JP2021502705A - 層状非接触支持プラットフォーム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 点在する圧力ポートおよび真空ポートのパターンを含むポート層と、
圧力源に接続可能であり、圧力導管のグリッドパターンを含む圧力導管層であって、前記圧力ポートの各々は前記圧力導管のうちの少なくとも2つの圧力導管の交点を通る軸上の位置に配置され、
その位置で前記圧力導管のグリッドパターンに実質的に直交する、圧力導管層と、
吸引源に接続可能であり、真空導管のグリッドパターンを含む真空導管層であって、前記真空ポートの各々は前記真空導管のうちの少なくとも2つの真空導管の交点を通る軸上の位置に配置され、
その位置で前記真空導管のグリッドパターンに実質的に直交する、真空導管層と、を備え、
前記真空導管のグリッドパターンは、圧力導管の各交点が前記真空導管のすべての交点から横方向にオフセットされるように、前記圧力導管のグリッドパターンから横方向にオフセットされる、テーブルを有する、非接触支持システム。 - 前記圧力導管層および前記真空導管層の各々は、前記圧力導管層のサービス孔が前記真空導管層のサービス孔と整列されたときに、ファスナーまたはセンサの挿入を可能にするように構成されたサービス孔を含み、前記サービス孔の各々は、前記圧力導管および前記真空導管のすべてから横方向に変位されている、請求項1に記載の非接触支持システム。
- 前記サービス孔は、前記サービス孔と最も近い導管との間の横方向の距離が最小距離よりも大きくなるように配置される、請求項2に記載の非接触支持システム。
- 前記グリッドパターンは正方形のパターンであり、前記サービス孔は圧力ポートと最も近い真空ポートとの間の横方向の中間に位置する、請求項2または請求項3に記載の非接触支持システム。
- 前記圧力導管層および前記真空導管層のそれぞれのグリッドパターンは、圧力導管間の交点のうちの2つおよび真空導管間の交点のうちの2つによって境界付けされた正方形領域内で除去された、圧力導管および直交する真空導管のセグメントを有する正方形パターンである、請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の非接触支持システム。
- 前記サービス孔は、前記正方形領域に位置する、請求項5に記載の非接触支持システム。
- 前記圧力導管層は、圧力マニホールドへの開口部を含み、または前記真空導管層は、真空マニホールドへの開口部を含む、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の非接触支持システム。
- 前記圧力導管層と前記ポート層の圧力ポートとの間のエア流を制限する流量リストリクターを含む、少なくとも1つの流量リストリクター層をさらに備える、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の非接触支持システム。
- 前記真空導管層と前記ポート層上の真空ポートとの間のエア流を制限する流量リストリクターを含む、少なくとも1つの流量リストリクター層をさらに備える、請求項8に記載の非接触支持システム。
- 前記ポート層のポートを挿入するための、流量リストリクターを含む挿入体をさらに備える、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の非接触支持システム。
- 前記流量リストリクターは、自己適応型セグメント化オリフィス(SASO)流量リストリクター、より狭い制限セグメントによって分けられた複数のボアセグメントの直線状の配置、その長さに沿って一定の直径を有する制限チューブ、1つまたは複数の狭窄セグメントを含む制限チューブ、および多孔性物質から成る流量リストリクターのグループから選択される、請求項10に記載の非接触支持システム。
- 前記圧力導管層または前記真空導管層内の導管間の交点におけるコーナーは、丸みを帯びている、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の非接触支持システム。
- 圧力ポートの各々が圧力導管のうちの少なくとも2つの圧力導管の交点に開口するように、圧力源に接続可能である圧力導管のグリッドパターンを含む圧力導管層を、点在する圧力ポートおよび真空ポートのパターンを含むポート層に組み立てることと、
前記真空ポートの各々が真空導管のうちの少なくとも2つの真空導管の交点に開口するように、吸引源に接続可能である真空導管のグリッドパターンを含む真空導管層を、前記ポート層および前記圧力導管層に組み立てることであって、前記真空導管のグリッドパターンは、圧力導管の各交点が前記真空導管のすべての交点から横方向にオフセットされるように、前記圧力導管のグリッドパターンから横方向にオフセットされる、組み立てることと、を含む、非接触支持システムを組み立てる方法。 - 前記真空導管層を前記圧力導管層に組み立てることは、前記圧力導管層上のサービス孔を前記真空導管層上のサービス孔と整列することを含み、前記サービス孔はすべての前記圧力ポートおよびすべての前記真空ポートから横方向に変位される、請求項13に記載の非接触支持システムを組み立てる方法。
- 前記圧力導管層および前記真空導管層上の前記サービス孔と整列された前記ポート層の孔またはソケットに、前記サービス孔を通して締結構造体を挿入することをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持システムを組み立てる方法。
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