JP2021174862A - 冷却システム及び冷却方法 - Google Patents

冷却システム及び冷却方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021174862A
JP2021174862A JP2020077288A JP2020077288A JP2021174862A JP 2021174862 A JP2021174862 A JP 2021174862A JP 2020077288 A JP2020077288 A JP 2020077288A JP 2020077288 A JP2020077288 A JP 2020077288A JP 2021174862 A JP2021174862 A JP 2021174862A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fan
storage unit
heat
semiconductor device
cooling system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020077288A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7036454B2 (ja
Inventor
久博 沼守
Hisahiro Numamori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Platforms Ltd
Original Assignee
NEC Platforms Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Platforms Ltd filed Critical NEC Platforms Ltd
Priority to JP2020077288A priority Critical patent/JP7036454B2/ja
Publication of JP2021174862A publication Critical patent/JP2021174862A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7036454B2 publication Critical patent/JP7036454B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】複数の半導体デバイスを安定して冷却させ、冷却システムの一部に不具合が発生した場合であっても、半導体デバイスに生じる排熱障害を最小限に抑える。【解決手段】複数の半導体デバイスD毎に、デバイス収納部2及び該デバイス収納部2に隣接しかつ連通するように配置されるファン収納部3を有する筐体部1と、ゼーベック素子4及びペルチェ素子5を有しデバイス収納部2に設置された熱移動手段6とを備える。熱移動手段6は、デバイス収納部2に、ゼーベック素子4及びペルチェ素子5の一端4A,5Aを発熱部に接触させ、他端4B,5Bを電気的に接続することで、半導体デバイスDで発生した熱を一端4A,5Aから他端4B,5Bに移動させる。半導体デバイスD毎に設置される筐体部1内のファン収納部3は接続開口7を介して互いに連通する。【選択図】図1

Description

本発明は、ストレージ装置等の制御に使用される半導体デバイスの冷却システム及び冷却方法に関する。
この種の電子機器の冷却構造に関する技術として特許文献1〜3が知られている。
特許文献1に示される冷却方式では、発熱する電子部品の高温を利用し、ゼーベック効果に基づいて電流を作り出した後、この電流を利用し、ペルチェ効果に基づいて、熱電機能部品の一方の接合部に吸熱を起こさせ、対象の電子部品を冷却させる。
具体的には、この冷却方式では、発熱する電子部品の表面に、ゼーベック効果に基づく熱電機能部品を直列配置し、これにペルチェ効果に基づく熱電機能部品を挿入して閉回路を形成する。この状態で、熱電機能部品の反対側の面には放熱フィンが取り付けられる。
特許文献2に示される半導体装置では、ゼーベック素子が半導体素子部の中の発熱部に対して一端を近位させた状態で埋設されている。
このため、特許文献2の半導体装置では、半導体素子部の発熱部で僅かでも昇温があれば、ゼーベック素子の一端と他端とで温度差が生じ、これにより該ゼーベック素子に熱起電力が生じる。
これにより、特許文献2の半導体装置では、ゼーベック素子に生じた熱起電力により、ペルチェ素子に電流を印加して発熱部の熱を放熱させることができる。
また、ゼーベック素子の他端側は、熱源から遠位していることによって温度が一定となるようにしても良く、放熱フィンや冷媒などにより一定温度になるように冷却しても良いとの記載がある。
一方、特許文献3に示されるディスク記憶装置の冷却構造では、ディスクドライブの発熱部から奪った熱を、吸熱部を形成するヒートコネクタを介してヒートシンクに伝達して、当該ヒートシンクから風洞内の冷却風中に熱を放散させるとの構成が示される。
実開昭63−043449号公報 国際公開第2009/119175号 特開2005−018926号公報
ところで、特許文献1〜3に示す電子機器では、1つの半導体デバイスを中心として、当該半導体デバイスで生じた熱を外部に案内して排出する冷却システムが構築されている。このため、冷却システムに不具合が生じた場合には、当該半導体デバイスの稼働に支障が生じる。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、複数の半導体デバイスを安定して冷却させることができ、冷却システムの一部に不具合が発生した場合であっても、これら半導体デバイスに生じる排熱障害を最小限に抑えることができる冷却システム及び冷却方法を提供する。
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の第1態様に示される冷却システムでは、発熱部となる複数の半導体デバイス毎に、該半導体デバイスを収納するデバイス収納部と、該デバイス収納部に隣接しかつ連通するように配置されて半導体デバイスからの熱を外部に排出するファンを収納するファン収納部とを有する筐体部と、ゼーベック素子及びペルチェ素子を有しかつ前記筐体部のデバイス収納部にそれぞれ設置された熱移動手段と、を備え、前記熱移動手段は、前記デバイス収納部毎に、ゼーベック素子及びペルチェ素子の各一端を発熱部に接触させかつ各他端を電気的に接続することで、前記半導体デバイスで発生した熱を前記一端から前記他端の前記ファン収納部側に移動させ、前記半導体デバイス毎に設置された前記筐体部内のファン収納部は接続開口を介して互いに連通するように設けられることを特徴とする。
本発明の第2態様に示される冷却方法では、発熱部となる複数の半導体デバイス毎に、該半導体デバイスを収納するデバイス収納部と、該デバイス収納部に隣接しかつ連通するように配置されて半導体デバイスからの熱を外部に排出するファンを収納するファン収納部を設けた上で、前記デバイス収納部のそれぞれに、ゼーベック素子及びペルチェ素子からなる熱移動手段を設け、前記熱移動手段では、前記デバイス収納部毎に、ゼーベック素子及びペルチェ素子の各一端を発熱部に接触させかつ各他端を電気的に接続することで、前記半導体デバイスで発生した熱を前記一端から前記他端の前記ファン収納部側に移動させ、前記半導体デバイス毎に設置された前記筐体部内のファン収納部では、接続開口を介して互いに連通させることで、前記半導体デバイスで発生した熱を、隣接するファン収納部に移動させることを特徴とする。
本発明によれば、複数の半導体デバイスを安定して冷却させることができ、冷却システムの一部に不具合が発生した場合であっても、これら半導体デバイスに生じる排熱障害を最小限に抑えることができる。
本発明に係る冷却システムの最小構成を示す概略図である。 実施形態に係るストレージ装置の概略図である。 図2の内部構成図である。 熱移動手段の説明図である。 図3を詳細に示す内部構成図である。 図5の作用を示す説明図である。
本発明に係る冷却システム100の最小構成について図1を参照して説明する。
図1において符号1で示すものは筐体部であって、内部にデバイス収納部2とファン収納部3とを有する。
筐体部1内のデバイス収納部2は、発熱部となる半導体デバイスDを収納するものであって、半導体デバイスD毎に設けられている。
筐体部1内のファン収納部3は、デバイス収納部2に隣接しかつ連通するように配置されて半導体デバイスDからの熱を外部に排出するファン3Aを収納する。
なお、本例では、筐体部1内に2つの半導体デバイスDが配置され、半導体デバイスDの数に応じて、デバイス収納部2及びファン収納部3が2つずつ配置された例が示されているが、これらの数については限定されない。
筐体部1のデバイス収納部2には、ゼーベック素子4及びペルチェ素子5からなる熱移動手段6が配置される。
熱移動手段6は、デバイス収納部2毎に、ゼーベック素子4及びペルチェ素子5の各一端4A,5Aを発熱部となる半導体デバイスDに接触させ、かつ各他端4B,5Bを電気的に接続することで、半導体デバイスDで発生した熱を一端4A,5Aから他端4B,5Bに位置するファン収納部3に移動させる。
一方、半導体デバイスD毎に設置された筐体部1内のファン収納部3は接続開口7を介して互いに連通するように設けられている。
以上のように構成された本発明の冷却システム100によれば、発熱部となる複数の半導体デバイスD毎に、筐体部1のデバイス収納部2とファン収納部3とを設けるようにした。
そして、上記冷却システム100では、デバイス収納部2毎に、ゼーベック素子4及びペルチェ素子5からなる熱移動手段6を設けることで、半導体デバイスDで発生した熱をこれら素子の一端4A,5Aから、他端4B,5B近傍に位置するファン収納部3側に移動させることができる。
これにより、このとき半導体デバイスDで発生した熱は、熱移動手段6によりファン収納部3側に移動された後、ファン収納部3内のファン3Aの送風(符号F1,F2で示す)を介して外部に排出される。
また、上記冷却システム100では、半導体デバイスD毎に設置された筐体部1内のファン収納部3が接続開口7を介して互いに連通するように設けられている。
このため、例えば1つのデバイス収納部2内の排熱手段(例えば、図1右側の熱移動手段6又はファン3A)が故障した場合には、他のデバイス収納部2内の熱移動手段6、及びファン収納部3内のファン3Aを介して、熱移動手段6が故障したデバイス収納部2の排熱補助を行うことができる(矢印Aで示す経路で排熱)。
すなわち、上記冷却システム100では、複数の半導体デバイスDを安定して冷却させることができ、排熱手段の一部に不具合が発生した場合であっても、これら半導体デバイスDに生じる排熱障害を最小限に抑えることができる。
(実施形態)
本発明の実施形態に係る冷却システム101について図2〜図6を参照して説明する。
図2及び図3は冷却システム101が採用されたストレージ装置200の全体図であって、ドライブ格納部20、制御デバイス収納部21及びファン収納部22を有している。
ドライブ格納部20は複数台のハードディスク装置(図示略)を収納する。
制御デバイス収納部21はドライブ格納部20に隣接されるものであって、各ハードディスク装置を制御する複数の半導体デバイスD1を具備する。
これら半導体デバイスD1では、RAID(Redundant Arrays of Inexpensive Disks)によるデータ分散方式によって冗長化されたハードディスク装置を制御し、1個のハードディスク装置が壊れた際に、壊れたディスク内のデータをスペア・ディスク(退避用ディスク)に自動復旧させる機能を有する。
ファン収納部22は、ドライブ格納部20及び制御デバイス収納部21に隣接配置されるものであって、内部に空気を送風するファン22A(後述する)を有する。
また、ドライブ格納部20、制御デバイス収納部21及びファン収納部22からなる冷却システム101には、矢印A1〜A5で示すエアフローが供給される。
また、制御デバイス収納部21とファン収納部22とは、図3に示されるように、筐体部10内に接続開口23を介して上下に連通するように設置され、かつ半導体デバイスD1毎に設けられている。
また、ファン収納部22内のファン22Aは、制御デバイス収納部21とファン収納部22との接続開口23の近傍に配置されている(図5参照)。
筐体部10の制御デバイス収納部21には、図4に示されるようなゼーベック素子11及びペルチェ素子12からなる熱移動手段13が配置される。
一方、半導体デバイスD1毎に設置された筐体部10内のファン収納部22は、接続開口24(図5参照)(後述する)を介して互いに連通するように設けられている。
図5を参照して熱移動手段13の具体的構成について説明する。
なお、図5の筐体部10では、ドライブ格納部20から供給されたエアフロー(図3に矢印A2で示す)が吸入され、制御デバイス収納部21及びファン収納部22を経たエアフロー(図3に矢印A5で示す)が排出されるが、これらは図面と直交する向きであるので、図示略とされている。
熱移動手段13は、制御デバイス収納部21毎に、ゼーベック素子11及びペルチェ素子12の各一端11A,12Aを発熱部となる半導体デバイスD1に接触させ、かつ各他端11B,12Bを電気的に接続することで、半導体デバイスD1で発生した熱を一端11A,12Aから他端11B,12Bに位置するファン収納部22に移動させる(このときの排熱経路を図5中に矢印A4及びa1,a2で示す)。
より具体的には、ゼーベック素子11とペルチェ素子12はそれぞれ半導体デバイスD1の周辺と、ファン収納部22との両方に跨るように設置されている。
そして、複数の半導体デバイスD1からなるストレージ制御部30において、制御を実施する際に半導体デバイスD1の動作とともに発熱が生じる。
ゼーベック素子11では、発熱している半導体デバイスD1付近が熱され、ファン収納部22側が冷されて、一端11Aと他端11Bとで温度差が発生する。
これにより、熱移動手段13では、ゼーベック素子11に熱起電力が生じ、熱起電力によりペルチェ素子12に電流を印加することで発熱部の熱を放熱させることができる。
その後、熱移動手段13では、印加された電流をペルチェ素子12に流入させることで、該ペルチェ素子12の一端12Aにて吸熱が生じ、もう他端12Bにて放熱が生じる。
その結果、熱移動手段13では、ペルチェ素子12の吸熱側(一端12A)を半導体デバイスD1側に、放熱側(他端12B)をファン収納部22側にそれぞれ設置することで、冷却効率が高い箇所に熱源を移動することができる。
また、冷却システム101では、図5に示すように可用性を高めるために複数の半導体デバイスD1を内蔵したストレージ制御部30を冗長の構成とすることができる。
一方、上記冷却システム101では、一方の半導体デバイスD1(図中右側の半導体デバイスD1)側において、片方のファン22A/熱移動手段13が故障、抜去等で機能しなくなった場合はその側のストレージ制御部30の冷却が弱くなってしまい高温となる恐れがある。
そういった場合に、上記冷却システム101では、図6に示すように正常な半導体デバイスD1(図中左側の半導体デバイスD1)側の熱移動手段13及びファン22Aを通常に稼働して、隣接するファン収納部22を連通する接続開口24を通じて、故障した側のファン収納部22から空気を排出すれば、図中右側の半導体デバイスD1を冷却することが可能となる(排熱経路を矢印A4及びa1で示す)。
すなわち、上記冷却システム101では、複数の半導体デバイスD1を内蔵して冗長の構成としたストレージ制御部30を熱暴走させることなく、安定して運用することができる。
以上のように構成された本実施形態の冷却システム101によれば、発熱部となる複数の半導体デバイスD1毎に、筐体部10の制御デバイス収納部21とファン収納部22とを設けるようにした。
そして、上記冷却システム101では、制御デバイス収納部21毎に、ゼーベック素子11及びペルチェ素子12からなる熱移動手段13を設けることで、半導体デバイスD1で発生した熱をこれら素子の一端11A,12Aから、他端11B,12B近傍に位置するファン収納部22側に移動させることができる。
これにより、このとき半導体デバイスD1で発生した熱は、熱移動手段13によりファン収納部22側に移動された後、ファン収納部22内のファン22Aの送風(排熱経路を矢印A4及びa1,a2で示す)により外部に排出される。
また、上記冷却システム101では、半導体デバイスD1毎に設置された筐体部10内のファン収納部22が接続開口24を介して互いに連通するように設けられている。
このため、例えば1つの制御デバイス収納部21内の排熱手段(例えば、図1右側の熱移動手段13又はファン22A)が故障した場合には、他の制御デバイス収納部21内の熱移動手段13、及びファン収納部22内のファン22Aを介して、熱移動手段13が故障した制御デバイス収納部21内の排熱補助を一時的にでも行うことができる(排熱経路を矢印A4及びa1で示す)。
すなわち、上記冷却システム101では、複数の半導体デバイスD1を安定して冷却させることができ、冷却システムの一部に不具合が発生した場合であっても、これら半導体デバイスD1に生じる排熱障害を最小限に抑えることができる。
なお、上記実施形態に示す冷却システム101では、筐体部10内に2つの半導体デバイスD1が配置され、これにより制御デバイス収納部21及びファン収納部22が2つずつ配置された例が示されている。
しかし、これに限定されず、上記冷却システム101において、半導体デバイスD1を3以上の複数個配置し、当該導体デバイスD1の数に応じて、制御デバイス収納部21及びファン収納部22を設置しても良い。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
本発明は、ストレージ装置等の制御に使用される半導体デバイスの冷却システム及び冷却方法に関する。
1 筐体部
2 デバイス収納部
3 ファン収納部
3A ファン
4 ゼーベック素子
5 ペルチェ素子
6 熱移動手段
7 接続開口
10 筐体部
11 ゼーベック素子
12 ペルチェ素子
13 熱移動手段
20 ドライブ格納部
21 制御デバイス収納部
22 ファン収納部
22A ファン
23 接続開口
24 接続開口
30 ストレージ制御部
100 冷却システム
101 冷却システム
200 ストレージ装置
D 半導体デバイス
D1 半導体デバイス

Claims (6)

  1. 発熱部となる複数の半導体デバイス毎に、該半導体デバイスを収納するデバイス収納部と、該デバイス収納部に隣接しかつ連通するように配置されて半導体デバイスからの熱を外部に排出するファンを収納するファン収納部とを有する筐体部と、
    ゼーベック素子及びペルチェ素子を有しかつ前記筐体部のデバイス収納部にそれぞれ設置された熱移動手段と、を備え、
    前記熱移動手段は、前記デバイス収納部毎に、ゼーベック素子及びペルチェ素子の各一端を発熱部に接触させかつ各他端を電気的に接続することで、前記半導体デバイスで発生した熱を前記一端から前記他端の前記ファン収納部側に移動させ、
    前記半導体デバイス毎に設置された前記筐体部内のファン収納部は接続開口を介して互いに連通するように設けられることを特徴とする冷却システム。
  2. 前記複数のデバイス収納部内にそれぞれ配置された半導体デバイスは、データ分散方式によって冗長化されたストレージ制御部品であることを特徴とする請求項1に記載の冷却システム。
  3. 前記ゼーベック素子及びペルチェ素子の他端は、前記ファン収納部の内部にて放熱することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の冷却システム。
  4. 前記デバイス収納部とファン収納部とを有する筐体部には、前記デバイス収納部内のストレージ制御部品により駆動制御されるドライブ格納部が隣接されることを特徴とする請求項3に記載の冷却システム。
  5. 前記ドライブ格納部を経由して前記筐体部に冷却用の空気流が送られることを特徴とする請求項4に記載の冷却システム。
  6. 発熱部となる複数の半導体デバイス毎に、該半導体デバイスを収納するデバイス収納部と、該デバイス収納部に隣接しかつ連通するように配置されて半導体デバイスからの熱を外部に排出するファンを収納するファン収納部とを設けた上で、前記デバイス収納部のそれぞれに、ゼーベック素子及びペルチェ素子からなる熱移動手段を設け、
    前記熱移動手段では、前記デバイス収納部毎に、ゼーベック素子及びペルチェ素子の各一端を発熱部に接触させかつ各他端を電気的に接続することで、前記半導体デバイスで発生した熱を前記一端から前記他端の前記ファン収納部側に移動させ、
    前記半導体デバイス毎に設置された前記筐体部内のファン収納部では、接続開口を介して互いに連通させることで、前記半導体デバイスで発生した熱を、隣接するファン収納部に移動させることを特徴とする冷却方法。
JP2020077288A 2020-04-24 2020-04-24 冷却システム及び冷却方法 Active JP7036454B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020077288A JP7036454B2 (ja) 2020-04-24 2020-04-24 冷却システム及び冷却方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020077288A JP7036454B2 (ja) 2020-04-24 2020-04-24 冷却システム及び冷却方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021174862A true JP2021174862A (ja) 2021-11-01
JP7036454B2 JP7036454B2 (ja) 2022-03-15

Family

ID=78279974

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020077288A Active JP7036454B2 (ja) 2020-04-24 2020-04-24 冷却システム及び冷却方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7036454B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004056054A (ja) * 2002-07-24 2004-02-19 Toshiba Elevator Co Ltd 半導体スイッチ装置
WO2009119175A1 (ja) * 2008-03-26 2009-10-01 日本電気株式会社 半導体装置
JP2010231419A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Kobe Steel Ltd 高温対応rfidタグ
JP2015525911A (ja) * 2012-10-18 2015-09-07 株式会社日立製作所 ストレージ装置、及びストレージ装置の記憶制御部
JP2016212933A (ja) * 2015-04-30 2016-12-15 富士通株式会社 電子機器収納装置および中継装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004056054A (ja) * 2002-07-24 2004-02-19 Toshiba Elevator Co Ltd 半導体スイッチ装置
WO2009119175A1 (ja) * 2008-03-26 2009-10-01 日本電気株式会社 半導体装置
JP2010231419A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Kobe Steel Ltd 高温対応rfidタグ
JP2015525911A (ja) * 2012-10-18 2015-09-07 株式会社日立製作所 ストレージ装置、及びストレージ装置の記憶制御部
JP2016212933A (ja) * 2015-04-30 2016-12-15 富士通株式会社 電子機器収納装置および中継装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP7036454B2 (ja) 2022-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3160649U (ja) 電池放熱装置
US7573714B2 (en) Method and apparatus for dissipating heat in a computer system
US20080205003A1 (en) Redundant Cooling Systems And Methods
JP4495351B2 (ja) 集積回路用の冷却ユニット、集積回路パッケージ・アセンブリ及び集積回路を冷却する方法
US8462504B2 (en) Air-cooled heat exchanger and electronic device with same
CN107343129B (zh) 监视装置
KR20050081814A (ko) 전자 기기의 냉각 시스템 및 그것을 사용한 전자 기기
US20150059358A1 (en) Controlling method for thermoelectric cooling device and heat-dissipating module employing same
JP2001085587A (ja) 電子デバイス用冷却装置
JP7036454B2 (ja) 冷却システム及び冷却方法
WO2016067351A1 (ja) ストレージ装置の冷却方法
TWI778522B (zh) 防塵式散熱機構及具有防塵式散熱機構的電子裝置
KR20000034904A (ko) 전자기기 냉각방법 및 이를 이용한 전자기기
JP2002280779A (ja) 電子機器の冷却装置
JP2010227776A (ja) 静電霧化装置
KR20070051308A (ko) 반도체 냉각 시스템 및 그 제조공정
JP4319174B2 (ja) 電子機器の冷却構造及び複写機
US5892655A (en) Hard disk drive heat sink
JP3122898U (ja) 放熱システム
JP3185148U (ja) 放熱機構を備えたモータ駆動装置
JP4377710B2 (ja) 電子回路基板装置
JP2000252671A (ja) 冷却装置及び電子機器
JP3122897U (ja) 放熱システム
JP7516287B2 (ja) 部品載置ユニット
JP4422390B2 (ja) 電子素子の冷却装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210629

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210818

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220118

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220201

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220224

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7036454

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150