JP2022035213A - ガスシールタンク、シールガス供給方法、超純水製造装置及び超純水製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の実施形態であるガスシールタンクは、液体をシールガスからなる気相部と接触させて収容するための、密閉可能な収容容器と、液体供給口から液体が供給されて、収容容器内の気相部の圧力が所定の排気開始圧力よりも高くなったとき、収容容器内のシールガスを排気するシールガス排気装置と、液体流出口から液体が流出されて、収容容器内の気相部の圧力が所定の供給開始圧力よりも低くなったとき、収容容器内の気相部にシールガスを供給するシールガス供給装置と、を有するガスシールタンクである。そして、このガスシールタンクにおいて、シールガス供給装置が、その供給するシールガスの供給方向を液体の液面に対して平行又は鋭角となるように設けたシールガス供給口を有することを特徴とする。なお、液体供給口と液体流出口は図示を省略している。
シールガス供給装置13としては、金子産業株式会社製ガスシールユニット GUシリーズ等が好適に用いられる。また、これに限られず、通常の圧力センサーと自動制御弁を組み合わせたものを使用することも可能である。
なお、上記では、シールガスの流れを鉛直方向から水平方向に変更する配管形状を例示したが、収容容器11の側面にシールガスを供給する配管13bを接続し、接続部をそのまま供給口13aとすることもでき、この場合、供給方向を変えなくても、そのまま液面50aに対して平行又は鋭角に供給するようにしてもよい。
複数設置する場合は、例えば、図7のように、シールガス供給口13aを円の中心側に向けることも可能であるし、図8のように、シールガス供給装置13、シールガス排気装置12、圧力検知部12aを対角に設置することも可能である。図8のように設置した場合、シールガスが収容容器11の側面に沿って流れやすくなり、収容容器11内で旋回流が生じやすくなるため、より好ましい。
次に、本発明のシールガスの供給方法について、図1A及び1Bのガスシールタンクを用いる場合を例に、説明する。
さらに、シールガスが鉛直方向上方から直接液体50の液面50aに衝突することがないため、シールガスの液体50中への混入(溶け込み)を抑制することもできる。
この実施形態に係る超純水製造装置は、図9に示したように、脱気装置を備えた1次純水装置31と、2次純水装置32と、1次純水装置31と2次純水装置32の間に、上記説明した本実施形態のガスシールタンク10が設けられた構成の超純水製造装置30である。
また、1次純水装置31を構成する他の装置としては、逆浸透膜装置、電気脱イオン装置、イオン交換装置、紫外線照射装置等が挙げられ、これら装置は任意の組み合わせで備えることができる。
また、ガスシールタンク10内の水面が気体流(窒素流)の直撃により乱されないので、タンク内における、窒素の溶解量を最小限にすることができる。これは、タンク内の水面を乱さないため、溶解する液体と気体の界面の面積が最小限となるためである。タンク内に貯留される脱気された1次純水は、いわゆるハングリーウォーターであり、気液界面から急激に窒素を溶解させるので、水面を乱さないことによる表面積の減少で、上記効果が表れる。
超純水製造装置として、図9に示した構成の装置を用いた。ここで、1次純水装置31は、上流側から順番に、活性炭装置(AC)、逆浸透膜装置(RO)、電気式脱イオン装置(EDI)、紫外線照射装置(TOC-UV)、混床式イオン交換装置(MB)、脱気膜装置(MDG)と接続され、これら1次純水装置で得られた1次純水がガスシールタンク10に一旦収容されるようになっている。2次純水装置は、ガスシールタンク10の後段に配置され、上流から順番に、紫外線照射装置(TOC-UV)、脱気膜装置(MDG)、ポリッシャー(MBP)、限外ろ過膜装置(UF)と接続され、使用場所(POU)へ超純水を供給できるようになっている。
上記実施例1で用いた超純水製造装置において、ガスシールタンク10の代わりに従来のガスシールタンク(シールガス供給装置13のシールガス供給口が、鉛直方向下方にシールガスを供給するように設けられている)以外は、同様の構成の超純水製造装置を用い、同様の操作により超純水を製造した。超純水の溶存窒素濃度を、実施例1と同様に測定し、その結果を、図10に併せて示した。
Claims (12)
- 液体をシールガスからなる気相部と接触させて収容するための、密閉可能な収容容器と、
前記収容容器内の気相部の圧力が所定の排気開始圧力よりも高くなったとき、前記収容容器内のシールガスを排気するシールガス排気装置と、
前記収容容器内の気相部にシールガスを供給するシールガス供給装置と、
を有するガスシールタンクであって、
前記シールガス供給装置が、その供給するシールガスの供給方向を前記液体の液面に対して平行又は鋭角となるように設けたシールガス供給口を有することを特徴とするガスシールタンク。 - 平面視において、前記シールガス供給口が、前記シールガス排気装置を作動させる圧力検知部側に開口していない請求項1に記載のガスシールタンク。
- 前記シールガス供給口が、さらに前記シールガス排気装置側に開口していない請求項2に記載のガスシールタンク。
- 前記ガスシールタンクを平面視したときの外形形状が円形状であり、当該外形形状に対して前記シールガス供給口を通る同心円上において、前記シールガスの供給方向が、前記シールガス供給口を起点とする前記同心円の接線方向から前記同心円の中心までの範囲となるように、前記シールガス供給口が設けられている請求項1~3のいずれか1項に記載のガスシールタンク。
- 前記シールガス供給口が、前記シールガスの流れを鉛直方向から水平方向に変更する配管形状を有する請求項1~4のいずれか1項に記載のガスシールタンク。
- 前記シールガス供給口が、その供給された前記シールガスにより、前記ガスシールタンク内で旋回流を生じさせることができるように設けられている請求項1~5のいずれか1項に記載のガスシールタンク。
- 前記シールガス供給装置が、前記供給口を側面に有する円筒状部材を有し、前記円筒状部材が、その軸回転により前記シールガスの供給方向を変更できる可動式の部材である請求項1~6のいずれか1項に記載のガスシールタンク。
- 液体を収容し、その気相部をシールガスで満たした、請求項1~7のいずれか1項に記載のガスシールタンクを用い、
前記シールガス供給装置により、前記液体の液面に対して平行又は鋭角となるように前記シールガスを供給することを特徴とするシールガス供給方法。 - 前記気相部の圧力が所定の供給開始圧力よりも低くなったとき、前記シールガス供給装置により前記シールガスを前記気相部に供給する請求項8に記載のシールガス供給方法。
- 前記気相部の圧力が所定の排気開始圧力よりも高くなったとき、前記シールガス排気装置により前記シールガスを前記収容容器の外部に放出する請求項8又は9に記載のシールガス供給方法。
- 脱気装置を備えた1次純水装置と、2次純水装置と、を有する超純水製造装置であって、
前記1次純水装置と前記2次純水装置の間、又は、前記1次純水装置内で前記脱気装置の後段に、請求項1~7のいずれか1項に記載のガスシールタンクを備えたことを特徴とする超純水製造装置。 - 被処理水を、脱気装置を備えた1次純水装置にて脱気処理した1次純水を製造し、
前記1次純水を、2次純水装置で処理して2次純水を製造する超純水製造方法であって、
前記1次純水装置で得られた1次純水、又は、前記1次純水装置内で前記脱気装置により脱気処理された処理水を、請求項1~7のいずれか1項に記載のガスシールタンクに収容することを特徴とする超純水製造方法。
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