示されているが、視覚的に分かりやすくするために、該受光系の一部の側面図も示されている。
本実施例において、受光レンズ11の焦点距離fは、f=50mm、N.A.は、N.A.=0.01、0.02、0.025、0.03とし、屈折率分布定数√Aは、√A=0.077とした。光源103に関しては、W.D.が従来のCISに比べて10倍以上長いため、等倍系では、検査面照度は100倍以上を必要とする。そのため、光源103として、例えば高輝度の白色LEDアレイを用いる。すなわち、複数の光源103が、白色LEDを含む構成であってもよい。可視域の半導体レーザを光源103として用いる場合は、出射ビームを主走査方向に拡大し、副走査方向にコリメーションすることで照射時の光量ムラを低減する。
次に、個々の受光レンズ11に起因するシェーディングが読取ラインL方向に対するリップルを発生させ、ひいては、受光素子のダイナミックレンジを狭くすることに繋がるのであるが、この抑制方法について述べる。
本実施形態におけるレンズ径別の受光系MTFのグラフを図14Dに示す。比較例として、図14Eに屈折率分布定数√A=0.154の場合を示す。実線、短破線、長破線、一点鎖線の順番に、有効径ΦがΦ=1.0、1.5、2.0、2.5、3.0mmの場合を示している。尚、受光素子の画素寸法は、600dpi相当に合わせ主走査方向、副走査方向とも42.3μmとしている。
図14Aの場合において、視野111の重畳によりクロストークの発生があった際の防止方法について説明する。図14Aの場合において、レンズ径ΦはΦ=4mmであり、レンズホルダー110に収めて用いる。そこで、図16Aにレンズホルダー110の受光素子アレイ120側を筒状に延長した視野制限ホルダーの構成を示す。以下にその効果について説明する。
11 受光レンズ
12 受光部
20 焦点面
103 光源
104 集光レンズ
105 シリンドリカルレンズ
110 レンズホルダー
111 視野
112 アパチャー
120 受光素子アレイ
131 赤色LD
132 緑色LD
133 青色LD
134 光源基板
135 ヒートシンク
Claims (33)
- 副走査方向に搬送される検査対象物を主走査方向に延びる読取ラインで読み取る光学ラインセンサであって、
主走査方向に沿って複数配置された複数の受光レンズと、
主走査方向に沿ってライン状に配置され、前記複数の受光レンズを透過した光を受光する複数の受光素子とを備え、
前記複数の受光レンズは、該受光レンズの直径以上に互いに離間して配置され、
前記複数の受光素子は、少なくとも1列以上の前記読取ラインを形成することを特徴とする光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光レンズは、正立像を形成することを特徴とする請求項1に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズは、該受光レンズの視野寸法以下に互いに離間して配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズは、該受光レンズの視野寸法以上に互いに離間して配置され、
前記複数の受光素子は少なくとも2列以上の前記読取ラインを形成することを特徴とする請求項2に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光素子は、1列のアレイ状に配置されることにより1つの受光素子アレイを構成し、
前記複数の受光レンズは、該受光レンズの直径以上に互いに離間し、かつ、該受光レンズの視野寸法以下に互いに離間して配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光素子は、2列以上のアレイ状に配置されることにより複数の受光素子アレイを構成し、該複数の受光素子アレイの各々は、前記読取ラインに直交する方向において前記受光レンズの直径以上に互いに離間し、かつ、該受光レンズの視野寸法以下に互いに離間して配置され、
前記複数の受光レンズは、前記複数の受光素子アレイに対応した数だけ配置され、各受光レンズの光軸は、各受光素子アレイの略中央部を貫くことを特徴とする請求項2に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光素子は、2列以上のアレイ状に配置されることにより複数の受光素子アレイを構成し、該複数の受光素子アレイの各々は、前記読取ラインに直交する方向において前記受光レンズの視野寸法以上に互いに離間して配置され、
前記複数の受光レンズは、前記複数の受光素子アレイに対応した数だけ配置され、各受光レンズの光軸は、各受光素子アレイの略中央部を貫くことを特徴とする請求項2に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光素子アレイは、2列の読取ラインにそれぞれ複数配置された各読取ラインよりも短い受光素子アレイであり、一方の読取ラインに配置された受光素子アレイと他方の読取ラインに配置された受光素子アレイとが、主走査方向に沿って交互に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項6又は7に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズは、前記2列の読取ラインの間に、前記複数の受光素子アレイに平行に1列で配置され、各受光レンズの光軸が、前記2列の読取ラインの間の副走査方向における略中央部を貫くことを特徴とする請求項8に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズは、倒立像を形成することを特徴とする請求項1に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光素子は、2列以上のアレイ状に配置されることにより複数の受光素子アレイを構成し、該複数の受光素子アレイの各々は、前記読取ラインに直交する方向において前記受光レンズの視野寸法以上に互いに離間して配置され、
前記複数の受光レンズは、前記複数の受光素子アレイに対応した数だけ配置され、各受光レンズの光軸は、各受光素子アレイの略中央部を貫くことを特徴とする請求項10に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光素子アレイは、2列の読取ラインにそれぞれ複数配置された各読取ラインよりも短い受光素子アレイであり、一方の読取ラインに配置された受光素子アレイと他方の読取ラインに配置された受光素子アレイとが、主走査方向に沿って交互に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズが、それぞれ正立像を形成する屈折率分布型レンズ、或いは、アクロマート、或いは、アポクロマートを含むことを特徴とする請求項2~9の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズが、それぞれ倒立像を形成する屈折率分布型レンズ、或いは、アクロマート、或いは、アポクロマートを含むことを特徴とする請求項10~12の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記屈折率分布型レンズが、ガラス或いは樹脂からなり、該レンズのレンズパラメータにおいて、軸上屈折率N0が1.45≦N0≦1.65であり、屈折率分布定数√Aが0.05≦√A≦0.12であり、焦点距離fが50mm≦f≦150mmであることを特徴とする請求項13又は14に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズが、それぞれ複数枚のレンズを組み合わせたアクロマート又はアポクロマートからなり、前記複数枚のレンズとして凸レンズのみを組み合わせたレンズ系であるか、或いは、前記複数枚のレンズとして凸レンズと凹レンズを組み合わせたレンズ系であり、かつ、該複数枚のレンズの焦点距離fが50mm≦f≦250mmであり、更に該複数枚のレンズの口径Φが2mm≦Φ≦10mmであることを特徴とする請求項13又は14に記載の光学ラインセンサ。
- 検査対象物に光を照射する複数の光源をさらに備え、
前記複数の光源は、前記読取ラインに平行に並べて配置され、前記複数の光源の光軸は、前記複数の受光レンズの光軸と交点を結び、かつ該複数の受光レンズの光軸と交差する仮想平面の任意の位置に配置され、更に互いに隣接する受光レンズの間の略中央部に光源が配置されたことを特徴とする請求項1~16の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の光源は、複数の異なる波長を有する光源を含み、該複数の異なる波長を有する光源を1単位として、該1単位の光源が主走査方向に複数並べられたことを特徴とする請求項17に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の光源からの光束を集光する集光レンズをさらに備えることを特徴とする請求項17又は18に記載の光学ラインセンサ。
- 前記集光レンズは、主走査方向のパワーが副走査方向のパワーよりも大きい第1集光レンズと、副走査方向のパワーが主走査方向のパワーよりも大きい第2集光レンズとを含むことを特徴とする請求項19に記載の光学ラインセンサ。
- 前記集光レンズは、1個のレンズ体であり、該レンズ体が有する主走査方向のパワーが副走査方向のパワーよりも大きいことを特徴とする請求項19に記載の光学ラインセンサ。
- 前記集光レンズは、主走査方向のパワーを前記第1集光レンズと第2集光レンズにより調整可能であることを特徴とする請求項20に記載の光学ラインセンサ。
- 前記集光レンズが、シリンドリカルレンズ或いはフレネルレンズであることを特徴とする請求項19~22の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記第1集光レンズが、レンチキュラーレンズで或いはプリズム列であり、
前記第2集光レンズが、フレネルレンズ或いはシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項20又は22に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の光源が、白色LEDを含むことを特徴とする請求項17~24の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の光源が、赤色LED、緑色LED及び青色LEDを含むことを特徴とする請求項17~24の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の光源が、レーザダイオードを含むことを特徴とする請求項17~24の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の受光レンズを保持するレンズホルダーをさらに備え、
前記レンズホルダーの前記複数の受光素子側が筒状或いは平板状に延長されることにより、各受光レンズの視野が制限されていることを特徴とする請求項1~27の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。 - 前記複数の受光レンズを保持するレンズホルダーをさらに備え、
前記複数の受光レンズの外径が、前記レンズホルダーの内径に対してすきまばめ寸法であり、前記複数の受光レンズが俵積み或いは1列に配置されていることを特徴とする請求項1~27の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。 - 隣り合う前記受光レンズにおいて、前記レンズホルダーの前記複数の受光素子側の長さが異なることを特徴とする請求項28に記載の光学ラインセンサ。
- 前記複数の光源が実装された光源基板と、
前記光源基板に取り付けられたヒートシンクとをさらに備えることを特徴とする請求項17~27の何れか1項に記載の光学ラインセンサ。 - 請求項2~9の何れか1項に記載の光学ラインセンサを用いた画像合成処理方法であって、
前記複数の受光レンズの視野が重なった部分の受光素子について、該受光素子からの画素出力を減算処理することを特徴とする画像合成処理方法。 - 請求項10~12の何れか1項に記載の光ラインセンサを用いた画像合成処理方法であって、
前記複数の受光レンズの反転像を反転させ、正立像に変換した後に画像合成処理をすることを特徴とする画像合成処理方法。
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