JP2021158455A - 接合ウエハと、その製造方法と、弾性波デバイスの製造方法と、接合ウエハに用いる圧電性基板用ウエハ及び非圧電性基板用ウエハ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明による接合ウエハの第1の実施の形態を図1〜図3により説明する。接合ウエハ1は、非圧電性基板用ウエハ2と、圧電性基板用ウエハ3とを接合して構成される。圧電性基板用ウエハ3は、弾性表面波デバイスを構成する場合には、タンタル酸リチウム(LT)又はニオブ酸リチウム(LN)が用いられる。非圧電性基板用ウエハ2は、圧電性基板用ウエハ3より熱膨張率が低い例えばシリコン、サファイア、多結晶アルミナ、多結晶スピネル、水晶又はガラス等が用いられる。しかしながら本発明においては、非圧電性基板用ウエハ2や圧電性基板用ウエハ3としてはこれらの材料に限定されず、他の材料を使用してもよい。また、本発明は、圧電性基板の厚さにより特性の変化が生じる他の弾性波デバイスに適用される。
本発明による接合ウエハの製造方法の第2の実施の形態を図17により説明する。この実施の形態は、圧電性基板用ウエハ3Xとして、オリフラ3b1の代わりに、オリフラ3b1と同位置となるウエハ表面にマーク3dを印したものである。このマーク3dは、レーザ又は色つきインクの印刷等により印すことができる。また、このマーク3dは、線状ではなく、3dで示す線状部分よりも外周側に、他の領域と異なる色の物質を着けたものであってもよい。また、このマーク3dは、接合のための位置合わせの際に、撮像装置により光学的に検出されるためのものであるため、非圧電性基板用ウエハ2との接合面の反対側の面に設ける。
本発明による接合ウエハの製造方法の第3の実施の形態を図18により説明する。この実施の形態は、圧電性基板用ウエハ3Xとして、第1の実施の形態におけるオリフラ3b1の代わりに、オリフラ3b1と同位置となるウエハ表面にマーク3dを印したものである。また、非圧電性基板用ウエハ2Xについても同様に、圧電性基板用ウエハ3Xとの接合面の反対側の面に、オリフラ2a1の代わりに、オリフラ2a1と同位置にマーク2bを設けたものである。これらのマーク2b、3dは、レーザ又は色つきインクの印刷等により印すことができる。また、これらの2b、3dは、線状ではなく、2b、3dで示す線状部分よりも外周側に、他の領域と異なる色の物質を着けたものであってもよい。
本発明による接合ウエハの製造方法の第4の実施の形態を図19により説明する。この実施の形態は、圧電性基板用ウエハ3Yの外周3bに、図19(a)に示すように、それぞれV字形をなす切欠きであるノッチ3f、3f(以下ダブルノッチと称す。)を設ける。このダブルノッチ3f、3fは、第1の実施の形態におけるオリフラ3b1の代わりに設けられる。、このダブルノッチ3f、3fは、オリフラ3b1の円周方向の両端とほぼ同位置となるウエハ3Yの外周3bに設けられる。非圧電性基板用ウエハ2については、オリフラ2a1を設ける。
接合ウエハの製造方法の第5の実施の形態は、非圧電性基板用ウエハ2に、オリフラ2a1の代わりに、図18(a)に示したマーク2bを設け、図19に示すように、圧電性基板用ウエハ3Yについては、ダブルノッチ3f、3fを設けて接合する。この場合も、図19について説明したように、圧電性基板用ウエハ3Yの外周3bを、ダブルノッチ3fがなくなるまで研磨する。
2、2X 非圧電性基板用ウエハ
2a 外周
2a1 オリフラ
2b マーク
2E 非圧電性基板
3、3X、3Y 圧電性基板用ウエハ
3a、3b 外周
3b1 オリフラ
3c 表面
3d マーク
3E 圧電性基板
3f ダブルノッチ
19A〜19E 共振器
20 フィルタ
Claims (12)
- 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハにおいて、
前記非圧電性基板用ウエハは前記圧電性基板用ウエハより厚さが厚く、かつ前記非圧電性基板用ウエハはオリフラを有し、
前記圧電性基板用ウエハは、その外周にオリフラを有しない、接合ウエハ。 - 請求項1に記載の接合ウエハにおいて、
前記圧電性基板用ウエハは前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有して、前記圧電性基板用ウエハの外周よりも外側に、前記非圧電性基板用ウエハの外周が位置する、接合ウエハ。 - 請求項1に記載の接合ウエハにおいて、
前記圧電性基板用ウエハにタンタル酸リチウム又はニオブ酸リチウムを用いている、接合ウエハ。 - 請求項1に記載の接合ウエハにおいて、
前記接合ウエハは、前記圧電性基板用ウエハと前記非圧電性基板用ウエハとが常温接合技術を用いて接合されている、接合ウエハ。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハの製造方法において、
外周にオリフラを有する非圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有し、外周にオリフラを有する圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハと前記圧電性基板用ウエハとを、各ウエハに設けたオリフラの向きが一致し、かつ両ウエハの外周弧状円が同心をなすように両ウエハを接合する工程と、
前記接合した圧電性基板用ウエハの弧状をなす外周を、円弧状の研磨面に沿って、オリフラが消滅する以下のウエハサイズになるまで研磨する工程と、を含む接合ウエハの製造方法。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハの製造方法において、
外周にオリフラを有する非圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有し、前記非圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側である面に、オリフラの代わりにマークを有する圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハと前記圧電性基板用ウエハとを、2枚のウエハの相対的な向きが予め設定された向きとなり、かつ両ウエハの外周弧状円が同心をなすように接合する工程と、
前記接合した圧電性基板用ウエハの弧状をなす外周を研磨する工程と、を含む接合ウエハの製造方法。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハの製造方法において、
外周側にオリフラの代わりに、圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側の面にマークを有する非圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有し、非圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側である面に、オリフラの代わりにマークを有する圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハと前記圧電性基板用ウエハとを、両ウエハにそれぞれ記した各マークの相対的な向きが予め設定された向きとなり、かつ同心をなすように接合する工程と、
前記接合した圧電性基板用ウエハの弧状をなす外周を研磨する工程と、を含む接合ウエハの製造方法。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハの製造方法において、
外周側にオリフラを有する非圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有し、オリフラの代わりにダブルノッチを有する圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハと前記圧電性基板用ウエハとを、両ウエハの相対的な向きが予め設定された向きとなり、かつ同心をなすように接合する工程と、
前記接合した圧電性基板用ウエハの弧状をなす外周を、円弧状の研磨面に沿って、前記ダブルノッチが消滅する以下のウエハサイズになるまで研磨する工程と、を含む接合ウエハの製造方法。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハの製造方法において、
外周側にオリフラの代わりに、圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側の面にマークを有する非圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハより狭い面積を有し、オリフラの代わりにダブルノッチを有する圧電性基板用ウエハを製造する工程と、
前記非圧電性基板用ウエハと前記圧電性基板用ウエハとを、両ウエハの相対的な向きが予め設定された向きとなり、かつ同心をなすように接合する工程と、
前記接合した圧電性基板用ウエハの弧状をなす外周を、円弧状の研磨面に沿って、前記ダブルノッチが消滅する以下のウエハサイズになるまで研磨する工程と、を含む接合ウエハの製造方法。 - 接合ウエハとして、請求項5ないし請求項9のいずれか1項に記載の製造方法により製造された接合ウエハを用いる弾性波デバイスの製造方法であって、
前記接合ウエハの前記圧電性基板用ウエハ上に複数の弾性波デバイス用の電極を形成する工程と、
前記複数の弾性波デバイス用の電極を形成した接合ウエハを個々の弾性波デバイス用のベアチップに分断する工程と、
前記ベアチップを実装基板上に実装する工程と、
前記ベアチップを実装した実装基板を個々の弾性波デバイスに分断する工程と、を含む弾性波デバイスの製造方法。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハを製造する場合に用いる圧電性基板用ウエハであって、
前記非圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側の面に、オリフラの代わりに設けられたマークを有する、圧電性基板用ウエハ。 - 圧電性基板用ウエハと非圧電性基板用ウエハとが接合された接合ウエハを製造する場合に用いる非圧電性基板用ウエハであって、
前記圧電性基板用ウエハとの接合面の反対側の面に、オリフラの代わりに設けられたマークを有する、非圧電性基板用ウエハ。
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