KR20180081630A - 기판의 정전하를 측정하기 위한 장비 및 방법 - Google Patents

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가브리엘 피어스 아넬로
피터 노울즈
코리 로버트 우스타닉
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코닝 인코포레이티드
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Abstract

기판 표면 위의 정전하를 측정하기 위한 장비들 및 방법들이 여기에 개시된다. 상기 장비들은 기판 장착 플랫폼, 기판 접촉 구성부, 및 적어도 하나의 전압 센서를 포함하고, 상기 장비는 롤러의 회전 및 이행 속도를 독립적으로 제어하도록 및/또는 상기 기판의 적어도 일부에 대하여 전압의 이차원 맵을 작성하도록 여러 지점들에서 상기 기판의 전압을 측정하도록 프로그래밍된다.

Description

기판의 정전하를 측정하기 위한 장비 및 방법
<관련 출원들의 상호 참조>
본 출원은 2015년 12월 3일에 출원된 미합중국 임시출원 제62/262638호의 35 U.S.C. §119에 따른 우선권을 주장하며, 상기 임시출원의 내용은 그 전체가 여기에 인용되어 참조된다.
<기술분야>
본 개시는 대체로 기판 표면 상의 정전하를 측정하기 위한 장비와 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 다양한 동작 조건들 하에서 유리 기판 위의 정전하를 생성 및 측정하기 위한 장비에 관한 것이다.
기판들은 제조 후에 정전하(electrostatic charge, ESC)를 생성할 수 있는 하류 처리 단계 및 취급 단계를 종종 거친다. 예를 들면, 유리 기판은 다양한 이송 및/또는 포지셔닝 처리들을 겪게 될 수 있으며, 이 동안 하나 이상의 부품들과 상기 기판이 갖는 접촉은, 상기 부품과 접촉하는 표면("B 표면" 또는 "이송 표면") 및/또는 상기 기판의 반대쪽 표면("A 표면" 또는 "제조 표면") 상에 바람직하지 않은 ESC 축적(build-up)을 초래할 수 있다. 상기 A 표면 또는 상기 B 표면 상의 과도한 ESC는 바람직하지 않을 수 있으며, 상기 기판의 A 표면 상의 전위 차이는 제조가 진행되는 동안, 특히 디스플레이 장치들을 제조하는 동안에 채용될 수 있는 박막 전자 소자들의 제조를 비제한적으로 포함하여 전자 소자들을 제조하는 경우에, 상당한 수율 상의 손실을 가져오는 심각한 문제들을 야기할 수 있다.
상기 제조 공정 동안, 하나의 공정 스테이션으로부터 다른 공정 스테이션으로 상기 기판을 이동시키기 위하여 이송 시스템이 이용될 수 있다. 일반적으로, 이송 시스템들은 수많은 작은 롤러들을 포함할 수 있으며, 이들은 자유-회전(free-rolling)할 수도 있고 및/또는 구동될 수도 있다. 상기 기판의 상기 B 표면과 상기 롤러 사이의 접촉은 그 자체로 상기 A 표면 및/또는 상기 B 표면 상에 ESC가 축적되는 결과를 가져올 수 있다. 또한, 상기 이송 시스템에서 예컨대 충분히 윤활되지 않은 자유-회전 롤러 또는 구동 롤러와 같이 하나 이상의 롤러가 나머지 롤러와 상이한 속도로 움직인다면, 상기 ESC 축적은 더욱 증가될 수 있다.
또 다른 ESC 생성 공정은, 예를 들면, 기판이 진공에 의하여 접촉 표면 상의 위치에 홀딩되는 진공 척 고정(vacuum chucking)과 같은 진공 공정들을 포함할 수 있다. 진공에 의하여 상기 기판을 흡인하는 것은 반 데르 발스 상호작용을 통해 전하가 교환될 수 있는 상기 기판과 상기 접촉 표면 사이의 밀접한 접촉을 통해서 뿐만 아니라 진공 포트를 둘러싸는 접촉 표면 영역과 상기 기판 사이의 마찰을 통해 상기 기판에 전하를 부여할 수 있다. 또한 ESC 축적은 제조 공정 동안 상기 기판과 다른 표면들 사이의, 예컨대 마찰 및/또는 맞비빔에 의하는 것과 같은, 접촉에 기인할 수도 있다.
ESC 생성 활동을 모사하고 측정하기 위한 현재의 방법들과 장비들은 둘 이상의 유형의 ESC 생성 활동을 시험하지 못하는 미흡한 범위의 움직임에 의하여, 및/또는 ESC 생성을 기판 표면 상의 위치의 함수로서 평가하지 못하는 것에 의하여 제한된다. 기판 상의 ESC를 생성 및 측정하기 위한 방법의 하나는 원형의 회전구를 기판과 접촉시키는 회전구(rolling ball) 시험법이다. 그러나, 원형의 회전구를 사용하는 것은 제한된 동작 프로파일을 제공할 수 있으며, 롤러 이송을 정확하게 모사하지 못할 수 있다. 특히, 정지 중의 기판을 회전하고 있는 볼과 접촉시킨다거나 움직이는 기판을 정지 중의 롤러 볼과 접촉시키는 것은, 예를 들면 롤러의 회전 속도와 기판의 이행(移行) 속도가 서로 독립적일 때, 움직이는 기판이 돌거나 회전하는 롤러와 접촉하는 실제 롤러 이송 공정과 실질적으로 유사하지 않다. 게다가 상기 회전구 시험법은 진공 리프트 및/또는 마찰성(frictive) 접촉에 기인하는 ESC 생성과 관련된 정보를 제공하지 않는다. 마지막으로, 상기 회전구 시험법은 상기 기판의 표면의 일부 또는 전부가 ESC 축적의 측면에서 평가되고 맵핑될 수 있는 방법을 전혀 제공하지 않는다.
따라서, 기판의 표면 위에서의 ESC를 생성하고 측정하기 위한 개선된 방법들 및 장비들을 제공한다면 유리할 것이다. 또한, 하나 이상의 유형의 ESC 생성 활동들을 더욱 정확하게 모사할 수 있는 방법들과 장비들이 제공된다면 유리할 것이다.
본 개시가 해결하려는 과제는 전술한 문제를 극복하는 것이다.
본 개시 내용은, 다양한 실시예들에서, 정전하 측정용 장비들에 관한 것으로서, 상기 정잔하 측정용 장비들은 기판 장착 플랫폼; 다축(multi-axis) 액츄에이팅 구성부에 제거 가능하게 장착된 상호 교환 가능한(interchangeable) 접촉 구성부; 및 적어도 하나의 전압 센서를 포함하고, 상기 장비는 정전하가 생성되도록 상기 기판을 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉시키도록 프로그래밍되고, 상기 적어도 하나의 전압 센서는 여러 지점들에서 기판의 전압을 측정하여 상기 기판의 적어도 일부에 대하여 전압의 2차원 맵을 작성하도록 구성된다.
또한 여기에는 정전하 측정용 장비들이 개시되며, 상기 장비들은 기판 장착 플랫폼; 적어도 하나의 롤러 구성부를 포함하는 기판 접촉 구성부; 및 적어도 하나의 전압 센서를 포함하고, 상기 장비는 (a) 상기 롤러 구성부를 회전 속도로 회전시키도록, (b) 적어도 하나의 회전하는 상기 롤러 구성부를 정전하를 생성하기 위하여 상기 기판과 접촉시키도록, 그리고 (c) 상기 적어도 하나의 회전하는 상기 롤러 구성부와 상기 기판이 서로에 대하여 상대적으로 제 1 방향으로 이행 속도로 이행시키도록 프로그래밍되고, 상기 회전 속도는 상기 이행 속도와 독립적으로 제어된다.
또한 정전하의 측정 방법들이 여기에 개시된다. 상기 방법들은 여기에 개시된 장비들 내에 기판을 포지셔닝하는 단계 및 상기 표면 접촉 구성부와 접촉한 후에 또는 접촉하는 동안 상기 기판의 표면 위의 적어도 한 지점의 전압을 측정하는 단계를 포함한다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 방법들은 적어도 하나의 전압 센서 및 접촉 구성부를 포함하고 상기 접촉 구성부는 적어도 하나의 롤러 구성부를 포함하는 장비에 있어서, 상기 장비의 기판 장착 플랫폼 위에 기판을 포지셔닝하는 단계; 상기 적어도 하나의 롤러 구성부를 회전 속도로 회전시키는 단계; 정전하를 생성하도록 상기 기판을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키는 단계; 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 상기 기판을 서로에 대하여 상대적으로 제 1 방향으로 이행 속도로 이행(移行)(translating)시키는 단계; 및 상기 기판을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키는 동안 또는 접촉시킨 후에 상기 기판의 표면 위의 적어도 한 지점의 전압을 측정하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 회전 속도는 상기 이행 속도와 독립적으로 제어된다. 추가적인 실시예들에 있어서, 상기 방법들은 상기 기판을 상기 접촉 구성부와 접촉시키기 전에 또는 접촉시킨 후에 상기 기판의 표면의 적어도 일부를 중화시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 추가적인 실시예들에 따르면, 상기 기판은 유리 시트를 포함할 수 있다.
본 개시 내용의 추가적인 특징들과 장점들은 뒤따르는 상세한 설명에서 제시될 것이며, 부분적으로는 상기 상세한 설명으로부터 통상의 기술자에게 용이하게 명백하거나, 또는 첨부된 도면들 뿐만 아니라, 뒤따르는 상세한 설명들, 청구항들을 포함하여 여기에 설명된 바에 따라 방법들을 실시함에 의하여 용이하게 인식될 것이다.
앞선 일반적인 설명과 다음의 상세한 설명이 모두 본 개시 내용의 다양한 실시예들을 제공하고, 청구항들의 특성 및 속성을 이해하기 위한 개요 또는 골격을 제공하는 것이 의도됨은 이해될 것이다. 첨부 도면들은 본 개시 내용을 더 이해하기 위하여 포함되며, 본 명세서 내에 통합되어 본 명세서의 일부를 구성한다. 상기 도면들은 본 개시 내용의 다양한 실시예들을 나타내며, 상세한 설명과 함께 본 개시 내용의 원리들 및 작용들을 설명하는 역할을 한다.
다음의 상세한 설명은 다음의 도면들과 함께 읽혔을 때 더욱 잘 이해될 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 롤러 이송, 진공 척 고정(vacuum chucking), 및 마찰성 접촉과 같은 다양한 ESC 생성 활동들을 나타낸다.
도 2는 본 개시 내용의 특정 실시예들에 따른 ESC 측정 장비를 나타낸다.
도 3은 도 2에 묘사된 ESC 측정 장비의 저면도를 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 본 개시 내용의 다양한 실시예들에 따른 기판 접촉 구성부를 나타낸다.
장비들
정전하를 측정하기 위한 장비들이 여기에 개시된다. 상기 장비들은 기판 장착 플랫폼; 적어도 하나의 롤러 구성부를 포함하는 기판 접촉 구성부; 및 적어도 하나의 전압 센서를 포함하고, 상기 장비는 (a) 상기 롤러 구성부를 회전 속도로 회전시키고, (b) 정전하가 생성되도록 상기 기판을 회전하는 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키고, (c) 상기 기판과 회전하는 상기 적어도 하나의 롤러 구성부를 서로에 대하여 상대적으로 제 1 방향으로 이행(移行) 속도로 이행시키도록 프로그래밍된다. 이 때 상기 회전 속도는 상기 이행 속도와 독립적으로 제어된다.
또한 정전하를 측정하기 위한 장비들이 여기에 개시된다. 상기 장비들은 기판 장착 플랫폼; 다축(multi-axis) 액츄에이팅 구성부에 제거 가능하게 장착된 상호 교환 가능한 접촉 구성부; 및 적어도 하나의 전압 센서를 포함한다. 여기서 상기 장비는 정전하가 생성되도록 상기 기판을 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉시키도록 프로그래밍되고, 상기 적어도 하나의 전압 센서는 여러 지점에서 기판의 전압을 측정하여 상기 기판의 적어도 일부에 대하여 전압의 2차원 맵을 작성하도록 구성된다.
도 1a 내지 도 1c는 기판의 하나 이상의 표면들 위에서 ESC가 생성될 수 있는 다양한 접촉 시나리오들을 나타낸다. 예를 들면, 도 1a에 롤러 이송이 도시되며, 여기서 기판(S)은 (실선 화살표로 표시된) 제 2 방향으로 회전하는 복수의 롤러들(R)을 이용하여 (점선 화살표로 표시된) 제 1 방향으로 이송된다. 도 1b는 진공 척 고정을 도시하며, 여기서 기판(S)은 (실선 화살표들로 표시된) 제 1 방향으로 당겨져서 접촉 표면(C)과 접촉된다. 마지막으로, 마찰성 접촉이 도 1c에 도시되며, 여기서 기판(S)은 접촉 표면(C)에 대항하여 문질러진다. 여기서 사용될 때, 마찰성 접촉은 예를 들면, S와 C를 서로에 대하여 (도 1c에서 점선 화살표로 보인 바와 같이) 반대 방향으로 또는 예를 들면, 상이한 속력들로(미도시) 동일한 방향으로 상대적으로 이행시킴에 의한, 또는 S 및 C 중의 하나를 다른 하나에 대하여 이동시킴(미도시)에 의한 기판과 다른 표면 사이의 마찰의 생성을 가리키는 것이 의도된다. 여기서 사용될 때 "서로에 대하여 상대적으로 이행된"의 어구는, 예를 들면, 이동하는 기판과 정지된 구성부, 이동하는 구성부와 정지한 기판, 또는 이동하는 기판과 이동하는 구성부와 같이, 상기 기판 및/또는 기판 접촉 구성부 중 적어도 하나가 다른 하나에 대하여 이동하는 것을 가리키는 것이 의도된다.
예시적인 ESC 측정 시스템(100)을 묘사하는 도 2를 참조하면, 기판(101)이 기판 장착 플랫폼(103) 위에 위치될 수 있다. 상기 기판은 유리 기판들, 플라스틱 기판들, 금속 기판들, 세라믹 기판들 및 다른 유사한 기판들을 포함하여 정전하를 발생시킬 수 있는 임의의 물질로 선택될 수 있고, 이들에 한정되지 않는다. 일 실시예에서, 상기 기판(101)은 예컨대 유리 시트와 같은 유리 기판이다. 상기 기판(101)을 상기 기판 장착 플랫폼(103) 위에 포지셔닝시킨 후, 상기 기판(101)은 ESC 축적을 감소시키기 위한 처리가 수행되는 중화 단계를 선택적으로 거칠 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 중화 단계를 수행하는 것은 아래에서 설명하는 후속 ESC 측정 단계의 정확도를 증가시키는 결과를 가져온다.
상기 중화 단계를 수행하는 동안, 상기 기판(101)은, 예를 들면 상기 기판 장착 플랫폼(103) 위로, 중화 장치(109)에 근접하여 상승되거나 또는 위치될 수 있다. 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판(101)은 장착 핀들(105)을 이용하여 상승될 수 있으며, 중화 장치(109)와 정렬될 수 있다. 중화 장치(109)는 상부 표면 및 바닥 표면(부재번호가 부여되지는 않음)과 같은 기판(101)의 하나 이상의 표면들, 또는 이들의 일부를 중화시킬 수 있다. 상기 중화 장치(109)는 상기 기판(101)의 하나 이상의 표면들 위로 이온화된 공기의 흐름을 제공할 수 있다. 특정 실시예들에 있어서, 상기 중화 장치(109)는 예를 들면 아르곤(Ar)이나 질소(N2)와 같은 불활성 기체 소스와 함께 작동하는 고전류 이온화기일 수 있다.
도 2를 참조하면, 일부 실시예들에 있어서, 상기 기판(101)을 중화하기 전에 및/또는 중화하는 동안, 상기 기판의 근처에 (예를 들면, 상기 기판의 위쪽에) 정적 피드백 센서(107)가 위치될 수 있다. 중화시키는 동안 상기 정적 피드백 센서(107)는 상기 기판(101)의 전압을 측정할 수 있다. 일단 기판의 중화가 원하는 수준으로 되었음을 표시하는 소정 전압에 도달하면(예를 들면 ∼5 V 미만) 상기 중화 공정은 중단될 수 있다. 그런 다음, 상기 피드백 센서(107)는 후퇴될 수 있으며, 상기 장착 핀들(105)은 하강될 수 있고, 및/또는 상기 기판(101)은 재위치되거나 상기 기판 장착 플랫폼(103)과 다시 접촉될 수 있다.
상기 기판(101)은 예를 들면 클램프류(111), 진공 척 고정구, 및 다른 유사한 구성부들 또는 방법들, 또는 이들의 조합과 같은 임의의 적합한 고정 메커니즘을 이용하여 상기 기판 장착 플랫폼(103)에 고정될 수 있다. 일단 상기 기판(101)이 상기 기판 장착 플랫폼(103)에 고정되고, 선택적으로 중화되면, 기판 접촉 구성부(113)를 이용하여 접촉 단계가 개시될 수 있다. 상기 기판 접촉 구성부(113)는 하나 이상의 원하는 ESC 생성 활동들을 모사하도록 설계되거나 또는 프로그래밍될 수 있다.
상호 교환 가능한 접촉 구성부의 비제한적인 실시예의 하나가 도 4a에 도시되며, 여기서 상기 접촉 구성부는 롤러 구성부(113a)이다. 이러한 접촉 구성부는 롤러 이송기 위로 기판이 통과하는 것(예를 들면, 도 1a에 도시된 운동)을 모사하도록 설계되거나 또는 프로그래밍될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 롤러 구성부(113a)는 다축(multi-axis) 액츄에이팅되는 구성부(115)에 제거 가능하게 고정될 수 있고, 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는 상기 롤러(113a)를 상기 기판(101) 상의 다양한 위치들에 위치시키기 위하여 사용될 수 있다. 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는, 도 4a에 묘사된 바와 같이, 네 개의 축들을 따라 또는 네 개의 방향들로, 예를 들면, x, y, z, 및 θ 방향으로 상기 롤러 구성부(113a)를 이동시키도록 액츄에이션될 수 있다. x 및 y 방향들은 상기 기판의 평면에 평행한 이차원 운동을 나타낼 수 있는 한편, z 방향은 상기 기판의 평면에 수직인 일차원 운동으로 나타낼 수 있다. 또한, θ는 상기 롤러 구성부(113a)의 회전 운동을 나타낼 수 있다.
도 4b에 도시된 바와 같은 다른 실시예에 있어서, 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부는 표면 구성부(113b)일 수 있으며, 상기 표면 구성부(113b)는 상기 기판과 다른 표면의 마찰성 또는 비마찰성 접촉(예를 들면 도 1c에 도시된 마찰성 운동)을 모사하도록 설계되거나 프로그래밍될 수 있다. 여기서 사용될 때, "비마찰성"(non-frictive) 접촉은 상기 기판과 다른 표면 사이의 접촉으로서 상기 기판과 상기 다른 표면 중 어느 것도 서로에 대하여 움직이지 않는 접촉을 나타내는 것이 의도된다. 예를 들면, 정지하고 있는 작업 표면 상에서 멈추고 있는 기판이 상기 작업 표면과 비마찰성 접촉을 하고 있는 것으로 설명될 수 있다. 선택적인 실시예에 있어서, 상기 기판 접촉 구성부는 진공 요소(미도시)도 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 기판(101)과 상기 표면 구성부(113b) 사이에 진공이 빼내어질 수 있고, 이는 기판을 진공 척 고정, 리프팅, 또는 다른 이송하는 단계(예를 들면, 도 1b에 도시된 운동)를 모사할 수 있다. 여기서 사용될 때, "진공 구성부"는 진공 요소가 탑재된 표면 접촉 구성부를 지칭하는 것이 의도된다. 상기 표면 구성부(113b) 및/또는 상기 진공 구성부는, 일부 실시예들에 있어서, 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)에 고정될 수 있으며, 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는 상기 기판(101) 상의 다양한 위치들에서 상기 표면 구성부(113b)를 위치시키기 위하여 사용될 수 있다.
도 2를 다시 참조하면 상기 정전하 측정 장비는 어셈블리 플랫폼(119) 및 로드 셀들(121)을 더 포함할 수 있다. 이들은 상기 기판 장착 플랫폼(103), 다축 액츄에이팅되는 구성부(115), 중화 장치(109), 및/또는 센서들(예를 들면, 정적 피드백 센서(107) 또는 전압 센서(117))을 서로에 대하여 다양한 위치로 포지셔닝하기 위하여 사용될 수 있다. 또한 상기 어셈블리 플랫폼(119)은 가열 요소 및/또는 진공 장치(미도시)가 탑재될 수 있다. 상기 가열 요소는, 예를 들면, 상기 기판의 온도를 시험을 위하여 원하는 온도(예를 들면 약 50℃ 내지 약 200℃)까지 상승시키기 위하여 사용될 수 있다. 상기 진공 장치는 상기 기판(101)과 상기 플랫폼(103) 사이에서 진공을 빼내어 상기 기판을 시험을 위한 위치에 고정시키기 위하여 사용될 수 있다. 또한 클램프(111)가 상기 기판(101)을 고정하기 위하여 사용될 수 있고, 또한 상이한 기판 크기들을 위하여 조정 가능할 수 있다.
상기 정전하 측정 장비는 하나 이상의 전압 프로브들 또는 센서들을 더 포함할 수 있다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 전압 센서들(117)은 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)에 부착되거나 또는 기판(101)의 상부 표면과 접촉하거나 인접하도록 위치될 수 있다. 선택적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판(101)의 바닥 표면의 정전하를 측정하도록 상기 기판(101)의 아래에 전압 센서(117b)가 위치될 수 있다. 상기 전압 센서(117b)는 상기 기판 장착 플랫폼(103) 내의 홀 또는 기타 개구부(123)를 통해 기판(101)의 바닥 표면에 인접하도록 또는 바닥 표면과 접촉하도록 위치될 수 있다. 전압 센서(117)는, 선택적인 중화 단계 동안 전압을 측정하는 피드백 센서(107)와 별도일 수 있음을 언급해 둔다.
일부 실시예들에 있어서, 상기 기판 접촉 구성부(113)는 다축 액츄에이팅된 구성부(115)에 제거 가능하게 고정될 수 있다. 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는 상기 기판 장착 플랫폼(103)에 인접하여 (예를 들면, 위쪽에) 위치될 수 있고, 또한 x, y, z, 및/또는 θ 방향으로의 운동을 제공하도록 액츄에이팅된다. 예를 들면, 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는 포지셔닝 센서와 적어도 하나의 모터를 포함하는 서보 모터(미도시)를 포함한다. 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)는 원하는 동작들 또는 시퀀스들을 수행하기 위한 프로그래밍을 더 포함할 수 있다. 주어진 기판(101) 및 기판 접촉 구성부(113)를 위하여 선택된 프로그래밍에 근거하여 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)의 움직임을 추진하기 위하여 상기 모터가 사용될 수 있다. 특정 실시예들에 있어서, 롤러 구성부(113a)가 채용될 때 별도의 로터리 모터가 사용될 수 있으며, 이러한 제 2 모터는 상기 롤러 구성부의 회전을 추진하기 위하여 사용될 수 있다.
다양한 실시예들에 따르면, 상이한 기판 접촉 구성부들(113)이 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)와 상호 교환 가능하게 사용될 수 있다. 예를 들면, 주어진 기판에 대하여 여러 상이한 측정들을 하기 위해 하나의 접촉 구성부가 다른 것으로 스위칭될 수 있도록, 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부들(113)은 설치 및 제거의 편의성을 감안하도록 구성될 수 있다. 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)의 서보 모터는, 어느 기판 접촉 구성부(113)가 설치되는지에 따라 상기 장비가 상이하게 동작하도록, 유저에 의하여 프로그래밍될 수 있다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 전압 센서들(117)이 상기 다축 액츄에이팅되는 구성부(115)에 예를 들면, 상기 기판 접촉 구성부(113)에 인접하거나 또는 근접하여 장착될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 전압 센서는 고전압 또는 저전압 정전 볼트미터 또는 고전압 전계측정기(field meter)로부터 선택될 수 있다. 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이해되는 바와 같이, 특정한 유형의 전압 센서는 특정 응용에 근거하여 선택될 수 있다. 상기 기판 접촉 구성부(113)와 유사하게, 상기 전압 센서(117)는 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)에 의하여 x, y, 및 z 방향으로 이동될 수 있다. 상기 전압 센서(117)의 이동은 특정한 기판 접촉 구성부(113) 및 측정 프로토콜에 근거하여 달라질 수 있다. 특정 실시예들에 있어서, 상기 전압 센서(117)는 공압 실린더(미도시)를 통해 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)에 장착될 수 있다. 상기 공압 실린더도 예를 들면, 서보모터에 의하여 제어될 수 있다. 상기 공압 실린더는 상기 전압 센서(117)가 z-축을 따라 이동하는 것을, 예를 들면 상기 기판 표면으로부터 멀어지거나 상기 기판을 향하는 방향으로 움직이는 것을 가능하게 할 수 있다. 또한 상기 전압 센서(117) 및/또는 ESC 측정 장비는 메모리 드라이브를 포함할 수 있으며, 상기 메모리 드라이브는 전압 측정 결과들을 저장하기 위하여 사용될 수 있다.
측정은 1회 이루어질 수도 있고, 2회 이상 이루어질 수도 있으며, 상기 기판을 상기 기판 접촉 구성부(113)과 접촉하기 이전에, 접촉하는 동안, 및/또는 접촉한 후에 이루어질 수 있다. 예를 들면, 접촉하기 이전에, 접촉하는 동안, 및/또는 접촉한 후에 단일 측정이 이루어질 수 있고, 상기 기판 접촉 구성부(113)가 이동하는 동안 간헐 측정들이 이루어질 수도 있고, 또는 상기 기판 접촉 구성부(113)가 이동하는 동안 연속 측정들이 이루어질 수도 있다. 따라서, 다양한 실시예들에 있어서, 기판을 가로지르는 상기 정전하는 단일 위치 측정, 다중 위치 측정, 일차원 맵핑, 또는 이차원 맵핑과 같이 표면 상의 위치에 대하여 측정되거나 맵핑될 수 있다.
도 2 내지 도 4에 개시된 실시예들은 오로지 예시적인 것이며, 어떤 방식으로도, 예를 들면 방향, 스케일, 구성부들의 상대적인 위치 등의 관점에서 청구항을 한정하는 것이 의도되지 않음은 이해되어야 한다. 오로지 예시적인 목적으로, 각 구성부의 다양한 태양들이 아래에서 더욱 상세하게 설명된다.
상기 기판 장착 플랫폼(103)은 임의의 특정한 크기에 한정되지 않지만, 예를 들면 약 10 cm 내지 약 100 cm의 범위의, 예를 들면 약 30 cm 내지 약 60 cm의 치수(예를 들면, 길이 및/또는 폭)를 적어도 하나 갖는다. 일부 실시예들에 있어서, 기판(101)을 상기 기판 장착 플랫폼(103)으로부터 예컨대 상기 중화 장치(109)와 근접한 위치로 들어올리기 위하여 리프트 핀들(105)이 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 리프트 핀들(105)은 기판(101)을 약 1 cm 내지 약 2.5 cm와 같이 약 0.5 cm 내지 약 5 cm 범위의 거리로 들어올릴 수 있다. 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 x, y, 및 z 방향으로 임의의 주어진 거리만큼 이행하고, 롤러를 θ 방향으로 임의의 주어진 속력으로 회전시키도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 x 및/또는 y 방향으로 약 10 cm 내지 약 100 cm 범위의, 예를 들면 약 25 cm 내지 약 50 cm의 거리만큼, 그리고 상기 z 방향으로 약 1 cm 내지 약 10 cm 범위의, 예를 들면 약 2.5 cm 내지 약 5 cm의 거리만큼 이동할 수 있다.
특정 실시예들에 있어서, 상기 롤러(113a)는 약 2.5 cm 내지 약 5 cm와 같이 약 1 cm 내지 약 10 cm 범위의 지름을 가질 수 있다. 상기 롤러(113a)는 x, y, 및/또는 z 방향으로 이동하는 동안 동시에 θ 방향으로 회전할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 상기 서보모터는 상기 롤러 구성부(113a)의 위상(phase)을 변화시키고 그에 따라 상기 롤러 구성부(113a)와 상기 기판(101) 사이의 마찰성 접촉을 제어하도록 프로그래밍될 수 있다. 여기서 사용될 때, "위상"은 상기 기판에 대한 (예를 들면, x 축을 따른) 상기 롤러의 선형 속력에 대한 상기 롤러의 회전 속력의 +/- %값을 가리키는 것이 의도되고, 이는 예를 들면 상기 롤러의 외주와 관련될 수 있다. 상기 회전 속력 및/또는 이행 속력을 독립적으로 제어함으로써, 상이한 회전/마찰 비들에 대하여 다양한 측정 프로토콜들이 개발될 수 있고, 따라서 광범위한 모사들을 제공할 수 있다. 상기 롤러는 임의의 물질, 예를 들면 유리, 플라스틱, 금속, 세라믹 등과 같이 최종-사용 작동을 하는 동안 기판이 접촉될 수 있는 물질로 이루어질 수 있다.
추가적인 실시예들에 따르면, 상기 표면 구성부(113b)는 진공, 비마찰성 표면 접촉, 및/또는 마찰성 접촉에 의하여 유발된 정전하를 모사하고 측정하기 위하여 적합한 임의의 주어진 형태 또는 크기를 가질 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 표면 구성부(113b)는 예를 들면, 정사각형, 직사각형, 원, 타원형, 또는 다른 임의의 규칙적인 또는 불규칙적인 형태의 단면을 갖고 임의의 주어진 물질로 된 블록 또는 퍽(puck)을 포함할 수 있다. 추가적인 실시예들에 있어서, 상기 표면 구성부(113b)는 진공 포트와 같은 진공 구성부가 더 탑재될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 표면 구성부(113b)는 약 2.5 cm 내지 약 5 cm와 같은 약 1 cm 내지 약 10 cm 범위의 길이를 포함하는 정사각형 단면을 포함하거나, 또는 약 1 cm 내지 약 2.5 cm와 같은 약 0.5 cm 내지 약 5 cm 범위의 지름을 포함하는 원형 단면을 포함할 수 있다. 상기 표면 구성부는 임의의 물질, 예를 들면 유리, 플라스틱, 금속, 세라믹 등과 같이 최종-사용 작동을 하는 동안 기판이 접촉될 수 있는 물질로 이루어질 수 있다.
방법들
기판 상의 정전하를 측정하기 위한 방법들이 여기에 개시된다. 상기 방법들은 여기에 개시된 장비들에 상기 기판을 포지셔닝하는 단계 및 상기 기판 접촉 구성부와, 예를 들면 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉되는 동안 또는 접촉된 후에 상기 기판의 표면 상의 적어도 한 지점의 전압을 측정하는 단계를 포함한다. 오로지 예시적인 목적을 위하여, 이제 다양한 측정 기술들이 아래에서 상세하게 설명될 것이다. 이들 측정 기술들은 오로지 예시적인 것이며, 어떤 방식으로도, 예를 들면 순서, 포지셔닝, 선택적인 단계들 등의 관점에서 청구항을 한정하는 것이 의도되지 않음은 이해되어야 한다. 또한 상기 개시된 방법들은 표면 상의 ESC 축적을 측정하기 위하여 뿐만 아니라 시간에 따른 표면 상에서의 ESC의 소산(dissipation)을 측정하기 위하여도 사용될 수 있음이 이해되어야 한다.
상기 기판과 롤러 또는 복수의 롤러들과 같은 회전체 사이의 접촉에 의해 생성된 정전하를 측정하기 위한 방법들이 도 4a에 도시된 장비를 참조하여 설명될 것이다. 기판(101)은 기판 장착 플랫폼(103)에 고정될 수 있으며, 선택적으로 위에서 설명된 바와 같이 중화될 수 있다. 상기 기판을 고정하고 선택적으로 중화시킨 후, 롤러(113a)가 탑재된 다축 액츄에이팅된 구성부(115)를 z-축을 따라 상기 기판 표면을 향하여 이동시킴으로써 시험이 개시될 수 있다. 상기 다축 액츄에이팅된 구성부는 특정된 "탐색" 위치에서, 예를 들면 상기 기판 표면 위 수 밀리미터 지점에서 정지될 수 있다. 상기 탐색 시퀀스는 z-위치 각인된(stamped) 총괄 로드 셀 신호(예를 들면 4개의 로드 셀들 전부의 총합)를 지속적으로 모니터링하면서 상기 다축 액츄에이팅된 구성부를 z-방향으로 상기 기판 표면을 향하여 천천히 하강 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 일단 상기 로드 셀 신호가 사용자가 정의한 목표 총괄 로드 셀 셋 포인트에 도달하거나 이를 초과하면 상기 탐색 시퀀스는 정지될 수 있다. 그 후 상기 다축 액츄에이팅된 구성부는 상기 목표 총괄 로드 셀 셋 포인트와 가장 가까이 관련된 지점으로 재위치될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 탐색 시퀀스는 상기 x- 또는 y-축을 따라서는 어떠한 움직임도 포함하지 않는다.
상기 탐색 시퀀스가 완료된 후, 상기 z-축 운동은 서보 제어를 로딩하도록 전환될 수 있다. 일단 서보 제어를 로딩하면, 상기 롤러는 사용자가 정의한 안정화 시간 동안 상기 기판과 접촉된 상태로 유지될 수 있다. 상기 x-축을 따른 운동은 동시에 상기 θ 방향으로의 회전 운동과 맞물릴 수 있다. 상기 롤러의 선형 및 회전 가속도들은 이들의 목표 속력들에 동시에 도달하도록 조정될 수 있다. 이러한 운동의 위상은 x-축을 따른 이행 속력(VX)에 대한 상기 롤러의 회전 속력(VR)의 +/- %값에 대응될 수 있다. 예를 들면, 위상 = (VR/VX)*100. 상기 위상은 상기 롤러의 회전 속력(VR) 또는 이행 속력(VX)을 독립적으로 변화시킴으로써 변화될 수 있다. 회전구 시험법과는 대조적으로, 여기에 개시된 방법들은 롤러 이송을 모사하기 위하여 상기 x 또는 θ 방향들로의 움직임을 독립적으로 동시에 제어할 수 있다. 즉, 여기에 개시된 방법들은 위상 조절을 통해 제어될 수 있는 다양한 종류의 회전/마찰 비들을 조사하는 것을 가능하게 한다.
전압 센서(117)는 상기 롤러(113a)에 근접하여 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)에 고정될 수 있다. 상기 기판(101)이 상기 롤러와 접촉하는 동안 상기 전압 센서(117)는 상기 롤러(113a)가 이동하는 경로를 따라 하나 이상의 지점들에서 전압을 측정할 수 있다. 사용자가 정의한 스트로크 길이를 이용하여 특정된 시간 동안 1회 또는 원하는 간격으로 다수회 측정이 수행될 수 있다. 사용자가 정의한 시간이 완료된 후, 상기 롤러(113a)의 동시적인 회전 및 이행은 중지될 수 있다. 그 후 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 롤러(113a)가 기판(101)과 더 이상 접촉하지 않을 때까지 상기 롤러(113a)를 상승시킬 수 있다.
상기 기판과, 진공 척과 같은 진공 하의 접촉 표면 사이의 접촉에 의하여 생성된 정전하를 측정하기 위한 방법들이 도 4b에 도시된 장비를 참조하여 설명될 것이다. 위에서 설명된 방법과 유사하게, 상기 기판(101)은 기판 장착 플랫폼(103)에 고정될 수 있으며, 선택적으로 중화될 수 있다. 상기 기판을 고정하고 선택적으로 중화시킨 후, 탐색 및 안정화 시퀀스들이 수행될 수 있다. 그 후 (미도시된 진공 요소를 포함하는) 표면 구성부(113b)가 상기 기판(101)과 접촉될 수 있다. 활성화되면, 상기 진공 요소는 특정된 진공 흡인(吸引) 시간 동안 상기 기판(101)에 소정의 흡인력을 가할 수 있고 그 후 이러한 흡인은 해제될 수 있다. 상기 진공 흡인 공정은 1회 이상 수행될 수 있다. 만일 2회 이상의 흡인이 특정된다면, 흡인들 사이에 특정된 길이의 시간이, 진공이 재인가되기 전에, 경과하는 것이 허용될 수 있다. 원하는 횟수의 흡인이 이루어질 때까지 상기 사이클은 반복될 수 있다. 활성화되어 있는 동안 상기 진공 요소는 x, y, 또는 z 축들을 따라서는 움직이지 않는 것이 바람직하다.
최종 진공 흡인을 완료하면, 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 소정 시간이 경과한 후 상기 기판 표면 위 특정 거리로 z-축을 따라 후퇴될 수 있다. 예를 들면, 상기 특정 거리는 상기 전압 센서(117)에 장착된 공압 실린더의 작용 거리에 의존할 수 있다. 상기 전압 센서(117)는 측정을 위하여 상기 기판 표면으로부터 약 1 mm 내지 약 5 mm의 거리에 위치될 수 있다. 또한 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 진공 흡인에 의하여 하전된 하나 이상의 영역들 위에 상기 전압 센서(117)을 위치시키기 위하여 상기 z- 및 y-축들을 따라 움직일 수 있다. 측정은 특정 길이의 시간 동안 원하는 간격으로 다수회 또는 1회 수행될 수 있다. 예를 들면, 단일 지점 측정은 하나의 지점에서 수행될 수 있고, 일련의 이산된 단일 지점 측정들은 특정된 x-y 위치들에서 수행될 수 있고, 또는 연속 동작 스캔은 사용자가 정의한 x-y 시작/정지/스텝 위치들에 따라 측정들의 x-y-z 위치 스탬핑과 함께 수행될 수 있다. 예를 들면, 스탬핑은 소정 표면 또는 그의 일부 위에서, 정의된 래스터(raster)를 따라 측정들을 수행하는 것을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 기판(101)의 전체 표면은 전압 센서(117)에 의하여 정보를 얻어 맵핑될 수 있다. 측정은, 만일 사용자가 그렇게 특정하였다면, 하나 이상의 진공 사이클들 사이에서 수행될 수 있고, 또는 마지막 진공 사이클 이후에 수행될 수 있다.
작업 표면 위에서 정지하고 있는 것과 같이, 상기 기판과 진공 하에 있지 않으면서 움직이지 않는 접촉 표면 사이의 접촉에 의하여 생성된 정전하를 측정하기 위한 방법들이 도 4b에 도시된 장비를 참조하여 설명될 것이다. 위에서 설명된 방법들과 유사하게, 상기 기판(101)은 기판 장착 플랫폼(103)에 고정될 수 있으며, 선택적으로 중화될 수 있다. 상기 기판을 고정하고 선택적으로 중화시킨 후, 역시 탐색 및 안정화 시퀀스들이 수행될 수 있다. 그 후 (진공 요소를 포함하지 않는) 표면 구성부(113b)가 상기 기판(101)과 접촉될 수 있다. 상기 표면 구성부(113b)가 상기 기판 표면과 비마찰성 접촉을 하며 사용자가 특정한 유지 시간이 경과한 후, 상기 전압 센서(117)를 상기 기판 표면 위 특정된 위치에 위치시키기 위하여 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 z-축을 따라 후퇴될 수 있다. 또한, 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 표면 접촉에 의하여 하전된 하나 이상의 영역들 위에 상기 전압 센서(117)를 배치하기 위하여 상기 x- 및 y-축들을 따라 이동할 수 있다. 측정들은 단일 지점 측정, 이산 지점 측정, 또는 상기 표면의 적어도 일부의 연속 스캔과 같이 1회 수행될 수도 있고, 특정 길이의 시간 동안 원하는 간격으로 다수회 수행될 수도 있다. 측정 및 접촉 사이클은 원하는 바에 따라 반복될 수 있다.
회전하지 않는 표면을 따라 이송되는 것과 같이 진공 하에 있지 않는 마찰성 접촉 표면과 상기 기판 사이의 접촉에 의하여 생성된 정전하를 측정하기 위한 방법들이 도 4b에 도시된 장비를 참조하여 설명될 것이다. 위에서 설명된 방법들과 유사하게, 상기 기판(101)은 기판 장착 플랫폼(103)에 고정될 수 있으며, 선택적으로 중화될 수 있다. 상기 기판을 고정하고 선택적으로 중화시킨 후, 역시 탐색 및 안정화 시퀀스들이 수행될 수 있다. 그 후 (진공 요소를 포함하지 않는) 표면 구성부(113b)는 상기 기판(101)과 접촉되고, 정의된 시퀀스 또는 패턴에 의거하여 사용자가 정의한 속도, 가속도, 및/또는 반복 속도로 x- 및/또는 y-축들을 따라 움직일 수 있다.
표면 구성부(113b)가 상기 기판 표면과 마찰성 접촉을 하는 접촉 사이클의 마지막 접촉 사이클 이후(또는 원한다면 그러한 접촉 사이클들 사이에서), 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 기판 표면 위 소정 거리에 상기 전압 센서(117)를 위치시키기 위하여 상기 z-축을 따라 후퇴될 수 있다. 또한 상기 다축 액츄에이팅된 구성부(115)는 상기 표면 접촉에 의하여 하전된 하나 이상의 영역들 위에 상기 전압 센서(117)를 위치시키기 위하여 상기 x- 및 y-축들을 다라 이동될 수 있다. 전압 측정들은 단일 지점 측정, 이산 지점 측정, 또는 상기 표면의 적어도 일부의 연속 스캔과 같이 1회 수행될 수도 있고, 특정 길이의 시간 동안 원하는 간격으로 다수회 수행될 수도 있다. 측정 및 접촉 사이클들은 원하는 바에 따라 반복될 수 있다.
다양한 실시예들에 있어서, 중화 절차들은 측정 이전에 및/또는 측정 이후에 수행될 수 있다. 예를 들면, 전-중화처리(pre-neutralization)는 후속 측정의 정확도를 향상시킬 수 있고, 후-중화처리(post-neutralization)는 상기 전압 센서를 예상치 못한 전압 급등(surge)으로부터 보호할 수 있다. 나아가, 비록 상이한 기판 접촉 구성부(113)들과 그들 각각의 방법들이 위에서 별도로 설명되었지만, 이들은 단일 기판(101) 위에서 조합되어 사용될 수 있음에 유의하여야 한다. 예컨대, 기판의 ESC를 생성 및 측정하기 위하여 상기 롤러(113a)를 사용한 후, 상기 기판은 중화되고 그 후 마찰성 또는 비마찰성 접촉을 모사하도록 설계된 진공 구성부 또는 표면 구성부(113b)와 같은 다른 상호 교환 가능한 구성부에 의하여 접촉될 수 있다. 단일 기판에 대하여 여러 상호 교환 가능한 접촉 구성부들을 사용하는 것은 증가된 ESC 데이터를 제공할 수 있으며, 이는 하류에서의 상기 기판의 처리 및 취급을 위하여 유용할 수 있다.
개시된 다양한 실시예들은 특정 실시예와 관련되어 설명된 특정한 특징들, 요소들 또는 단계들을 수반할 수 있음은 이해될 것이다. 또한 특정한 특징, 요소, 또는 단계는 비록 하나의 특정한 실시예와의 관계에서 설명되었지만 예시되지 않은 다양한 조합들 또는 순열들의 대안적인 실시예들과 상호 교환되거나 조합될 수 있음이 이해될 것이다.
여기서 사용될 때 "상기", "하나"의 용어들은 "적어도 하나"를 의미하며 명시적으로 반대로 적시하지 않는 한 "오직 하나"로 한정되어서는 아니됨이 이해될 것이다. 따라서, 예컨대 "적어도 하나의 센서"라는 언급은 문맥이 달리 명시적으로 언급하지 않는다면 둘 이상의 그러한 센서들을 갖는 예들을 포함한다.
여기서 범위들은 "약" 하나의 특정 값으로부터 및/또는 "약" 다른 특정 값까지로 표현될 수 있다. 이러한 범위가 표현된 경우, 예들은 상기 하나의 특정 값으로부터 및/또는 상기 다른 특정 값까지를 포함한다. 유사하게, 선행어 "약"의 사용으로써, 값들이 근사적으로 표현되었을 때, 상기 특정한 값들은 또 다른 태양을 형성함이 이해될 것이다. 상기 범위들 각각의 끝점들은 다른 끝점과 관련하여서도, 상기 다른 끝점과 독립적으로도 의미가 있다는 것 또한 이해될 것이다.
달리 명시적으로 언급하지 않는다면, 여기에 제시된 어느 방법도 그의 단계들이 특정 순서로 수행되는 것을 요구하는 것으로 해석되는 것이 의도되지 않는다. 따라서, 방법 청구항이 그의 단계들이 따라야 할 순서를 실제로 한정하지 않는 경우, 또는 단계들이 특정한 순서로 한정되는 것으로 청구항 또는 상세한 설명에서 구체적으로 언급되지 않은 경우, 어떤 특정한 순서도 가정되는 것이 의도되지 않는다.
특정한 실시예들의 다양한 특징들, 요소들, 및 단계들이 "포함하는"의 전환구를 이용하여 개시될 수 있지만, "구성하는" 또는 "필수적으로 포함하여 구성되는"의 전환구를 사용하여 설명될 수 있는 것들을 포함하는 대안적인 실시예들도 포함되는 것으로 이해되어야 한다. 따라서, 예컨대 A+B+C를 포함하는 장치에 함축된 대안적인 실시예들은 A+B+C를 필수적으로 포함하여 구성되는 장치의 실시예 및 A+B+C로 구성되는 장치의 실시예를 포함한다.
본 개시 내용의 범위와 정신에서 벗어남이 없이 본 개시 내용에 다양한 변용 및 변경이 가해질 수 있음은 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. 본 개시 내용의 정신 및 본질을 포함하는 개시된 실시예들의 변용들의 조합들, 서브-조합들 및 변형들은 통상의 기술자가 착상할 수 있으므로, 본 개시 내용은 첨부된 청구항들 및 그들의 균등 범위 내의 모든 것을 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (22)

  1. 정전하의 측정 방법으로서,
    (a) 적어도 하나의 전압 센서 및 접촉 구성부를 포함하고 상기 접촉 구성부는 적어도 하나의 롤러 구성부를 포함하는 장비에 있어서, 상기 장비의 기판 장착 플랫폼 위에 기판을 포지셔닝하는 단계;
    (b) 상기 적어도 하나의 롤러 구성부를 회전 속도로 회전시키는 단계;
    (c) 정전하를 생성하도록 상기 기판을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키는 단계;
    (d) 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 상기 기판을 서로에 대하여 상대적으로 제 1 방향으로 이행 속도로 이행(移行)(translating)시키는 단계; 및
    (e) 상기 기판을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키는 동안 또는 접촉시킨 후에 상기 기판의 표면 위의 적어도 한 지점의 전압을 측정하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 회전 속도가 상기 이행 속도와 독립적으로 제어되는 정전하의 측정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키기 전에 또는 접촉시킨 후에 상기 기판의 상기 표면의 적어도 일부를 중화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 접촉 구성부가 다축(multi-axis) 액츄에이팅되는 구성부에 장착된 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전압 센서는 다축 액츄에이팅되는 구성부에 장착된 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 다축 액츄에이팅되는 구성부는 단계 (b) 내지 단계 (d)를 수행하도록 프로그래밍된 서보모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 전압은 상기 기판의 상기 표면 상의 단일 지점에서 측정되거나, 소정의 일차원 경로를 따라 여러 지점들에서 측정되거나, 또는 소정의 이차원 경로를 따라 여러 지점들에서 측정되는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 전압을 측정하는 단계는 상기 기판의 적어도 일부에 대하여 전압의 이차원 맵을 작성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 전압은, 상기 적어도 하나의 롤러 구성부가 상기 기판과 접촉하는 동안, 상기 적어도 하나의 롤러 구성부의 소정의 경로를 따라 측정되는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면을 상기 적어도 하나의 롤러 구성부와 접촉시키는 단계 및 상기 기판의 반대쪽의 제 2 표면의 전압을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판이 유리 시트인 것을 특징으로 하는 정전하의 측정 방법.
  11. 정전하 측정용 장비로서,
    기판 장착 플랫폼;
    다축(multi-axis) 액츄에이팅 구성부에 제거 가능하게 장착된 상호 교환 가능한(interchangeable) 접촉 구성부; 및
    적어도 하나의 전압 센서;
    를 포함하고,
    상기 장비는 정전하가 생성되도록 상기 기판을 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉시키도록 프로그래밍되고,
    상기 적어도 하나의 전압 센서는 여러 지점들에서 상기 기판의 전압을 측정하여 상기 기판의 적어도 일부에 대하여 전압의 2차원 맵을 작성하도록 구성된 정전하 측정용 장비.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부는 롤러 구성부, 진공 구성부, 마찰성 표면 구성부, 또는 비마찰성 표면 구성부로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉시키기 전에 또는 접촉시킨 후에 상기 기판 상의 정전하를 감소시키기 위한 중화 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전압 센서는 상기 다축 액츄에이팅 구성부에 장착된 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부는 상기 기판의 제 1 표면과 접촉하고, 상기 적어도 하나의 전압 센서는 반대 쪽의 제 2 표면의 전압을 측정하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 다축 액츄에이팅되는 구성부는, (a) 상기 진공 구성부가 상기 기판과 접촉하도록, 그리고 (b) 정전하를 생성하기 위하여 진공을 일으키도록 프로그래밍된 서보모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 다축 액츄에이팅되는 구성부는, (a) 상기 롤러 구성부를 회전시키도록, (b) 회전하는 상기 롤러 구성부를 상기 기판과 접촉시키도록, 그리고 (c) 회전하는 상기 롤러 구성부와 기판이 정전하를 생성하기 위하여 서로에 대하여 상대적으로 이행하도록 프로그래밍된 서보모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 다축 액츄에이팅되는 구성부는 상기 마찰성 표면 구성부를 상기 기판과 접촉시키도록, 그리고 상기 마찰성 표면 구성부와 기판이 정전하를 생성하기 위하여 서로에 대하여 상대적으로 이행하도록 프로그래밍된 서보모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전압 센서는 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉한 후에 또는 접촉하는 동안 상기 기판의 표면 상의 적어도 한 지점의 전압을 측정하도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전하 측정용 장비.
  20. 제 11 항의 장비에 기판을 포지셔닝하는 단계; 및
    상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉한 후에 또는 접촉하는 동안 상기 기판의 표면 상의 적어도 한 지점의 전압을 측정하는 단계;
    를 포함하는 정전하 측정 방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 상호 교환 가능한 접촉 구성부와 접촉시킨 후에 또는 접촉시키기 전에 상기 기판의 표면의 적어도 일부를 중화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전하 측정 방법.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 기판이 유리 시트인 것을 특징으로 하는 정전하 측정 방법.
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