JP2021530714A - クロマティック共焦点エリアセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年7月24日に出願された米国仮特許出願及び譲渡された米国特許出願第62/702894号の優先権を主張し、それらの開示内容が参照によって本明細書に組み込まれる。
Claims (18)
- システムであって、
光ビームを発生させる広帯域光源と、
ワークピースを保持するように構成されたステージと、
前記光ビームの経路内に配置されたマイクロレンズアレイであって、前記マイクロレンズアレイは、前記マイクロレンズアレイの焦点面内の複数の点に前記光ビームを集中させており、前記マイクロレンズアレイは、前記ステージ上の前記ワークピースから反射されている前記光ビームに対する空間フィルタとして構成されていることにより、前記ステージ上の前記ワークピースに焦点が合っている前記光ビームだけを通過させる、マイクロレンズアレイと、
前記光ビームの前記経路内に配置された同調可能型カラーフィルタであって、前記同調可能型カラーフィルタは、中央波長での帯域に前記光ビームを狭小化させるように構成されている、同調可能型カラーフィルタと、
前記光ビームを用いて、前記ワークピース上に前記複数の点を結像させるように配置されたレンズシステムであって、前記レンズシステムは、異なる波長が前記レンズシステムからの異なる距離に結像させられる軸上色収差を提供するように構成されている、レンズシステムと、
前記ステージ上の前記ワークピースから前記光ビームを受け取るように配置された検出器であって、前記ステージ上の前記ワークピースから反射された前記光ビームは、前記検出器によって受け取られる前に前記マイクロレンズアレイを通して導かれる、検出器と、
を備える、システム。 - 前記同調可能型カラーフィルタと前記マイクロレンズアレイとの間の前記光ビームの前記経路内に配置されたコリメートレンズを更に備え、前記コリメートレンズは、前記光ビームをコリメートし、前記光ビームを前記マイクロレンズアレイに導くように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記同調可能型カラーフィルタは、前記光ビームの前記経路に沿って前記マイクロレンズアレイと前記レンズシステムとの間に配設されている、請求項2に記載のシステム。
- 前記検出器は、グレースケールエリアスキャンカメラである、請求項1に記載のシステム。
- 前記レンズシステムは、対物レンズである、請求項1に記載のシステム。
- 前記同調可能型カラーフィルタと前記レンズシステムとの間の前記光ビームの前記経路内に配置されたビームスプリッタを更に備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記マイクロレンズアレイと前記レンズシステムとの間の前記光ビームの前記経路内に配置されたチューブレンズを更に備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記同調可能型カラーフィルタは、前記広帯域光源と前記マイクロレンズアレイとの間に配設されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記同調可能型カラーフィルタは、前記マイクロレンズアレイと前記検出器との間に配設されている、請求項1に記載のシステム。
- 複数の前記同調可能型カラーフィルタが、前記光ビームの前記経路内に配置されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記同調可能型カラーフィルタは、液晶同調可能型フィルタ、音響光学同調可能型フィルタ、又は同調可能型ファブリペローエタロンである、請求項1に記載のシステム。
- 前記検出器と電気通信しているプロセッサを更に備え、前記プロセッサは、前記ワークピース上の特徴についての3D測定値を決定するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 方法であって、
広帯域光源を用いて、光ビームを発生させるステップと、
マイクロレンズアレイを用いて、前記マイクロレンズアレイの焦点面内の複数の点に前記光ビームを集中させるステップであって、前記マイクロレンズアレイは、空間フィルタとして構成されている、ステップと、
同調可能型カラーフィルタを用いて、中央波長での帯域に前記光ビームを狭小化させるステップと、
レンズシステムを用いて、ワークピース上に複数の点を結像させるステップであって、前記レンズシステムは、異なる波長が前記レンズシステムからの異なる距離に結像させられる軸上色収差を提供するように構成されている、ステップと、
前記マイクロレンズアレイを用いて、前記ワークピースに焦点が合っている、前記ワークピースから反射された前記光ビームを通過させるステップと、
前記ワークピースから反射された前記光ビームを検出器において受け取るステップと、
を含む、方法。 - プロセッサを用いて、前記ワークピース上の特徴についての3D測定値を決定するステップを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 短波長から長波長まで狭帯域をスイープするステップと、
前記プロセッサを用いて、前記ワークピースのトポグラフィを決定するステップと、
を更に含む、請求項13に記載の方法。 - 前記3D測定値は、ボール高さ、共平面性、構成要素厚さ、及び反りのうちの1つ又は複数を含む、請求項14に記載の方法。
- 前記決定するステップ中に、前記ワークピースの部分をスキップするステップを更に含む、請求項15に記載の方法。
- 選択されたZレベルにある、前記ワークピースからの1つ又は複数の特徴だけが、前記検出器によって検出される、請求項14に記載の方法。
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