JP2022007540A - アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アライメント装置は、大型基板を分割して得られた複数の基板のうちのいずれかの基板を支持する基板支持手段と、基板支持手段に支持された基板のエッジを検知するエッジ検知手段と、基板支持手段に支持された基板の位置を調整する位置調整手段と、位置調整手段を制御する制御手段と、を備える。取得手段は、基板支持手段に支持されている基板の、分割前の大型基板における部位に関する基板情報を取得する。制御手段は、エッジ検知手段によって検知された基板のエッジの位置情報と、取得手段によって取得された基板情報と、に基づいて、位置調整手段を制御する。
【選択図】図9
Description
大型基板を分割して得られた複数の基板のうちのいずれかの基板を支持する基板支持手段と、
前記基板支持手段に支持された前記基板のエッジを検知するエッジ検知手段と、
前記基板支持手段に支持された前記基板の位置を調整する位置調整手段と、
前記位置調整手段を制御する制御手段と、
を備えるアライメント装置であって、
前記基板支持手段に支持されている基板の、分割前の前記大型基板における部位に関する基板情報を取得する取得手段を備え、
前記制御手段は、前記エッジ検知手段によって検知された前記基板のエッジの位置情報と、前記取得手段によって取得された前記基板情報と、に基づいて、前記位置調整手段を制御する、
ことを特徴とするアライメント装置が提供される。
図1は、本発明の成膜装置が適用可能な電子デバイスの製造ラインの構成の一部を示す模式図である。図1の製造ラインは、例えば、スマートフォン用の有機EL表示装置の表示パネルの製造に用いられるもので、基板100が成膜ブロック301に順次搬送され、基板100に有機ELの成膜が行われる。
図2は本発明の一実施形態に係る成膜装置1の概略図である。成膜装置1は、基板100に蒸着物質を成膜する装置であり、マスク101を用いて所定のパターンの蒸着物質の薄膜を形成する。成膜装置1で成膜が行われる基板100の材質は、ガラス、樹脂、金属等の材料を適宜選択可能であり、ガラス上にポリイミド等の樹脂層が形成されたものが好適に用いられる。蒸着物質としては、有機材料、無機材料(金属、金属酸化物など)などの物質である。成膜装置1は、例えば表示装置(フラットパネルディスプレイなど)や薄膜太陽電池、有機光電変換素子(有機薄膜撮像素子)等の電子デバイスや、光学部材等を製造する製造装置に適用可能であり、特に、有機ELパネルを製造する製造装置に適用可能である。以下の説明においては成膜装置1が真空蒸着によって基板100に成膜を行う例について説明するが、本発明はこれに限定はされず、スパッタやCVD等の各種成膜方法を適用可能である。なお、各図において矢印Zは上下方向(重力方向)を示し、矢印X及び矢印Yは互いに直交する水平方向を示す。
図3~6を用いてエッジアライメント装置16(アライメント装置、第1のアライメントユニット)について説明する。図3は、エッジアライメント装置16の概要を説明する図である。図4は支持ユニット161の構成を模式的に示す平面図である。
図6は、エッジアライメントの概要を示す図であり、チャンバ164内部を下側から見た図である。エッジアライメント装置16によるエッジアライメントは、上述の成膜装置1のアライメント装置2によるアライメントとの関係でいうと、アライメント装置2によるアライメントを効率的に実施するための予備的なアライメントに相当する。支持ユニット161に支持された基板100の位置がばらついていると、基板100が成膜装置1に搬送された際の基板支持ユニット6に対する基板100の位置もばらつくこととなる。基板支持ユニット6に載置された基板100の初期の位置、より具体的には基板100に形成されているアライメントマーク1002の位置、がばらつくと、初期の位置によってはアライメント装置2によるアライメント時間が長くなってしまったり、アライメント精度が低下してしまったりする場合があり、タクトタイムやアライメント精度が安定しなくなる。そこで、本実施形態では、成膜装置1に基板100が搬送された際の、成膜装置1に対する基板100の搬入位置の位置ずれを低減するために、エッジアライメント装置16でエッジアライメントを実行する。
本実施形態の基板100は、大型基板から切り出されたカット基板である。図7は大型基板とカット基板の例を示す図である。大型基板MGは、第6世代フルサイズ(約1500mm×約1850mm)のマザーガラスであり、矩形形状を有している。大型基板MGの一部の角部には、大型基板MGの向きを特定するためのオリエンテーションフラットOFが形成されている。
制御装置311の処理部3111が実行するエッジアライメント装置16の制御例について説明する。図9(A)は、処理部3111の処理例を示すフローチャートである。本フローチャートは、例えば、処理部3111が上位装置300からエッジアライメントの実行指示を受けたことに基づいて開始する。
図9(B)は電子デバイスの製造ラインの動作例を示すフローチャートであって、受渡室16におけるエッジアライメントから成膜装置1における成膜処理までの流れを示している。
次に、電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成及び製造方法を例示する。この例の場合、図1に例示した成膜ブロック301が、製造ライン上に、例えば、3か所、設けられる。
上記実施形態では、エッジアライメント装置16の記憶部3112が、基板情報と、中心位置C2(XC2,YC2)からの位置ずれ許容値、及び補正量を対応付けて記憶していた。しかし、これらの情報の一部又は全部を上位装置300が一括で管理してもよい。
Claims (16)
- 大型基板を分割して得られた複数の基板のうちのいずれかの基板を支持する基板支持手段と、
前記基板支持手段に支持された前記基板のエッジを検知するエッジ検知手段と、
前記基板支持手段に支持された前記基板の位置を調整する位置調整手段と、
前記位置調整手段を制御する制御手段と、
を備えるアライメント装置であって、
前記基板支持手段に支持されている基板の、分割前の前記大型基板における部位に関する基板情報を取得する取得手段を備え、
前記制御手段は、前記エッジ検知手段によって検知された前記基板のエッジの位置情報と、前記取得手段によって取得された前記基板情報と、に基づいて、前記位置調整手段を制御する、
ことを特徴とするアライメント装置。 - 前記基板にはアライメントマークが形成されており、
前記制御手段は、分割前の前記大型基板における部位が異なる基板の、前記アライメントマークに基づく前記基板の中心位置のばらつきが抑制される方向に前記基板の位置がオフセットされるように、前記位置調整手段を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアライメント装置。 - 前記位置調整手段によって位置が調整された基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送された前記基板を支持する第2の基板支持手段と、
マスクを支持するマスク支持手段と、
前記第2の基板支持手段によって支持された前記基板に形成されているアライメントマークを検知するアライメントマーク検知手段と、
前記第2の基板支持手段に支持された前記基板と前記マスク支持手段によって支持された前記マスクとの相対位置を調整する第2の位置調整手段と、
前記アライメントマーク検知手段の検知結果に基づいて、前記位置調整手段を制御する第2の制御手段と、をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のアライメント装置。 - 前記エッジ検知手段は、複数の前記エッジを検知するとともに複数の基準マークを検知し、
前記制御手段は、前記エッジ検知手段によって検知された前記複数の基準マークの位置情報を前記基板情報に応じて補正し、補正された前記複数の基準マークの位置情報と、前記エッジ検知手段によって検知された前記複数の前記エッジの位置情報と、に基づいて、前記位置調整手段を制御する、
ことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のアライメント装置。 - 前記基板支持手段を収容する容器をさらに備え、
前記基準マークを有する部材が、前記容器に対して固定されている、
ことを特徴とする請求項4に記載のアライメント装置。 - 前記制御手段は、前記エッジ検知手段によって検知された前記複数の基準マークの位置情報を前記基板情報に応じてオフセットさせるように補正する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載のアライメント装置。 - 前記基準マークの位置情報を補正する補正情報を、前記基板情報と対応付けて記憶する記憶手段をさらに有する、
ことを特徴とする請求項4~6のいずれか1項に記載のアライメント装置。 - 前記基板情報は、前記基板を識別する識別情報に含まれることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載のアライメント装置。
- 前記アライメント装置は、外部装置から搬出される前記基板を、前記外部装置と異なる他の外部装置に受け渡すための受渡室として機能することを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載のアライメント装置。
- 大型基板を分割して得られた複数の基板のうちのいずれかの基板を支持する第1の基板支持手段、
前記第1の基板支持手段に支持された前記基板のエッジを検知するエッジ検知手段、
前記第1の基板支持手段に支持された前記基板の位置を調整する第1の位置調整手段、及び、
前記第1の位置調整手段を制御する第1の制御手段、
を備える第1のアライメントユニットと、
前記基板を支持する第2の基板支持手段、
マスクを支持するマスク支持手段、
前記第2の基板支持手段によって支持された前記基板のアライメントマークを検知するアライメントマーク検知手段、
前記第2の基板支持手段に支持された前記基板と前記マスク支持手段によって支持された前記マスクとの相対位置を調整する第2の位置調整手段、及び、
前記アライメントマーク検知手段によって検知された前記アライメントマークの位置情報に基づいて前記第2の位置調整手段を制御する第2の制御手段、
を備え、前記第1のアライメントユニットから搬送されてきた、前記第1の位置調整手段により位置が調整された基板のアライメントを行う第2のアライメントユニットと、
を備えるアライメント装置であって、
前記第1の基板支持手段に支持されている基板の、分割前の前記大型基板における部位に関する基板情報を取得する取得手段を備え、
前記第1の制御手段は、前記エッジ検知手段によって検知された前記基板のエッジの位置情報と、前記取得手段によって取得された前記基板情報と、に基づいて、前記第1の位置調整手段を制御する、
ことを特徴とするアライメント装置。 - 請求項10に記載のアライメント装置と、
前記マスクを介して前記基板上に成膜する成膜手段と、を備える、
ことを特徴とする成膜装置。 - 大型基板を分割して得られた複数の基板のうちのいずれかの基板を支持する支持工程と、
前記支持工程で支持した前記基板のエッジを検知するエッジ検知工程と、
前記基板の位置を調整する位置調整工程と、を含むアライメント方法であって、
位置調整を行う基板の、分割前の前記大型基板における部位に関する基板情報を取得する取得工程を備え、
前記位置調整工程では、前記エッジ検知工程で検知された前記基板のエッジの位置情報と、前記取得工程で取得した前記基板情報とに基づいて、前記基板の位置を調整する、
ことを特徴とするアライメント方法。 - 請求項12に記載のアライメント方法によって基板をアライメントするアライメント工程と、
前記アライメント工程によりアライメントされた前記基板を成膜装置に搬入する搬入工程と、
前記搬入工程により前記成膜装置に搬入された基板に成膜を行う成膜工程と、を含む、
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記成膜工程の前に、前記搬入工程で前記成膜装置に搬入された前記基板と、前記成膜装置に備えられたマスクと、の相対位置を、前記基板に形成されたアライメントマークの位置に基づいて調整する第2のアライメント工程をさらに含む、
ことを特徴とする請求項13に記載の電子デバイスの製造方法。 - 請求項12に記載のアライメント方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項12に記載のアライメント方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
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