JP2022018685A - ドレッシング装置及び研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係るドレッシング装置2を有する研磨装置1の概略構成を示す正面図であり、研磨工程を実行している状態を示している。
詳しくは、研磨定盤10の研磨布12を保持する保持面には、図示しない上載台が設けられても良い。上載台としては、例えば、ポーラス酸化アルミナ、ポーラスセラミックス、焼結金属、その他合成樹脂のポーラス素材からなる板材が使用される。
図2に示すように、高圧水でドレッサ30を洗浄するドレッサ洗浄工程においては、ドレッサ30は、水槽40の上方に移動する。
図3に示すように、研磨装置101は、複数の研磨ヘッド115と、複数のドレッサ130と、を有する。
図4に示すように、研磨装置201は、ワークWよりも小径の研磨布212を使用してワークWの表面を研磨する、小径パッド方式の装置である。
高圧水発生装置244には、加圧する水を高圧水発生装置244に供給する水配管35と、加圧された高圧水を高圧水発生装置244から研磨布212に流す高圧水配管246と、が接続されている。
図5を参照して、研磨布212をドレッシングするドレッシング工程において、研磨ヘッド215は、図示しない研磨ヘッド送り手段によって送られて、研磨定盤210の上方の研磨位置からドレッシング装置202の水槽40の上方のドレッシング位置に移動する。ドレッシング位置は、水槽40の上方であって、研磨布212の研磨面13がドレッサ230のドレッシング面33に当接する位置である。
2 ドレッシング装置
10 研磨定盤
11 回転軸
12 研磨布
13 研磨面
15 研磨ヘッド
16 回転軸
17 リテーナ
20 研磨液供給装置
21 研磨液配管
22 研磨液バルブ
23 研磨液噴射ノズル
30 ドレッサ
31 回転軸
32 ダイヤモンド層
33 ドレッシング面
34 高圧水発生装置
35 水配管
36 高圧水配管
37 高圧水噴射ノズル
38 高圧水バルブ
40 水槽
41 排水口
101 研磨装置
102 ドレッシング装置
115、115a、115b 研磨ヘッド
130、130a、130b ドレッサ
142 ドレッサアーム
143 ドレッサアーム回転機構
144 アーム軸
201 研磨装置
202 ドレッシング装置
210 研磨定盤
212 研磨布
215 研磨ヘッド
223 研磨液噴射ノズル
224 貫通孔
230 ドレッサ
234 高圧水発生装置
237 高圧水噴射ノズル
244 高圧水発生装置
246 高圧水配管
247 高圧水噴射ノズル
248 高圧水バルブ
Claims (8)
- 基板状のワークに研磨布を接触させて相対移動により前記ワークを研磨する研磨装置に設けられ、
ドレッシング面が前記研磨布の研磨面に相対摺動して前記研磨布をドレッシングするドレッサと、
前記ドレッサを回転させるドレッサ駆動手段と、
1~15MPaに加圧した高圧水を供給する高圧水発生装置と、
回転している前記ドレッシング面に向かって前記高圧水を噴射する高圧水噴射ノズルと、を具備することを特徴とするドレッシング装置。 - 前記研磨装置の前記ワークまたは前記研磨布を支持する研磨定盤から外れた位置に設けられた水槽を有し、
前記高圧水噴射ノズルは、前記水槽の上方において前記ドレッシング面に前記高圧水を噴き付けるよう設けられていることを特徴とする請求項1に記載のドレッシング装置。 - 複数の前記ドレッサを有し、
少なくとも1つの前記ドレッサで前記研磨布をドレッシングする研磨工程において、少なくとも1つの他の前記ドレッサに前記高圧水を噴き付けて当該他の前記ドレッサを洗浄することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のドレッシング装置。 - 1~15MPaに加圧した第2の高圧水を供給する第2の高圧水発生装置と、
回転している前記研磨布の前記研磨面に向かって前記第2の高圧水を噴射する第2の高圧水噴射ノズルと、を具備することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか1項に記載のドレッシング装置。 - 前記ドレッサは、ダイヤモンド砥粒が電着されたダイヤモンドドレッサであることを特徴とする請求項1ないし請求項4の何れか1項に記載のドレッシング装置。
- 前記ドレッサは、合成樹脂から形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項5の何れか1項に記載のドレッシング装置。
- 研磨布の研磨面を上方に向けて前記研磨布を保持して回転する研磨定盤と、
基板状のワークの被研磨面を前記研磨面に対向させて前記ワークを保持して回転押圧する研磨ヘッドと、
ダイヤモンド砥粒が電着されたドレッシング面が前記研磨面に相対摺動して前記研磨布をドレッシングするダイヤモンドドレッサと、
前記研磨定盤から外れた位置に設けられた水槽と、
前記ダイヤモンドドレッサを回転させるドレッサ駆動手段と、
前記ダイヤモンドドレッサを摺動方向に相対移動させると共に前記研磨定盤の上方から前記水槽の上方に相対移動させるドレッサ送り手段と、
1~15MPaに加圧した高圧水を供給する高圧水発生装置と、
前記水槽の上方に送られ回転している前記ドレッシング面に向かって前記高圧水を噴射する高圧水噴射ノズルと、を具備することを特徴とする研磨装置。 - 基板状のワークの被研磨面を上方に向けて前記ワークを保持して回転する研磨定盤と、
研磨布の研磨面を前記被研磨面に対向させて前記研磨布を保持して回転押圧する研磨ヘッドと、
前記研磨定盤から外れた位置に設けられた水槽と、
前記水槽の上方に設けられダイヤモンド砥粒が電着されたドレッシング面を有するダイヤモンドドレッサと、
前記ダイヤモンドドレッサを回転させるドレッサ駆動手段と、
研磨ヘッドを前記研磨定盤の上方の研磨位置から前記水槽の上方であって前記研磨面が前記ドレッシング面に相対摺動してドレッシングが行われるドレッシング位置まで相対移動させる研磨ヘッド送り手段と、
1~15MPaに加圧した第1の高圧水を供給する第1の高圧水発生装置と、
1~15MPaに加圧した第2の高圧水を供給する第2の高圧水発生装置と、
前記水槽の上方で回転している前記ドレッシング面に向かって前記第1の高圧水を噴射する第1の高圧水噴射ノズルと、
前記水槽の上方に送られ回転している前記研磨面に向かって前記第2の高圧水を噴射する第2の高圧水噴射ノズルと、を具備することを特徴とする研磨装置。
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