JP2022055113A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
ガス濃度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022055113A JP2022055113A JP2020162516A JP2020162516A JP2022055113A JP 2022055113 A JP2022055113 A JP 2022055113A JP 2020162516 A JP2020162516 A JP 2020162516A JP 2020162516 A JP2020162516 A JP 2020162516A JP 2022055113 A JP2022055113 A JP 2022055113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- detection
- temperature
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 204
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 86
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 22
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 12
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 399
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 8
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 8
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
【解決手段】ガス濃度測定装置1は、定電位電解式ガスセンサ12からなり、電解液室に対して検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガスの出入りが可能な開口を有し、検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガスを検知する検知センサ12Aと、定電位電解式ガスセンサ12からなり、電解液室に対して検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスの出入りが可能な開口を有し、前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスを検知する基準センサ12Bと、検知センサ12Aと基準センサ12Bとを並設して収容するホルダ19と、検知センサ12Aの素子出力に基づくガス濃度から基準センサ12Bの素子出力に基づくガス濃度を差し引いて検知対象ガスのガス濃度を算出する制御部3bと、を備える。
【選択図】図1
Description
定電位電解式ガスセンサからなり、電解液室に対して前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスの出入りが可能な開口を有し、前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスを検知する基準センサと、
前記検知センサと前記基準センサとを並設して収容するホルダと、
前記検知センサの素子出力に基づくガス濃度から前記基準センサの素子出力に基づくガス濃度を差し引いて前記検知対象ガスのガス濃度を算出する制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記検知対象ガスを含む大気雰囲気の異なる位置には、ガス導入管を介して前記検知センサと接続される複数のガス採気口が設けられ、
前記制御部は、前記複数のガス採気口と前記検知センサとの間のガス流路を選択的に切替制御することを特徴とする。
前記検知センサと前記基準センサは、個別のケースの内部に電解液を保持する電解液室が設けられ、前記電解液室内に電極と多孔質体からなる電解液保持体とを有し、
前記検知センサのケースと前記基準センサのケースの外周全体を覆うように設けられる均熱ブロックと、
前記均熱ブロックの外周に設けられ、前記均熱ブロックを加熱するヒータと、
前記均熱ブロックに設けられ、前記検知センサと前記基準センサの周囲温度を検出する温度センサと、を備え、
前記ホルダには、前記検知センサと前記基準センサを並設した状態で、その周囲に前記均熱ブロック、前記ヒータが順に収容され、
前記制御部は、前記温度センサの検出温度に基づいて前記検知センサと前記基準センサの周囲温度が目標温度になるように前記ヒータを制御することを特徴とする。
前記検知センサと前記基準センサは、個別のケースの内部に電解液を保持する電解液室が設けられ、前記電解液室内に電極と多孔質体からなる電解液保持体とを有し、
前記検知センサのケースと前記基準センサのケースの外周全体を覆うように設けられる均熱ブロックと、
前記均熱ブロックの外周に設けられ、前記均熱ブロックを加熱するヒータと、
前記均熱ブロックに設けられ、前記検知センサと前記基準センサの周囲温度を検出する温度センサと、を備え、
前記ホルダには、前記検知センサと前記基準センサを並設した状態で、その周囲に前記均熱ブロック、前記ヒータが順に収容され、
前記制御部は、電源投入時に目標温度以上で前記検知センサと前記基準センサの使用上限温度以下の設定温度で前記ヒータを制御した後、前記温度センサの検出温度に基づいて前記検知センサと前記基準センサの周囲温度が目標温度になるように前記ヒータを制御することを特徴とする。
前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスを導入するガス導入路と、導入されたガスを排出するガス排出路とが前記検知センサのケースの前記電極の検知極側に形成される第1のガス導入治具と、
前記検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガス前記測定雰囲気中のガスを導入するガス導入路と、導入されたガスを排出するガス排出路とが前記基準センサのケースの前記電極の検知極側に形成される第2のガス導入治具とが前記ホルダの開口部を介して設けられ、
前記第1のガス導入治具と前記検知センサのケースとの間および前記第2のガス導入治具と前記基準センサのケースとの間には、導入されるガスを前記検知センサおよび前記基準センサの周囲温度と同等の温度に加熱するための予熱空間が形成されることを特徴とする。
前記第1のガス導入治具は、前記検知センサのケースに対して可動自在に設けられ、前記予熱空間の容積が調整可能であり、
前記第2のガス導入治具は、前記基準センサのケースに対して可動自在に設けられ、前記予熱空間の容積が調整可能であることを特徴とする。
前記予熱空間には、導入されるガスの温度変動を抑制する部材が収容されることを特徴とする。
前記電解液保持体は、内部に中空の空間部を有していることを特徴とする。
定電位電解式ガスセンサの素子は、化学反応を利用しているため、検知対象ガスが存在しない環境の大気雰囲気中におけるゼロ点出力が日や時間によって変動(ドリフト)してゼロ点ドリフトが生じることがある。
図1に示すように、本実施の形態のガス濃度測定装置1は、大気雰囲気中の検知対象ガス(例えばエチレンガス、一酸化炭素、水素など)の濃度を測定するもので、センサユニット2と制御装置3を備えて概略構成される。以下、各部の構成について説明する。
センサユニット2は、図2に示すように、本体11の収容部11aに2つの定電位電解式ガスセンサ12(検知センサ12A、基準センサ12B)を含む各種部品が収容され、収容部11aにはシール部材13を介して蓋部材14が取り付けられ、内部が密閉されている。
制御装置3は、図1や図2に示すように、記憶部3a、制御部3b、表示部3cを備えて概略構成される。記憶部3aは、定電位電解式ガスセンサ12(検知センサ12A、基準センサ12B)の素子出力と検知対象ガスを含む標準用ガスのガス濃度との関係を示す周囲温度ごとの検量線を記憶する。なお、検量線は、制御部3bによりヒータ22を制御して定電位電解式ガスセンサ12(検知センサ12A、基準センサ12B)のケース31の周囲温度を目標温度(一定温度)に設定したときの定電位電解式ガスセンサ12の素子出力からガス濃度を目標温度ごとに算出することにより作成される。
図5~7は2つの定電位電解式ガスセンサ12(検知センサ12A、基準センサ12B)を備えたガス濃度測定装置1の配置例を示している。これらの配置例によるガス濃度測定装置1は、例えば成果物が保存・収納された倉庫61において、成果物が発生するガス(例えばエチレンガス)を検知対象ガスとしてガス濃度を測定する。
次に、上記のように構成されるガス濃度測定装置1の動作について簡単に説明する。
制御装置3にてヒータ22を制御して目標温度を0℃から10℃間隔で60℃まで変化させたときの2つの定電位電解式ガスセンサ12(検知センサ12A、基準センサ12B)のケース31の周囲温度(目標温度)に対する分解能について測定を行った。その結果、図4に示すように、2つの定電位電解式ガスセンサ12のケース31の周囲温度が0℃~60℃(固体電解質のイオン伝導を利用した固体電解質式ガスセンサで通常使用される温度500~600℃よりも低温領域)において1ppm以下の分解能が得られた。具体的な数値を示すと、図4に示すように、周囲温度0℃では分解能0.33ppm、周囲温度10℃では分解能0.15ppm、周囲温度20℃では分解能0.06ppm、周囲温度30℃では分解能0.025ppm、周囲温度40℃では分解能0.01ppm、周囲温度50℃では分解能0.008ppm、周囲温度60℃では分解能0.007ppmという結果が得られた。
定電位電解式ガスセンサ12の2つのサンプルNo1、No2を用い、前述した目標温度への温度制御を行った状態で各サンプル毎に大気雰囲気の検知対象ガス(例えばエチレンガス)のガス濃度を測定したときの結果を図8(a),(b)に示す。図8(a),(b)に示すように、定電位電解式ガスセンサ12を単体で用いて大気雰囲気のガス濃度を測定した場合には、定電位電解式ガスセンサ12のサンプルNo1とサンプルNo2の何れにおいても最大で0.63ppmのゼロ点ドリフトが生じるという結果が得られた。このときのゼロ点ドリフトは、検知対象ガス以外のガスの干渉による影響が大きいものと考えられる。
2 センサユニット
3 制御装置
3a 記憶部
3b 制御部
3c 表示部
4A,4B 吸引ポンプ
5A,5B 流量計
11 本体
11a 収容部
12 定電位電解式ガスセンサ
12A 検知センサ
12B 基準センサ
13 シール部材
14 蓋部材
15 部品取付板
15a 開口
16,18,20 スペーサ部材
17 回路基板
19 ホルダ
19a 開口部
19b 収容部
21 均熱ブロック
22 ヒータ
23 温度センサ
24A 第1のガス導入治具
24B 第2のガス導入治具
24a 凹部
25 予熱空間
26 ガス導入路
27 ガス排出路
28 ガス導入管
28a ガス採気口
29 ガス排出管
30 温度変動抑制部材
31 ケース
32 電解液室
33 検知極
34 参照極
35 対極
36 電解液保持体
37 空間部
38 ピン
41 外ケース
42 上部内キャップ
43 下部内キャップ
44 上キャップ
45 下キャップ
46 シール部材
47 開口
48 空間
51,52,53 保液濾紙
54,55 集電体
56,57 多孔性ガス拡散層
61 倉庫
Claims (8)
- 定電位電解式ガスセンサからなり、電解液室に対して検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガスの出入りが可能な開口を有し、前記検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガスを検知する検知センサと、
定電位電解式ガスセンサからなり、電解液室に対して前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスの出入りが可能な開口を有し、前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスを検知する基準センサと、
前記検知センサと前記基準センサとを並設して収容するホルダと、
前記検知センサの素子出力に基づくガス濃度から前記基準センサの素子出力に基づくガス濃度を差し引いて前記検知対象ガスのガス濃度を算出する制御部と、を備えたことを特徴とするガス濃度測定装置。 - 前記検知対象ガスを含む大気雰囲気の異なる位置には、ガス導入管を介して前記検知センサと接続される複数のガス採気口が設けられ、
前記制御部は、前記複数のガス採気口と前記検知センサとの間のガス流路を選択的に切替制御することを特徴とする請求項1に記載のガス濃度測定装置。 - 前記検知センサと前記基準センサは、個別のケースの内部に電解液を保持する電解液室が設けられ、前記電解液室内に電極と多孔質体からなる電解液保持体とを有し、
前記検知センサのケースと前記基準センサのケースの外周全体を覆うように設けられる均熱ブロックと、
前記均熱ブロックの外周に設けられ、前記均熱ブロックを加熱するヒータと、
前記均熱ブロックに設けられ、前記検知センサと前記基準センサの周囲温度を検出する温度センサと、を備え、
前記ホルダには、前記検知センサと前記基準センサを並設した状態で、その周囲に前記均熱ブロック、前記ヒータが順に収容され、
前記制御部は、前記温度センサの検出温度に基づいて前記検知センサと前記基準センサの周囲温度が目標温度になるように前記ヒータを制御することを特徴とする請求項1または2に記載のガス濃度測定装置。 - 前記検知センサと前記基準センサは、個別のケースの内部に電解液を保持する電解液室が設けられ、前記電解液室内に電極と多孔質体からなる電解液保持体とを有し、
前記検知センサのケースと前記基準センサのケースの外周全体を覆うように設けられる均熱ブロックと、
前記均熱ブロックの外周に設けられ、前記均熱ブロックを加熱するヒータと、
前記均熱ブロックに設けられ、前記検知センサと前記基準センサの周囲温度を検出する温度センサと、を備え、
前記ホルダには、前記検知センサと前記基準センサを並設した状態で、その周囲に前記均熱ブロック、前記ヒータが順に収容され、
前記制御部は、電源投入時に目標温度以上で前記検知センサと前記基準センサの使用上限温度以下の設定温度で前記ヒータを制御した後、前記温度センサの検出温度に基づいて前記検知センサと前記基準センサの周囲温度が目標温度になるように前記ヒータを制御することを特徴とする請求項1または2に記載のガス濃度測定装置。 - 前記検知対象ガスを含まない大気雰囲気中のガスを導入するガス導入路と、導入されたガスを排出するガス排出路とが前記検知センサのケースの前記電極の検知極側に形成される第1のガス導入治具と、
前記検知対象ガスを含む大気雰囲気中のガス前記測定雰囲気中のガスを導入するガス導入路と、導入されたガスを排出するガス排出路とが前記基準センサのケースの前記電極の検知極側に形成される第2のガス導入治具とが前記ホルダの開口部を介して設けられ、
前記第1のガス導入治具と前記検知センサのケースとの間および前記第2のガス導入治具と前記基準センサのケースとの間には、導入されるガスを前記検知センサおよび前記基準センサの周囲温度と同等の温度に加熱するための予熱空間が形成されることを特徴とする請求項1~4の何れかに記載のガス濃度測定装置。 - 前記第1のガス導入治具は、前記検知センサのケースに対して可動自在に設けられ、前記予熱空間の容積が調整可能であり、
前記第2のガス導入治具は、前記基準センサのケースに対して可動自在に設けられ、前記予熱空間の容積が調整可能であることを特徴とする請求項5に記載のガス濃度測定装置。 - 前記予熱空間には、導入されるガスの温度変動を抑制する部材が収容されることを特徴とする請求項5または6に記載のガス濃度測定装置。
- 前記電解液保持体は、内部に中空の空間部を有していることを特徴とする請求項3~7の何れかに記載のガス濃度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020162516A JP7500377B2 (ja) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | ガス濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020162516A JP7500377B2 (ja) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | ガス濃度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022055113A true JP2022055113A (ja) | 2022-04-07 |
JP7500377B2 JP7500377B2 (ja) | 2024-06-17 |
Family
ID=80997998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020162516A Active JP7500377B2 (ja) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | ガス濃度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7500377B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8075752B2 (en) | 2005-02-15 | 2011-12-13 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Method and apparatus for providing an electrochemical sensor at an elevated temperature |
JP4849924B2 (ja) | 2006-03-24 | 2012-01-11 | 株式会社東科精機 | 燻蒸ガス濃度測定装置 |
JP2012032186A (ja) | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Chino Corp | 定電位電解式ガスセンサ |
US11231387B2 (en) | 2018-01-24 | 2022-01-25 | Msa Europe Gmbh | Stabilization of sensor signal in electrochemical gas sensors |
-
2020
- 2020-09-28 JP JP2020162516A patent/JP7500377B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7500377B2 (ja) | 2024-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3045900B1 (en) | Hydrogen sensor element for measuring concentration of hydrogen gas dissolved in liquid and method for measuring concentration of hydrogen gas using same | |
US5728289A (en) | Sensor cell holder for gas analyzer | |
US20180328881A1 (en) | Sensor and measurement method for measuring hydrogen content in metal melt | |
TWI470219B (zh) | 用於偵測液體中污染物之手持式系統及方法 | |
US9222911B2 (en) | Method and device for detecting at least one property of a gas | |
EP3783353A1 (en) | Constant potential electrolysis gas sensor | |
JP4529140B2 (ja) | 水蒸気センサー | |
JP2022055113A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
KR20160077125A (ko) | 정전위 전해식 가스 센서 | |
JP7348096B2 (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JPH10288594A (ja) | 定電位電解式センサおよびガス検知装置 | |
JPS62119433A (ja) | フイルムの水素透過係数測定装置 | |
US20050029100A1 (en) | Solid-state electrochemical hydrogen probe for the measurement of hydrogen content in the molten aluminum | |
JP2012032186A (ja) | 定電位電解式ガスセンサ | |
RU2395832C1 (ru) | Способ поддержания заданного давления кислорода | |
US20060254908A1 (en) | Electrochemical solid electrolyte sensor for the detection of oxygen, hydrocarbons and moisture in vacuum environments | |
KR101133820B1 (ko) | 전기화학적 센서 | |
KR20160011722A (ko) | 액체 내 용존 수소가스 농도 측정용 수소센서소자 및 이를 이용한 수소가스 농도 측정방법 | |
KR20180004490A (ko) | 기준가스를 사용하는 전기화학식 센서 모듈 | |
JP2002122566A (ja) | 不活性ガス中の超微量酸素分析計 | |
KR102448945B1 (ko) | Eis 측정 및 알고리즘 방식을 통한 전기화학 전극센서 트랜스듀서의 자동 교정 방법, 수명 진단 방법, 및 양불 진단 방법 | |
JP7474682B2 (ja) | 定電位電解式ガスセンサ | |
CN111183356B (zh) | 用于电化学传感器的改善的基线稳定性的系统和方法 | |
TW202223382A (zh) | 隔膜式感測器及使用其的分析裝置 | |
JP2020118487A (ja) | ガスセンサ及びガスセンサの使用方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240605 |