JP2021171883A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工装置内の状況を正確に把握できる加工装置を提供すること。【解決手段】加工装置１は、被加工物１００を保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する加工ユニット４０と、被加工物１００を搬送する搬送アーム５１，５２，５３と、加工装置１の状態を表示する表示機能を備えるモニター６１と、を少なくとも備える。モニター６１は、加工装置１の各構成ユニットのイラストと、加工装置１が処理中の被加工物１００のイラストと、を実際の加工装置１内の配置に基づき表示する配置図を、加工装置１を斜めから見て立体的に表示する。【選択図】図１

Description

本発明は、加工装置に関する。

例えば切削装置、研削装置等の被加工物を加工する加工装置は、被加工物を棚状に収納するカセットが載置されるカセットステージ、カセットから取り出した被加工物を仮置きする仮置きテーブル、加工対象の被加工物を保持する保持テーブル、仮置きテーブルから保持テーブルに被加工物を搬入する搬入ユニット、加工具が装着され保持テーブルが保持した被加工物を加工する加工ユニット、加工後の被加工物を洗浄する洗浄ユニット、保持テーブルから洗浄テーブルに被加工物を搬出する搬出ユニット、カセットから被加工物を取り出したりカセットに被加工物を収納したりする搬送ユニット、各種加工情報の入力及び表示に用いる入力手段及びモニター（例えばタッチパネル等）を備えている（例えば、特許文献１参照）。

タッチパネルは、加工条件を設定入力するための入力機能と、加工装置の動作状態を表示する表示機能とを有している。タッチパネルの表示機能は、加工装置を上から見たときの、カセットステージ、仮置きテーブル、保持テーブル、搬入ユニット、加工ユニット、洗浄テーブル、搬出ユニット、搬送ユニット等の各ユニットの配置を表す配置図を表示する機能である。そして、加工装置をフルオートにて稼働させる場合は、加工装置内を移動する被加工物についてもそれぞれ配置図に表示させている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１４−１６１９４８号公報 特開２０１９−１９８９４０号公報

近年高品質なデバイスが求められるに従い、加工装置内に搭載される手段（ユニット）が増えて来ている。そこで複数の手段（ユニット）を上下方向に間隔をあけて設置し、省スペースを実現する加工装置がある。また、通常の加工装置は、加工前または加工後に洗浄が完了したきれいな被加工物を運ぶ搬送アームと、加工後の被加工物を保持テーブルから洗浄テーブルに運ぶ搬送アームとの二つを備えているが、装置を省スペースにするため、搬送アームの移動経路を上下方向に二段に分けて配置している。さらに搬送アームと保持テーブルや搬送アームと洗浄テーブルなど、各ユニットと搬送アームの位置が上から見るとかぶってしまう場合もある。このような場合、特許文献２のような上面図（上方から見た図）では加工装置内の状況を正確に把握出来ないという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工装置内の状況を正確に把握できる加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、被加工物を搬送する搬送アームと、モニターと、を少なくとも備える加工装置であって、該モニターは、該加工装置の各構成ユニットのイラストと、該加工装置が処理中の被加工物のイラストと、を実際の該加工装置内の配置に基づき表示する配置図を、該加工装置を斜めから見て立体的に表示することを特徴とする。

加工装置の少なくとも二つの構成ユニットは、上下方向に間隔をあけて配置され、該構成ユニットの移動中または固定位置において、該加工装置の上面から見ると重なる位置関係であってもよい。

本発明は、加工装置内の状況を正確に把握できる。

図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１の加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。 図３は、図２の画像データ記憶部が記憶する画像の一例を示す図である。 図４は、図２の３次元データ記憶部が記憶する３次元データの一例を示す図である。 図５は、図２のレイアウト設定記憶部が記憶するレイアウト座標データの一例を示す図である。 図６は、図２のレイアウト設定記憶部が記憶するレイアウト積層順序データの一例を示す図である。 図７は、図２の移動履歴記憶部が記憶する移動履歴データの一例を示す図である。 図８は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。 図９は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。 図１０は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。 図１１は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。 図１２は、図１の加工装置のモニターに表示される配置図の一例を示す図である。 図１３は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。 図１４は、図２の表示処理部の処理の一例を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。実施形態に係る加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、ターンテーブル２０と、仮置きテーブル３０と、加工ユニット４０と、搬送アーム５１，５２，５３と、タッチパネル６０と、洗浄ユニット７０と、カセットステージ８０と、カセット８１，８２と、制御ユニット９０と、を備える。加工装置１は、本実施形態では、装置基台２と、装置カバー３とを備え、上記の加工装置１の構成要素を装置基台２上に備え、タッチパネル６０を除く上記の構成要素を装置カバー３で覆っている。本発明に係る構成ユニットは、上記した加工装置１の構成要素のうち後述する被加工物１００を保持するユニット全般であり、本実施形態では、具体的には、保持テーブル１０、仮置きテーブル３０、搬送アーム５１，５２，５３、洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１及びカセット８１，８２を示す。

本実施形態において、加工装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、平坦な表面の格子状に形成される複数の分割予定ラインによって区画された領域にチップサイズのデバイスが形成されている。被加工物１００は、本発明では、表面の裏側の裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状のフレームが装着されていても良い。また、本発明では、被加工物１００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

加工装置１は、本実施形態では、例えば、自動的に加工装置１の各構成ユニットに一連の動作を実施させて被加工物１００の搬送と加工を繰り返し、カセット８１，８２に収容された被加工物１００を順次加工するフルオート加工を実施する。なお、加工装置１は、本発明ではフルオート加工を実施する形態に限定されず、フルオート加工を実施せずにオペレータの操作に従って１つ１つ各処理を実施するマニュアル機であってもよい。

保持テーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を保持する。保持テーブル１０は、被加工物１００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持面１１は、水平面であるＸＹ平面に概ね平行に形成されている。保持テーブル１０は、不図示の回転駆動源により水平面に直交するＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物１００を吸引保持する。保持テーブル１０は、不図示のセンサが設けられている。保持テーブル１０に設けられたセンサは、保持面１１で保持している被加工物１００を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。

保持テーブル１０は、図１に示すように、ターンテーブル２０上に２つ設置されている。これら２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０上において、ターンテーブル２０とは独立して概ね水平面内で回転可能に設けられている。ターンテーブル２０は、図１に示すように、円盤状のテーブルであり、水平面内で回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動されることで、保持テーブル１０を移動させて保持テーブル１０上の被加工物１００を搬送する搬送手段の一例である。２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０上には、例えば１８０°の位相角で等間隔に配設されている。これらの２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０の回転によって、搬入搬出位置、加工位置に順次移動される。ターンテーブル２０は、不図示のセンサが設けられている。ターンテーブル２０に設けられたセンサは、ターンテーブル２０の回転角を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。

仮置きテーブル３０は、カセットステージ８０に載置されたカセット８１，８２から取り出した加工前の被加工物１００が保持テーブル１０に搬入される前に仮置きされ、被加工物１００の中心位置合わせを行うテーブルである。仮置きテーブル３０は、不図示のセンサが設けられている。仮置きテーブル３０に設けられたセンサは、仮置きテーブル３０が保持している被加工物１００を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。

加工ユニット４０は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット４０は、本実施形態では、研削ユニットであり、研削ホイール４１を有する。研削ホイール４１は、環状に配された研削砥石を有し、Ｚ軸方向と平行な軸心回りの回転動作が加えられながら、加工位置に位置付けられた保持テーブル１０に保持された被加工物１００にＺ軸方向に沿って押圧されて、被加工物１００を研削加工する。

加工装置１は、図１に示すように、研削量検出ユニット４５をさらに備える。研削量検出ユニット４５は、加工位置に位置付けられた保持テーブル１０の保持面１１の外周付近に設けられている。研削量検出ユニット４５は、本実施形態では、接触式の高さ検出装置であり、接触した位置の高さを検出する２本の接触式のプローブを備える。研削量検出ユニット４５は、一方のプローブが、保持テーブル１０の保持面１１の高さを検出し、他方のプローブが、保持テーブル１０の保持面１１に保持された被加工物１００の外縁よりわずかに内側の領域の上面の高さを検出し、一方のプローブが検出した高さと他方のプローブが検出した高さとの差異に基づいて被加工物１００の外縁よりわずかに内側の領域の厚みを検出し、その厚みの検出結果を制御ユニット９０に送信する。なお、研削量検出ユニット４５は、本発明ではこれに限定されず、保持面１１及び被加工物１００によって反射される波長のレーザー光の干渉波の受光に基づいて、被加工物１００の外縁よりわずかに内側の領域の厚みを検出する形態でもよい。

第１の搬送アーム５１は、吸着パッドを有し、仮置きテーブル３０で位置合わせされた加工前の被加工物１００を吸着保持して搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上に搬入する搬入ユニットの一例である。第２の搬送アーム５２は、吸着パッドを有し、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上に保持された加工後の被加工物１００を吸着保持して洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上に搬出する搬出ユニットの一例である。第３の搬送アーム５３は、例えばＵ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによって被加工物１００を吸着保持して被加工物１００を搬送する。第３の搬送アーム５３は、加工前の被加工物１００をカセット８１，８２から仮置きテーブル３０へ搬出するとともに、加工後の被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８１，８２へ搬入する搬送ユニットの一例である。第３の搬送アーム５３は、加工前にカセット８１に収容されていた加工後かつ洗浄後の被加工物１００を、カセット８１に搬入し、加工前にカセット８２に収容されていた加工後かつ洗浄後の被加工物１００を、カセット８２に搬入する。搬送アーム５１，５２，５３は、それぞれ不図示のセンサが設けられている。搬送アーム５１，５２，５３に設けられたセンサは、それぞれ、搬送アーム５１，５２，５３を構成する各アームの回転角や位置等といった搬送アーム５１，５２，５３の駆動に関する情報である駆動情報と、搬送アーム５１，５２，５３が吸着保持している被加工物１００とを検出し、これらの検出結果を制御ユニット９０に送信する。

タッチパネル６０は、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で装置カバー３に設置される。タッチパネル６０は、加工装置１に関する各種情報を表示するモニター６１と、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部６２と、を有する。モニター６１は、本実施形態では、加工装置１の各構成ユニットのイラストと、加工装置１が処理中の被加工物１００のイラストと、を実際の加工装置１内の配置に基づき表示する配置図２００（図１２参照）を、加工装置１を斜めから見て立体的（３次元的）に表示する。

ここで、加工装置１の各構成ユニットのイラストは、加工装置１の各構成要素の外形の少なくとも一部を斜め上方から見て立体的に表示する２次元の斜視画像のことであり、本実施形態では、具体的には、後述する装置基台斜視画像２０２、保持テーブル斜視画像２１０、ターンテーブル斜視画像２２０、仮置きテーブル斜視画像２３０、加工ユニット斜視画像２４０、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３、洗浄ユニット斜視画像２７０、カセットステージ斜視画像２８０及びカセット斜視画像２８１，２８２（図３、図８及び図９参照）である。

また、加工装置１が処理中の被加工物１００のイラストは、加工装置１が処理中の被加工物１００の外形を斜め上方から見て立体的に表示する２次元の斜視画像のことであり、本実施形態では、具体的には、後述する被加工物斜視画像４００（図１０参照）である。また、加工装置１が処理中の被加工物１００は、本実施形態では、例えば、カセット８１，８２が収容している被加工物１００、第３の搬送アーム５３が吸着保持及び搬送している被加工物１００、仮置きテーブル３０が保持及び中心位置合わせをしている被加工物１００、第１の搬送アーム５１が吸着保持及び搬送している被加工物１００、保持テーブル１０が吸引保持している被加工物１００、加工ユニット４０が加工している被加工物１００、第２の搬送アーム５２が吸着保持及び搬送している被加工物１００、並びに、洗浄テーブル７１が保持及び洗浄している被加工物１００である。

また、モニター６１が立体的（３次元的）に表示するとは、加工装置１を斜め上方からみた配置図２００をモニター６１に表示することをいい、少なくとも、加工装置１の配置図２００を斜め上方からみた２次元の画像データを表示することである。

洗浄ユニット７０は、研削後の被加工物１００を保持する洗浄テーブル７１を有する。洗浄ユニット７０は、洗浄テーブル７１上の研削後の被加工物１００を洗浄し、研削された加工面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。洗浄テーブル７１は、不図示のセンサが設けられている。洗浄テーブル７１に設けられたセンサは、洗浄テーブル７１が保持している被加工物１００を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。

カセットステージ８０は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット８１，８２を載置する載置台である。加工装置１は、本実施形態では、２箇所のカセットステージ８０を備え、一方にカセット８１が載置され、他方にカセット８２が載置されるが、本発明ではこれに限定されず、少なくとも１箇所以上のカセットステージ８０を備えていれば良い。

カセット８１，８２は、開口を通して被加工物１００を出し入れ可能にするとともに、被加工物１００をＺ軸方向に間隔をあけて保持するスロットを複数備えている。カセット８１，８２に収容される被加工物１００は、加工装置１では、収容されるスロットの段数で、１枚１枚が管理、区別されて取り扱われる。カセット８１，８２は、本実施形態では、いずれも１３層のスロットを備え、１３枚の被加工物１００が区別されて取り扱われるが、本発明ではこれに限定されず、スロットは何層でも良い。カセット８１，８２は、開口が第３の搬送アーム５３側に向けられた状態でカセットステージ８０に載置される。

制御ユニット９０は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００を加工する加工処理に関する各動作を加工装置１に実施させる。制御ユニット９０は、各構成ユニット等に設けられたセンサの検出結果を受信する。また、制御ユニット９０は、これらのセンサの検出結果に基づいて、加工装置１の状態に関する情報処理をして、モニター６１に表示する。制御ユニット９０は、図２に示すように、記憶部９１と、処理部９２とを備える。

記憶部９１は、処理部９２により実行される加工装置１の各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータ（加工条件）などを記憶する。記憶部９１は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどの記憶装置を含む。記憶部９１に記憶されるプログラムは、処理部９２が備えるプロセッサにより実行可能なデータ処理を行うための複数の命令を含むプロセッサによる読取り可能かつ非遷移的な（non-transitory）記録媒体を有するプログラムプロダクトであるともいえる。記憶部９１は、処理部９２が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用できる。

実施形態に係る記憶部９１は、図２に示すように、画像データ記憶部９４と、３次元データ記憶部９５と、レイアウト設定記憶部９６と、移動履歴記憶部９７と、を有する。記憶部９１の機能と、画像データ記憶部９４、３次元データ記憶部９５、レイアウト設定記憶部９６及び移動履歴記憶部９７の機能とは、記憶部９１に含まれる記憶装置により実現される。

図３は、図２の画像データ記憶部９４が記憶する画像の一例を示す図である。画像データ記憶部９４は、各構成ユニットを除く加工装置１の各構成要素の少なくとも一部を斜め上方から見て立体的（３次元的）に表示する２次元の斜視画像を記憶する。具体的には、画像データ記憶部９４は、図３に示すように、装置基台斜視画像２０２と、ターンテーブル斜視画像２２０と、仮置きテーブル斜視画像２３０と、加工ユニット斜視画像２４０と、洗浄ユニット斜視画像２７０と、カセットステージ斜視画像２８０と、カセット斜視画像２８１，２８２と、を記憶する。画像データ記憶部９４が記憶するこれらの斜視画像は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、画像データ記憶部９４に記憶される。

装置基台斜視画像２０２は、装置基台２の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て装置基台２を立体的に表示する２次元の斜視画像である。ターンテーブル斜視画像２２０は、ターンテーブル２０の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見てターンテーブル２０を立体的に表示する２次元の斜視画像である。仮置きテーブル斜視画像２３０は、仮置きテーブル３０の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て仮置きテーブル３０を立体的に表示する２次元の斜視画像である。加工ユニット斜視画像２４０は、加工ユニット４０の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て加工ユニット４０を立体的に表示する２次元の斜視画像である。洗浄ユニット斜視画像２７０は、洗浄ユニット７０の外形の一部を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て洗浄ユニット７０の一部を立体的に表示する２次元の斜視画像である。洗浄ユニット斜視画像２７０は、洗浄テーブル７１の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て洗浄テーブル７１を立体的に表示する２次元の斜視画像である洗浄テーブル斜視画像２７１（図１２参照）を含む。カセットステージ斜視画像２８０は、カセットステージ８０の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見てカセットステージ８０を立体的に表示する２次元の斜視画像である。カセット斜視画像２８１，２８２は、それぞれ、カセット８１，８２の外形の一部を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見てカセット８１，８２の一部を立体的に表示する２次元の斜視画像である。画像データ記憶部９４が記憶するこれらの斜視画像は、全て、加工装置１の各構成要素の外形を配置図２００と同一の方向から見た立体的な２次元の斜視画像である。画像データ記憶部９４が記憶するこれらの斜視画像は、本実施形態では、いずれも、オペレータが概ねタッチパネル６０のある位置から加工装置１の各構成要素を斜めに見たものとなっている。また、洗浄ユニット斜視画像２７０及びカセット斜視画像２８１，２８２は、本実施形態では、洗浄ユニット７０やカセット８１，８２の上方を覆う部分を省略した斜視画像となっており、これにより、洗浄テーブル７１上やカセット８１，８２に収容されている被加工物１００を表示する被加工物斜視画像４００（図１０参照）が配置図２００において視認しやすくなっている。

画像データ記憶部９４が記憶するこれらの斜視画像は、配置図２００において被加工物１００の移動に伴って移動や回転等をしなくてもよい。例えば、ターンテーブル２０は回転駆動するが、ターンテーブル斜視画像２２０の形状および位置は配置図２００において変化しない。また、加工ユニット４０は研削ホイール４１が回転するが、加工ユニット斜視画像２４０の形状および位置は配置図２００において変化しない。また、洗浄ユニット７０は洗浄テーブル７１が回転するが、洗浄ユニット斜視画像２７０の形状および位置は配置図２００において変化しない。

図４は、図２の３次元データ記憶部９５が記憶する３次元データの一例を示す図である。３次元データ記憶部９５は、加工装置１のうち画像データ記憶部９４で斜視画像が記憶されていない各構成ユニット及び被加工物１００の各３次元データを記憶する。３次元データとして記憶される各構成ユニットや被加工物１００は、被加工物１００の一連の加工の中で移動や回転などが行われ、配置図２００内に表示する位置や外形が変化するものが選択される。具体的には、３次元データ記憶部９５は、図４に示すように、保持テーブル３次元データ３１０と、搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３と、被加工物３次元データ３００と、を記憶する。保持テーブル３次元データ３１０は、保持テーブル１０の外形を３次元で示すデータである。搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３は、それぞれ、搬送アーム５１，５２，５３の外形を３次元で示すデータである。被加工物３次元データ３００は、被加工物１００の外形を３次元で示すデータである。３次元データ記憶部９５が記憶するこれらの３次元データは、例えば、当該各構成要素を３次元ＣＡＤ（Computer-Aided Design）で表したデータである。３次元データ記憶部９５が記憶するこれらの３次元データに基づいて生成される斜視画像は、配置図２００において各構成ユニットや被加工物１００の動作に伴って移動や回転等させることができる。搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３は、本実施形態では、搬送アーム５１，５２，５３を構成する各アームの回転移動に従ってデータ内の形状を変化させる処理が可能なものとなっている。３次元データ記憶部９５が記憶するこれらの３次元データは、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、３次元データ記憶部９５に記憶される。

図５は、図２のレイアウト設定記憶部９６が記憶するレイアウト座標データ５０１の一例を示す図である。レイアウト設定記憶部９６は、実際の加工装置１内の各構成要素を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見た時の配置に基づいて決められた、加工装置１の各構成要素を表示する各斜視画像を配置図２００において配置する位置の情報を記憶する。具体的には、レイアウト設定記憶部９６は、図５に示すように、加工装置１の各構成要素を表示する各斜視画像２０２，２１０，２２０，２３０，２４０，２５１，２５２，２５３，２７０，２８０，２８１，２８２と、各斜視画像２０２，２１０，２２０，２３０，２４０，２５１，２５２，２５３，２７０，２８０，２８１，２８２の配置図内座標と、を１対１で対応付けてレイアウト座標データ５０１として記憶している。ここで、各斜視画像２０２，２１０，２２０，２３０，２４０，２５１，２５２，２５３，２７０，２８０，２８１，２８２の配置図内座標は、配置図２００において各斜視画像２０２，２１０，２２０，２３０，２４０，２５１，２５２，２５３，２７０，２８０，２８１，２８２を配置する位置を配置図２００内に設定された座標系で示した座標のことであり、例えば、配置図２００の中心または四隅のいずれかを原点とする座標系において、配置図２００に配置されたときの各斜視画像２０２，２１０，２２０，２３０，２４０，２５１，２５２，２５３，２７０，２８０，２８１，２８２の中心または四隅のいずれかの位置を、画素単位で規定したＸ座標及びＹ座標で表したものである。配置図内座標のＸ座標は、配置図２００の左右方向の位置を表し、配置図内座標のＹ座標は、配置図２００の上下方向の位置を表している。レイアウト座標データ５０１は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、レイアウト設定記憶部９６に記憶される。

本実施形態では、ターンテーブル２０の回転駆動による保持テーブル１０の移動や搬送アーム５１，５２，５３の移動によって、各構成ユニットや被加工物１００が加工装置１の上面から見ると重なる位置関係にある。このため、レイアウト座標データ５０１は、重なる位置関係にある各構成ユニットや被加工物１００の斜視画像の配置図内座標に、上下方向を表すＹ座標に間隔をあける補正を設定している。

レイアウト座標データ５０１は、本実施形態では、例えば、搬送アーム斜視画像２５１の配置図内座標のＹ座標に所定値の３倍を加算し、第２の搬送アーム斜視画像２５２の配置図内座標のＹ座標に所定値の２倍を加算し、第３の搬送アーム斜視画像２５３、加工ユニット斜視画像２４０の配置図内座標のＹ座標に所定値を加算し、保持テーブル斜視画像２１０、ターンテーブル斜視画像２２０、仮置きテーブル斜視画像２３０及び洗浄ユニット斜視画像２７０の配置図内座標のＹ座標に所定値を減算する補正を設定している。レイアウト座標データ５０１は、これにより、配置図２００において、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を配置する位置それぞれ上下方向に間隔を広げる補正を設定している。また、レイアウト座標データ５０１は、これにより、配置図２００において、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３及び加工ユニット斜視画像２４０と、保持テーブル斜視画像２１０、仮置きテーブル斜視画像２３０及び洗浄ユニット斜視画像２７０との間の被加工物斜視画像４００の通過領域を配置図内座標の上下方向に広げる補正を設定している。

図６は、図２のレイアウト設定記憶部９６が記憶するレイアウト積層順序データ５０２の一例を示す図である。レイアウト設定記憶部９６は、加工装置１の各構成要素１０，２０，４０や被加工物１００を表示する各斜視画像２１０，２２０，２４０，４００が配置図２００において配置される際の各斜視画像像２１０，２２０，２４０，４００の積層の順序である画像積層順序を記憶する。具体的には、レイアウト設定記憶部９６は、図６に示すように、加工ユニット斜視画像２４０を配置する位置付近で積層される加工ユニット斜視画像２４０と、被加工物斜視画像４００と、保持テーブル斜視画像２１０と、ターンテーブル斜視画像２２０と、これらの各斜視画像２４０，４００，２１０，２２０の画像積層順序と、を１対１で対応付けたレイアウト積層順序データ５０２を記憶している。

また、レイアウト設定記憶部９６のレイアウト積層順序データ５０２は、図示しないが、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３と、被加工物斜視画像４００と、保持テーブル斜視画像２１０と、ターンテーブル斜視画像２２０と、仮置きテーブル斜視画像２３０と、洗浄ユニット斜視画像２７０と、これらの各斜視画像２５１，２５２，２５３，４００，２１０，２２０，２３０，２７０の画像積層順序と、を１対１で対応付けている。

なお、レイアウト積層順序データ５０２は、図６に示す例では、画像積層順序の番号の小さい斜視画像の方を、画像積層順序の番号の大きい斜視画像よりも、配置図２００において手前側に積層することを設定している。レイアウト積層順序データ５０２は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、レイアウト設定記憶部９６に記憶される。

このレイアウト積層順序データは、加工装置１を実際に斜めに見た場合の見え方に従って、第１の搬送アーム斜視画像２５１を第２の搬送アーム斜視画像２５２よりも手前側に、第２の搬送アーム斜視画像２５２を第３の搬送アーム斜視画像２５３よりも手前側に積層することを設定している。なお、本実施形態では、第３の搬送アーム５３が仮置きテーブル３０の方に伸びている場合のみ、配置図２００において第３の搬送アーム斜視画像２５３と第１の搬送アーム斜視画像２５１とが互いに積層され、第３の搬送アーム５３が洗浄ユニット７０の方に伸びている場合のみ、配置図２００において第３の搬送アーム斜視画像２５３と第２の搬送アーム斜視画像２５２とが互いに積層される。

図７は、図２の移動履歴記憶部９７が記憶する移動履歴データ６００の一例を示す図である。移動履歴記憶部９７は、図７に示すように、各被加工物１００が加工前に収納されているスロットの段数の番号と、各被加工物１００の移動履歴（移動完了状況）と、を被加工物１００毎に対応付けて移動履歴データ６００として記録する。移動履歴記憶部９７は、カセット８１，８２ごとに、移動履歴データ６００を記録する。なお、移動履歴データ６００は、図７に示す例では、被加工物１００毎に、フルオート加工する際の加工装置１における被加工物１００の各移動処理が完了したか否かを記録しているが、本発明ではこれに限定されず、加工装置１がマニュアル機である場合等には、各被加工物１００の移動履歴の項目及び順序が被加工物１００毎に異なっていてもよい。

移動履歴データ６００は、図７に示す例では、加工前にスロットの段数の番号が１に収容されていた被加工物１００については全ての被加工物１００の移動経路を移動済みで同じスロットに再び収容済みであり、加工前にスロットの段数の番号が２に収容されていた被加工物１００については被加工物１００の移動経路を概ね移動済みで第３の搬送アーム５３により同じスロットに再び収容されようとしており、加工前にスロットの段数の番号が３に収容されていた被加工物１００については当該被加工物１００を吸引保持する保持テーブル１０が加工位置に位置付けられて加工処理中であり、加工前にスロットの段数の番号が４に収容されていた被加工物１００については当該被加工物１００を吸引保持する保持テーブル１０が搬入搬出位置に位置付けられて加工処理を待機しており、加工前にスロットの段数の番号が５に収容されていた被加工物１００については仮置きテーブル３０上に搬送された段階にあり、スロットの段数の番号が６以降に収容されている被加工物１００はいずれも搬出されていないことを示している。

移動履歴記憶部９７は、リアルタイムで得られる各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて、各被加工物１００の実際の位置及び移動を認識する毎に、リアルタイムで移動履歴データ６００を記録、更新する。移動履歴記憶部９７は、被加工物１００の移動前の構成ユニットのセンサからの被加工物１００の検出信号が消滅し、被加工物１００の移動先の構成ユニットのセンサからの被加工物１００の検出信号が発生したことを認識すると、当該被加工物１００が移動前の構成ユニットから移動先の構成ユニットに搬送されたと認識し、その旨を移動履歴データ６００に記録、更新する。また、移動履歴記憶部９７は、搬送アーム５１，５２，５３のセンサからの被加工物１００の検出信号によって被加工物１００を搬送した（移動させた）と認識し、その旨を移動履歴データ６００に記録、更新する。

記憶部９１は、上記の他に、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理に必要な加工条件等の情報を記憶している。この加工条件等の情報は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、記憶部９１に記憶される。

処理部９２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、システムＬＳＩ（Large Scale Integration）などのプロセッサなどの演算処理装置を含む。処理部９２が備えるプロセッサは、記憶部９１が備えるＲＡＭ上にロードされたプログラムを実行する。これにより、加工装置１により実行される各種処理等の機能が実現される。記憶部９１が備えるＲＡＭ上にロードされ、処理部９２が備えるプロセッサが実行するプログラムには、各斜視画像を積層して表示するプログラム、３次元データを回転させて斜視画像を生成または表示するプログラム、３次元データを所定の角度に固定した状態で表示し、当該表示を平行移動させるプログラム等がある。加工装置１により実行される各種処理等の機能として、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理の機能、及び、モニター６１の表示機能を実現するための配置図２００の生成処理や変化処理等の機能などが例示される。

処理部９２は、記憶部９１に格納されたプログラムに基づいて動作し、以下に説明する加工装置１の各種処理等（加工処理、及び、配置図２００の生成処理や変化処理等）を実行する。実施形態に係る処理部９２は、図２に示すように、加工処理部９８と、表示処理部９９と、を有する。処理部９２の機能と、加工処理部９８及び表示処理部９９の機能とは、記憶部９１の記憶装置に記憶されたプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。加工処理部９８は、記憶部９１に記憶された加工条件等の情報に基づいて加工装置１の各構成要素を制御して、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理を実行する。

次に、本明細書は、実施形態に係る加工装置１の動作の一例を図面に基づいて説明する。加工装置１は、例えば、入力部６２により、オペレータによるカセット８１，８２に収容された被加工物１００をフルオート加工する旨の入力を受け付けると、加工処理部９８により、以下に説明する一連の加工処理を自動で実施する。加工装置１は、まず、第３の搬送アーム５３によりカセット８１，８２に収容された加工前の被加工物１００を１枚搬出して仮置きテーブル３０へ搬送し、仮置きテーブル３０により、第３の搬送アーム５３により搬送された被加工物１００の中心位置合わせを行い、第１の搬送アーム５１により、中心位置合わせを行った仮置きテーブル３０上の被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上に搬入する。加工装置１は、次に、ターンテーブル２０の回転駆動により、加工前の被加工物１００を吸引保持した保持テーブル１０を搬入搬出位置から加工位置に移動させ、加工ユニット４０により加工位置の保持テーブル１０上の被加工物１００を研削加工する。加工装置１は、加工ユニット４０による研削中または研削後に、研削量検出ユニット４５により被加工物１００の研削量を検出する。加工装置１は、被加工物１００の研削加工が完了すると、ターンテーブル２０の回転駆動により、研削後の被加工物１００を保持した保持テーブル１０を加工位置から搬入搬出位置に移動させ、第２の搬送アーム５２により、搬入搬出位置の保持テーブル１０上の研削後の被加工物１００を洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上に搬出し、洗浄ユニット７０により、洗浄テーブル７１上の研削後の被加工物１００を洗浄し、第３の搬送アーム５３により、洗浄した洗浄テーブル７１上の被加工物１００をカセット８１，８２に収容する。加工装置１は、このようにして、カセット８１，８２からの加工前の被加工物１００の搬出から、被加工物１００の加工を経て、カセット８１，８２への加工後の被加工物１００の搬入までの１枚の被加工物１００についての一連の加工処理を自動で完了する。そして、加工装置１は、この１枚の被加工物１００についての一連の加工処理を、カセット８１，８２内の全ての被加工物１００について、被加工物１００が収容されたスロットの段数の順に１枚ずつ自動で実施することで、カセット８１，８２に収容された全ての被加工物１００のフルオート加工を完了する。なお、加工装置１は、フルオート加工を実施する形態に限定されず、各被加工物１００に対して実施する各処理ごとに、入力部６２によりオペレータによる入力を受け付けて各処理を実施する形態でもよい。

次に、本明細書は、実施形態に係る加工装置１における表示処理部９９が配置図２００及び収容状態図２０１をモニター６１に表示させるまでの処理を図面に基づいて説明する。図８、図９、図１０及び図１１は、図２の表示処理部９９の処理の一例を示す図である。図１２は、図１の加工装置１のモニター６１に表示される配置図２００の一例を示す図である。表示処理部９９は、加工装置１の入力部６２がオペレータによる被加工物１００のフルオート加工を実施する旨の入力もしくは各処理を実施する旨の入力を受け付けると、図１２に示すような配置図２００の生成を開始する。

表示処理部９９は、図８に示すように、保持テーブル３次元データ３１０に基づいて、保持テーブル斜視画像２１０を生成する。なお、保持テーブル斜視画像２１０は、保持テーブル１０の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て保持テーブル１０を立体的に表示する２次元の斜視画像であり、各構成要素を表示する斜視画像と同一の方向から見た立体的な２次元の斜視画像である。表示処理部９９は、本実施形態では、２つの保持テーブル１０のそれぞれについて、保持テーブル斜視画像２１０を生成する。また、表示処理部９９は、配置図２００の生成を開始した時のターンテーブル２０の回転角の情報に基づいて、配置図２００の生成を開始した時の各保持テーブル１０の加工装置１内の位置を算出する。表示処理部９９は、この配置図２００の生成を開始した時の各保持テーブル１０の加工装置１内の位置の情報と、レイアウト座標データ５０１に含まれる搬入搬出位置及び加工位置の保持テーブル斜視画像２１０の配置図内座標の情報並びにターンテーブル斜視画像２２０の配置図内座標の情報とに基づいて、配置図２００の生成を開始した時の各保持テーブル１０の加工装置１内の位置に対応する、配置図２００上の保持テーブル斜視画像２１０の配置位置である配置図内座標５１０を算出する。

また、表示処理部９９は、図９に示すように、それぞれ、搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３と、配置図２００の生成を開始した時の搬送アーム５１，５２，５３の駆動情報とに基づいて、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を生成する。表示処理部９９は、搬送アーム５１，５２，５３の駆動情報に応じて搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３を変形させて、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を生成する。例えば搬送アーム５１，５２，５３が反転する場合は、反転する搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を生成する。なお、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３は、搬送アーム５１，５２，５３の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て搬送アーム５１，５２，５３を立体的に表示する２次元の斜視画像であり、各構成要素を表示する斜視画像と同一の方向から見た立体的な２次元の斜視画像である。

また、表示処理部９９は、加工装置１の入力部６２がオペレータによる被加工物１００のフルオート加工を実施する旨の入力の受け付けに応じて配置図２００を生成する場合には、フルオート加工を実施する旨の入力の受け付けに応じて、配置図２００の生成を開始した時に全ての被加工物１００がカセット８１，８２に収容されている旨の各被加工物１００の位置情報を取得する。そして、表示処理部９９は、カセット８１，８２に収容されているときの各被加工物１００の姿勢情報を取得する。ここで、被加工物１００の姿勢情報は、本実施形態では、例えば、被加工物１００の水平方向に対する傾斜角の情報である。表示処理部９９は、そして、被加工物３次元データ３００と、この各被加工物１００の姿勢情報とに基づいて、被加工物１００毎に被加工物斜視画像４００を生成する。なお、被加工物斜視画像４００は、被加工物１００の外形を斜め上方（配置図２００と同じ方向）から見て被加工物１００を立体的に表示する２次元の斜視画像であり、各構成要素を表示する斜視画像と同一の方向から見た立体的な２次元の斜視画像である。表示処理部９９は、本実施形態では、各被加工物１００が加工前に収容されるスロットの段数の番号で識別可能なように、被加工物１００毎にそれぞれ紐づけられたスロットの段数の番号の表示を付して、被加工物斜視画像４００を生成する。

また、表示処理部９９は、加工装置１の入力部６２がオペレータによる被加工物１００のフルオート加工を実施する旨の入力の受け付けに応じて配置図２００を生成する場合には、さらに、レイアウト座標データ５０１に含まれるカセット斜視画像２８１，２８２の配置図内座標の情報に基づいて、図１０に示すように、カセット８１，８２に収容されているときの被加工物１００の位置に対応する配置図２００上の位置を算出し、この算出した配置図２００上の位置を、配置図２００の生成を開始した時の、配置図２００上の各被加工物斜視画像４００の配置位置（配置図内座標５３０）とする。表示処理部９９は、例えば、カセット斜視画像２８１，２８２の底板部分の上方に、スロットの段数が大きい方から小さい方に向かって順に重ねられた各被加工物斜視画像４００の配置図２００上の位置を、カセット斜視画像２８１，２８２の底板部分の配置図内座標のＹ座標に、所定値と下側から数えた被加工物斜視画像４００の積層順序との積を加算した値で算出し、この算出した値を各配置図内座標５３０として算出する。

また、表示処理部９９は、各処理を実施する旨の入力の受け付けに応じて配置図２００を生成する場合には、配置図２００の生成を開始した時の各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果、もしくは配置図２００の生成を開始した時の移動履歴データ６００に基づいて、被加工物１００毎に、配置図２００の生成を開始した時に実際に被加工物１００を保持している構成ユニットを特定し、当該構成ユニットが保持している被加工物１００の姿勢情報を取得する。表示処理部９９は、被加工物１００を保持している構成ユニットが搬送アーム５１，５２，５３である場合、さらに搬送アーム５１，５２，５３の駆動情報に基づいて、搬送アーム５１，５２，５３が保持している被加工物１００の姿勢情報を取得する。表示処理部９９は、そして、被加工物３次元データ３００と、この各被加工物１００の姿勢情報とに基づいて、被加工物１００毎に被加工物斜視画像４００を生成する。表示処理部９９は、搬送アーム５１，５２，５３の反転に伴い各被加工物１００も反転する場合には、その姿勢情報に応じて被加工物３次元データ３００を回転させて、被加工物斜視画像４００を生成する。

また、表示処理部９９は、各処理を実施する旨の入力の受け付けに応じて配置図２００を生成する場合には、さらに、レイアウト座標データ５０１に含まれる各構成ユニットの配置図内座標の情報に基づいて、図１０に示すように、構成ユニットに保持されているときの被加工物１００の位置に対応する配置図２００上の位置を算出し、この算出した配置図２００上の位置を、配置図２００の生成を開始した時の配置図内座標５３０とする。表示処理部９９は、具体的には、実際に被加工物１００を保持している構成ユニットが上方で被加工物１００を保持する保持テーブル１０、仮置きテーブル３０、及び洗浄テーブル７１のいずれかである場合、保持テーブル斜視画像２１０、仮置きテーブル斜視画像２３０、及び洗浄テーブル斜視画像２７１のいずれかの保持領域部分の上方に重ねられる配置図２００上の位置を、保持テーブル斜視画像２１０、仮置きテーブル斜視画像２３０、及び洗浄テーブル斜視画像２７１のいずれかの保持領域部分の配置図内座標のＹ座標に所定値を加算した値で算出し、この算出した値を各配置図内座標５３０として算出する。また、表示処理部９９は、実際に被加工物１００を保持している構成ユニットが下方で被加工物１００を保持する搬送アーム５１，５２，５３である場合、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３の保持領域部分の下方に重ねられる配置図２００上の位置を、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３の保持領域部分の配置図内座標のＹ座標に所定値を減算した値で算出し、この算出した値を各配置図内座標５３０として算出する。

表示処理部９９は、本実施形態では、配置図２００において被加工物斜視画像４００の通過領域を上下方向に広げる補正を設定しているレイアウト座標データ５０１に基づいて被加工物斜視画像４００の配置図内座標５３０を算出する。このため、表示処理部９９は、配置図２００において、被加工物１００を表示する被加工物斜視画像４００に対して、加工装置１の上面から見ると当該被加工物１００と重なる位置関係にある各構成要素を表示する各斜視画像を上下方向に間隔をあけて配置することを可能にする。

表示処理部９９は、図８から図１０に示した各斜視画像の生成処理及び配置図内座標の算出処理を実行した後、図１１に示すように、画像データ記憶部９４が記憶する各斜視画像と、レイアウト座標データ５０１と、レイアウト積層順序データ５０２と、保持テーブル斜視画像２１０と、保持テーブル斜視画像２１０の配置図内座標５１０と、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３と、全ての被加工物１００についての被加工物斜視画像４００と、被加工物斜視画像４００毎の各配置図内座標５３０と、に基づいて、図１２に示すような配置図２００及び収容状態図２０１を生成し、モニター６１に表示させる。

具体的には、表示処理部９９は、まず、画像データ記憶部９４が記憶する各斜視画像を、レイアウト座標データ５０１及びレイアウト積層順序データ５０２に従って配置して、配置図２００のベース部分を生成する。表示処理部９９は、そして、配置図２００のベース部分に、保持テーブル斜視画像２１０を、保持テーブル斜視画像２１０の配置図内座標５１０及びレイアウト積層順序データ５０２に従って配置し、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を、レイアウト座標データ５０１及びレイアウト積層順序データ５０２に従って配置し、各被加工物斜視画像４００を、被加工物斜視画像４００毎の各配置図内座標５３０及びレイアウト積層順序データ５０２に従って配置して、配置図２００を生成する。配置図２００は、このように生成されることにより、各構成ユニットが配置された加工装置１の全体を斜め上方から見たイラストとなり、配置図２００上の実際の位置と同等の位置に斜め上方からみた被加工物１００のイラストを表示したものとなる。なお、表示処理部９９は、図８から図１０に示した各斜視画像の生成処理及び配置図内座標の算出処理を実行するよりも前に、もしくはこれらの処理の実行と平行して、配置図２００のベース部分を生成してもよい。

表示処理部９９は、次に、被加工物斜視画像４００毎の各配置図内座標５３０に基づいて、カセット斜視画像２８１，２８２に積層して配置される被加工物斜視画像４００、すなわち、カセット８１，８２に収容されている被加工物１００を表示する被加工物斜視画像４００を抽出し、配置図２００とは別に、抽出した被加工物斜視画像４００をそれぞれカセット８１，８２のスロットの段数の順に上下方向に間隔をあけて配置した収容状態図２０１を生成する。

表示処理部９９は、図１２に示すように、生成した配置図２００と収容状態図２０１とを配列した表示画面をモニター６１に表示させる。

次に、本明細書は、実施形態に係る加工装置１における表示処理部９９が配置図２００及び収容状態図２０１をモニター６１に表示させた後の処理を図面に基づいて説明する。図１３及び図１４は、図２の表示処理部９９の処理の一例を示す図である。

表示処理部９９は、図８に示すように、実際の保持テーブル１０の移動に合わせて、都度、ターンテーブル２０の回転角の情報を検出し、検出したターンテーブル２０の回転角に基づいて実際の各保持テーブル１０の加工装置１内の位置を新たに取得し、新たに取得した実際の各保持テーブル１０の加工装置１内の位置に基づいて保持テーブル斜視画像２１０の配置図内座標５１０を新たに算出し、配置図２００において保持テーブル斜視画像２１０を既に表示している位置から新たに算出した配置図内座標５１０に移動させる移動処理を繰り返し実行する。表示処理部９９は、この移動処理において、保持テーブル斜視画像２１０を、予めわかっている実際の保持テーブル１０の移動軌道に基づいて算出される配置図２００における保持テーブル斜視画像２１０の移動軌道に沿って、所定の速度で移動させる。

また、表示処理部９９は、図１３に示すように、実際の搬送アーム５１，５２，５３を構成する各アームの回転移動に合わせて、都度、実際の搬送アーム５１，５２，５３の駆動情報を検出し、検出した実際の搬送アーム５１，５２，５３の駆動情報に基づいて搬送アーム３次元データ３５１，３５２，３５３の形状を変化させて搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を生成し、配置図２００において既に表示している搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３から新たに生成した搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３に変化させることで新たに生成した搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を配置図２００に反映させることで、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を変化させる変化処理を繰り返し実行する。表示処理部９９は、この変化処理において、搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３を、予めわかっている実際の搬送アーム５１，５２，５３の各アームの駆動形態に基づいて算出される配置図２００における搬送アーム斜視画像２５１，２５２，２５３の形状の変化形態に沿って、所定の速度で変化させる。

また、表示処理部９９は、図１４に示すように、実際の被加工物１００の傾斜や反転に合わせて、都度、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果、もしくは更新される移動履歴データ６００に基づいて、実際に被加工物１００を保持している構成ユニットを特定し、当該構成ユニットが保持している被加工物１００の姿勢情報を取得して、取得した被加工物１００の姿勢情報に基づいて被加工物３次元データ３００を回転させて被加工物斜視画像４００を生成し、配置図２００において既に表示している被加工物斜視画像４００から新たに生成した被加工物斜視画像４００に変化させることで新たに生成した被加工物斜視画像４００を配置図２００に反映させることで、被加工物斜視画像４００を変化させる変化処理を繰り返し実行する。

また、表示処理部９９は、図１４に示すように、被加工物１００毎に、実際の被加工物１００の移動に合わせて、都度、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果、もしくは更新される移動履歴データ６００に基づいて、実際に被加工物１００を保持している構成ユニットを特定し、新たに特定した実際に被加工物１００を保持している構成ユニットの情報に基づいて、被加工物斜視画像４００の配置図内座標５３０を新たに算出し、配置図２００及び収容状態図２０１において被加工物斜視画像４００を既に表示している位置から新たに算出した配置図内座標５３０に移動させる移動処理を繰り返し実行する。表示処理部９９は、この移動処理において、各被加工物斜視画像４００を、予めわかっている実際の被加工物１００の移動軌道に基づいて算出される配置図２００における被加工物斜視画像４００の移動軌道に沿って、所定の速度で移動させる。また、表示処理部９９は、実際の被加工物１００の移動軌道が複雑であるために配置図２００における被加工物斜視画像４００の移動軌道が複雑になる等の場合には、被加工物斜視画像４００の移動軌跡を直線近似して、直線状に被加工物斜視画像４００を既に表示している位置から新たに算出した配置図内座標５３０へ所定の速度で移動させてもよい。表示処理部９９は、また、実際の被加工物１００が傾斜や反転せずに移動する場合、配置図２００において被加工物３次元データ３００を当該角度に固定した状態で被加工物斜視画像４００として表示し、被加工物斜視画像４００を移動させることで移動処理を実行してもよい。

表示処理部９９は、上で図８、図１３及び図１４に基づいて説明した変化処理及び移動処理を実行することにより、より少ない処理で、配置図２００及び収容状態図２０１において、実際の保持テーブル１０、搬送アーム５１，５２，５３及び被加工物１００の駆動や移動の様子をリアルタイムで反映させて表示することができる。

モニター６１は、このように、画像データ記憶部９４、３次元データ記憶部９５、レイアウト設定記憶部９６、移動履歴記憶部９７及び表示処理部９９により、加工中の実際の加工装置１上の被加工物１００の位置と、加工装置１全体の画像である配置図２００上の同じ位置に被加工物斜視画像４００を表示し、被加工物１００の移動にともなって、加工装置１全体の画像である配置図２００上の被加工物斜視画像４００の位置を実際の加工装置１上の被加工物１００と同じ位置となるように変更する。また、モニター６１は、同様に画像データ記憶部９４、３次元データ記憶部９５、レイアウト設定記憶部９６、移動履歴記憶部９７及び表示処理部９９により、加工装置１の上面（上方）から見ると重なる位置関係にある少なくとも二つの構成ユニットを表示する斜視画像の配置図２００上の位置を、実際よりも上下方向に間隔をあけて表示する。

以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１は、モニター６１が、加工装置１の各構成ユニットのイラストと、加工装置１が処理中の被加工物１００のイラストと、を実際の加工装置１内の配置に基づき表示する配置図２００を、加工装置１を斜めから見て立体的に表示するため、加工装置１の各構成要素や被加工物１００が実際に上下方向に重なっていても、モニター６１では各構成要素や被加工物１００を表示する各斜視画像が上下方向にずれて表示されるので、モニター６１の表示を通して加工装置１内の状況を正確に把握できるという作用効果を奏する。

また、実施形態１に係る加工装置１は、移動中または固定位置において、加工装置１の上面から見ると重なる位置関係である少なくとも２つの加工装置１の構成要素が、モニター６１に、配置図２００において上下方向に間隔をあけて配置されて表示されるので、加工装置１の各構成要素や被加工物１００が実際に上下方向に重なっていても、モニター６１の表示を通して加工装置１内の状況を正確に把握できるという作用効果を奏する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態では、加工装置１の状態を表示する表示機能を備えるモニター６１が設けられた加工装置１は、被加工物１００を研削する研削装置であるが、本発明では研削装置に限定されず、被加工物１００を切削する切削装置、被加工物１００を研磨する研磨装置、被加工物１００をレーザー加工するレーザー加工装置、被加工物１００に貼着された粘着テープを拡張するテープ拡張装置でもよい。また、モニター６１がテープ拡張装置に備えられる場合、被加工物１００を保持する保持テーブルとテープ拡張ユニットとが上下方向に重なっており、互いに相対的に昇降移動するので、上記実施形態と同様に、モニター６１では保持テーブルを表示する斜視画像とテープ拡張ユニットを表示する斜視画像とが上下方向に間隔をあけて配置されて表示される。また、これらの加工装置は、さらに、紫外線照射ユニットを備えていてもよく、この場合、紫外線照射ユニットは、カセットの下方に、カセットと重ねられて配置され、カセットとともにカセットエレベータにより昇降自在に設けられる。

１ 加工装置
１０ 保持テーブル
４０ 加工ユニット
５１ （第１の）搬送アーム
５２ （第２の）搬送アーム
５３ （第３の）搬送アーム
６１ モニター
１００ 被加工物
２００ 配置図

Claims (2)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
   被加工物を搬送する搬送アームと、
   モニターと、を少なくとも備える加工装置であって、
   該モニターは、該加工装置の各構成ユニットのイラストと、該加工装置が処理中の被加工物のイラストと、を実際の該加工装置内の配置に基づき表示する配置図を、該加工装置を斜めから見て立体的に表示することを特徴とする加工装置。
2. 加工装置の少なくとも二つの構成ユニットは、上下方向に間隔をあけて配置され、該構成ユニットの移動中または固定位置において、該加工装置の上面から見ると重なる位置関係である請求項１に記載の加工装置。

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