JP2021534071A - チャンバーシールアセンブリ及び成長炉 - Google Patents
チャンバーシールアセンブリ及び成長炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021534071A JP2021534071A JP2021532510A JP2021532510A JP2021534071A JP 2021534071 A JP2021534071 A JP 2021534071A JP 2021532510 A JP2021532510 A JP 2021532510A JP 2021532510 A JP2021532510 A JP 2021532510A JP 2021534071 A JP2021534071 A JP 2021534071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- seal
- exhaust
- spacer ring
- exhaust passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/08—Reaction chambers; Selection of materials therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/36—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
Abstract
Description
シールスペーサーリング、及びそれぞれ前記シールスペーサーリングの軸方向両側に設けられるシールリングを含み、そのうち、前記シールスペーサーリング内に第1排気通路が設けられ、前記第1排気通路が前記シールスペーサーリングの内側と連通し、そして、前記炉室フランジ内に第2排気通路が設けられ、前記第2排気通路がそれぞれ前記第1排気通路及び排気装置に接続される。
前記環状隙間内にチャンバーシールアセンブリが設けられ、前記チャンバーシールアセンブリは本発明が提供する上記チャンバーシールアセンブリを使用する。
前記真空コネクタは前記第2排気通路の第2端に接続され、
前記排気配管はそれぞれ前記排気ポンプ及び前記真空コネクタに接続される。
11 炉室フランジ
111 第2排気通路
12 上炉室本体
13 エンドカバー
14 チャンバーシールアセンブリ
141 上裏当てリング
142 下裏当てリング
143 シールリング
144 シールスペーサーリング
1441 排気孔
1442 環状凹溝
Claims (10)
- 炉室フランジと反応チャンバーとの間に周設されるチャンバーシールアセンブリであって、シールスペーサーリング、及びそれぞれ前記シールスペーサーリングの軸方向両側に設けられるシールリングを含み、そのうち、前記シールスペーサーリング内に第1排気通路が設けられ、前記第1排気通路が前記シールスペーサーリングの内側と連通し、そして、前記炉室フランジ内に第2排気通路が設けられ、前記第2排気通路がそれぞれ前記第1排気通路及び排気装置に接続されることを特徴とするチャンバーシールアセンブリ。
- 前記第1排気通路は前記シールスペーサーリングの周方向に沿って均等に分布する複数の排気孔を含み、各前記排気孔は前記シールスペーサーリング内に穿設されることを特徴とする請求項1に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 前記シールスペーサーリングの内周壁上に環状凹溝が形成され、各前記排気孔の内端はいずれも前記環状凹溝内に位置することを特徴とする請求項2に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 前記排気孔の直径は前記シールスペーサーリングの軸方向厚さの1/4であることを特徴とする請求項2に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 前記排気孔の数は12〜36個であることを特徴とする請求項2に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 前記排気孔の内端は前記シールスペーサーリングの軸方向厚さの中間位置に位置することを特徴とする請求項2に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 前記第1排気通路から遠い前記第2排気通路の一端は前記炉室フランジの外周壁上に位置することを特徴とする請求項1に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 上裏当てリング及び下裏当てリングをさらに含み、且つ前記シールリング及び前記シールスペーサーリングが前記上裏当てリングと前記下裏当てリングとの間に設けられることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のチャンバーシールアセンブリ。
- 反応チャンバー、上室及び下室を含み、前記上室と下室はそれぞれ前記反応チャンバーの上端と下端に套設され、そして、前記上室及び下室はいずれも下から上に順に積層されたフランジエンドカバー、炉室フランジ及び炉室本体を含み、そのうち、前記炉室フランジの内周壁と前記反応チャンバーの外周壁との間に環状隙間を有する成長炉であって、
前記環状隙間内にチャンバーシールアセンブリが設けられ、前記チャンバーシールアセンブリは請求項1〜8のいずれか一項に記載のチャンバーシールアセンブリを使用することを特徴とする成長炉。 - 前記排気装置は真空コネクタ、排気配管及び排気ポンプを含み、そのうち、
前記真空コネクタは前記第2排気通路の第2端に接続され、
前記排気配管はそれぞれ前記排気ポンプ及び前記真空コネクタに接続されることを特徴とする請求項9に記載の成長炉。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811201774.5 | 2018-10-16 | ||
CN201811201774.5A CN111058093B (zh) | 2018-10-16 | 2018-10-16 | 腔室密封组件及生长炉 |
PCT/CN2019/105409 WO2020078147A1 (zh) | 2018-10-16 | 2019-09-11 | 腔室密封组件及生长炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021534071A true JP2021534071A (ja) | 2021-12-09 |
JP7126027B2 JP7126027B2 (ja) | 2022-08-25 |
Family
ID=70284454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021532510A Active JP7126027B2 (ja) | 2018-10-16 | 2019-09-11 | チャンバーシールアセンブリ及び成長炉 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7126027B2 (ja) |
CN (1) | CN111058093B (ja) |
WO (1) | WO2020078147A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114892265A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-08-12 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种外延生长反应装置 |
CN115584485A (zh) * | 2022-10-11 | 2023-01-10 | 拓荆科技股份有限公司 | 一种用于薄膜沉积设备的密封结构以及反应腔室 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0768151A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-14 | Hitachi Ltd | 真空装置 |
JPH07151312A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 液体燃料燃焼装置 |
JPH1197447A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 封止装置 |
JP2014069104A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
CN107966022A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-27 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 法兰密封连接装置及超高真空烧结炉 |
CN207715049U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-08-10 | 核工业西南物理研究院 | 一种真空室门密封结构 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4187073B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2008-11-26 | 日本ピラー工業株式会社 | 回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置 |
US9005539B2 (en) * | 2011-11-23 | 2015-04-14 | Asm Ip Holding B.V. | Chamber sealing member |
CN203583011U (zh) * | 2013-10-09 | 2014-05-07 | 东莞市天域半导体科技有限公司 | 一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构 |
CN103628140B (zh) * | 2013-10-09 | 2016-08-17 | 东莞市天域半导体科技有限公司 | 一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构 |
CN204849018U (zh) * | 2015-06-23 | 2015-12-09 | 中建材(内江)玻璃高新技术有限公司 | 镀膜腔室高真空密封结构 |
CN205228137U (zh) * | 2015-12-02 | 2016-05-11 | 青岛丰东热处理有限公司 | 等离子炉双密封圈真空锁紧结构 |
-
2018
- 2018-10-16 CN CN201811201774.5A patent/CN111058093B/zh active Active
-
2019
- 2019-09-11 JP JP2021532510A patent/JP7126027B2/ja active Active
- 2019-09-11 WO PCT/CN2019/105409 patent/WO2020078147A1/zh active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0768151A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-14 | Hitachi Ltd | 真空装置 |
JPH07151312A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 液体燃料燃焼装置 |
JPH1197447A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 封止装置 |
JP2014069104A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
CN207715049U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-08-10 | 核工业西南物理研究院 | 一种真空室门密封结构 |
CN107966022A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-27 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 法兰密封连接装置及超高真空烧结炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111058093A (zh) | 2020-04-24 |
WO2020078147A1 (zh) | 2020-04-23 |
JP7126027B2 (ja) | 2022-08-25 |
CN111058093B (zh) | 2020-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10945313B2 (en) | Methods and apparatus for a microwave batch curing process | |
JP2021534071A (ja) | チャンバーシールアセンブリ及び成長炉 | |
TWI710658B (zh) | 用於SiC高溫氧化製程的製作腔室及熱處理爐 | |
US9261193B2 (en) | Sealing apparatus for a process chamber | |
CN210182327U (zh) | 具有嵌入式加热器的面板 | |
CN105020112B (zh) | 一种高热稳定的离子推力器屏栅筒 | |
JP4063661B2 (ja) | 半導体製造装置及び半導体の製造法 | |
CN212610889U (zh) | 一种密封圈水冷保护结构及pecvd设备 | |
CN110735185A (zh) | 长晶炉 | |
CN105575873B (zh) | 压环机构及半导体加工设备 | |
CN110319192B (zh) | 用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法 | |
CN105964200A (zh) | 一种釜门密封冷却装置 | |
CN112857045A (zh) | 一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构 | |
JP5283001B2 (ja) | ロータリーキルンのシール構造 | |
KR102260370B1 (ko) | 전체-영역 대향류 열 교환 기판 지지부 | |
CN210320911U (zh) | 干燥电极芯用的干燥罐 | |
CN104711682A (zh) | 单晶体的上炉体 | |
CN216624212U (zh) | 半导体工艺设备 | |
TWI768281B (zh) | 電漿處理器以及用於電漿處理器的上電極組件 | |
CN214841119U (zh) | 一种具有多层隔热结构的真空碳管炉 | |
CN204718455U (zh) | 预冷装置 | |
TW201441573A (zh) | 高溫處理室蓋體 | |
CN204111831U (zh) | 一种取向硅钢用高温罩式炉内罩 | |
JP2019517736A5 (ja) | ||
CN215864645U (zh) | 一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7126027 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |