CN205228137U - 等离子炉双密封圈真空锁紧结构 - Google Patents
等离子炉双密封圈真空锁紧结构 Download PDFInfo
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Abstract
等离子炉双密封圈真空锁紧结构，包括炉体和底盘，所述炉体包括炉罩和位于炉罩底部的炉罩法兰，所述底盘包括底盘法兰，其特征在于：沿所述底盘法兰圆周由内向依次设置有内密封圈槽、真空腔和外密封圈槽，内密封圈槽和外密封圈槽内分别安装有内密封圈和外密封圈，真空腔上设置有一贯通道底盘法兰底部的抽气孔，抽气孔处安装有可拆卸的密封塞。本实用新型的等离子炉双密封圈真空锁紧结构，通过对底盘法兰结构的改进，省略了传统等离子炉繁杂的密封结构，能够很好的避免传统锁紧机构复杂、笨重、频繁故障等缺点，具有结构简单、成本低、容易制造、锁紧可靠等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种热处理设备，涉及一种等离子炉炉体与底盘的安装结构，具体的说，涉及一种等离子炉真空锁紧结构。
背景技术
等离子炉是利用由电能所产生的等离子体的能量来进行熔炼或加热的一种加热炉，其结构包括炉体、炉盖和底座，炉体、底座之间为可拆卸的结构。为保证等离子炉正常工作，需要保证炉体和底座之间紧密锁紧配合。传统的等离子炉锁紧结构复杂笨重，其结构一般为两个气缸带动厚重的锁圈旋转，利用楔块压紧炉罩和底盘的法兰，达到锁紧的效果。这种结构在锁紧时容易出现锁不紧等故障，影响炉内反应。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术中等离子炉锁紧结构复杂、锁不紧的问题，提供一种结构简单，容易制造的等离子炉锁紧结构。
本发明的技术方案是：等离子炉双密封圈真空锁紧结构，包括炉体和底盘，炉体包括炉罩和位于炉罩底部的炉罩法兰，底盘包括底盘法兰，沿底盘法兰圆周由内向依次设置有内密封圈槽、真空腔和外密封圈槽，内密封圈槽和外密封圈槽内分别安装有内密封圈和外密封圈，真空腔上设置有一贯通道底盘法兰底部的抽气孔，抽气孔处安装有可拆卸的密封塞。
本实用新型的使用方法为：将炉罩放置在底盘上，炉罩法兰与底盘法兰对齐，打开抽气孔处的密封塞，用真空泵将真空腔内抽成真空，随后盖上抽气孔处的密封塞。真空腔内气压下降，炉罩法兰与底盘法兰在大气压的作用下相互压紧，达到锁紧的目的。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的等离子炉双密封圈真空锁紧结构，通过对底盘法兰结构的改进，省略了传统等离子炉繁杂的密封结构，能够很好的避免传统锁紧机构复杂、笨重、频繁故障等缺点，具有结构简单、成本低、容易制造、锁紧可靠等优点。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为炉盘结构示意图。
图3为炉盘俯视结构示意图。
其中，1-外密封圈，2-内密封圈，3-抽气孔，4-真空腔，5-炉罩法兰，6-底盘法兰，7-外密封槽，8-内密封槽
具体实施方式
等离子炉双密封圈真空锁紧结构，包括炉体和底盘，炉体包括炉罩和位于炉罩底部的炉罩法兰5，底盘包括底盘法兰6，沿底盘法兰6圆周由内向依次设置有内密封圈槽8、真空腔4槽和外密封圈槽7，内密封圈槽8和外密封圈槽7内分别安装有内密封圈2和外密封圈1，真空腔4上设置有一贯通道底盘法兰底部的抽气孔3，抽气孔3处安装有可拆卸的密封塞。
将炉罩放置在底盘上，炉罩法兰5与底盘法兰6对齐，打开抽气孔3处的密封塞，用真空泵将真空腔4内抽成真空，随后盖上抽气孔3处的密封塞。真空腔4内气压下降，炉罩法兰5与底盘法兰6在大气压的作用下相互压紧，达到锁紧的目的。
Claims (1)
1.等离子炉双密封圈真空锁紧结构，包括炉体和底盘，所述炉体包括炉罩和位于炉罩底部的炉罩法兰，所述底盘包括底盘法兰，其特征在于：沿所述底盘法兰圆周由内向依次设置有内密封圈槽、真空腔和外密封圈槽，内密封圈槽和外密封圈槽内分别安装有内密封圈和外密封圈，真空腔上设置有一贯通道底盘法兰底部的抽气孔，抽气孔处安装有可拆卸的密封塞。
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| CN201520983785.9U CN205228137U (zh) | 2015-12-02 | 2015-12-02 | 等离子炉双密封圈真空锁紧结构 |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN205228137U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109958381A (zh) * | 2017-12-14 | 2019-07-02 | 核工业西南物理研究院 | 一种真空室门密封结构及真空腔室 |
| WO2020078147A1 (zh) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 腔室密封组件及生长炉 |
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2015
- 2015-12-02 CN CN201520983785.9U patent/CN205228137U/zh active Active
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