JP2022008858A - 光学フィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に矩形性の良い画素を精度よく形成できる光学フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】この光学フィルタの製造方法は、隔壁を有する支持体であって、隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、スキャナ露光機を用いて着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成する工程と、を含む。
【選択図】なし

Description

本発明は、光学フィルタの製造方法に関する。

ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯電話などには、ＣＣＤ（電荷結合素子）や、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）等の固体撮像素子が用いられている。また、固体撮像素子には、着色感光性組成物を用いて形成された画素を有する光学フィルタが用いられている。着色感光性組成物としては、色材と硬化性化合物とを含む組成物が用いられている（特許文献１参照）。

また、特許文献２には、波長１９３ｎｍの光または波長２４８ｎｍの光で１段階目の露光を行い、次いで、波長３６５ｎｍの光などで２段階目の露光を行った後、現像を行ってパターンを形成することが記載されている。

特表２０１２－５３２３３４号公報 米国特許第９５０７２６４号公報

近年、画素同士の間に隔壁を設けて画素を透過する光の集光性などを高める試みが検討されている。このような画素間に隔壁が設けられた光学フィルタの製造方法の一つとして、フォトリソグラフィ法を用いて隔壁間に画素を形成して製造する方法がある。具体的には、隔壁を有する支持体上に画素形成用の組成物を塗布して組成物層を形成し、この組成物層を露光及び現像して隔壁で区画された領域に画素を形成して製造する方法などがある。

しかしながら、このような方法によって隔壁間に画素を形成する場合、画素のパターニングの精度や、形成される画素の矩形性について高い水準が要求されている。画素のパターニングの精度や、形成される画素の矩形性が不十分であると、隔壁と画素との間に隙間が生じたり、隔壁上や他の画素を形成する予定の領域内に既に形成した隣接する画素の一部が形成されてしまうことがある。また、特許文献１、２には、隔壁間に画素を形成することについての記載はないし、検討もされていない。

よって、本発明の目的は、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に矩形性の良い画素を精度よく形成できる光学フィルタの製造方法を提供することにある。

本発明者が鋭意検討したところ、後述する方法によって上記の目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
＜１＞ 隔壁を有し、隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
スキャナ露光機を用いて着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成する工程と、を含む、光学フィルタの製造方法。
＜２＞ 支持体は、基板と、基板上に形成された隔壁とを有し、基板の表面に隔壁で区画された複数の領域が設けられており、
画素を形成する工程では、基板上の隔壁で区画された領域内に画素を形成する、＜１＞に記載の光学フィルタの製造方法。
＜３＞ 支持体は、基板と、基板上に形成された隔壁と、基板および隔壁の少なくとも一部を覆う保護層とを有し、基板の表面に隔壁で区画された複数の領域が設けられているとともに、隔壁が保護層によって支持体内に埋設されており、
画素を形成する工程では、保護層上の、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成する、＜１＞に記載の光学フィルタの製造方法。
＜４＞ 波長３００ｎｍ以下の光がＫｒＦ線である、＜１＞～＜３＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜５＞ 隔壁の底部の幅が、着色感光性組成物によって形成される画素の底部の幅の３０％以下である、＜１＞～＜４＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜６＞ 隔壁が、タングステン、銅、アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸窒化チタン、シリコン、シロキサン樹脂、フッ素樹脂および二酸化ケイ素から選ばれる少なくとも１種を含む、＜１＞～＜５＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜７＞ 隔壁の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が、着色感光性組成物によって形成される画素の屈折率よりも小さい、＜１＞～＜６＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜８＞ 着色感光性組成物層の波長２４８ｎｍの光に対する光学濃度が１．６以上である、＜１＞～＜７＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜９＞ 硬化性化合物は、重合性モノマーを含み、重合性モノマーの重合性基価が１０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上である、＜１＞～＜８＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜１０＞ 上記画素を形成した後、支持体上に上記画素とは異なる種類の画素形成用の第２の着色感光性組成物を塗布して第２の着色感光性組成物層を形成する工程と、
第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部の第２の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内の画素が形成された位置とは異なる位置、または、隔壁で区画された領域に対応する位置であって画素が形成された位置とは異なる位置に第２の画素を形成する工程とを含む、＜１＞～＜９＞のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
＜１１＞ ステッパ露光機を用いて第２の着色感光性組成物層に波長３６５ｎｍの光を照射して第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する、＜１０＞に記載の光学フィルタの製造方法。

本発明によれば、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に矩形性の良い画素を精度よく形成できる光学フィルタの製造方法を提供することができる。

支持体の一実施形態を示す側断面図である。 図１の支持体の真上方向からみた平面図である。 支持体の他の一実施形態を示す側断面図である。 図３に示す支持体の変形例である。 図１に示す支持体を用いて画素を形成した状態を示す図である。 図１に示す支持体を用いて第２の画素を形成した状態を示す図である。 図３に示す支持体を用いて画素を形成した状態を示す図である。 図３に示す支持体を用いて第２の画素を形成した状態を示す図である。

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、（メタ）アリル基は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。ＧＰＣは、ＨＬＣ－８１２０（東ソー（株）製）を用い、カラムとしてＴＳＫ ｇｅｌ Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ ＨＸＬ－Ｍ （東ソー（株）製、７．８ｍｍＩＤ（内径）×３０．０ｃｍ）を、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）を用いた方法に準ずる事ができる。
本明細書において、赤外線とは、波長７００～２５００ｎｍの光をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。

＜光学フィルタの製造方法＞
本発明の光学フィルタの製造方法は、隔壁を有し、隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
スキャナ露光機を用いて着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成する工程と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、色材と硬化性化合物とを含み色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を用いることにより、支持体との密着性に優れ、矩形性の良い画素を形成できる。このような効果が得られる理由としては次によるものであると推測される。すなわち、この着色感光性組成物は、色材を全固形分中に１０質量％以上含有することにより、波長３００ｎｍ以下の光に対する吸収性が高く、この着色感光性組成物を用いて形成した着色感光性組成物層に対して波長３００ｎｍ以下の光を照射して露光することで、着色感光性組成物層の表層が内部よりも硬化し易い傾向にあると推測される。このため、支持体上に形成した着色感光性組成物層に対して波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層の底部までしっかりと硬化させても、着色感光性組成物層の支持体側の線太りを抑制でき、その結果、矩形性が良好で、支持体との密着性に優れた画素を形成することができる。そして、本発明では、スキャナ露光機を用いて着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光するので、着色感光性組成物層に対してパターニング精度よく露光できる。更には、隔壁によって露光波長の光が反射や散乱して、着色感光性組成物層の側面が適度に感光されて、矩形性の良いパターンを形成できる。このため、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に矩形性の良い画素を精度よく形成することができる。

以下、本発明の光学フィルタの製造方法の各工程について詳細に説明する。

（着色感光性組成物層形成工程）
まず、隔壁を有し、隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する（着色感光性組成物層形成工程）。

本発明で用いられる支持体について説明する。本発明で用いられる支持体としては、隔壁を有し、かつ、隔壁で区画された複数の領域が設けられたものであれば特に限定は無い。

図１は、本発明で用いられる支持体の一実施形態を示す側断面図であり、図２は、同支持体の真上方向からみた平面図である。図１に示す支持体１００は、基板１０の表面に隔壁１１が形成されている。そして、図２に示されるように、基板１０の表面には、隔壁１１で区画された複数の領域が設けられている。なお、図２では、隔壁１１は基板１０の表面に格子状に形成されており、基板１０上における隔壁１１によって区画された領域の形状（以下、隔壁の開口部の形状ともいう）は正方形状をなしているが、隔壁１１の開口部の形状は、特に限定されず、例えば、長方形状、円形状、楕円形状、または、多角形状等であっても良い。また、図１に示す支持体では、隔壁１１は順テーパ状の形状をなしているが、隔壁の形状は順テーパ形状に限定はされず、柱状形状や逆テーパ形状であってもよい。また、隔壁の幅が基板側から先端に向かって段階的に拡径あるいは縮径した形状であってもよい。隔壁自身の強度の観点から順テーパ形状であることが好ましい。なお、順テーパ形状とは、隔壁の幅が基板側から先端に向かって連続的に縮径した形状のことであり、逆テーパ形状とは、隔壁の幅が基板側から先端に向かって連続的に拡径した形状のことであり、柱状とは、隔壁の幅が基板側と先端側とでほぼ同じ形状のことである。

図３は、本発明で用いられる支持体の他の実施形態を示す側断面図である。図３に示す支持体２００は、基板２０の表面に隔壁２１が形成されている。基板２０の表面には、隔壁２１で区画された複数の領域が設けられている。そして、基板２０上には、基板２０および隔壁２１の少なくとも一部を覆う保護層２２が設けられており、隔壁２１が保護層２２によって支持体２００内に埋設されている。保護層２２は、有機材料で構成された層であってもよく、無機材料で構成された層であってもよい。用途に応じて適宜選択することができる。保護層２２は、着色感光性組成物によって形成される画素に照射される光に対する透過性に優れた層であることが好ましい。例えば、保護層２２は、波長４００～６００ｎｍの光の透過率の最小値が８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましく、９５％以上であることが更に好ましい。保護層２２の厚さｔ１としては、隔壁２１の高さＨ１の０％を超え２００％以下であることが好ましい。上限は、１５０％以下であることが好ましく、１２０％以下であることがさらに好ましい。なお、図３に示す支持体２００は、保護層２２内に隔壁２１が完全に埋設されているが、図４に示すように、隔壁２１の先端が保護層２２から露出していてもよい。また、図３に示す支持体においても、隔壁２１は順テーパ状の形状をなしているが、隔壁の形状は順テーパ形状に限定はされず、柱状形状や逆テーパ形状であってもよい。上述した理由から隔壁２１は順テーパ形状であることが好ましい。

図１、３に示す支持体１００、２００において、基板１０、２０の材質としては特に限定は無い。例えば、シリコン、無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスなどの材質で構成された基板が挙げられる。また、ＩｎＧａＡｓ基板などを用いることも好ましい。また、基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、基板には、必要により、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。また、基板表面にはアライメントマークが形成されていてもよい。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１の材質としては、特に限定は無い。種々の無機材料や有機材料を用いることができる。例えば、タングステン、銅、アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸窒化チタン、シリコン、シロキサン樹脂、フッ素樹脂、二酸化ケイ素などが挙げられる。隔壁の材質については用途に応じて適宜選択することができる。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率は、着色感光性組成物によって形成される画素の屈折率よりも小さいことが好ましく、０．０２以上小さいことがより好ましく、０．１０以上小さいことが更に好ましい。この態様によれば、画素を透過する光の集光性を高めて感度の良い光学フィルタとすることができる。また、図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率は、１．１０～４．００であることが好ましく、１．１５～３．８０であることがより好ましく、１．２０～３．６０であることが更に好ましい。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁によって区画された領域の中心を隔壁に対して平行に通り線上に位置する隔壁同士の間隔Ｗ３については特に限定は無いが、隔壁同士の間隔が狭くなるに伴い、着色感光性組成物によって形成される画素のサイズが小さくなるので、画素をより精度よくパターニングする必要がある。このため、隔壁同士の間隔が狭い場合において本発明の効果が顕著に得られ、隔壁同士の間隔が１．０μｍ以下である場合においてより効果的であり、隔壁同士の間隔が０．９μｍ以下である場合において特に効果的である。なお、隔壁同士の間隔とは、隔壁によって区画された領域の中心を隔壁に対して平行に通る線上に位置する隔壁同士の間隔のことである。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１の底部の幅Ｗ１は特に限定はないが、隔壁１１、２１の底部の幅Ｗ１は小さくなるに伴い、画素をより精度よくパターニングする必要がある。このため、隔壁１１、２１の底部の幅Ｗ１が小さい場合において本発明の効果が顕著に得られ、着色感光性組成物によって形成される画素の底部の幅Ｗ２（すなわち、隔壁の開口部の寸法）の３０％以下である場合においてより効果的であり、２０％以下である場合において更に効果的であり、１０％以下である場合において特に効果的である。また、隔壁１１、２１の底部の幅Ｗ１は０．３μｍ以下であることが好ましく、０．２μｍ以下であることがより好ましく、０．１μｍ以下であることが更に好ましい。下限は特に限定はないが、隔壁の強度や隔壁の成形性などの観点から、０．０１μｍ以上であることが好ましい。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１は順テーパ形状をなしている。隔壁１１、２１の形状が順テーパ形状である場合、隔壁１１、２１のテーパ角θは７０°以上９０°以下であることが好ましく、８０°以上９０°以下であることがより好ましく、８５°以上９０°以下であることが更に好ましい。隔壁１１、２１のテーパ角θが上記範囲であれば、画素の開口率を広く取れ、デバイスの感度をより向上できる。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１の高さＨ１は、着色感光性組成物によって形成される画素の厚さの１０～１５０％であることが好ましい。上限は、１３０％以下であることが好ましく、１２０％以下であることがより好ましく、１１０％以下であることが更に好ましい。下限は、２０％以上であることが好ましく、３０％以上であることがより好ましく、５０％以上であることが更に好ましい。また、隔壁の高さＨ１は、１００～７５０ｎｍであることが好ましい。上限は、６５０ｎｍ以下であることが好ましく、６００ｎｍ以下であることがより好ましく、５５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は、５０ｎｍ以上であることが好ましく、１００ｎｍ以上であることがより好ましく、１５０ｎｍ以上であることが更に好ましい。

図１、３に示す支持体１００、２００において、隔壁１１、２１は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、次のようにして隔壁を形成することができる。まず、基板上に隔壁材料層を形成する。隔壁材料層は、隔壁を構成する材料を含む隔壁材料層形成用組成物を塗布した後、熱硬化などを行って成膜して隔壁材料層を形成する方法、化学気相成長（ＣＶＤ）法、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法などの方法で形成することができる。次いで、隔壁の形状に沿ったパターンを有するマスクを使用して隔壁材料層上にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクとして、隔壁材料層に対してドライエッチング法でエッチングを行う。次いで、レジストパターンを隔壁材料層から剥離除去する。このようにして隔壁を形成することができる。また、隔壁は、特開２００６－１２８４３３号公報に記載された方法を用いて形成することもできる。

次に、着色感光性組成物層の形成方法について説明する。本発明の光学フィルタの製造方法では、上記の支持体上に着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する。

着色感光性組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９－１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット－特許に見る無限の可能性－、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ～１３３ページ）や、特開２００３－２６２７１６号公報、特開２００３－１８５８３１号公報、特開２００３－２６１８２７号公報、特開２０１２－１２６８３０号公報、特開２００６－１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、樹脂組成物の塗布方法については、国際公開ＷＯ２０１７／０３０１７４号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０１８４１９号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

支持体上に着色感光性組成物を塗布した後、更に乾燥（プリベーク）を行ってもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３０００秒が好ましく、４０～２５００秒がより好ましく、８０～２２００秒が更に好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。

着色感光性組成物層は、波長２４８ｎｍの光に対する光学濃度が１．６以上であることが好ましく、１．８以上がより好ましく、２．０以上が更に好ましい。上限は、特に限定はないが、４．０以下とすることができる。着色感光性組成物層の上記光に対する光学濃度が１．６以上であれば、支持体との密着性に優れつつ、矩形性の良い画素を形成し易い。すなわち、着色感光性組成物層の上記の光に対する光学濃度が１．６以上であれば、波長３００ｎｍ以下の光に対する吸収性が高く、支持体上に形成した着色感光性組成物層に対して波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層の底部までしっかりと硬化させても、着色感光性組成物層の支持体側の線太りを抑制でき、その結果、矩形性が良好で、支持体とも密着性に優れた画素を形成することができる。なお、光学濃度とは、光の吸収度合を対数で表示した値であって、下記の式で定義される値である。
ＯＤ（λ）＝Ｌｏｇ_１０［Ｔ（λ）／Ｉ（λ）］
λは、波長を表し、Ｔ（λ）は、波長λにおける透過光量を表し、Ｉ（λ）は波長λにおける入射光量を表す。

着色感光性組成物層の光学濃度は、着色感光性組成物に含まれる色材の種類、濃度、および、着色感光性組成物層の膜厚を適宜調整して上記範囲となるように調整することができる。着色感光性組成物については後述する。着色感光性組成物層の膜厚は、３００～１０００ｎｍであることが好ましい。下限は４００ｎｍ以上であることが好ましく、４５０ｎｍ以上であることがより好ましい。上限は、９００ｎｍ以下であることが好ましく、７００ｎｍ以下であることがより好ましい。

（露光工程）
次に、上述のようにして形成した支持体上の着色感光性組成物層に対して、スキャナ露光機を用いて波長３００ｎｍ以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。これにより、着色感光性組成物層の露光部分を硬化することができる。

スキャナ露光機とは、スリット状の開口を通して光を照射し、マスク（レチクル）と非対称物とを同時に動かして露光を行う装置である。スキャナ露光機の種類としては特に限定は無く、従来公知のスキャナ露光機を用いることができる。例えば、ＫｒＦスキャナ露光機（キヤノン製、ＦＰＡ－６０００ＥＳ６ａ）などが挙げられる。

露光条件としては、例えばＮＡ（開口数）＝０．５０～０．８６、σ（照明系開口数（ＮＡ）／結像レンズ物体（マスク）側開口数（ＮＡ））＝０．２５～０．９５、照度５０００～５００００Ｗ／ｍ^２の範囲で行うことができる。

露光に際して用いる光としては、波長３００ｎｍ以下の光であればよく、好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光である。具体的には、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、着色感光性組成物に含まれる色材や硬化性化合物などの結合が切断されにくい等の理由からＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。

露光量は、例えば、１～２０００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましい。上限は１０００ｍＪ／ｃｍ^２以下が好ましく、５００ｍＪ／ｃｍ^２以下がより好ましい。下限は、５ｍＪ／ｃｍ^２以上が好ましく、１０ｍＪ／ｃｍ^２以上がより好ましく、２０ｍＪ／ｃｍ^２以上が更に好ましい。

露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素など）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％など）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、例えば、１０００～１０００００Ｗ／ｍ^２の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

可視光、赤外線、紫外線などでアライメントマークを検出して露光位置の精度をチェックしてもよい。

（現像工程）
次に、露光工程後の着色感光性組成物層における未露光部の着色感光性組成物層を現像除去する（現像工程）。これにより、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素が形成される。例えば、図１に示す支持体１００を用いた場合においては、図５に示されるように、基板１０上の隔壁１１で区画された領域内に画素１５が形成される。すなわち、隔壁１１間に画素１５が形成される。また、図３に示す支持体２００を用いた場合においては、図７に示されるように、保護層２２上の、隔壁２１で区画された領域に対応する位置に画素２５が形成される。

現像工程において、未露光部の着色感光性組成物層の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、未露光部の着色感光性組成物層が現像液に溶出し、上記の露光工程で光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを与えない、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、２０～３０℃が好ましい。現像時間は、２０～１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。

現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２－ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。現像液は、これらのアルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤を添加してもよい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５～１００倍の範囲に設定することができる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後純水で洗浄（リンス）することが好ましい。

現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。追加露光処理や、ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の処理である。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光としては、ｇ線、ｈ線、ｉ線等が好ましく、ｉ線がより好ましい。また、これらを複数組み合わせた光であっても良い。光源としては超高圧水銀灯やメタルハライドランプ、レーザー光源などが挙げられる。照度は５００～１０００００Ｗ／ｍ^２が好ましい。露光量は例えば５００～１００００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましい。また、ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば５０～２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、１８０～２３０℃がより好ましい。

本発明の光学フィルタの製造方法は、上記の方法で画素（以下、第１の画素ともいう）を形成した後、支持体上に前述の画素（第１の画素）とは異なる種類の画素形成用の第２の着色感光性組成物を塗布して第２の着色感光性組成物層を形成する工程と、
第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部の第２の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内の前述の画素（第１の画素）が形成された位置とは異なる位置、または、隔壁で区画された領域に対応する位置であって前述の画素（第１の画素）が形成された位置とは異なる位置に第２の画素を形成する工程とを含むことも好ましい。この態様によれば、複数種類の画素を有する光学フィルタを製造することができる。例えば、図１に示す支持体１００を用いた場合においては、図６に示されるように、基板１０上の隔壁１１で区画された領域内に第２の画素１６が形成される。また、図３に示す支持体２００を用いた場合においては、図８に示されるように、保護層２２上の、隔壁２１で区画された領域に対応する位置に第２の画素２６が形成される。

第２の着色感光性組成物としては、第１の画素とは異なる種類の画素形成用の着色感光性組成物であれば特に限定は無い。例えば、第１の画素の形成に用いた着色感光性組成物が緑色の画素形成用の着色感光性組成物である場合、第２の着色感光性組成物としては、赤色、青色、シアン色、マゼンタ色およびイエロ色から選ばれる色相の画素形成用の着色感光性組成物、黒色画素形成用の着色感光性組成物、赤外線透過フィルタ層の画素形成用の着色感光性組成物などを用いることができる。第２の着色感光性組成物については、後述する着色感光性組成物を用いることができる。

第２の着色感光性組成物の塗布方法としては、特に限定は無く、上述した着色感光性組成物層形成工程で説明した方法を適宜選択することができる。

第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する際において、露光に用いられる光は、波長３００ｎｍ以下の光であってもよく、波長３００ｎｍを超える光であってもよい。波長３００ｎｍ以下の光としては、好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光が挙げられる。具体的には、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。波長３００ｎｍを超える光としては、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）が挙げられ、波長３６５ｎｍの光であることが好ましい。露光量、露光時における酸素濃度、露光照度などの条件については、上述した露光工程で説明した条件が挙げられ、好ましい範囲についても同様である。

第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する際において、ステッパ露光機を用いて第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光してよく、スキャナ露光機を用いて第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光してよい。例えば、ステッパ露光機を用いて第２の着色感光性組成物層に波長３６５ｎｍの光を照射して第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光することが好ましい。

未露光部の第２の着色感光性組成物層の現像除去は、上述した現像工程で説明した方法を用いて行うことができる。

また、第２の画素として２種類以上の画素を形成する場合においては、上述した各工程を順次行って、２種類目以降の画素を形成することができる。

＜着色感光性組成物＞
次に、本発明の光学フィルタの製造方法で用いられる着色感光性組成物について説明する。
本発明で用いられる着色感光性組成物は、色材と硬化性化合物とを含む。本発明で用いられる着色感光性組成物は、着色感光性組成物を用いて乾燥後の膜厚が０．５μｍの膜を製膜した際に、前述の膜の波長２４８ｎｍの光に対する光学濃度が、１．６以上であることが好ましく、１．８以上がより好ましく、２．０以上が特に好ましい。上限は、特に限定はないが、４．０以下とすることができる。乾燥後の膜厚が０．５μｍの膜を製膜した際における、膜の波長２４８ｎｍにおける光学濃度を、１．６以上とするには、例えば、色材の種類および含有量を適宜調整する、波長２４８ｎｍに吸収を有する化合物を添加する等の方法により達成できる。

着色感光性組成物としては、着色画素、黒色画素、赤外線透過フィルタ層の画素などの形成用の組成物として好ましく用いられる。着色画素としては、赤色、青色、緑色、シアン色、マゼンタ色およびイエロ色から選ばれる色相の画素が挙げられる。赤外線透過フィルタ層の画素としては、波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタ層の画素などが挙げられる。また、赤外線透過フィルタ層の画素は、以下の（１）～（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタ層の画素であることも好ましい。
（１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
（２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
（３）：波長４００～８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
（４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。

着色感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、着色感光性組成物は、波長４００～６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎと、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘとの比であるＡｍｉｎ／Ｂｍａｘが５以上である分光特性を満たしていることが好ましい。Ａｍｉｎ／Ｂｍａｘは、７．５以上であることがより好ましく、１５以上であることが更に好ましく、３０以上であることが特に好ましい。

ある波長λにおける吸光度Ａλは、以下の式（１）により定義される。
Ａλ＝－ｌｏｇ（Ｔλ／１００） ・・・（１）
Ａλは、波長λにおける吸光度であり、Ｔλは、波長λにおける透過率（％）である。
本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、着色感光性組成物を用いて製膜した膜での値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように着色感光性組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃、１２０秒間乾燥して調製した膜を用いて測定することが好ましい。膜の厚さは、膜を有する基板について、触針式表面形状測定器（ＵＬＶＡＣ社製 ＤＥＫＴＡＫ１５０）を用いて測定することができる。

着色感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、この着色感光性組成物は、以下の（１１）～（１４）のいずれかの分光特性を満たしていることがより好ましい。
（１１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ１と、波長８００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ１との比であるＡｍｉｎ１／Ｂｍａｘ１が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～６４０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長７２０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
（１２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ２と、波長９００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ２との比であるＡｍｉｎ２／Ｂｍａｘ２が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～７５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長８５０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
（１３）：波長４００～８５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ３と、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ３との比であるＡｍｉｎ３／Ｂｍａｘ３が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～８３０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長９４０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
（１４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ４と、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ４との比であるＡｍｉｎ４／Ｂｍａｘ４が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～９５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長１０４０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。

以下、着色感光性組成物に用いられる各成分について説明する。

＜＜色材＞＞
本発明で用いられる着色感光性組成物は、色材を含む。色材としては、有彩色着色剤、黒色着色剤、赤外線吸収色素などが挙げられる。色材は、有彩色着色剤を少なくとも含むことが好ましく、膜の波長２４８ｎｍの光に対する光学濃度を高めやすいという理由から、緑色着色剤を少なくとも含むことがより好ましい。

（有彩色着色剤）
有彩色着色剤としては、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、オレンジ色着色剤などが挙げられる。有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。好ましくは顔料である。顔料の平均粒径（ｒ）は、２０ｎｍ≦ｒ≦３００ｎｍであることが好ましく、２５ｎｍ≦ｒ≦２５０ｎｍであることがより好ましく、３０ｎｍ≦ｒ≦２００ｎｍであることが更に好ましい。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。また、使用しうる顔料の二次粒子の粒径分布（以下、単に「粒径分布」ともいう。）は、平均粒径±１００ｎｍの範囲に含まれる二次粒子が全体の７０質量％以上であることが好ましく、８０質量％以上であることがより好ましい。

顔料は、有機顔料であることが好ましい。有機顔料としては以下のものが挙げられる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７，１０，３６，３７，５８，５９等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）、
これら有機顔料は、単独で若しくは種々組合せて用いることができる。

染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。また、特開２０１５－０２８１４４号公報、特開２０１５－３４９６６号公報に記載の染料を用いることもできる。

（黒色着色剤）
黒色着色剤としては、カーボンブラック、金属酸窒化物（チタンブラック等）、金属窒化物（チタンナイトライド等）などの無機黒色着色剤や、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ系化合物などの有機黒色着色剤が挙げられる。有機黒色着色剤としては、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報、特表２０１２－５１５２３４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ ３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平１－１７０６０１号公報、特開平２－３４６６４号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。ビスベンゾフラノン化合物は、下記式で表される化合物およびこれらの混合物であることが好ましい。

式中、Ｒ^１およびＲ^２はそれぞれ独立して水素原子又は置換基を表し、Ｒ^３およびＲ^４はそれぞれ独立して置換基を表し、ａおよびｂはそれぞれ独立して０～４の整数を表し、ａが２以上の場合、複数のＲ^３は、同一であってもよく、異なってもよく、複数のＲ^３は結合して環を形成していてもよく、ｂが２以上の場合、複数のＲ^４は、同一であってもよく、異なってもよく、複数のＲ^４は結合して環を形成していてもよい。

Ｒ^１～Ｒ^４が表す置換基は、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、－ＯＲ^３０１、－ＣＯＲ^３０２、－ＣＯＯＲ^３０３、－ＯＣＯＲ^３０４、－ＮＲ^３０５Ｒ^３０６、－ＮＨＣＯＲ^３０７、－ＣＯＮＲ^３０８Ｒ^３０９、－ＮＨＣＯＮＲ^３１０Ｒ^３１１、－ＮＨＣＯＯＲ^３１２、－ＳＲ^３１３、－ＳＯ_２Ｒ^３１４、－ＳＯ_２ＯＲ^３１５、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^３１６または－ＳＯ_２ＮＲ^３１７Ｒ^３１８を表し、Ｒ^３０１～Ｒ^３１８は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基またはヘテロアリール基を表す。

ビスベンゾフラノン化合物の詳細については、特表２０１０－５３４７２６号公報の段落番号００１４～００３７の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

（赤外線吸収色素）
赤外線吸収色素としては、波長７００～１３００ｎｍの範囲、より好ましくは波長７００～１０００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。赤外線吸収色素は、顔料であってもよく、染料であってもよい。

本発明において、赤外線吸収色素としては、単環または縮合環の芳香族環を含むπ共役平面を有する化合物を好ましく用いることができる。赤外線吸収色素が有するπ共役平面を構成する水素以外の原子数は、１４個以上であることが好ましく、２０個以上であることがより好ましく、２５個以上であることが更に好ましく、３０個以上であることが特に好ましい。上限は、例えば、８０個以下であることが好ましく、５０個以下であることがより好ましい。赤外線吸収色素が有するπ共役平面は、単環または縮合環の芳香族環を２個以上含むことが好ましく、前述の芳香族環を３個以上含むことがより好ましく、前述の芳香族環を４個以上含むことが更に好ましく、前述の芳香族環を５個以上含むことが特に好ましい。上限は、１００個以下が好ましく、５０個以下がより好ましく、３０個以下が更に好ましい。前述の芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環、インダセン環、ペリレン環、ペンタセン環、クアテリレン環、アセナフテン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、クリセン環、トリフェニレン環、フルオレン環、ピリジン環、キノリン環、イソキノリン環、イミダゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピラゾール環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、トリアゾール環、ベンゾトリアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イミダゾリン環、ピラジン環、キノキサリン環、ピリミジン環、キナゾリン環、ピリダジン環、トリアジン環、ピロール環、インドール環、イソインドール環、カルバゾール環、および、これらの環を有する縮合環が挙げられる。

赤外線吸収色素は、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、ジイモニウム化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物及びジベンゾフラノン化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物およびジイモニウム化合物から選ばれる少なくとも１種がより好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物およびスクアリリウム化合物から選ばれる少なくとも１種が更に好ましく、ピロロピロール化合物が特に好ましい。ジイモニウム化合物としては、例えば、特表２００８－５２８７０６号公報に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。フタロシアニン化合物としては、例えば、特開２０１２－７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物、特開２００６－３４３６３１号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開２０１３－１９５４８０号公報の段落番号００１３～００２９に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ナフタロシアニン化合物としては、例えば、特開２０１２－７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、ジイモニウム化合物およびスクアリリウム化合物は、特開２０１０－１１１７５０号公報の段落番号００１０～００８１に記載の化合物を使用してもよく、この内容は本明細書に組み込まれる。また、シアニン化合物は、例えば、「機能性色素、大河原信／松岡賢／北尾悌次郎／平嶋恒亮・著、講談社サイエンティフィック」を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、赤外線吸収化合物としては、特開２０１６－１４６６１９号公報に記載された化合物を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

ピロロピロール化合物としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落番号００１６～００５８に記載の化合物、特開２０１１－６８７３１号公報の段落番号００３７～００５２に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１５／１６６８７３号公報の段落番号００１０～００３３に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

スクアリリウム化合物としては、特開２０１１－２０８１０１号公報の段落番号００４４～００４９に記載の化合物、特許第６０６５１６９号公報の段落番号００６０～００６１に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１８１９８７号公報の段落番号００４０に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１３／１３３０９９号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１４／０８８０６３号公報に記載の化合物、特開２０１４－１２６６４２号公報に記載の化合物、特開２０１６－１４６６１９号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７６０４６号公報に記載の化合物、特開２０１７－２５３１１号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１５４７８２号公報に記載の化合物、特許５８８４９５３号公報に記載の化合物、特許６０３６６８９号公報に記載の化合物、特許５８１０６０４号公報に記載の化合物、特開２０１７－０６８１２０号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

シアニン化合物としては、特開２００９－１０８２６７号公報の段落番号００４４～００４５に記載の化合物、特開２００２－１９４０４０号公報の段落番号００２６～００３０に記載の化合物、特開２０１５－１７２００４号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７２１０２号公報に記載の化合物、特開２００８－８８４２６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０３１３９４号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、赤外線吸収色素としては、市販品を用いることもできる。例えば、ＳＤＯ－Ｃ３３（有本化学工業（株）製）、イーエクスカラーＩＲ－１４、イーエクスカラーＩＲ－１０Ａ、イーエクスカラーＴＸ－ＥＸ－８０１Ｂ、イーエクスカラーＴＸ－ＥＸ－８０５Ｋ（（株）日本触媒製）、ＳｈｉｇｅｎｏｘＮＩＡ－８０４１、ＳｈｉｇｅｎｏｘＮＩＡ－８０４２、ＳｈｉｇｅｎｏｘＮＩＡ－８１４、ＳｈｉｇｅｎｏｘＮＩＡ－８２０ＳｈｉｇｅｎｏｘＮＩＡ－８３９（ハッコーケミカル社製）、ＥｐｏｌｉｔｅＶ－６３、Ｅｐｏｌｉｇｈｔ３８０１、Ｅｐｏｌｉｇｈｔ３０３６（ＥＰＯＬＩＮ社製）、ＰＲＯ－ＪＥＴ８２５ＬＤＩ（富士フイルム（株）製）、ＮＫ－３０２７、ＮＫ－５０６０（（株）林原製）、ＹＫＲ－３０７０（三井化学（株）製）などが挙げられる。

着色感光性組成物の全固形分中における色材の含有量は１０質量％以上であり、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましい。色材の含有量が１０質量％以上であれば、支持体との密着性に優れ、矩形性の良い画素を形成し易い。上限は、７５質量％以下が好ましく、７０質量％以下がより好ましく、６５質量％以下が更に好ましい。

着色感光性組成物に用いられる色材は、有彩色着色剤および黒色着色剤から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましい。また、色材の全質量中における有彩色着色剤および黒色着色剤の含有量は、３０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９０質量％以下とすることもできる。

着色感光性組成物に用いられる色材は、色材の全質量中における顔料の含有量が５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることが更に好ましい。

着色感光性組成物を着色画素形成用の組成物として用いる場合においては、着色感光性組成物の全固形分中における有彩色着色剤の含有量は１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることが更に好ましい。また、色材の全質量中における有彩色着色剤の含有量は、３５質量％以上であることが好ましく、４５質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、８０質量％以下とすることもできる。また、上記色材は、緑色着色剤を少なくとも含むことが好ましい。また、上記色材の全質量中における緑色着色剤の含有量は、３５質量％以上であることが好ましく、４５質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、８０質量％以下とすることもできる。

着色感光性組成物を黒色画素の形成用の組成物として用いる場合においては、着色感光性組成物の全固形分中における黒色着色剤（好ましくは無機黒色着色剤）の含有量は１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることが更に好ましい。また、色材の全質量中における黒色着色剤の含有量は、３０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９０質量％以下とすることもできる。

着色感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、本発明で用いられる色材は、以下の（１）～（３）の少なくとも一つの要件を満たすことが好ましい。

（１）：２種類以上の有彩色着色剤を含み、２種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤および緑色着色剤から選ばれる２種類以上の着色剤の組み合わせで黒色を形成していることが好ましい。
（２）：有機黒色着色剤を含む。
（３）：上記（１）または（２）において、更に赤外線吸収色素を含む。

上記（１）の態様の好ましい組み合わせとしては、例えば以下が挙げられる。
（１－１）赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
（１－２）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
（１－３）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
（１－４）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－５）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－６）赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－７）黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。

上記の（２）の態様においては、更に有彩色着色剤を含有することも好ましい。有機黒色着色剤と有彩色着色剤とを併用することで、優れた分光特性が得られ易い。有機黒色着色剤と組み合わせて用いる有彩色着色剤としては、例えば、赤色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤などが挙げられ、赤色着色剤および青色着色剤が好ましい。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また、有彩色着色剤と有機黒色着色剤との混合割合は、有機黒色着色剤１００質量部に対して、有彩色着色剤が１０～２００質量部が好ましく、１５～１５０質量部がより好ましい。

上記の（３）の態様においては、色材の全質量中における赤外線吸収色素の含有量は、５～４０質量％であることが好ましい。上限は、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましい。下限は、１０質量％以上が好ましく、１５質量％以上がより好ましい。

＜＜硬化性化合物＞＞
着色感光性組成物は、硬化性化合物を含有する。硬化性化合物としては、重合性モノマー、環状エーテル基を有する化合物、樹脂等が挙げられる。樹脂は、非重合性の樹脂（重合性基を有さない樹脂）であってもよく、重合性の樹脂（重合性基を有する樹脂）であってもよい。重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などエチレン性不飽和結合基が挙げられる。

（重合性モノマー）
重合性モノマーとしては、重合性基（好ましくはエチレン性不飽和結合基）を３個以上有する化合物であることが好ましく、３～１５個有する化合物であることがより好ましく、３～１０個有する化合物であることが更に好ましく、３～６個有する化合物であることが特に好ましい。具体的には、重合性モノマーは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましく、３～１０官能の（メタ）アクリレート化合物であることが更に好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物であることが特に好ましい。具体例としては、特開２００９－２８８７０５号公報の段落番号００９５～０１０８、特開２０１３－２９７６０号公報の段落番号０２２７、特開２００８－２９２９７０号公報の段落番号０２５４～０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

重合性モノマーの分子量は、１００～３０００であることが好ましい。上限は、２０００以下が好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上が好ましく、２５０以上が更に好ましい。

重合性モノマーの重合性基価は、１０．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましく、１１.０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが更に好ましい。上限は１５ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましい。重合性モノマーの重合性基価が、１０．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であれば、着色感光性組成物の光硬化性が良好である。なお、重合性モノマーの重合性基価は、重合性モノマーの１分子中に含まれる重合性基の数を重合性モノマーの分子量で割ることで算出した。

また、重合性モノマーが、エチレン性不飽和結合基を有するモノマーである場合は、重合性モノマーのエチレン性不飽和結合基価（以下、Ｃ＝Ｃ価という）は、１０．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましく、１１.０ｍｏｌ／ｇ以上であることが更に好ましい。上限は１５ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましい。重合性モノマーのＣ＝Ｃ価は、重合性モノマーの１分子中に含まれるエチレン性不飽和結合基の数を重合性モノマーの分子量で割ることで算出した。

重合性モノマーは、下記式（ＭＯ－１）～（ＭＯ－６）で表される化合物を好ましく用いることもできる。なお、式中、Ｔがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲに結合する。

上記の式において、ｎは０～１４であり、ｍは１～８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｔ、は、各々同一であっても、異なっていてもよい。
上記式（ＭＯ－１）～（ＭＯ－６）で表される化合物の各々において、複数のＲの内の少なくとも１つは、－ＯＣ（＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ_２、－ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２、－ＮＨＣ（＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ_２または－ＮＨＣ（＝Ｏ）Ｃ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２を表す。
上記式（ＭＯ－１）～（ＭＯ－６）で表される重合性化合物の具体例としては、特開２００７－２６９７７９号公報の段落０２４８～０２５１に記載されている化合物が挙げられる。

重合性モノマーは、カプロラクトン構造を有する化合物を用いることも好ましい。カプロラクトン構造を有する化合物は、下記式（Ｚ－１）で表される化合物が好ましい。

式（Ｚ－１）中、６個のＲは全てが式（Ｚ－２）で表される基であるか、又は６個のＲのうち１～５個が式（Ｚ－２）で表される基であり、残余が式（Ｚ－３）で表される基、酸基またはヒドロキシ基である。

式（Ｚ－２）中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、ｍは１又は２の数を示し、「＊」は結合手であることを示す。

式（Ｚ－３）中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、「＊」は結合手であることを示す。

重合性モノマーとして、式（Ｚ－４）又は（Ｚ－５）で表される化合物を用いることもできる。

式（Ｚ－４）及び（Ｚ－５）中、Ｅは、各々独立に、－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－、又は－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－を表し、ｙは、各々独立に０～１０の整数を表し、Ｘは、各々独立に、（メタ）アクリロイル基、水素原子、又はカルボキシル基を表す。式（Ｚ－４）中、（メタ）アクリロイル基の合計は３個又は４個であり、ｍは各々独立に０～１０の整数を表し、各ｍの合計は０～４０の整数である。式（Ｚ－５）中、（メタ）アクリロイル基の合計は５個又は６個であり、ｎは各々独立に０～１０の整数を表し、各ｎの合計は０～６０の整数である。

式（Ｚ－４）中、ｍは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。また、各ｍの合計は、２～４０の整数が好ましく、２～１６の整数がより好ましく、４～８の整数が特に好ましい。
式（Ｚ－５）中、ｎは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。また、各ｎの合計は、３～６０の整数が好ましく、３～２４の整数がより好ましく、６～１２の整数が特に好ましい。
また、式（Ｚ－４）又は式（Ｚ－５）中の－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－又は－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－は、酸素原子側の末端がＸに結合する形態が好ましい。

（環状エーテル基を有する化合物）
着色感光性組成物は、硬化性化合物として環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物であることが好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に１～１００個有することが好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は、２個以上が好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。

エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の重量平均分子量は、２００～１０００００が好ましく、５００～５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましい。

エポキシ基を有する化合物が低分子化合物の場合、例えば、下記式（ＥＰ１）で表される化合物が挙げられる。

式（ＥＰ１）中、Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基を表し、アルキル基は、環状構造を有するものであってもよく、また、置換基を有していてもよい。またＲ^ＥＰ１とＲ^ＥＰ２、Ｒ^ＥＰ２とＲ^ＥＰ３は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。Ｑ^ＥＰは単結合若しくはｎ^ＥＰ価の有機基を表す。Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３は、Ｑ^ＥＰとも結合して環構造を形成していても良い。ｎ^ＥＰは２以上の整数を表し、好ましくは２～１０、更に好ましくは２～６である。但しＱ^ＥＰが単結合の場合、ｎ^ＥＰは２である。Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３、Ｑ^ＥＰの詳細について、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８７～００８８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式（ＥＰ１）で表される化合物の具体例としては、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落００９０に記載の化合物、特開２０１０－０５４６３２号公報の段落番号０１５１に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

市販品としては、（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカグリシロールシリーズ（例えば、アデカグリシロールＥＤ－５０５など）、（株）ダイセル製のエポリードシリーズ（例えば、エポリードＧＴ４０１など）などが挙げられる。

エポキシ基を有する化合物としては、エポキシ樹脂を好ましく用いることができる。エポキシ樹脂としては、例えばフェノール化合物のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、各種ノボラック樹脂のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、ハロゲン化フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂、エポキシ基をもつケイ素化合物とそれ以外のケイ素化合物との縮合物、エポキシ基を持つ重合性不飽和化合物とそれ以外の他の重合性不飽和化合物との共重合体等が挙げられる。エポキシ樹脂のエポキシ当量は、３１０～３３００ｇ／ｅｑであることが好ましく、３１０～１７００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、３１０～１０００ｇ／ｅｑであることが更に好ましい。

エポキシ樹脂は、市販品を用いることもできる。例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ－６９５（ＤＩＣ（株）製）、マープルーフＧ－０１５０Ｍ、Ｇ－０１０５ＳＡ、Ｇ－０１３０ＳＰ、Ｇ－０２５０ＳＰ、Ｇ－１００５Ｓ、Ｇ－１００５ＳＡ、Ｇ－１０１０Ｓ、Ｇ－２０５０Ｍ、Ｇ－０１１００、Ｇ－０１７５８（以上、日油（株）製、エポキシ基含有ポリマー）等が挙げられる。

（樹脂）
着色感光性組成物は、硬化性化合物として樹脂を含有することができる。樹脂は、例えば顔料などを組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などを分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。

樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２,０００～２,０００,０００が好ましい。上限は、１,０００,０００以下が好ましく、５００,０００以下がより好ましい。下限は、３,０００以上が好ましく、５,０００以上がより好ましい。

樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。環状オレフィン樹脂としては、耐熱性向上の観点からノルボルネン樹脂が好ましく用いることができる。ノルボルネン樹脂の市販品としては、例えば、ＪＳＲ（株）製のＡＲＴＯＮシリーズ（例えば、ＡＲＴＯＮ Ｆ４５２０）などが挙げられる。また、樹脂として、国際公開ＷＯ２０１６／０８８６４５号公報の実施例に記載の樹脂を用いることもできる。

本発明において、樹脂として酸基を有する樹脂を用いることが好ましい。この態様によれば、矩形性に優れた画素を形成しやすい。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂は、例えば、アルカリ可溶性樹脂として用いることができる。

酸基を有する樹脂は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましく、酸基を側鎖に有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５～７０モル％含むことがより好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の上限は、５０モル％以下であることが好ましく、３０モル％以下であることがより好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の下限は、１０モル％以上であることが好ましく、２０モル％以上であることがより好ましい。

酸基を有する樹脂としては、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。具体例としては、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシ基を有するポリマーに酸無水物を付加させた樹脂が挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α－メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ－ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また他のモノマーは、特開平１０－３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマー、例えば、Ｎ－フェニルマレイミド、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド等を用いることもできる。なお、これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。酸基を有する樹脂については、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０５５８～０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５～０７００）の記載、特開２０１２－１９８４０８号公報の段落番号００７６～００９９の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸基を有する樹脂は市販品を用いることもできる。例えば、アクリベースＦＦ－４２６（藤倉化成（株）製）などが挙げられる。

酸基を有する樹脂の酸価は、３０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。

本発明において、樹脂として重合性基を有する樹脂を用いることが好ましい。この態様によれば、矩形性および支持体との密着性のより優れた画素を形成し易い。特に、硬化性化合物として重合性モノマーと重合性基を有する樹脂とを併用することで、前述の効果が顕著に得られる。重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などエチレン性不飽和結合基が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。

重合性基を有する樹脂の重量平均分子量は、５０００～２００００であることが好ましい。上限は、１７０００以下が好ましく、１４０００以下がより好ましい。下限は、７０００以上が好ましく、９０００以上がより好ましい。重合性基を有する樹脂の重量平均分子量が上記範囲であれば、現像性、組成物の濾過性、形成される画素の矩形性をより向上させることができる。

重合性基を有する樹脂の重合性基価は、０．５～３ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。上限は、２．５ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、０．９ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１．２ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましい。なお、樹脂の重合性基価は、樹脂の固形分１ｇあたりの重合性基価のモル量を表した数値である。
重合性基を有する樹脂のＣ＝Ｃ価は、０．６～２．８ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。上限は、２．３ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、１．８ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１．３ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましい。なお、樹脂のＣ＝Ｃ価は、樹脂の固形分１ｇあたりのエチレン性不飽和結合基のモル量を表した数値である。
樹脂の重合性基価は、アルカリ処理によって樹脂から重合性基部位の低分子成分（ａ）を取り出し、その含有量を高速液体クロマトグラフィー（ＨＰＬＣ）により測定し、下記式から算出することができる。また、樹脂から重合性基部位をアルカリ処理で抽出することができない場合においては、ＮＭＲ法（核磁気共鳴）にて測定した値を用いる。樹脂のＣ＝Ｃ価についても同様である。
樹脂の重合性基価［ｍｍｏｌ／ｇ］＝（低分子成分（ａ）の含有量［ｐｐｍ］／低分子成分（ａ）の分子量［ｇ／ｍｏｌ］）／（樹脂の秤量値［ｇ］×（樹脂の固形分濃度［質量％］／１００）×１０）

重合性基を有する樹脂は、重合性基（好ましくはエチレン性不飽和結合基）を側鎖に有する繰り返し単位を含むことが好ましく、重合性基を側鎖に有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５～８０モル％含むことがより好ましい。重合性基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の上限は、６０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。重合性基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の下限は、１５モル％以上であることが好ましく、２５モル％以上であることがより好ましい。

重合性基を有する樹脂は、更に酸基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことも好ましい。この態様によれば、より矩形性に優れた画素を形成しやすい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量は、樹脂の全繰り返し単位中１０～６０モル％が好ましい。上限は、４０モル％以下であることが好ましく、２５モル％以下であることがより好ましい。下限は、１０モル％以上であることが好ましく、２０モル％以上であることがより好ましい。

本発明で用いられる樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。

式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１～３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の詳細については、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３－２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明で用いられる樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。

式（Ｘ）中、Ｒ_１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ_２は炭素数２～１０のアルキレン基を表し、Ｒ_３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１～２０のアルキル基を表す。ｎは１～１５の整数を表す。

酸基および／または重合性基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表す。

着色感光性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。

分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。分散剤として用いる樹脂が酸基を有する繰り返し単位を含むことにより、フォトリソグラフィ法により画素を形成する際、画素の下地に発生する残渣をより低減することができる。

分散剤として用いる樹脂は、グラフト共重合体であることも好ましい。グラフト共重合体は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料の分散性、及び、経時後の分散安定性に優れる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００２５～００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、グラフト共重合体の具体例として、下記の樹脂が挙げられる。以下の樹脂は酸基を有する樹脂（アルカリ可溶性樹脂）でもある。また、グラフト共重合体としては特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００７２～００９４に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

また、本発明において、樹脂（分散剤）として、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることも好ましい。オリゴイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する構造単位と、原子数４０～１０，０００の側鎖Ｙを含む側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子は、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。オリゴイミン系分散剤については、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。オリゴイミン系分散剤としては、下記構造の樹脂や、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１６８～０１７４に記載の樹脂を用いることができる。

分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ－１１１、１６１（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。また、特開２０１４－１３０３３８号公報の段落番号００４１～０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、上述した酸基を有する樹脂などを分散剤として用いることもできる。

着色感光性組成物において、硬化性化合物の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、５～３０質量％が好ましい。下限は、例えば７質量％以上がより好ましく、９質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下が更に好ましい。硬化性化合物は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

着色感光性組成物に用いられる硬化性化合物は、重合性モノマーを少なくとも含むことが好ましく、樹脂と重合性モノマーとを少なくとも含むことがより好ましい。この態様によれば、矩形性および支持体との密着性に優れた膜を形成し易い。また、樹脂は、酸基を有する樹脂を含むことが好ましく、重合性基および酸基を有する樹脂を含むことがより好ましい。

重合性モノマーの含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、６～２８質量％が好ましい。下限は、例えば８質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、１８質量％以下がより好ましく、１３質量％以下が更に好ましい。

樹脂の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、５～５０質量％が好ましい。下限は、例えば１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、４０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。また、酸基を有する樹脂の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、７～４５質量％が好ましい。下限は、例えば１２質量％以上がより好ましく、１７質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３５質量％以下がより好ましく、２５質量％以下が更に好ましい。また、重合性基を有する樹脂の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、８～４２質量％が好ましい。下限は、例えば１４質量％以上がより好ましく、１９質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３２質量％以下がより好ましく、２２質量％以下が更に好ましい。

重合性モノマーと樹脂との合計含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、２０～８０質量％が好ましい。下限は、例えば２５質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、６０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。また、樹脂の１００質量部に対して、重合性モノマーを１０～５００質量部含有することが好ましい。下限は３０質量部以上が好ましく、５０質量部以上がより好ましい。上限は３００質量部以下が好ましく、１００質量部以下がより好ましい。上記質量比が上記範囲であればより矩形性に優れた画素を形成することができる。

重合性モノマーと酸基を有する樹脂との合計含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、１５～７５質量％が好ましい。下限は、例えば２３質量％以上がより好ましく、２８質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、５５質量％以下がより好ましく、３５質量％以下が更に好ましい。また、酸基を有する樹脂の１００質量部に対して、重合性モノマーを５～４００質量部含有することが好ましい。下限は２０質量部以上が好ましく、４０質量部以上がより好ましい。上限は２００質量部以下が好ましく、８０質量部以下がより好ましい。上記質量比が、上記範囲であればより矩形性に優れた画素を形成することができる。

着色感光性組成物に用いられる硬化性化合物は、環状エーテル基を有する化合物を含むことも好ましい。この態様によれば、支持体との密着性に優れた膜を形成し易い。環状エーテル基を有する化合物の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．５～１０質量％が好ましい。下限は、例えば１質量％以上がより好ましく、１．５質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、５質量％以下がより好ましく、３質量％以下が更に好ましい。また、重合性モノマーの１００質量部に対して、環状エーテル基を有する化合物を５～５０質量部含有することが好ましい。下限は８質量部以上が好ましく、１２質量部以上がより好ましい。上限は３０質量部以下が好ましく、２０質量部以下がより好ましい。上記質量比が、上記範囲であればより矩形性および支持体との密着性により優れた画素を形成することができる。

＜＜光重合開始剤＞＞
着色感光性組成物は光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤は、波長３００ｎｍ以下の光に反応してラジカルを発生する化合物であることが好ましい。

本発明で用いられる光重合開始剤は、アルキルフェノン化合物、アシルホスフィン化合物、ベンゾフェノン化合物、チオキサントン化合物、トリアジン化合物、ピナコール化合物およびオキシム化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物を含むことが好ましく、オキシム化合物を含むことがより好ましい。

アルキルフェノン化合物としては、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシアルキルフェノン化合物、α－アミノアルキルフェノン化合物などが挙げられる。

ベンジルジメチルケタール化合物としては、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－６５１（ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

α－ヒドロキシアルキルフェノン化合物としては、下記式（Ｖ－１）で表される化合物が挙げられる。
式（Ｖ－１）

式中Ｒｖ^１は、置換基を表し、Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表し、Ｒｖ^２とＲｖ^３とが互いに結合して環を形成していてもよく、ｍは０～４の整数を表す。

Ｒｖ^１が表す置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数７～２０のアラルキル基が挙げられる。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒｖ^１が表すアルキル基、アルコキシ基およびアラルキル基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。

Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表す。置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数６～２０のアリール基が好ましい。また、Ｒｖ^２とＲｖ^３は互いに結合して環（好ましくは炭素数４～８の環、より好ましくは、炭素数４～８の脂肪族環）を形成していてもよい。アルキル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。

α－ヒドロキシアルキルフェノン化合物の具体例としては、１－ヒドロキシ－シクロヘキシル－フェニル－ケトン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニル－プロパン－１－オン、１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル］－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン、２－ヒロドキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オンなどが挙げられる。α－ヒドロキシアルキルフェノン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ－１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

α－アミノアルキルフェノン化合物としては、下記式（Ｖ－２）で表される化合物が挙げられる。

式中、Ａｒは、－ＳＲ^１３または－Ｎ（Ｒ^７Ｅ）（Ｒ^８Ｅ）で置換されているフェニル基を表し、Ｒ^１３は、水素原子または炭素数１～１２のアルキル基を表す。

Ｒ^１ＤおよびＲ^２Ｄは、それぞれ独立して、炭素数１～８のアルキル基を表す。Ｒ^１ＤとＲ^２Ｄは互いに結合して環を形成してもよい。
Ｒ^１ＤおよびＲ^２Ｄが表すアルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
Ｒ^１ＤおよびＲ^２Ｄが表すアルキル基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、アリール基、ヘテロ環基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子、－ＯＲ^Ｙ１、－ＳＲ^Ｙ１、－ＣＯＲ^Ｙ１、－ＣＯＯＲ^Ｙ１、－ＯＣＯＲ^Ｙ１、－ＮＲ^Ｙ１Ｒ^Ｙ２、－ＮＨＣＯＲ^Ｙ１、－ＣＯＮＲ^Ｙ１Ｒ^Ｙ２、－ＮＨＣＯＮＲ^Ｙ１Ｒ^Ｙ２、－ＮＨＣＯＯＲ^Ｙ１、－ＳＯ_２Ｒ^Ｙ１、－ＳＯ_２ＯＲ^Ｙ１、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｙ１などが挙げられる。Ｒ^Ｙ１およびＲ^Ｙ２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられる。
Ｒ^Ｙ１およびＲ^Ｙ２が表すアルキル基の炭素数は、１～２０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。
置換基としてのアリール基およびＲ^Ｙ１およびＲ^Ｙ２が表すアリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０がさらに好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
Ｒ^Ｙ１およびＲ^Ｙ２が表すヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１２がさらに好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。

Ｒ^３ＤおよびＲ^４Ｄは、それぞれ独立して、水素原子、または、炭素数１～１２のアルキル基を表す。Ｒ^３ＤとＲ^４Ｄとは互いに結合して環を形成していてもよい。Ｒ^３ＤとＲ^４Ｄとが結合して環を形成する場合、両者が直接結合して環を形成してもよく、－ＣＯ－、－Ｏ－または－ＮＨ－を介して結合して環を形成してもよい。例えば、Ｒ^３ＤとＲ^４Ｄとが、－Ｏ－を介して形成される環としては、モルホリン環などが挙げられる。

Ｒ^７ＥおよびＲ^８Ｅは、それぞれ独立して、水素原子または、炭素数１～１２のアルキル基を表す。Ｒ^７ＥとＲ^８Ｅとは互いに結合して環を形成していてもよい。Ｒ^７ＥとＲ^８Ｅとが結合して環を形成する場合、両者が直接結合して環を形成してもよく、－ＣＯ－、－Ｏ－または－ＮＨ－を介して結合して環を形成してもよい。例えば、Ｒ^７ＥとＲ^８Ｅとが、－Ｏ－を介して形成される環としては、モルホリン環などが挙げられる。

α－アミノアルキルフェノン化合物の具体例としては、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－１－ブタノン、２－ジメチルアミノ－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノンなどが挙げられる。α－アミノアルキルフェノン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－３６９、および、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－３７９（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

アシルホスフィン化合物としては、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニル－ホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－８１９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

ベンゾフェノン化合物としては、ベンゾフェノン、ｏ－ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、４－ベンゾイル－４’－メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’－テトラ（ｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６－トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる

チオキサントン化合物としては、２－イソプロピルチオキサントン、４－イソプロピルチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。

トリアジン化合物としては、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシナフチル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－ピペロニル－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシスチリル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（５－メチルフラン－２－イル）エテニル］－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（フラン－２－イル）エテニル］－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（４－ジエチルアミノ－２－メチルフェニル）エテニル］－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（３，４－ジメトキシフェニル）エテニル］－１，３，５－トリアジンなどが挙げられる。

ピナコール化合物としては、ベンゾピナコール、１，２－ジメトキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジエトキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジフェノキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジメトキシ－１，１，２，２－テトラ（４－メチルフェニル）エタン、１，２－ジフェノキシ－１，１，２，２－テトラ（４－メトキシフェニル）エタン、１，２－ビス（トリメチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ビス（トリエチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ビス（ｔ－ブチルジメチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－トリメチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－トリエチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－ｔ－ブチルジメチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタンなどが挙げられる。また、ピナコール化合物については、特表２０１４－５２１７７２号公報、特表２０１４－５２３９３９号公報、および、特表２０１４－５２１７７２号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

オキシム化合物としては、国際公開ＷＯ２０１６／１９０１６２号公報の段落番号０２１２～０２３６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１６－２１０１２号公報に記載などを用いることができる。本発明において好適に用いることができるオキシム化合物としては、例えば、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンなどが挙げられる。また、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）、特開２０００－６６３８５号公報、特開２０００－８００６８号公報、特表２００４－５３４７９７号公報、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物等も挙げられる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く、その他の成分を変色させにくい化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

本発明において、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落番号００３１～００４７、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落番号０００８～００１２、００７０～００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７～００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。

本発明において、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載されるＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。

本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

光重合開始剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対し０．１～３０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下がさらに好ましい。光重合開始剤は１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。光重合開始剤を２種以上併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
着色感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、下記構造の化合物が挙げられる。また、シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９－２８８７０３号公報の段落番号００１８～００３６に記載の化合物、特開２００９－２４２６０４号公報の段落番号００５６～００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

シランカップリング剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．１～５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。シランカップリング剤は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
着色感光性組成物は、更に顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、顔料の一部を、酸基、塩基性基、塩構造を有する基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体としては、式（Ｂ１）で表される化合物が好ましい。

式（Ｂ１）中、Ｐは色素構造を表し、Ｌは単結合または連結基を表し、Ｘは酸基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミドメチル基を表し、ｍは１以上の整数を表し、ｎは１以上の整数を表し、ｍが２以上の場合は複数のＬおよびＸは互いに異なっていてもよく、ｎが２以上の場合は複数のＸは互いに異なっていてもよい。

Ｐが表す色素構造としては、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造、アントラキノン色素構造、ジアントラキノン色素構造、ベンゾイソインドール色素構造、チアジンインジゴ色素構造、アゾ色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、ナフタロシアニン色素構造、ジオキサジン色素構造、ペリレン色素構造、ペリノン色素構造、ベンゾイミダゾロン色素構造、ベンゾチアゾール色素構造、ベンゾイミダゾール色素構造およびベンゾオキサゾール色素構造から選ばれる少なくとも１種が好ましく、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造およびベンゾイミダゾロン色素構造から選ばれる少なくとも１種が更に好ましく、ピロロピロール色素構造が特に好ましい。

Ｌが表す連結基としては、炭化水素基、複素環基、－ＮＲ－、－ＳＯ₂－、－Ｓ－、－Ｏ－、－ＣＯ－もしくはこれらの組み合わせからなる基が挙げられる。Ｒは水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。

Ｘが表す酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、カルボン酸アミド基、スルホン酸アミド基、イミド酸基等が挙げられる。カルボン酸アミド基としては、－ＮＨＣＯＲ^Ｘ１で表される基が好ましい。スルホン酸アミド基としては、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｘ２で表される基が好ましい。イミド酸基としては、－ＳＯ_２ＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｘ３、－ＣＯＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｘ４、－ＣＯＮＨＣＯＲ^Ｘ５または－ＳＯ_２ＮＨＣＯＲ^Ｘ６で表される基が好ましい。Ｒ^Ｘ１～Ｒ^Ｘ６は、それぞれ独立に、炭化水素基または複素環基を表す。Ｒ^Ｘ１～Ｒ^Ｘ６が表す、炭化水素基および複素環基は、さらに置換基を有してもよい。Ｘが表す塩基性基としてはアミノ基が挙げられる。Ｘが表す塩構造としては、上述した酸基または塩基性基の塩が挙げられる。

顔料誘導体としては、下記構造の化合物が挙げられる。また、特開昭５６－１１８４６２号公報、特開昭６３－２６４６７４号公報、特開平１－２１７０７７号公報、特開平３－９９６１号公報、特開平３－２６７６７号公報、特開平３－１５３７８０号公報、特開平３－４５６６２号公報、特開平４－２８５６６９号公報、特開平６－１４５５４６号公報、特開平６－２１２０８８号公報、特開平６－２４０１５８号公報、特開平１０－３００６３号公報、特開平１０－１９５３２６号公報、国際公開ＷＯ２０１１／０２４８９６号公報の段落番号００８６～００９８、国際公開ＷＯ２０１２／１０２３９９号公報の段落番号００６３～００９４、国際公開ＷＯ２０１７／０３８２５２号公報の段落番号００８２等に記載の化合物を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対し、１～５０質量部が好ましい。下限値は、３質量部以上が好ましく、５質量部以上がより好ましい。上限値は、４０質量部以下が好ましく、３０質量部以下がより好ましい。顔料誘導体の含有量が上記範囲であれば、顔料の分散性を高めて、顔料の凝集を効率よく抑制できる。顔料誘導体は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜溶剤＞＞
着色感光性組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤の例としては、例えば、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ジクロロメタン、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。本発明において有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドも溶解性向上の観点から好ましい。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。

本発明においては、金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましく、溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。

溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。

溶剤は、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。

本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。

溶剤の含有量は、着色感光性組成物の全量に対し、１０～９５質量％であることが好ましく、２０～９０質量％であることがより好ましく、３０～９０質量％であることが更に好ましい。また、環境面等の理由により、着色感光性組成物は、溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）を含有しないことが好ましい場合もある。

＜＜重合禁止剤＞＞
着色感光性組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ－メトキシフェノールが好ましい。重合禁止剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．００１～５質量％が好ましい。

＜＜界面活性剤＞＞
着色感光性組成物は、界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２３８～０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。着色感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好適であり、より好ましくは５～３０質量％であり、特に好ましくは７～２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。

フッ素系界面活性剤として具体的には、特開２０１４－４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開２０１４／１７６６９号公報の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。

また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ－２１が挙げられる。

また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６－２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１－８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。

上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００～５０，０００であり、例えば、１４，０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。

また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５－１１７３２７号公報の段落番号００１５～０１５８に記載の化合物を用いることもできる。

ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。

シリコン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。また、シリコン系界面活性剤としては、下記構造の化合物を用いることもできる。

界面活性剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．００１質量％～５．０質量％が好ましく、０．００５～３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
着色感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、アゾメチン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２－２０８３７４号公報の段落番号００５２～００７２、特開２０１３－６８８１４号公報の段落番号０３１７～０３３４、特開２０１６－１６２９４６号公報の段落番号００６１～００８０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。共役ジエン化合物の市販品としては、例えば、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。インドール化合物としては下記構造の化合物が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。

本発明においては、紫外線吸収剤として、式（ＵＶ－１）～式（ＵＶ－３）で表される化合物を好ましく用いることもできる。

式（ＵＶ－１）において、Ｒ^１０１及びＲ^１０２は、各々独立に、置換基を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～４を表す。式（ＵＶ－２）において、Ｒ^２０１及びＲ^２０２は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、Ｒ^２０３及びＲ^２０４は、各々独立に、置換基を表す。式（ＵＶ－３）において、Ｒ^３０１～Ｒ^３０３は、各々独立に、水素原子またはアルキル基を表し、Ｒ^３０４及びＲ^３０５は、各々独立に、置換基を表す。

式（ＵＶ－１）～式（ＵＶ－３）で表される化合物の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。

紫外線吸収剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０１～５質量％がより好ましい。本発明において、紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜酸化防止剤＞＞
着色感光性組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１～２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス［２－［［２，４，８，１０－テトラキス（１，１－ジメチルエチル）ジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン－６－イル］オキシ］エチル］アミン、トリス［２－［（４，６，９，１１－テトラ－ｔｅｒｔ－ブチルジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン－２－イル）オキシ］エチル］アミン、亜リン酸エチルビス（２，４－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－６－メチルフェニル）などが挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブ ＡＯ－２０、アデカスタブ ＡＯ－３０、アデカスタブ ＡＯ－４０、アデカスタブ ＡＯ－５０、アデカスタブ ＡＯ－５０Ｆ、アデカスタブ ＡＯ－６０、アデカスタブ ＡＯ－６０Ｇ、アデカスタブ ＡＯ－８０、アデカスタブ ＡＯ－３３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ）などが挙げられる。

酸化防止剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．０１～２０質量％であることが好ましく、０．３～１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他成分＞＞
着色感光性組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０４、０１０７～０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、着色感光性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開ＷＯ２０１４／０２１０２３号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０３０００５号公報、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。

着色感光性組成物の粘度（２３℃）は、例えば、塗布により膜を形成する場合、１～１００ｍＰａ・ｓであることが好ましい。下限は、２ｍＰａ・ｓ以上がより好ましく、３ｍＰａ・ｓ以上が更に好ましい。上限は、５０ｍＰａ・ｓ以下がより好ましく、３０ｍＰａ・ｓ以下が更に好ましく、１５ｍＰａ・ｓ以下が特に好ましい。

＜収容容器＞
着色感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。

＜着色感光性組成物の調製方法＞
着色感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して着色感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した２つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時（塗布時）にこれらを混合して着色感光性組成物として調製してもよい。

また、着色感光性組成物が顔料などの粒子を含む場合は、粒子を分散させるプロセスを含むことが好ましい。粒子を分散させるプロセスにおいて、粒子の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における粒子の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、粒子を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また粒子を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。

着色感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、着色感光性組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１～３．０μｍ程度であり、更に好ましくは０．０５～０．５μｍ程度である。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。

フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第２のフィルタは、第１のフィルタと同様の素材等で形成されたものを使用することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。

＜樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）の測定）
樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により、以下の条件で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺＭ－Ｈと、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製 ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂

＜着色感光性組成物の調製＞
下記表に記載の原料を混合した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、固形分濃度２０質量％の着色感光性組成物Ａ～Ｄを調製した。なお、各着色感光性組成物の固形分濃度はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の配合量で調整した。表中に示す配合量の数値は質量部である。下記表に着色感光性組成物の全固形分中における色材の含有量をあわせて記す。

上記表に記載の原料は以下の通りである。
（顔料分散液）
Ａ１：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８の１０．７質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５の２．７質量部、顔料誘導体Ｙ１の１．３質量部、分散剤Ｄ１の５．３質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８０質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ａ１を調製した。この顔料分散液Ａ１は、固形分濃度が２０質量％であり、顔料（色材）含有量が１３．４質量％であった。
顔料誘導体Ｙ１：下記構造の化合物。

分散剤Ｄ１：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝２６０００、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。）

Ａ２：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６の１０．２質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３の２．６質量部、分散剤Ｄ２の５．２質量部、ＰＧＭＥＡの５０質量部、シクロヘキサノンの２９．９質量部、プロピレングリコールモノエチルエーテル（ＰＧＭＥ）の２．１質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ａ２を調製した。この顔料分散液Ａ２は、固形分濃度が１８質量％であり、顔料含有量が１２．８質量％であった。
分散剤Ｄ２：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝１１０００、主鎖に付記した数値はモル比である。）

Ａ３：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４の８．３質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９の３．７質量部、顔料誘導体Ｙ１の２．３質量部、分散剤Ｄ１の６．７質量部、および、ＰＧＭＥＡの７９質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ａ３を調製した。この顔料分散液Ａ３は、固形分濃度が２１質量％であり、顔料（色材）含有量が１２．０質量％であった。

（樹脂）
Ｂ１：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１１０００、酸価＝３１．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｃ＝Ｃ価＝１．４１７ｍｍｏｌ／ｇ）

（重合性モノマー）
Ｍ１：下記構造の化合物（Ｃ＝Ｃ価＝１１．３５ｍｍｏｌ／ｇ）
Ｍ２：下記構造の化合物（Ｃ＝Ｃ価＝１０．３７ｍｍｏｌ／ｇ）
Ｍ３：下記構造の化合物（Ｃ＝Ｃ価＝５．４２ｍｍｏｌ／ｇ）

（光重合開始剤）
Ｉ１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製、オキシム化合物）

（界面活性剤）
Ｗ１：ＫＦ－６００２（信越シリコーン（株）製）
Ｗ２：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００）。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。

（溶剤）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

＜光学フィルタの製造＞
下記表に記載の支持体Ａ～Ｃを用いた。これらの支持体上に各着色感光性組成物Ａ～Ｄを、ポストベーク後の膜厚が０．５μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用い、１００℃で２分間ポストベークして着色感光性組成物層を形成した。この着色感光性組成物層に対して下記表に記載の露光条件ＡまたはＢにて、画素（パターン）サイズが１．０μｍ四方のベイヤーパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用い、２００℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域内または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成した。

（支持体Ａ）
図１に示す支持体１００を用いた。この支持体１００は、シリコンウエハからなる基版１０上にタングステンで形成された隔壁１１が形成されている。この隔壁１１は、波長５５０ｍｎの光に対する屈折率が３．５０であった。隔壁１１は、テーパ角θが８５°の順テーパ形状をなしており、隔壁の高さＨ１が０．５μｍであり、隔壁１１の底部の幅Ｗ１が０．１μｍであり、隔壁１１同士の間隔Ｗ３が１．０μｍである。基板として用いたシリコンウエハは、有効画素領域の４隅と、シリコンウエハ中心に１０μｍ四方のアライメントマークが形成されている。

（支持体Ｂ）
図３に示す支持体２００を用いた。この支持体２００は、シリコンウエハからなる基版２０上にタングステンで形成された隔壁２１が形成されている。この隔壁２１は、波長５５０ｍｎの光に対する屈折率が３．５０であった。隔壁２１は、テーパ角θが８５°の順テーパ形状をなしており、隔壁の高さＨ１が０．５μｍであり、隔壁２１の底部の幅Ｗ１が０．１μｍであり、隔壁１１同士の間隔Ｗ３が１．０μｍである。そして、この支持体２００は、基板２０および隔壁２１が保護層２２で覆われており、隔壁２１が保護層２２内に完全に埋設されている。基板として用いたシリコンウエハは、有効画素領域の４隅と、シリコンウエハ中心に１０μｍ四方のアライメントマークが形成されている。

（支持体Ｃ）
図１に示す支持体１００を用いた。この支持体１００は、シリコンウエハからなる基版１０上に二酸化ケイ素で形成された隔壁１１が形成されている。この隔壁１１は、波長５５０ｍｎの光に対する屈折率が１．３以下であった。隔壁１１は、テーパ角θが８５°の順テーパ形状をなしており、隔壁の高さＨ１が０．５μｍであり、隔壁１１の底部の幅Ｗ１が０．１μｍであり、隔壁１１同士の間隔Ｗ３が１．０μｍである。基板として用いたシリコンウエハは、有効画素領域の４隅と、シリコンウエハ中心に１０μｍ四方のアライメントマークが形成されている。

（露光条件Ａ）
露光方式：ＫｒＦ線でのスキャナ露光
露光装置：ＦＰＡ－６０００ＥＳ６ａ（キヤノン製）
照度：１００００Ｗ／ｍ^２
露光量：１５００Ｊ／ｍ^２
ＮＡ／σ：０．５７／０．７０

露光条件Ｂ
露光方式：ｉ線でのステッパ露光
露光装置：ＦＰＡ３０００ｉ５
照度：１５０００Ｗ／ｍ^２
露光量：１５００Ｊ／ｍ^２
ＮＡ／σ：０．６３／０．６５

（アライメント精度の評価）
重ね合せ測定装置（ＭＯＤＥＬ ＭＡＣ－Ｒ、東京航空計器（株）製）を用いて、形成された画素のアライメント精度を評価した。
１：形成された画素の位置ズレが全アライメントマークで５０ｎｍ以下である。
２：形成された画素の位置ズレがアライメントマークの少なくとも一つで５０ｎｍを超えるものがある。

（画素の矩形性）

＜矩形性の評価＞
形成された画素の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察し、以下の基準で矩形性を評価した。
１：画素の下辺と横辺の為す角が８０～１００°で、かつ、画素の上辺と横辺の為す角が７８～１０２°である。
２：上記以外である。

上記表に示すように、色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を用い、上記露光条件Ａにて着色感光性組成物層をパターン状に露光した実施例１～７は、画素のアライメント精度が良好で、かつ、形成された画素の矩形性が良好であった。

実施例１、４、７において、着色感光性組成物Ａを用いて、上述した方法で、隔壁で区画された領域内または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成した後、支持体上に着色感光性組成物Ｂまたは着色感光性組成物Ｃをポストベーク後の膜厚が０．５μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用い、１００℃で２分間ポストベークして着色感光性組成物層を形成した。この着色感光性組成物層に対して上記の露光条件Ａまたは露光条件Ｂにて、画素（パターン）サイズが１．０μｍ四方のベイヤーパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用い、２００℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域内または、隔壁で区画された領域に対応する位置に第２の画素を形成した。第２の画素のアライメント精度および矩形性は良好であった。

顔料分散液Ａ１に含まれるＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８を、同量のＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６に変更しても各実施例と同様の効果が得られる。
顔料分散液Ａ１に含まれるＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５を、同量のＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９またはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０に変更しても各実施例と同様の効果が得られる。
着色感光性組成物Ａ～Ｃに対し、更に赤外線吸収色素としてスクアリリウム化合物を添加しても、各実施例と同様の効果が得られる。

１０、２０：基板
１１、２１：隔壁
１５、１６、２５、２６：画素
２２：保護層
１００、２００：支持体

Claims (20)

1. 隔壁を有し、前記隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み前記色材を全固形分中に１０質量％以上含有する第１の着色感光性組成物を塗布して第１の着色感光性組成物層を形成する工程と、
   スキャナ露光機を用いて前記第１の着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して前記第１の着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
   未露光部の前記第１の着色感光性組成物層を現像除去して、前記隔壁で区画された領域内、または、前記隔壁で区画された領域に対応する位置に第１の画素を形成する工程と、
   前記第１の画素を形成した後、前記支持体上に前記画素とは異なる種類の画素形成用の第２の着色感光性組成物を塗布して第２の着色感光性組成物層を形成する工程と、
   前記第２の着色感光性組成物層に波長３００ｎｍを超える光を照射して前記第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
   未露光部の前記第２の着色感光性組成物層を現像除去して前記隔壁で区画された領域内の前記第１の画素が形成された位置とは異なる位置、または、前記隔壁で区画された領域に対応する位置であって前記第１の画素が形成された位置とは異なる位置に第２の画素を形成する工程とを含む、
   光学フィルタの製造方法。
2. 前記支持体は、基板と、前記基板上に形成された隔壁とを有し、前記基板の表面に前記隔壁で区画された複数の領域が設けられており、
   前記第１の画素を形成する工程では、前記基板上の前記隔壁で区画された領域内に前記第１の画素を形成する、請求項１に記載の光学フィルタの製造方法。
3. 前記支持体は、基板と、前記基板上に形成された隔壁と、前記基板および前記隔壁の少なくとも一部を覆う保護層とを有し、前記基板の表面に前記隔壁で区画された複数の領域が設けられているとともに、前記隔壁が前記保護層によって支持体内に埋設されており、
   前記第１の画素を形成する工程では、前記保護層上の、前記隔壁で区画された領域に対応する位置に前記第１の画素を形成する、請求項１に記載の光学フィルタの製造方法。
4. 前記支持体は、基板と、前記基板上に形成された隔壁と、前記隔壁間に設けられた波長４００～６００ｎｍの光の透過率の最小値が８０％以上である保護層とを有し、前記基板の表面に前記隔壁で区画された複数の領域が設けられているとともに、前記隔壁が前記保護層によって支持体内に埋設されており、
   前記第１の画素を形成する工程では、前記保護層上の、前記隔壁で区画された領域に対応する位置に前記第１の画素を形成する、請求項１に記載の光学フィルタの製造方法。
5. 前記第１の着色感光性組成物が緑色の画素形成用の着色感光性組成物である、請求項１～４のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
6. 前記第２の着色感光性組成物が赤色または青色の画素形成用の着色感光性組成物である、請求項１～５のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
7. ステッパ露光機を用いて前記第２の着色感光性組成物層に波長３６５ｎｍの光を照射して前記第２の着色感光性組成物層をパターン状に露光する、請求項１～６のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
8. 前記隔壁の底部の幅が、前記第１の着色感光性組成物によって形成される第１の画素の底部の幅の３０％以下である、請求項１～７のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
9. 前記隔壁の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が、前記第１の着色感光性組成物によって形成される第１の画素の屈折率よりも小さい、請求項１～８のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
10. 前記第１の着色感光性組成物層の波長２４８ｎｍの光に対する光学濃度が１．６以上である、請求項１～９のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
11. 隔壁を有し、前記隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み前記色材を全固形分中に１０質量％以上含有する着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
    スキャナ露光機を用いて前記着色感光性組成物層に波長３００ｎｍ以下の光を照射して前記着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
    未露光部の前記着色感光性組成物層を現像除去して画素を形成する工程と、を含む光学フィルタの製造方法であって、
    前記支持体は、基板と、前記基板上に形成された隔壁と、前記隔壁間に設けられた波長４００～６００ｎｍの光の透過率の最小値が８０％以上である保護層とを有し、前記基板の表面に前記隔壁で区画された複数の領域が設けられているとともに、前記隔壁が前記保護層によって支持体内に完全に埋設されており、
    前記画素を形成する工程では、前記保護層上の、前記隔壁で区画された領域に対応する位置に前記画素を形成する、光学フィルタの製造方法。
12. 前記波長３００ｎｍ以下の光がＫｒＦ線である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
13. 隔壁は順テーパ形状をなしており、隔壁のテーパ角が７０°以上９０°以下である、請求項１～１２のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
14. 隔壁の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が１．１０～４．００である、請求項１～１３のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
15. 前記隔壁が、タングステン、銅、アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸窒化チタン、シリコン、シロキサン樹脂、フッ素樹脂および二酸化ケイ素から選ばれる少なくとも１種を含む、請求項１～１４のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
16. 前記隔壁が、タングステン、銅、アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化チタン、シロキサン樹脂およびフッ素樹脂から選ばれる１種を含む、請求項１～１４のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
17. 前記隔壁が、タングステンを含む、請求項１～１４のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
18. 前記硬化性化合物は、重合性モノマーを含み、前記重合性モノマーの重合性基価が１０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上である、請求項１～１７のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。
19. 前記硬化性化合物は、エチレン性不飽和結合基を有する樹脂と、重合性モノマーとを含む、請求項１～１８のいずれか1項に記載の光学フィルタの製造方法。
20. 固体撮像素子用の光学フィルタの製造方法である、請求項１～１９のいずれか１項に記載の光学フィルタの製造方法。

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