JP2022081451A - 半導体ストリップ切断及び分類設備における空気噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
200 切断ユニット
205 一時保管ユニット
210 ストリップピッカー
220 パッケージピッカー
230 ガイドフレーム
240 チャックテーブル
250 カッター
260 洗浄ユニット
300 分類ユニット
310 反転テーブル
314 移送ガイド
320 乾燥ユニT
3201 ハウジング
3202 空気流入口
3203 ヒーター
3204 熱伝導フィルム
3205 空気排出口
330B ボール検査ユニット
330M マーク検査ユニット
340 第1パレット駆動部材
341 第1パレットテーブル
345 第2パレット駆動部材
346 第2パレットテーブル
350 第1搬出トレイ駆動部材
351 第1搬出トレイ
352 第2搬出トレイ
355 第2搬出トレイ駆動部材
356 第2搬出トレイ
360 検査部
370 ソーティングピッカー
380 ソーティングピッカー駆動部材
800 分類部
P 半導体パッケージ
S 半導体ストリップ
Claims (20)
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるための空気噴射装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含む、空気噴射装置。 - 前記空気排出口の断面積は外部に向かうほど狭くなる、請求項1に記載の空気噴射装置。
- 前記空気排出口は、
垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記第2排出口の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含む、請求項1に記載の空気噴射装置。 - 前記パッケージの位置に基づいて、前記第1排出口、第2排出口及び第3排出口それぞれの開閉を調節する開閉調節ユニットをさらに含む、請求項3に記載の空気噴射装置。
- 前記熱伝導フィルムは前記ヒーターと前記空気排出口との間に位置する、請求項1に記載の空気噴射装置。
- 前記ハウジングの内部に配置された温度センサーをさらに含む、請求項1に記載の空気噴射装置。
- 前記ヒーターの出力は、前記温度センサーによって測定された前記ハウジングの内部の温度に応じて調節される、請求項6に記載の空気噴射装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置において、
前記パッケージが装着されるベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記反転テーブルに装着された前記パッケージを乾燥させるための空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記空気噴射ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含む、パッケージハンドリング装置。 - 前記空気排出口の断面積は外部に向かうほど狭くなる、請求項8に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記空気排出口は、
垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記第2排出口の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含む、請求項8に記載のパッケージハンドリング装置。 - 前記パッケージの位置に基づいて、前記第1排出口、第2排出口及び第3排出口それぞれの開閉を調節する開閉調節ユニットをさらに含む、請求項10に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記熱伝導フィルムは前記ヒーターと前記空気排出口との間に位置する、請求項8に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記ハウジングの内部に配置された温度センサーをさらに含む、請求項8に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記ヒーターの出力は、前記温度センサーによって測定された前記ハウジングの内部の温度に応じて調節される、請求項13に記載のパッケージハンドリング装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備であって、
複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、
前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、
前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含み、
前記分類ユニットは、
前記パッケージが装着され、移送ガイドに沿って移動するベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記反転テーブルに装着された前記パッケージを乾燥させる空気噴射ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記空気噴射ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含む、半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記空気排出口の断面積は外部に向かうほど狭くなる、請求項15に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記空気排出口は、
垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記第2排出口の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含む、請求項15に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記パッケージの位置に基づいて、前記第1排出口、第2排出口及び第3排出口それぞれの開閉を調節する開閉調節ユニットをさらに含む、請求項17に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記熱伝導フィルムは前記ヒーターと前記空気排出口との間に位置する、請求項15に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記ハウジングの内部に配置された温度センサーをさらに含み、
前記ヒーターの出力は、前記温度センサーによって測定された前記ハウジングの内部の温度に応じて調節される、請求項15に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
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