JP2022055633A - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高密度な膜を凸部上に選択的に形成できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による成膜方法は、表面に凸部を有する基板であり、前記凸部は側面及び上面を有する基板を準備する工程と、前記側面及び前記上面を含む領域に膜を堆積させる工程と、前記膜をプラズマに曝露して前記側面よりも前記上面に堆積した前記膜を高密度化する工程と、少なくとも前記側面に堆積した前記膜を除去することにより、前記上面に選択的に膜を形成する工程と、を有する。【選択図】図1
Description
本開示は、成膜方法及び成膜装置に関する。
側壁及び上端部を有する凸部に対して堆積及びエッチングを少なくとも一度繰り返し、凸部の上端部に選択的に膜を形成する技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。
本開示は、高密度な膜を凸部上に選択的に形成できる技術を提供する。
本開示の一態様による成膜方法は、表面に凸部を有する基板であり、前記凸部は側面及び上面を有する基板を準備する工程と、前記側面及び前記上面を含む領域に膜を堆積させる工程と、前記膜をプラズマに曝露して前記側面よりも前記上面に堆積した前記膜を高密度化する工程と、少なくとも前記側面に堆積した前記膜を除去することにより、前記上面に選択的に膜を形成する工程と、を有する。
本開示によれば、高密度な膜を凸部上に選択的に形成できる。
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
〔成膜方法〕
図1及び図2を参照し、実施形態の成膜方法の一例について説明する。
図1及び図2を参照し、実施形態の成膜方法の一例について説明する。
まず、図2(a)に示されるように、表面に凸部110を有する基板100を準備する(準備工程S11)。基板100は、例えばシリコンウエハ等の半導体ウエハであってよい。凸部110は、側面111及び上面112を有する。凸部110は、例えばトレンチの凸部であってよい。
続いて、図2(b)に示されるように、準備工程S11において準備した基板100の凸部110の側面111及び上面112を含む領域に膜120を堆積させる(堆積工程S12)。堆積工程S12では、凸部110の側面111よりも上面112に厚く膜120を堆積させることが好ましい。これにより、後述するエッチング工程S14において、低密度膜121の除去が容易になる。凸部110の側面111よりも上面112に厚く膜120を堆積させる方法としては、例えば化学気相堆積(CVD:Chemical Vapor Deposition)や原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)により供給律速状態で膜120を堆積させる方法を好適に利用できる。供給律速状態とは、処理容器内へ供給する原料ガスの流量が非常に少ない領域であって、成膜速度が原料ガスの供給量に主に支配される状態を意味する。例えば、原料ガスの供給量を少なくし、処理温度を高くすることにより、供給律速状態を実現できる。膜120は、例えばプラズマに曝露することで高密度化する膜である。膜120としては、例えば珪素(Si)又は金属を含有する酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜が挙げられるがこれに限定されない。膜120の具体例としては、TiN、TiO2、Al2O3、HfO、ZrO、SnO、NbO、MoO、VO、WO、SiO2、SiN、SiC、SiCN、SiOC、SiOCNが挙げられる。原料ガスは、堆積する膜120の種類に応じて選択される。例えば、Si酸化物膜を堆積させる場合、原料ガスはSi含有ガスと酸化ガスとを含む。例えば、Si窒化物膜を堆積させる場合、原料ガスはSi含有ガスと窒化ガスとを含む。例えば、Si炭化物膜を堆積させる場合、原料ガスはSi含有ガスと炭化ガスとを含む。同様に、例えば金属酸化物膜、金属窒化物膜及び金属炭化物膜を堆積させる場合、原料ガスは金属含有ガスと、酸化ガス、窒化ガス及び炭化ガスと、を含む。金属含有ガスの具体例としては、TiCl4、HfCl4、ZrCl4、AlCl3、TDMA-Ti/Hf/Zr、TDEAT-Ti/Hf/Zr、TEMAT-Ti/Hf/Zrが挙げられる。なお、図2(b)では隣接する凸部110間の領域である底面部113に膜120を堆積させない例を示しているが、底面部113に膜120を堆積させても良い。
続いて、図2(c)に示されるように、膜120をプラズマに曝露して凸部110の側面111よりも上面112に堆積した膜120を高密度化する(高密度化工程S13)。プラズマに含まれるイオンは基板100の表面及び凸部110の上面112に垂直な方向に指向性をもって入射するので、凸部110の上面112が選択的に改質されて高密度化される。これにより、凸部110の側面111には高密度化されていない低密度膜121が残存し、凸部110の上面112には高密度化された高密度膜122が形成される。プラズマの発生方法としては、例えば容量結合プラズマを利用できる。容量結合プラズマを利用する場合のプラズマの周波数は、例えば450kHz~60MHzであってよい。また、プラズマの発生方法としては、例えば誘導結合プラズマを利用してもよい。プラズマを生成するためのガス(以下「プラズマ生成用ガス」という。)としては、例えば希ガス、H2ガスと希ガスとの混合ガス、N2ガス、NH3ガス、O2ガスが挙げられる。ただし、膜120の組成を変えることなく高密度化できるという観点から、希ガス、H2ガスと希ガスとの混合ガスを用いることが好ましい。希ガスとしては、例えばHeガス、Arガスが挙げられる。
続いて、図2(d)に示されるように、膜120にエッチング剤を供給することにより、凸部110の側面111に堆積した低密度膜121を除去すると共に、凸部110の上面112に堆積した高密度膜122を残存させる(エッチング工程S14)。エッチング工程S14では、例えば等方性エッチングとなるようにエッチング条件が選択される。例えばエッチング剤は、エッチングガスであってもよく、エッチング液であってもよい。エッチング剤としてエッチングガスを用いるドライエッチングの場合、プラズマを用いたエッチングであってもよく、プラズマを用いないエッチングであってもよい。ただし、凸部110の側面111に堆積した低密度膜121を選択的に除去しやすいという観点から、プラズマを用いないエッチングが好ましい。エッチングガスとしては、例えばCl2、HF、ClF3、HCl、NF3、CF4、C4F8が挙げられる。エッチング剤としてエッチング液を用いるウェットエッチングの場合、エッチング液としては、例えばDHF(Diluted HF)、H2O2、HCl、APM(Ammonia hydrogen Peroxide Mixture)、SPM(Sulfuric hydrogen Peroxide Mixture)、HPM(Hydrochloric hydrogen Peroxide Mixture)、H3PO4が挙げられる。
続いて、堆積工程S12、高密度化工程S13及びエッチング工程S14を含むサイクルの繰り返し回数が設定回数に到達したか否かを判定する(判定工程S15)。設定回数は、例えば凸部110の上面112に形成する膜120の膜厚に応じて定められる。該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達していない場合には堆積工程S12に戻り、該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達している場合には処理を終了する。このように、該サイクルを繰り返すことにより、図2(e)に示されるように、凸部110の上面112に選択的に高密度膜122を形成できる。
図1及び図2を参照して説明した実施形態の成膜方法によれば、凸部の側面及び上面を含む領域に膜を堆積させた後に膜をプラズマに曝露して側面よりも上面に堆積した膜を高密度化し、続いて、膜にエッチング剤を供給して凸部の上面に選択的に膜を残存させる。これにより、高密度な膜を凸部上に選択的に形成できる。
図3を参照し、実施形態の成膜方法の別の一例について説明する。図3に示される成膜方法は、堆積工程及び高密度化工程を含むサイクルを複数回繰り返した後にエッチング工程を行う点で、図1及び図2に示される成膜方法と異なる。以下、図1及び図2に示される成膜方法と異なる点を中心に説明する。
まず、表面に凸部を有する基板を準備する(準備工程S21)。準備工程S21は、前述した準備工程S11と同じである。
続いて、準備工程S21において準備した基板の凸部の側面及び上面を含む領域に膜を堆積させる(堆積工程S22)。堆積工程S22は、前述した堆積工程S12と同じである。
続いて、膜をプラズマに曝露して凸部の側面よりも上面に堆積した膜を高密度化する(高密度化工程S23)。高密度化工程S23は、前述した高密度化工程S13と同じである。
続いて、堆積工程S22及び高密度化工程S23を含むサイクルの繰り返し回数が設定回数に到達したか否かを判定する(第1判定工程S24)。該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達していない場合には堆積工程S22に戻り、該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達している場合には次の工程に進む。
続いて、膜にエッチング剤を供給することにより、凸部の側面に堆積した低密度膜を除去すると共に、凸部の上面に堆積した高密度膜を残存させる(エッチング工程S25)。エッチング工程S25は、前述したエッチング工程S14と同じである。
続いて、堆積工程S22及び高密度化工程S23を含むサイクルを複数回繰り返し後にエッチング工程S25を行うことが設定回数に到達したか否かを判定する(第2判定工程S26)。設定回数は、例えば凸部の上面に形成する膜の膜厚に応じて定められる。該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達していない場合には堆積工程S22に戻り、該サイクルの繰り返し回数が設定回数に到達している場合には処理を終了する。このように、該サイクルを繰り返すことにより、凸部の上面に選択的に高密度膜を形成できる。
図3を参照して説明した実施形態の成膜方法によれば、凸部の側面及び上面を含む領域に膜を堆積させた後に膜をプラズマに曝露して側面よりも上面に堆積した膜を高密度化し、続いて、膜にエッチング剤を供給して凸部の上面に選択的に膜を残存させる。これにより、高密度な膜を凸部上に選択的に形成できる。
特に、図3を参照して説明した実施形態の成膜方法によれば、堆積工程S22及び高密度化工程S23を含むサイクルを複数回繰り返し後にエッチング工程S25を行う。これにより、堆積工程S22及び高密度化工程S23を行うごとにエッチング工程S25を行う場合と比べて生産性が向上する。
〔成膜装置〕
図4を参照し、実施形態の成膜方法を実施する成膜装置の一例について説明する。
図4を参照し、実施形態の成膜方法を実施する成膜装置の一例について説明する。
成膜装置1は、略筒状の気密な処理容器2を備える。処理容器2は、内部に基板Wを収容する。処理容器2の底壁の中央部には、排気室21が設けられている。排気室21は、下方に向けて突出する例えば略筒状の形状を備える。排気室21には、例えば排気室21の側面において、排気配管22が接続されている。
排気配管22には、圧力調整部23を介して排気部24が接続されている。圧力調整部23は、例えばバタフライバルブ等の圧力調整バルブを備える。排気配管22は、排気部24によって処理容器2内を減圧できるように構成されている。処理容器2の側面には、搬送口25が設けられている。搬送口25は、ゲートバルブ26によって開閉される。処理容器2内への基板Wの搬入及び処理容器2内からの基板Wの搬出は、搬送口25を介して行われる。
処理容器2内には、ステージ3が設けられている。ステージ3は、基板Wの表面を上に向けて基板Wを水平に保持する保持部である。ステージ3は、平面視で略円形状に形成されており、支持部材31によって支持されている。ステージ3の表面には、例えば直径が300mmの基板Wを載置するための略円形状の凹部32が形成されている。凹部32は、基板Wの直径よりも僅かに大きい内径を有する。凹部32の深さは、例えば基板Wの厚さと略同一に構成される。ステージ3は、例えば窒化アルミニウム(AlN)等のセラミックス材料により形成されている。また、ステージ3は、ニッケル(Ni)等の金属材料により形成されていてもよい。なお、凹部32の代わりにステージ3の表面の周縁部に基板Wをガイドするガイドリングを設けてもよい。
ステージ3には、例えば接地された下部電極33が埋設される。下部電極33の下方には、加熱機構34が埋設される。加熱機構34は、制御部90からの制御信号に基づいて電源部(図示せず)から給電されることによって、ステージ3に載置された基板Wを設定温度に加熱する。ステージ3の全体が金属によって構成されている場合には、ステージ3の全体が下部電極として機能するので、下部電極33をステージ3に埋設しなくてよい。ステージ3には、ステージ3に載置された基板Wを保持して昇降するための複数本(例えば3本)の昇降ピン41が設けられている。昇降ピン41の材料は、例えばアルミナ(Al2O3)等のセラミックスや石英等であってよい。昇降ピン41の下端は、支持板42に取り付けられている。支持板42は、昇降軸43を介して処理容器2の外部に設けられた昇降機構44に接続されている。
昇降機構44は、例えば排気室21の下部に設置されている。ベローズ45は、排気室21の下面に形成された昇降軸43用の開口部211と昇降機構44との間に設けられている。支持板42の形状は、ステージ3の支持部材31と干渉せずに昇降できる形状であってもよい。昇降ピン41は、昇降機構44によって、ステージ3の表面の上方と、ステージ3の表面の下方との間で、昇降自在に構成される。
処理容器2の天壁27には、絶縁部材28を介してガス供給部5が設けられている。ガス供給部5は、上部電極を成しており、下部電極33に対向している。ガス供給部5には、整合器511を介してRF電源512が接続されている。RF電源512は、例えば450kHz~100MHzのRF電力を上部電極(ガス供給部5)に供給する。これにより、上部電極(ガス供給部5)と下部電極33との間に高周波電界が生成され、容量結合プラズマが生成される。プラズマ生成部51は、整合器511と、RF電源512と、を含む。なお、プラズマ生成部51は、容量結合プラズマに限らず、誘導結合プラズマなど他のプラズマを生成するものであってもよい。
ガス供給部5は、中空状のガス供給室52を備える。ガス供給室52の下面には、処理容器2内へ処理ガスを分散供給するための多数の孔53が例えば均等に配置されている。ガス供給部5における例えばガス供給室52の上方には、加熱機構54が埋設されている。加熱機構54は、制御部90からの制御信号に基づいて電源部(図示せず)から給電されることによって、設定温度に加熱される。
ガス供給室52には、ガス導入路6の一端が連通する。ガス導入路6の他端は、ガスライン62を介して、ガス源61に接続されている。ガス源61は、例えば各種の処理ガスの供給源、マスフローコントローラ、バルブ(いずれも図示せず)を含む。各種の処理ガスは、前述の実施形態の成膜方法において用いられる原料ガス、プラズマ生成用ガス及びエッチングガスを含む。各種のガスは、ガス源61からガスライン62及びガス導入路6を介してガス供給室52に導入される。
成膜装置1は、制御部90を備える。制御部90は、成膜装置1の各部を制御することにより、例えば前述した成膜方法を実施する。制御部90は、例えばコンピュータであってよい。また、成膜装置1の各部の動作を行うコンピュータのプログラムは、記憶媒体に記憶されている。記憶媒体は、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、フラッシュメモリ、DVD等であってよい。
次に、成膜装置1の動作の一例について、前述の図1及び図2に示される実施形態の成膜方法を実施する場合を説明する。なお、前述の図3に示される実施形態の成膜方法についても成膜装置1により同様に実施できる。
まず、制御部90は、ゲートバルブ26を開いて搬送機構(図示せず)により、表面に凸部を有する基板Wを処理容器2内に搬送し、ステージ3に載置する(準備工程S11)。基板Wは、表面を上に向けて水平に載置される。制御部90は、搬送機構を処理容器2内から退避させた後、ゲートバルブ26を閉じる。次いで、制御部90は、ステージ3の加熱機構34により基板Wを所定の温度に加熱し、圧力調整部23により処理容器2内を所定の圧力に調整する。
次いで、制御部90は、成膜装置1の各部を制御して、前述の実施形態の成膜方法を実施する。すなわち、制御部90は、圧力調整部23、プラズマ生成部51、ガス源61等を制御して、堆積工程S12、高密度化工程S13、エッチング工程S14及び判定工程S15を行う。これにより、基板Wの表面に形成された凸部上に高密度な膜を選択的に形成できる。
基板Wの表面に形成された凸部上に高密度な膜が選択的に形成された後、制御部90は、処理容器2内への基板Wの搬入とは逆の手順で、基板Wを処理容器2から搬出する。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
上記の実施形態では、成膜装置が基板を1枚ずつ処理する枚葉式の装置である場合を説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、成膜装置は処理容器内の回転テーブルの上に配置した複数の基板を回転テーブルにより公転させ、第1のガスが供給される領域と第2のガスが供給される領域とを順番に通過させて基板に対して処理を行うセミバッチ式の装置であってもよい。
1 成膜装置
2 処理容器
5 ガス供給部
51 プラズマ生成部
90 制御部
2 処理容器
5 ガス供給部
51 プラズマ生成部
90 制御部
Claims (9)
- 表面に凸部を有する基板であり、前記凸部は側面及び上面を有する基板を準備する工程と、
前記側面及び前記上面を含む領域に膜を堆積させる工程と、
前記膜をプラズマに曝露して前記側面よりも前記上面に堆積した前記膜を高密度化する工程と、
少なくとも前記側面に堆積した前記膜を除去することにより、前記上面に選択的に膜を形成する工程と、
を有する、成膜方法。 - 前記膜は、前記プラズマに曝露することで高密度化する膜である、
請求項1に記載の成膜方法。 - 前記堆積させる工程において、前記側面よりも前記上面に厚く膜を堆積させる、
請求項1又は2に記載の成膜方法。 - 前記堆積させる工程、前記高密度化する工程及び前記形成する工程を含むサイクルを複数回繰り返す、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 前記堆積させる工程及び前記高密度化する工程を含むサイクルを複数回繰り返し後に前記形成する工程を行うことを複数回繰り返す、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 前記堆積させる工程は、供給律速状態で行われる、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 前記形成する工程は、プラズマを用いないドライエッチングにより行われる、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 前記形成する工程は、ウェットエッチングにより行われる、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 処理容器と、
前記処理容器内に処理ガスを供給するガス供給部と、
前記処理容器内にて前記処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記ガス供給部及び前記プラズマ生成部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
表面に凸部を有する基板であり、前記凸部は側面及び上面を有する基板を前記処理容器内に収容する工程と、
前記側面及び前記上面を含む領域に膜を堆積させる工程と、
前記膜をプラズマに曝露して前記側面よりも前記上面に堆積した前記膜を高密度化する工程と、
少なくとも前記側面に堆積した前記膜を除去することにより、前記上面に選択的に膜を形成する工程と、
を実施するように前記ガス供給部及び前記プラズマ生成部を制御するよう構成される、
成膜装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020163169A JP2022055633A (ja) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 成膜方法及び成膜装置 |
PCT/JP2021/033911 WO2022070917A1 (ja) | 2020-09-29 | 2021-09-15 | 成膜方法及び成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2020163169A JP2022055633A (ja) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 成膜方法及び成膜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2022055633A true JP2022055633A (ja) | 2022-04-08 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2020163169A Pending JP2022055633A (ja) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 成膜方法及び成膜装置 |
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US10283353B2 (en) * | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
JP2019134062A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 選択的成膜方法および成膜装置 |
-
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- 2020-09-29 JP JP2020163169A patent/JP2022055633A/ja active Pending
-
2021
- 2021-09-15 WO PCT/JP2021/033911 patent/WO2022070917A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO2022070917A1 (ja) | 2022-04-07 |
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