JP2021526314A - 非接触支持プラットフォーム - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0688—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by combined action on throttling means and flow sources
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
- B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
- B65G2203/0233—Position of the article
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
- B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
- B65G2203/025—Speed of the article
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
- B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
- B65G2203/0258—Weight of the article
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
- B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
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- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
Description
Claims (21)
- 開ループ制御を備えた非接触支持プラットフォームであって、
複数のノズルを通って流れる流体の流体軸受によって工作物を支持するための表面と、
前記表面に接続され、前記複数のノズルのサブセットから前記流体の流れを生じさせる圧力を加えることによって、前記流体軸受を維持するように構成される供給システムと、
前記非接触支持プラットフォーム上を移動する間に前記工作物を支持する開ループ回路で前記供給システム内の流体流を制御するコントローラと、
を備え、
前記流体流は、表面によって支持されている間の前記工作物の位置、前記工作物の寸法、および前記工作物の速度からなる工作物パラメータ群の少なくとも1つのパラメータに基づいて制御される、非接触支持プラットフォーム。 - 前記供給システムは、前記複数のノズルの別のサブセットに前記流体の流れを生じさせる真空を加えるようにも構成される、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記供給システムが、圧力源および真空源のうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラは、前記非接触支持プラットフォームおよび前記工作物の少なくとも1つのパラメータに基づいて、前記供給システム内の前記流体流を制御するように、さらに構成される、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記非接触支持プラットフォームの前記少なくとも1つのパラメータは、前記非接触支持プラットフォームの面積および前記供給システムの流量のうちの少なくとも1つである、請求項4に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記工作物の前記少なくとも1つのパラメータは、前記工作物の面積、前記工作物の重量、および前記非接触支持プラットフォームより上の前記工作物の現在の支持高さのうちの少なくとも1つである、請求項4に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記表面におけるノズル間の距離が5〜15mmの範囲である、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記非接触支持プラットフォームと前記工作物との間の距離が、5〜1000μmの範囲である、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラは、圧力調整器、圧力制御弁、および空気ポンプの回転速度のうちの少なくとも1つを使用して、流体流の圧力を制御する、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラは、真空調整器、真空制御弁、真空ブリード弁、および空気ポンプの回転速度のうちの少なくとも1つを使用して流体流の吸引を制御する、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラに接続され、前記圧力源の抵抗率を測定するように構成された少なくとも1つの圧力センサをさらに備える、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラに接続され、前記真空源の抵抗率を測定するように構成された少なくとも1つの真空センサをさらに備える、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 前記コントローラに接続され、前記表面に沿って前記工作物の位置を測定するように構成された少なくとも1つの工作物位置センサをさらに備える、請求項1に記載の非接触支持プラットフォーム。
- 工作物を支持するために、開ループシステムを備えた非接触支持プラットフォームを制御する方法であって、
前記非接触支持プラットフォームによって、前記工作物を支持するために、複数のノズルを通る流体を提供するステップと、
前記非接触支持プラットフォームの供給システムに接続されたコントローラによって、前記工作物が前記非接触支持プラットフォーム上を移動する間に、前記工作物を支持する開ループ回路で流体流を制御するステップと、
とを含み、
流体流は、表面によって支持されている間の前記工作物の位置、前記工作物の寸法、および前記工作物の速度からなる工作物パラメータ群の少なくとも1つのパラメータに基づいて制御される、非接触支持プラットフォームを制御する方法。 - 前記複数のノズルの流れ、および前記非接触支持プラットフォームの面積のうちの少なくとも1つを測定することによって、前記工作物の必要流量を決定するステップをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 前記工作物の面積、前記工作物の重量、および前記非接触支持プラットフォームより上の前記工作物の現在の支持高さのうちの少なくとも1つを測定することによって、前記工作物のための必要流量を決定するステップをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 前記コントローラによって、前記工作物の前記移動に応じて、前記供給システムによる流量を調整するステップをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 前記供給システムは、前記複数のノズルの別のサブセットに前記流体の流れを生じさせる真空を加えるようにも構成される、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 前記供給システムが、圧力源および真空源のうちの少なくとも1つを備える、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 圧力調整器、圧力制御弁、および空気ポンプの回転速度のうちの少なくとも1つを使用して、前記コントローラによって流体流の圧力を制御するステップをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
- 真空調整器、真空制御弁、真空ブリード弁、および空気ポンプの回転速度のうちの少なくとも1つを使用して、前記コントローラによって流体流の吸引を制御するステップをさらに含む、請求項14に記載の非接触支持プラットフォームを制御する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862682942P | 2018-06-10 | 2018-06-10 | |
US62/682,942 | 2018-06-10 | ||
PCT/IL2019/050644 WO2019239403A1 (en) | 2018-06-10 | 2019-06-06 | Non-contact support platform with open-loop control |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021526314A true JP2021526314A (ja) | 2021-09-30 |
Family
ID=68841978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020566807A Pending JP2021526314A (ja) | 2018-06-10 | 2019-06-06 | 非接触支持プラットフォーム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11673748B2 (ja) |
JP (1) | JP2021526314A (ja) |
KR (1) | KR20210019500A (ja) |
CN (1) | CN112236379B (ja) |
TW (1) | TW202012290A (ja) |
WO (1) | WO2019239403A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2019
- 2019-06-06 CN CN201980038519.XA patent/CN112236379B/zh active Active
- 2019-06-06 WO PCT/IL2019/050644 patent/WO2019239403A1/en active Application Filing
- 2019-06-06 US US17/056,439 patent/US11673748B2/en active Active
- 2019-06-06 JP JP2020566807A patent/JP2021526314A/ja active Pending
- 2019-06-06 KR KR1020217000526A patent/KR20210019500A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-06-06 TW TW108119772A patent/TW202012290A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11673748B2 (en) | 2023-06-13 |
TW202012290A (zh) | 2020-04-01 |
KR20210019500A (ko) | 2021-02-22 |
CN112236379B (zh) | 2022-10-11 |
WO2019239403A1 (en) | 2019-12-19 |
CN112236379A (zh) | 2021-01-15 |
US20210188567A1 (en) | 2021-06-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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