JP2021189063A - プローブ針及びプローブユニット - Google Patents

Abstract

【課題】主に電子部品及び基板等の導通検査に用いる検査用のプローブユニットへの組み付け時やプローブユニットの使用時において、絶縁被膜の密着性を高めてクラックや剥がれの発生を抑制したプローブ針及びプローブユニットを提供する。【解決手段】ピン形状の金属導体１の外周に絶縁被膜２を有する胴体部６と、金属導体１の両端に該絶縁被膜を有しない端部３とを有するプローブ針１０において、絶縁被膜２が、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と絶縁被膜２が設けられる金属導体１の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上であるようにして上記課題を解決した。【選択図】図１

Description

本発明は、主に電子部品及び基板等の導通検査に用いられ、特に絶縁被膜の密着性を高めてクラックや剥がれの発生を抑制したプローブ針及びプローブユニットに関する。

近年、携帯電話等に使用される高密度実装基板、又は、パソコン等に組み込まれるＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）やＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等のＩＣパッケージ基板等、様々な回路基板が多く用いられている。このような回路基板は、実装の前後の工程において、例えば直流抵抗値の測定や導通検査等が行われ、その電気特性の良否が検査されている。電気特性の良否の検査は、電気特性を測定する検査装置に接続された検査装置用治具（以下、「プローブユニット」という。）を用いて行われ、例えば、プローブユニットに装着されたピン形状のプローブ針の先端を、その回路基板の電極（以下「被測定体」ともいう。）に接触させることにより行われている。プローブ針は、金属導体と、金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜とで構成されている（例えば特許文献１を参照。）。

また、特許文献２には、プローブユニットを用いた電気的特性の検査が繰り返し行われて絶縁被膜端部が繰り返しガイド板に当たる場合であっても、絶縁被膜端部が金属導体から剥がれるのを防ぐことができる絶縁被膜付きプローブ針が提案されている。この技術は、金属導体の被測定体側の先端を被測定体の電極に接触させて被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針において、絶縁被膜のうち被測定体側の絶縁被膜を、先端側が薄く中央側が厚い２段構造とし、その２段構造の段差部を、電気的特性の測定時に用いられるガイド板に当接する位置に形成するというものである。

特開２００７−３２２３６９号公報 特開２００７−１７２１９号公報

近年の電子部品電極間の狭ピッチ化に伴い、プローブ針の細径化が進み、絶縁被膜の厚さも薄く設計される。そのため、強度が低下して絶縁被膜が剥がれやすくなるという問題がある。こうした問題は、プローブ針に屈曲応力が加わる場合に特に顕著になるおそれがある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、主に電子部品及び基板等の導通検査に用いる検査用のプローブユニットへの組み付け時やプローブユニットの使用時において、絶縁被膜の密着性を高めてクラックや剥がれの発生を抑制したプローブ針及びプローブユニットを提供することにある。

（１）本発明に係るプローブ針は、ピン形状の金属導体の外周に絶縁被膜を有する胴体部と、前記金属導体の両端に該絶縁被膜を有しない端部とを有するプローブ針において、前記絶縁被膜が、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と前記絶縁被膜が設けられる前記金属導体の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上である、ことを特徴とする。

この発明によれば、絶縁被膜が上記値以上の強度であるので、絶縁被膜にクラックが発生するのを抑えることができる。特にプローブ針に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜にクラックが発生するのを抑えることができる。また、絶縁被膜が上記値以上の強度であるので、電気的特性の測定時に絶縁被膜が支持板に当接した場合であっても、絶縁被膜が剥離するのを抑制することができる。

本発明に係るプローブ針において、前記ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）は、前記金属導体の導体径と前記プローブ針の外径との中間値の穴径のダイスに前記プローブ針の先端を通し、該プローブ針の後端から荷重を与えたとき剥離するまでの最大荷重として求められる値である。

この発明によれば、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）で特定することにより、本発明の効果を奏するプローブ針の生産管理を安定的にすることができる。

本発明に係るプローブ針において、前記絶縁被膜は顔料を含む識別性のある被膜であって、前記金属導体上に設けられる第１絶縁被膜と、該第１絶縁被膜上に設けられる第２絶縁被膜とで少なくとも構成され、前記第１絶縁被膜は顔料を含まず、前記第２絶縁被膜は顔料を含む。

本発明者の実験では、第１絶縁被膜が顔料を含む場合に密着強度が低下することがわかっている。この発明によれば、第１絶縁被膜が顔料を含まないので、密着強度の低下を防ぐことができる。そして、顔料は第２絶縁被膜が備えるので、顔料に基づいた識別性を確保することができる。その結果、こうした絶縁被膜を備えたプローブ針は、クラックや剥がれの発生が抑制された密着性の高い、識別性のあるプローブ針ということができる。

本発明に係るプローブ針において、前記金属導体の導体径が０．００８〜０．１８０ｍｍの範囲内であり、前記絶縁被膜を含む外径が０．０１０〜０．２００ｍｍの範囲内である。

この発明によれば、これら外径範囲のプローブ針において、クラックや剥がれの発生が抑制された密着性の高い、識別性のあるプローブ針を提供できる。

（２）本発明に係るプローブユニットは、被測定体側に配置された支持板と、検査装置側に配置された支持板と、それら少なくとも２つの支持板それぞれが備える案内穴に装着されるプローブ針とを有し、前記被測定体側の支持板に絶縁被膜の端部を当てるとともに前記被測定体の電極に金属導体の先端を接触させて行う検査に用いるプローブユニットであって、
前記プローブ針が、ピン形状の金属導体の外周に絶縁被膜を有する胴体部と、前記金属導体の両端に該絶縁被膜を有しない端部とを有し、前記絶縁被膜が、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と前記絶縁被膜が設けられる前記金属導体の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上である、ことを特徴とする。

この発明によれば、上記本発明に係るプローブ針を有するので、プローブ針に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜にクラックが発生するのを抑えることができる。また、電気的特性の測定時に絶縁被膜が支持板に当接した場合であっても、絶縁被膜が剥離するのを抑制することができる。

本発明によれば、主に電子部品及び基板等の導通検査に用いる検査用のプローブユニットへの組み付け時やプローブユニットの使用時において、絶縁被膜の密着性を高めてクラックや剥がれの発生を抑制したプローブ針及びプローブユニットを提供することができる。特に、プローブ針に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜にクラックが発生するのを抑えることができ、また、電気的特性の測定時に絶縁被膜が支持板の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜が剥離するのを抑制することができる。

本発明に係るプローブ針の一例を示す説明図である。 本発明に係るプローブ針の断面図であり、（Ａ）は１層からなる絶縁被膜であり、（Ｂ）は２層からなる絶縁被膜である。 本発明に係るプローブユニットの一例を示す説明図ある。 ピール試験方法の説明図である。

本発明に係るプローブ針及びプローブユニットについて図面を参照しつつ説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的思想の一例であり、本発明の技術的範囲は、以下の記載や図面だけに限定されるものではなく、同様の技術的思想の発明を含んでいる。

［プローブ針］
本発明に係るプローブ針１０は、図１〜図３に示すように、ピン形状の金属導体１の外周に絶縁被膜２を有する胴体部６と、その金属導体１の両端に絶縁被膜２を有しない端部３とを有する。このプローブ針１０において、絶縁被膜２は、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と、絶縁被膜２が設けられる金属導体１の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上であることに特徴がある。

こうしたプローブ針１０は、絶縁被膜２が上記値以上の強度であるので、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。特にプローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。また、絶縁被膜２が上記値以上の強度であるので、電気的特性の測定時に絶縁被膜２が第１支持板２０の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜２が剥離するのを抑制することができる。

また、プローブユニット６０は、上記したプローブ針１０と、そのプローブ針１０が備える絶縁被膜２が当接する第１支持板２０とを少なくとも有している。このプローブユニット６０は、プローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。また、電気的特性の測定時に絶縁被膜２が第１支持板２０の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜２が剥離するのを抑制することができる。

各構成要素について詳しく説明する。

プローブ針１０は、図１及び図２に示すように、プローブユニット６０を構成する被測定体側の第１支持板２０の案内穴周縁に絶縁被膜２の端部７を当てるとともに被測定体１１の電極１２に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査で使用されるものである。このプローブ針１０は、金属導体１と、金属導体１の少なくとも両端以外の領域（胴体部６）に設けられた絶縁被膜２とを有している。

（金属導体）
金属導体１は、所定の長さに加工されてなるピン形状の導体であり、高い導電性と高い弾性率を有する金属線（「金属ばね線」ともいう。）を切断加工されている。金属導体１に用いられる金属としては、広い弾性域を持つ金属を挙げることができ、例えば銀銅合金、錫銅合金、ベリリウム銅合金等の銅合金、パラジウム合金、タングステン、レニウムタングステン、鋼（例えば高速度鋼：ＳＫＨ）等を好ましく用いることができる。特に、後述の実施例に示すように、高強度特性を備えた、タングステン、レニウムタングステン等が好ましい。

金属導体１は、通常、上記の金属が所定の径の線状導体となるまで冷間又は熱間伸線等の塑性加工が施される。金属導体１の直径Ｄ２は、近年の狭ピッチ化の要請から、細径化が求められており、プローブユニット６０において隣り合う各プローブ針１０の間隔に応じて、１０〜１１０μｍの範囲内、好ましくは２０〜９０μｍの範囲内から任意に選択することができる。

金属導体１の先端側と後端側の先端１ａ及び後端１ｂの形状は、図示しないが、半球形状、円錐形状、先端に半球形状を有する円錐形状、先端に平坦形状を有する円錐形状、等から選ばれるいずれかとすることができる。ここでいう「半球形状」、「円錐形状」は、正確な半球や円錐を含むが、略円錐や略半球も含む。

金属導体１の端部３（絶縁被膜２が設けられていない部分）においては、金属導体１と、電極１２又は検査装置のリード線５０との接触抵抗値の上昇を抑制するために、めっき層が必要に応じて端部３に設けられていてもよい。めっき層を形成する金属としては、ニッケル、金、ロジウム等の金属や金合金等の合金を挙げることができる。めっき層は、単層であってもよいし複層であってもよい。複層のめっき層としては、ニッケルめっき層上に金めっき層が形成されたものを好ましく挙げることができる。めっき層は、通常、絶縁被膜２を形成した金属導体１を切断した後、絶縁被膜２の剥離加工と金属導体１の端部加工を行った後に形成される。こうしためっき層は、端部３だけに設けられていてもよいが、絶縁被膜２を設ける前に金属導体１の全体に設けられていてもよい。

なお、プローブ針１０をプローブユニット６０に装着し易くし、且つ、プローブユニット６０の使用時においてプローブ針１０の先端１ａが第１支持板２０の案内穴２１の周縁に引っかかることによりプローブ針１０の動きが妨げられるのを防止する観点からは、金属導体１の真直度が高いことが好ましく、具体的には真直度が曲率半径Ｒで１０００ｍｍ以上であることが好ましい。

（絶縁被膜）
絶縁被膜２は、図１及び図２に示すように、金属導体１の少なくとも両側の端部３，３以外の領域の外周に設けられている。絶縁被膜２を有する部分は胴体部６といい、絶縁被膜２が設けられていない部分は端部３といい、端部３の先端を先端１ａ及び後端１ｂという。

絶縁被膜２の構成材料は特に限定されないが、例えば、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド及びフッ素樹脂から選ばれる１種又は２種以上の樹脂材料で構成されていることが好ましい。そして、上記１種又は２種以上の樹脂材料により、単層又は２層以上で形成されている。これら絶縁被膜２の形成は、通常、長尺の金属導体１上に連続エナメル焼き付け方法によって行うことが好ましいが、電着塗装等の公知の他の方法で形成したものであってもよい。

本発明では、絶縁被膜２は、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と、絶縁被膜２が設けられる金属導体１の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上であることに特徴がある。Ｆ／Ｌの値を０．００１Ｎ／μｍ以上の強度とすることで、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。特にプローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。また、電気的特性の測定時に絶縁被膜２が第１支持板２０の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜２が剥離するのを抑制することができる。

Ｆ／Ｌの値が０．００１Ｎ／μｍ未満では、絶縁被膜２でのクラック発生の抑制が十分でないことがあり、例えばプローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合に、絶縁被膜２にクラックが発生するおそれがある。

密着強度Ｆ（Ｎ）は、図４に示すようなピール試験で測定される。図４に示すピール試験での密着強度は、金属導体１の直径Ｄ２とプローブ針１０の外径Ｄ１との中間値の穴径Ｄ３のダイスにプローブ針１０の先端１ａを通し、プローブ針１０の後端１ｂから荷重を与えたとき剥離するまでの最大荷重として求められる値である。こうしたピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）で特定することにより、本発明の効果を奏するプローブ針１０の生産管理を安定的にすることができる。

絶縁被膜２は、上述したように、図２（Ａ）に示す単層でも図２（Ｂ）に示す２層以上の積層でもよく、特に限定されないが、顔料や染料を含有させて他のプローブ針１０と識別可能にすることが便利である。そうした絶縁被膜２として、図２（Ｂ）に示すように、金属導体１上に設けられる第１絶縁被膜２ａと、第１絶縁被膜２ａ上に設けられる第２絶縁被膜２ｂとで少なくとも構成されていることが好ましい。２層以上であれば、例えば３層でも４層でもよいが、コストを考慮すれば２層が望ましい。顔料と染料はいずれでもよいが、絶縁被膜２の強度を低下させないという観点からは、顔料を用いることが好ましい。顔料としては、一般的にエナメル線の識別に採用されている各種顔料を採用することができる。そうした顔料を樹脂に含有させたエナメル塗料とし、エナメル焼き付けして、着色した絶縁被膜２を形成することができる。

顔料は、第１絶縁被膜２ａには含有させず、第２絶縁被膜２ｂには含有させることが好ましい。本発明者の実験では、第１絶縁被膜２ａが顔料を含む場合に密着強度が低下することがわかっている。第１絶縁被膜２ａが顔料を含まず、第２絶縁被膜２ｂが顔料を含むように構成することにより、密着強度の低下を防ぐことができる。そして、顔料は第２絶縁被膜２ｂが備えるので、顔料に基づいた識別性を確保することができる。こうした絶縁被膜２を備えたプローブ針１０は、クラックや剥がれの発生が抑制された密着性の高い、識別性のあるプローブ針ということができる。

絶縁被膜２が設けられた胴体部６の外径Ｄ１は、上記した金属導体１の場合と同様、被測定体１１の電極１２の狭ピッチ化の要請から、細径化が求められており、０．０１０〜０．２００ｍｍの範囲内、好ましくは０．０１３〜０．１６０ｍｍの範囲内から任意に選択することができる。こうした外径範囲のプローブ針１０は、クラックや剥がれの発生が抑制された密着性の高い、識別性のあるプローブ針となる。

（その他の層）
絶縁被膜２の上には、最外層として他の絶縁層を設けてもよい。そうした絶縁層としては、例えばフッ素系樹脂層、フッ素系樹脂含有層、滑性剤を含む樹脂、帯電防止剤を含むフッ素系樹、帯電防止剤と滑性剤を含む樹脂等を挙げることができる。その厚さは、樹脂材料の機能を発揮させるだけの厚さであることが必要であるが、例えば１〜４μｍであればよい。

（プローブユニット）
本発明に係るプローブユニット６０は、図３に例示するように、上記本発明に係るプローブ針１０と、そのプローブ針１０が備える絶縁被膜２が当接する第１支持板２０とを少なくとも有する。詳しくは、このプローブユニット６０は、被測定体側に配置された第１支持板２０と、検査装置側に配置された第２支持板３０と、それら少なくとも２つの支持板それぞれが備える案内穴２１，３１に装着されるプローブ針１０とを有し、被測定体側の第１支持板２０の案内穴周縁に絶縁被膜２の端部７を当てるとともに被測定体１１の電極１２に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査に用いるプローブユニットである。その特徴は、図１に示すように、プローブ針１０が、ピン形状の金属導体１の外周に絶縁被膜２を有する胴体部６と、金属導体１の両端に絶縁被膜２を有しない端部３とを有し、絶縁被膜２が、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と絶縁被膜２が設けられる金属導体１の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上であるように構成されていることにある。なお、プローブユニット６０には、複数本から数千本のプローブ針１０が装着されている。

こうしたプローブユニット６０は、上記したプローブ針１０を有するので、プローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができる。また、電気的特性の測定時に絶縁被膜２の端部７が第１支持板２０の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜２が剥離するのを抑制することができる。

検査装置側の第２支持板３０は、胴体部６（プローブ針１０）の外径Ｄ１よりも若干大きい内径の案内穴３１を有している。一方、被測定体側の第１支持板２０は、金属導体１の外径Ｄ２よりも若干大きい内径の案内穴２１を有している。若干大きいとは、僅かなクリアランス（例えば１〜３μｍ）だけ大きいことを意味している。案内穴２１は、胴体部６の外径Ｄ１よりも小さいので、その案内穴２１をプローブ針１０がすり抜けることはなく、絶縁被膜２の端部７が案内穴周縁のエッジに当接する。案内穴２１は、一本一本のプローブ針１０をガイドし、被測定体１１の電極１２に金属導体１の先端１ａを正確に接触させるようにガイドする。

プローブユニット６０は、図３の例では、被測定体１１の電気特性を検査する際、プローブ針１０と被測定体１１とが対応するように位置制御される。電気特性の検査は、プローブユニット６０を上下にストロークさせ、プローブ針１０の弾性力を利用して被測定体１１の電極１２にプローブ針１０の先端１ａを所定の圧力で押し当てることにより行われる。このとき、プローブ針１０の後端１ｂはリード線５０に接触し、被測定体１１からの電気信号がそのリード線５０を通って検査装置（図示しない。）に送られる。

実施例と比較例により具体的に説明する。

［実施例１］
金属導体１として、長尺のレニウムタングステン線（外径０．０２５ｍｍ、円周長７９μｍ）を用いた。絶縁被膜２は２層構造とし、第１絶縁被膜２ａはウレタン樹脂系エナメル塗料を第１絶縁被膜用塗料として用い、厚さ１μｍで第１絶縁被膜２ａを形成した。第２絶縁被膜２ｂは、第１絶縁被膜２ａと同じエナメル塗料を用い、そのエナメル塗料１００重量部に対して顔料（ＢＡＳＦジャパン株式会社製、商品名：Ｉｒｇａｚｉｎ（登録商標））を４重量部含有させた第２絶縁被膜用エナメル塗料とし、厚さ２．５μｍで第２絶縁被膜２ｂを形成した。

絶縁被膜２（総厚約３．５μｍ）が形成された長尺のプローブ針を定尺切断機で切断して長さ１０ｍｍの絶縁被膜付きプローブ針を切り出し、その絶縁被膜付きプローブ針の両端部の所定長さをレーザー剥離し、図１に示す態様からなる実施例１のプローブ針１０を作製した。

［実施例２〜７］
実施例１において、レニウムタングステンの外径を表１に記載のものに変更した。それ以外は、実施例１と同様にして、実施例２〜７に記載のプローブ針を作製した。

［比較例１］
実施例１において、絶縁被膜２を単層とし、その単層の絶縁被膜２として、ウレタン樹脂系エナメル塗料を用い、そのエナメル塗料１００重量部に対して顔料（ＢＡＳＦジャパン株式会社製、商品名：Ｉｒｇａｚｉｎ（登録商標））を４重量部含有させた絶縁被膜用エナメル塗料とし、厚さ１．５μｍで絶縁被膜２を形成した。それ以外は、実施例１と同様にして、比較例１のプローブ針１０を作製した。

［比較例２，３］
比較例１において、エナメル塗料に含有させる顔料を変更した。それ以外は、比較例１と同様にして、比較例２，３のプローブ針１０を作製した。比較例２では、顔料（ＢＡＳＦジャパン株式会社製、商品名：Ｉｒｇａｚｉｎ（登録商標））を２重量部含有させた絶縁被膜用エナメル塗料を用いた。比較例３では、顔料（ＢＡＳＦジャパン株式会社製、商品名：Ｉｒｇａｚｉｎ（登録商標））を４重量部含有させた絶縁被膜用エナメル塗料を用いた。

［各特性の測定、評価］
密着強度Ｆ（Ｎ）は、精密万能試験機（島津製作所社製、型番：ＡＧ−Ｉ）を用いたピール試験（密着性試験）で評価した。具体的には、図４に示すように、金属導体１の直径Ｄ２と全体の外径Ｄ１の中間値の穴径（Ｄ３）が３７μｍ（ユニットのストッパー部と同じ径）のダイス８に各プローブ針１０の先端１ａを通し、後端１ｂから荷重を与えたときの試験荷重を上記装置で検知し、得られた値を相互に比較して密着性を評価した。その値が大きいほど密着性に優れ、小さいほど密着性に劣ることになる。Ｆ／Ｌは、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と絶縁被膜２が設けられる金属導体１の円周長Ｌ（μｍ）との比である。本発明では、この値が０．００１Ｎ／μｍ以上であることが好ましい。

耐屈曲性については、摺動試験で評価した。具体的には、プローブ針１００本を測定治具に装着し、一定の速度（１０ｍｍ／分）で０．２ｍｍのストローク量で繰り返し（１０万回）加圧した。その回数が１０万回になった後、上記同様のピール試験を行った。さらに、外観を実体顕微鏡（倍率：４０〜８０倍）で観察し、１００本について絶縁被膜２にひび割れや剥がれが生じているか否かを確認した。１００本についてひび割れとは剥がれが無ければ「○」、１本でもひび割れ又は剥がれがあれば「×」とした。

［結果］
実施例１〜７及び比較例１〜３のプローブ針について表１にまとめた。この結果から、ピール強度（密着強度）と耐屈曲性を備えたプローブ針１０を作製することができた。さらに、識別性を持たせるために顔料を絶縁被膜２に含有させた場合であっても、ピール強度（密着強度）と耐屈曲性が顕著に低下しない好ましいプローブ針１０を作製することができた。こうしたプローブ針１０は、絶縁被膜２の密着性を高めてクラックや剥がれの発生を抑制でき、特に、プローブ針１０に屈曲応力が加わって屈曲が繰り返された場合でも、絶縁被膜２にクラックが発生するのを抑えることができ、また、電気的特性の測定時に絶縁被膜２が第１支持板２０の案内穴周縁に当接した場合であっても、絶縁被膜２が剥離するのを抑制することができる。

１ 金属導体
１ａ 先端
１ｂ 後端
２ 絶縁被膜
２ａ 第１絶縁被膜
２ｂ 第２絶縁被膜
３ 端部
６ 胴体部
７ 案内穴の周縁に当接する絶縁被膜の端部
８ 試験ダイス
９ ダイス穴
１０ プローブ針
１１ 被測定体
１２ 電極
２０ 第１支持板
２１ 案内穴
３０ 第２支持板
３１ 案内穴
４０ リード線用の保持板
５０ リード線
６０ プローブユニット
Ｄ１ プローブ針の外径
Ｄ２ 金属導体の導体径
Ｄ３ 試験ダイスの直径

Claims (5)

1. ピン形状の金属導体の外周に絶縁被膜を有する胴体部と、前記金属導体の両端に該絶縁被膜を有しない端部とを有するプローブ針において、
   前記絶縁被膜が、ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）と前記絶縁被膜が設けられる前記金属導体の円周長Ｌ（μｍ）との比（Ｆ／Ｌ）が０．００１Ｎ／μｍ以上である、ことを特徴とするプローブ針。
2. 前記ピール試験で測定した密着強度Ｆ（Ｎ）は、前記金属導体の導体径と前記プローブ針の外径との中間値の穴径のダイスに前記プローブ針の先端を通し、該プローブ針の後端から荷重を与えたとき剥離するまでの最大荷重として求められる値である、請求項１に記載のプローブ針。
3. 前記絶縁被膜は顔料を含む識別性のある被膜であって、前記金属導体上に設けられる第１絶縁被膜と、該第１絶縁被膜上に設けられる第２絶縁被膜とで少なくとも構成され、前記第１絶縁被膜は顔料を含まず、前記第２絶縁被膜は顔料を含む、請求項１又は２に記載のプローブ針。
4. 前記金属導体の導体径が０．００８〜０．１８０ｍｍの範囲内であり、前記絶縁被膜を含む外径が０．０１０〜０．２００ｍｍの範囲内である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプローブ針。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のプローブ針と、前記プローブ針が備える絶縁被膜が当接する支持板とを少なくとも有する、ことを特徴とするプローブユニット。
   
   
   
   

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