JP2021190628A - 検出器、インプリント装置および物品製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 116
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 105
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 72
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims abstract description 68
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 100
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 50
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 28
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 18
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7042—Alignment for lithographic apparatus using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping or imprinting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02011—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using temporal polarization variation
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Abstract
Description
検出光学系21の瞳面PDに配置された検出絞り26の開口APは、座標(0,0)を中心とする直径2×NAoの円である。照明光学系22および検出光学系21は、NAo、NApa、NAilが式(2)を満足するように構成されうる。すなわち、検出器3は、マーク10、11からの正反射光(ゼロ次回折光)を検出しない暗視野構成を有しうる。
モアレ縞の発生の原理とモアレ縞を用いたモールド7のパターン領域7aと基板8のショット領域との相対位置(位置合わせ誤差)の検出について説明する。図7(a)、(b)のように格子ピッチが互いに僅かに異なる格子パターン31と格子パターン32とを重ねると、格子パターン31、32からの回折光同士が干渉し、格子ピッチの差を反映した周期を有する図7(c)のような干渉縞(モアレ縞)が発生しうる。モアレ縞は、2つの格子パターン31、32の相対位置に応じて明暗の位置(縞の位相)が変化する。例えば、片方を少しだけX方向にずらすと、図7(c)のモアレ縞が図7(d)のように変化する。モアレ縞は、格子パターン31、32間の実際の相対位置ずれ量を拡大し、大きな周期の縞として発生するため、検出光学系21の解像力が低くても、高い精度で2つ物体間の相対位置を計測することができる。
したがって、格子パターン10aによるX方向とY方向の回折角をそれぞれφmm、φmnとし、格子パターン11aによる回折角をφwとすると、式(4)〜式(6)が成り立つ。
sinφmn=nλ/Pmn・・・(5)
sinφw=nλ/Pw・・・(6)
最も効率良く回折光D3を検出できるのは、回折光D3がY方向に垂直になる場合である。そこで、光源から射出される光の中心波長をλcとすると、式(8)を満たすように照明光学系22の照明条件とモールド側の格子パターン10aの格子ピッチPmnが調整されうる。
式(9)において|Pw−Pmm|/(PmmPw)=1/PΔとすると、sinφΔは式(10)で表わされる。
NAo+NApm/2<|sinφw|=λ/Pw・・・(12)
Claims (15)
- 平面における第1物体と第2物体との相対位置を検出する検出器であって、
前記第1物体に設けられた第1マークと前記第2物体に設けられた第2マークとを照明する照明光学系と、前記照明光学系によって照明された前記第1マークおよび前記第2マークのそれぞれからの回折光の干渉光を検出する検出光学系と、を備え、
前記照明光学系の瞳面には、前記平面の法線に対して傾斜した方向から前記第1マークおよび前記第2マークを照明するように光強度分布が形成され、
前記検出光学系の瞳面は、前記干渉光を通過させ、前記干渉光以外の光の少なくとも一部を遮断する、
ことを特徴とする検出器。 - 前記照明光学系の前記瞳面には、少なくとも1つの極を有するように前記光強度分布が形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出器。 - 前記照明光学系の前記瞳面には、光軸を挟むように配置された2つの極を有するように前記光強度分布が形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出器。 - 前記照明光学系の前記瞳面には、光軸を挟むように配置され第1の対を構成する2つの極と、前記光軸を挟むように配置され第2の対を構成する2つの極とを有するように前記光強度分布が形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出器。 - 前記第2の対を構成する前記2つの極は、第1方向に沿って配置され、前記第1の対を構成する前記2つの極は、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配置されている、
ことを特徴とする請求項4に記載の検出器。 - 前記第1の対を構成する前記2つの極からは、第1偏光が射出され、前記第2の対を構成する前記2つの極からは、前記第1偏光と偏光方向が異なる第2偏光が射出される、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の検出器。 - 前記検出光学系の前記瞳面は、前記第1偏光によって発生した干渉光を通過させる第1偏光素子が配置された領域と、前記第2偏光によって発生した干渉光を通過させる第2偏光素子が配置された領域とを含む、
ことを特徴とする請求項6に記載の検出器。 - 前記検出光学系の前記瞳面には、開口絞りが配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検出器。 - 互いに交差する第1方向および第2方向によって規定される第1平面における第1物体と第2物体との相対位置を検出する検出器であって、
前記第1物体に設けられた第1マークと前記第2物体に設けられた第2マークとで構成される第1マーク対、および、前記第1物体に設けられた第3マークと前記第2物体に設けられた第4マークとで構成される第2マーク対を照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記第1マーク対からの第1干渉光、および、前記照明光学系によって照明された前記第2マーク対からの第2干渉光を検出する検出光学系と、を備え、
前記照明光学系の瞳面には、前記第1平面の法線と前記第2方向とによって規定される第2平面に平行で前記法線に対して傾斜した方向から前記第1マーク対を照明し、前記法線と前記第1方向とによって規定される第3平面に平行で前記法線に対して傾斜した方向から前記第2マーク対を照明するように光強度分布が形成され、
前記検出光学系の瞳面は、前記第1干渉光および前記第2干渉光を通過させ、前記第1干渉光および前記第2干渉光以外の光の少なくとも一部を遮断する、
ことを特徴とする検出器。 - 前記照明光学系の前記瞳面には、光軸を挟むように配置され第1の対を構成する2つの極と、前記光軸を挟むように配置され第2の対を構成する2つの極とを有するように前記光強度分布が形成される、
ことを特徴とする請求項9に記載の検出器。 - 前記第2の対を構成する前記2つの極は、前記第1方向に沿って配置され、前記第1の対を構成する前記2つの極は、前記第2方向に沿って配置されている、
ことを特徴とする請求項10に記載の検出器。 - 前記第1の対を構成する前記2つの極からは、第1偏光が射出され、前記第2の対を構成する前記2つの極からは、前記第1偏光と偏光方向が異なる第2偏光が射出される、
ことを特徴とする請求項10又は11に記載の検出器。 - 前記検出光学系の前記瞳面は、前記第1偏光によって発生した干渉光を通過させる第1偏光素子が配置された領域と、前記第2偏光によって発生した干渉光を通過させる第2偏光素子が配置された領域とを含む、
ことを特徴とする請求項12に記載の検出器。 - 基板のショット領域の上のインプリント材とモールドのパターン領域とを接触させ前記インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント装置であって、
前記ショット領域と前記パターン領域との相対位置を検出するように配置された請求項1乃至13のいずれか1項に記載の検出器を備え、
前記検出器によって検出される前記相対位置に基づいて前記ショット領域と前記パターン領域とを位置合わせすることを特徴とするインプリント装置。 - 請求項14に記載のインプリント装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された基板の加工を行う工程と、
を含み、前記加工が行われた前記基板から物品を得ることを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020096338A JP2021190628A (ja) | 2020-06-02 | 2020-06-02 | 検出器、インプリント装置および物品製造方法 |
US17/321,731 US20210372776A1 (en) | 2020-06-02 | 2021-05-17 | Detector, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
KR1020210068998A KR20210149609A (ko) | 2020-06-02 | 2021-05-28 | 검출기, 임프린트 장치 및 물품 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020096338A JP2021190628A (ja) | 2020-06-02 | 2020-06-02 | 検出器、インプリント装置および物品製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021190628A true JP2021190628A (ja) | 2021-12-13 |
Family
ID=78705956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020096338A Pending JP2021190628A (ja) | 2020-06-02 | 2020-06-02 | 検出器、インプリント装置および物品製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210372776A1 (ja) |
JP (1) | JP2021190628A (ja) |
KR (1) | KR20210149609A (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015206642A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥観察方法及びその装置 |
JP6884515B2 (ja) * | 2016-05-10 | 2021-06-09 | キヤノン株式会社 | 位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
US11346657B2 (en) * | 2020-05-22 | 2022-05-31 | Kla Corporation | Measurement modes for overlay |
-
2020
- 2020-06-02 JP JP2020096338A patent/JP2021190628A/ja active Pending
-
2021
- 2021-05-17 US US17/321,731 patent/US20210372776A1/en active Pending
- 2021-05-28 KR KR1020210068998A patent/KR20210149609A/ko active Search and Examination
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210149609A (ko) | 2021-12-09 |
US20210372776A1 (en) | 2021-12-02 |
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