JP2021150344A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、封止材とその隣接部材との密着性に優れる半導体装置の製造技術を提供する。
半導体素子と、
前記半導体素子および前記半導体素子に設けられた導体部を封止する第1の封止材と、
前記第1の封止材上に設けられるとともに、前記導体部に電気的に接続する第1の配線層と、
前記第1の封止材上に設けられるとともに、前記第1の封止材および前記第1の配線層を封止する第2の封止材と、
前記第2の封止材上に設けられるとともに前記第1の配線層に電気的に接続する第2の配線層と、
を含み、
前記第1および第2の封止材が、それぞれ、
熱硬化性樹脂と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、第1および第2のLDS(LASER DIRECT STRUCTURING)用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている、半導体装置が提供される。
半導体素子および前記半導体素子を封止する第1の封止材を有する構造体を準備する工程と、
前記第1の封止材の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記第1の封止材の表面の前記活性エネルギー線が照射された領域に金属層を選択的に形成することにより、前記半導体素子に設けられた導体部に電気的に接続する第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の封止材上に、前記第1の封止材および前記第1の配線層を封止する第2の封止材を形成する工程と、
前記第2の封止材の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記第2の封止材の表面の前記活性エネルギー線が照射された領域に金属層を選択的に形成することにより、前記第1の配線層に電気的に接続する第2の配線層を形成する工程と、
を含み、
前記第1および第2の封止材が、それぞれ、
熱硬化性樹脂と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、第1および第2のLDS(LASER DIRECT STRUCTURING)用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている、半導体装置の製造方法が提供される。
たとえば、本発明によれば、前記本発明における半導体装置の前記第1または第2の封止材に用いられるLDS用熱硬化性樹脂組成物およびその硬化物を得ることもできる。
図1は、本実施形態における半導体装置の構成例を示す断面図である。図1に示した半導体装置100は、半導体素子103と、半導体素子103および半導体素子103に設けられた導体部105を封止する第1の封止材(第1封止層107)と、第1封止層107の上に設けられるとともに、導体部105に電気的に接続する第1の配線層(第1配線層109)と、第1封止層107の上に設けられるとともに、第1封止層107および第1配線層109を封止する第2の封止材(第2封止層111)と、第2封止層111の上に設けられるとともに第1配線層109に電気的に接続する第2の配線層(第2配線層113)と、を含む。
第1封止層107および第2封止層111は、それぞれ、熱硬化性樹脂と、無機充填材と、活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、を含む、第1および第2のLDS(LASER DIRECT STRUCTURING)用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている。LDS用熱硬化性樹脂組成物の構成については後述する。
成形回路部品の具体例として、携帯電話等の携帯電子機器、自動車等のセンサー部品または医療機器、パワーマネジメント部品等の部材に用いられるものなどが挙げられる。
半導体パッケージの具体例として、MAP(Mold Array Package)、QFP(Quad Flat Package)、SOP(Small Outline Package)、CSP(Chip Size Package)、QFN(Quad Flat Non-leaded Package)、SON(Small Outline Non-leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)、LF−BGA(Lead Flame BGA)、FCBGA(Flip Chip BGA)、MAPBGA(Molded Array Process BGA)、eWLB(Embedded Wafer-Level BGA)、Fan−In型eWLB、Fan−Out型eWLBなどの半導体パッケージ;SIP(System In package)などが挙げられる。
なお、半導体素子103は半導体チップまたは半導体パッケージの形態で基板101の上に設けられていてもよい。
基板101は、たとえば、インターポーザ等の配線基板、またはリードフレームである。
また、装置全体の薄型化の観点から、第1封止層107の厚さは、好ましくは600μm以下であり、より好ましくは500μm以下、さらに好ましくは400μm以下である。
また、装置全体の薄型化の観点から、第2封止層111の厚さは、好ましくは300μm以下であり、より好ましくは200μm以下、さらに好ましくは150μm以下である。
半導体装置100の製造方法は、たとえば以下の工程1〜工程6を含む。
(工程1)半導体素子103および半導体素子103を封止する第1封止層107を有する構造体を準備する工程
(工程2)第1封止層107の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程
(工程3)第1封止層107の表面の活性エネルギー線が照射された領域(凹部115)に金属層を選択的に形成することにより、半導体素子103に設けられた導体部105に電気的に接続する第1配線層109を形成する工程
(工程4)第1封止層107の上に、第1封止層107および第1配線層109を封止する第2封止層111を形成する工程
(工程5)第2封止層111の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程、
(工程6)第2封止層111の表面の活性エネルギー線が照射された領域(凹部117)に金属層を選択的に形成することにより、第1配線層109に電気的に接続する第2配線層113を形成する工程
(工程7)第1配線層109を形成する工程3の後、第2封止層111を形成する工程4の前に、第1配線層109が設けられた第1封止層107の表面にArプラズマ処理を施す工程
以下、各工程についてさらに具体的に説明する。
レーザーは、たとえば、YAGレーザー、エキシマレーザー、電磁線等の公知のレーザーから適宜選択することができ、YGAレーザーが好ましい。また、レーザーの波長も定めるものではないが、たとえば、200nm以上2000nm以下であり、細線化の観点から、好ましくは240nm以上1100nm以下である。この中でも、好ましくは248nm、308nm、355nm、515nm、532nm、1064nmまたは1060nmのものがレーザーとして挙げられる。
また、工程2の後、工程3の前に表面洗浄工程を追加してもよい。
図2(d)には、工程3において、凹部115の内壁において、第1封止層107の厚さ方向全体にわたるとともに、第1封止層107の表面にわたって、第1配線層109を形成した例が示されている。第1配線層109は、導体部105に接続するように設けられていればよく、たとえば第1配線層109は、凹部115の一部または全体に埋設されていてもよい。
第1配線層109は、具体的にはめっき膜により構成される。
また、工程3は、具体的には、凹部115に金属を適用する工程と、凹部115に金属のめっき層を成長させる工程と、を含む。
また、第2封止層111の形成に用いられる熱硬化性樹脂組成物には、固形(たとえば粒状)、シート状または液状のものを用いることができる。
さらに具体的には、圧縮成形の場合、第2封止層の樹脂厚制御性向上観点から、好ましくは固形またはシート状の熱硬化性樹脂組成物が用いられる。また、トランスファー成形の場合、材料ハンドリング性を高める観点から、好ましくは固形の熱硬化性樹脂組成物が用いられる。真空ラミネートの場合は、材料ハンドリング性を高める観点からシート状の熱硬化性樹脂組成物が用いられる。
図3(b)および図1には、工程6において、凹部117の内壁において、第2封止層111の厚さ方向全体にわたるとともに、第2封止層111の表面にわたって、第2配線層113を形成した例が示されている。第2配線層113は、第1配線層109に接続するように設けられていればよく、たとえば第2配線層113は、凹部117の一部または全体に埋設されていてもよい。
以上の工程により、図1に示した半導体装置100が得られる。
また、本実施形態において、第1配線層109および第2配線層113をLDSにより加工することにより、第1配線層109および第2配線層113を微細化、複雑化する場合にも、これらの配線層の製造安定性を向上することができる。
たとえば、半導体装置100の第2封止層111の上に第3封止層が設けられるとともに、第2配線層113に接続する第3配線層が設けられてもよく、これらはそれぞれ第2封止層111および第2配線層113の形成方法に準じて形成することができる。
本実施形態において、熱硬化性樹脂組成物は、レーザーダイレクトストラクチャリング(LASER DIRECT STRUCTURING:LDS)に用いるLDS用熱硬化性樹脂組成物である。LDSとは、MIDの製造方法の一つである。LDSにおいては、具体的には、LDS添加剤を含有する樹脂成形品の表面に活性エネルギー線を照射して金属核を生成し、その金属核をシードとして、無電解めっき等のめっき処理により、エネルギー線照射領域にめっきパターンを形成する。このめっきパターンに基づき配線、回路等の導電性部材を形成することができる。
熱硬化性樹脂組成物の構成成分および配合は、たとえば第1封止層107および第2封止層111の成形方法に応じてそれぞれ選択することができる。
第1封止層107の形成方法を圧縮成形またはトランスファー成形とするとき、たとえば粒状またはシート状の熱硬化性樹脂組成物を用いることができる。
第2封止層111の形成方法を圧縮成形とするとき、たとえばシート状、粒状等の固形または液状の熱硬化性樹脂組成物を用いることができる。
また、第2封止層111の形成方法をトランスファー成形とするとき、たとえばシート状等の固形の熱硬化性樹脂組成物を用いることができる。
熱硬化性樹脂は、LDSによる微細加工時のめっき付き特性を向上する観点、および、回路を形成する際に配線幅および配線間隔を小さくする観点から、好ましくはエポキシ樹脂およびビスマレイミド樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。
また、硬化性、保存性、耐熱性、耐湿性、および耐薬品性を向上させる観点から、熱硬化性樹脂は好ましくはエポキシ樹脂を含み、より好ましくはエポキシ樹脂である。
一方、より優れる耐熱性を得る観点からは、熱硬化性樹脂は好ましくはビスマレイミド樹脂を含み、より好ましくはビスマレイミド樹脂である。
エポキシ樹脂は、たとえばビフェニル型エポキシ樹脂;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、テトラメチルビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;スチルベン型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂等に例示されるトリスフェノール型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂;フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のフェノールアラルキル型エポキシ樹脂;ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシナフタレンの2量体をグリシジルエーテル化して得られるエポキシ樹脂等のナフトール型エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート等のトリアジン核含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等の有橋環状炭化水素化合物変性フェノール型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種類または2種類以上を含む。
熱硬化性樹脂組成物を硬化して得られる成形体の反り抑制や、充填性、耐熱性、耐湿性等の諸特性のバランスを向上させる観点から、これらのうち、ノボラック型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、およびフェノールアラルキル型エポキシ樹脂を好ましく用いることができる。また、同様の観点から、エポキシ樹脂は、好ましくはオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂およびトリフェニルメタン型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種以上を含み、より好ましくはオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂およびビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。
マレイミド基を2つ以上有する化合物は、たとえば下記一般式(1)に示す化合物および下記一般式(2)に示す化合物のうちの少なくとも一方を含む。これにより、熱硬化性樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度を高めることができ、硬化物の耐熱性をより効果的に向上させることができる。
一方、耐湿信頼性や耐リフロー性を向上させる観点、および、成形体の反りを抑制する観点から、熱硬化性樹脂の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは15質量%以下であり、より好ましくは14質量%以下、さらに好ましくは13質量%以下である。
ここで、本実施形態において、熱硬化性樹脂組成物全体に対する含有量とは、熱硬化性樹脂組成物が溶媒を含む場合には、熱硬化性樹脂組成物のうちの溶媒を除く固形分全体に対する含有量を指す。熱硬化性樹脂組成物の固形分とは、熱硬化性樹脂組成物中における不揮発分を指し、水や溶媒等の揮発成分を除いた残部を指す。
熱硬化性樹脂組成物は、硬化剤を含んでもよい。硬化剤としては、たとえば重付加型の硬化剤、触媒型の硬化剤、および縮合型の硬化剤の3タイプに大別することができる。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
一方、電子部品の耐湿信頼性や耐リフロー性を向上させる観点、および、得られる成形体の反りを抑制する観点から、硬化剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは9質量%以下であり、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは7質量%以下である。
無機充填材は、たとえば、溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ等の溶融シリカ;結晶シリカ、非晶質シリカ等のシリカ(二酸化珪素);アルミナ;水酸化アルミニウム;窒化珪素;および窒化アルミからなる群から選択される1種または2種以上の材料を含む。熱硬化性樹脂組成物の硬化物の機械特性または熱特性を好ましいものとする観点から、無機充填材は、好ましくは溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶シリカ等のシリカを含み、より好ましくはシリカである。
一方、レーザー加工後のメッキ配線幅を小さくする観点から、無機充填材のd50粒径は、好ましくは20μm以下であり、より好ましくは15μm以下、さらに好ましくは10μm以下である。
一方、熱硬化性樹脂組成物の成形時における流動性や充填性をより効果的に向上させる観点から、無機充填材の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは95質量%以下であり、より好ましくは90質量%以下、さらに好ましくは85質量%以下である。
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物(以下、単に「非導電性金属化合物」とも呼ぶ。)は、活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物である。かかる化合物は、LDS添加剤として作用する。非導電性金属化合物は、活性エネルギー線の照射により金属核を形成できるものであれば限定されない。詳細なメカニズムは定かでないが、このような非導電性金属化合物は、吸収可能な波長領域を有するYAGレーザー等の活性エネルギー線が照射されると、金属核が活性化して(たとえば、還元されて)、金属めっきが可能な金属核が生成される、と考えられる。そして、非導電性金属化合物が分散された熱硬化性樹脂組成物の硬化物の表面に対して活性エネルギー線を照射すると、その照射面に、金属めっきが可能な金属核を有するシード領域が形成される。得られたシード領域を利用することにより、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の表面に、回路などのめっきパターンを形成することが可能になる。
以上のような遷移金属元素を有する金属酸化物の一例として、たとえば、特表2004−534408号公報に記載されているものが挙げられる。
また、錫含有酸化物は、上記(i)のスピネル型の金属酸化物または上記(ii)の遷移金属元素を有する金属酸化物と併用して使用してもよい。
一方、成形性を向上する観点から、無機充填材および非導電性金属化合物の含有量の合計は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して好ましくは98質量%以下であり、より好ましくは95質量%以下、さらに好ましくは90質量%以下である。
本実施形態において、熱硬化性樹脂組成物は、上述の成分以外の成分を含んでもよい。
たとえば、熱硬化性樹脂組成物は、カップリング剤、密着助剤および硬化促進剤からなる群から選択される1種または2種以上をさらに含んでもよい。
熱硬化性樹脂組成物は、第1封止層107または第2封止層111の成形性を向上する観点から、好ましくはカップリング剤をさらに含む。
同様の観点から、カップリング剤は、好ましくはメルカプトシラン、アミノシランおよびエポキシシランからなる群から選択される1種以上を含む。連続成形性という観点では、メルカプトシランが好ましく、流動性の観点では、2級アミノシランが好ましく、密着性という観点ではエポキシシランが好ましい。
一方、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の吸水性の増大を抑制し、良好な防錆性を得る観点から、カップリング剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは1質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以下、さらに好ましくは0.6質量%以下、さらにより好ましくは0.4質量%以下である。
硬化促進剤は、熱硬化性樹脂と硬化剤との架橋反応を促進させるものであればよく、一般の熱硬化性樹脂組成物に使用するものを用いることができる。
一方、成形時における流動性の向上を図る観点から、硬化促進剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の全体に対して好ましくは1質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以下、さらに好ましくは0.5質量%以下である。
また、熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、たとえば、界面活性剤、シリコーン、離型剤、難燃剤、イオン捕捉剤、着色剤、低応力材および酸化防止剤等の添加剤を含有することができる。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
熱硬化性樹脂組成物中のこれら各成分の量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、それぞれ、0.01〜10質量%程度の量とすることができる。
たとえば、液状の熱硬化性樹脂組成物の製造方法としては、たとえば、各成分、添加剤などをプラネタリーミキサー、三本ロール、二本熱ロール、ライカイ機などの装置を用いて分散混練したのち、真空下で脱泡処理して製造する方法が挙げられる。
また、粒状またはシート状の熱硬化性樹脂組成物の製造方法としては、たとえば、熱硬化性樹脂組成物の各成分を、公知の手段で混合することにより混合物を得、混合物を溶融混練することにより、混練物を得る方法が挙げられる。混練方法としては、たとえば、1軸型混練押出機、2軸型混練押出機等の押出混練機や、ミキシングロール等のロール式混練機を用いることができるが、2軸型混練押出機を用いることが好ましい。冷却した後、混練物を所定の形状とすることができる。
表1に記載の配合にてLDS用熱硬化性樹脂組成物を調製し、評価した。LDS用熱硬化性樹脂組成物に用いた成分は以下のとおりである。
無機充填材1:二酸化珪素、SC−2500−SQ、アドマテックス社製、平均粒子径0.6μm
無機充填材2:二酸化珪素、SC−5500−SQ、アドマテックス社製、平均粒子径1.6μm
無機充填材3:二酸化珪素、TS−6026、マイクロンカンパニー社製 平均粒子径9.0μm
(カップリング剤)
カップリング剤1:3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、S510、チッソ社製
カップリング剤2:N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、CF−4083、東レダウコーニング社製
(熱硬化性樹脂)
エポキシ樹脂1:ビフェニレン骨格含有フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、NC3000、日本化薬社製
(硬化剤)
硬化剤1:ビフェニレン骨格含有フェノールアラルキル型樹脂、MEH−7851SS、明和化成社製
(硬化促進剤)
硬化促進剤1:テトラフェニルホスホニウムビス(ナフタレン−2,3−ジオキシ)フェニルシリケート
硬化促進剤2:テトラフェニルホスホニウム−4,4'−スルフォニルジフェノラート
(離型剤)
離型剤1:グリセリントリモンタン酸エステル、リコルブ−WE−4、クラリアント・ジャパン社製
(添加剤:非導電性金属化合物)
添加剤1:無機複合酸化物、Black3702、アサヒ化成工業社製
(シリコーン)
シリコーン1:ポリオキシアルキレンエポキシ変性ジメチルポリシロキサン、FZ−3730、東レダウコーニング社製
表1に示す配合量の各原材料を、常温でミキサーを用いて混合した後、70〜100℃でロール混練した。次いで、得られた混練物を冷却した後、これを粉砕して、粉粒状の熱硬化性樹脂組成物を得た。次いで、高圧で打錠成形することによってタブレット状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
組成物中の無機充填材全体のd50をレーザー回折式粒度分布測定装置(島津製作所社製、SALD−7000)により測定した。
各例で得られた樹脂組成物を175℃の条件で、圧縮成形機を用いて、70mm×240mm×厚さ0.6μmの成形物を得た。得られた成形物のサンプルを観察し、以下の判断基準で評価した。
◎:内部ボイド、外部ボイドともになし
△:外部ボイドが観察される
×:未充填がある
各例で得られた樹脂組成物を175℃の条件で成形硬化し硬化物を得た。得られた硬化物の表面に、YAGレーザー(波長1064nm)を照射し、無電解銅メッキを実施して、そのレーザー照射領域におけるメッキ付き性について、以下の判断基準で評価した。
◎:めっき表面にムラなし
○:めっき表面に多少のムラが見えるがめっき未着部分はなし
△:めっき表面にムラが見えるがめっき未着部分はなし
×:めっき表面にひどいムラが見えめっき未着部あり
各例で得られた樹脂組成物を175℃の条件で、圧縮成形機を用いて、70mm×100mm×厚さ0.3μmの成形物を得た。成形物の表面に、YAGレーザー(波長1064nm)を照射し、無電解銅メッキを実施して、第一層を形成した。第一層として成形したサンプルを基板としてプラズマ処理(Arガス雰囲気下、パワー200W、処理時間2分)を実施してから、第二層を各例で得られた樹脂組成物を175℃の条件で、圧縮成形機を用いて、70mm×100mm×厚さ0.3μmの成形物を得た。第一層と同様に成形物の表面に、YAGレーザー(波長1064nm)を照射し、無電解銅メッキを実施して、第二層を形成した。第二層の形成手順と同様にして、さらに第三層を成形して多段構造の成形物を作製し、樹脂成形物を評価した。
樹脂組成物の評価基準を以下に示す。
◎:成形物が得られる
×:成形物が得られない
密着性の指標として、上記多層品のMSL(moisture sensitivity level:吸湿耐熱性)試験を以下の方法でおこなった。多段構造性評価の項で上述の多層品について、IPC/JEDEC J−STD−033Dに準拠して、所定の吸湿条件(表1中「L1」、85℃/85%、168h)で処理後、260℃リフローで3回処理を行い、第一層と第二層と第三層のいずれかの界面で剥離が発生していないかどうか、超音波映像装置(Scanning Acoustic Tomograph:SAT、日立パワーソリューションズ社製)を用いて評価した。評価基準を以下に示す。
Pass:SAT観察で剥離無し
×:SAT観察で、剥離あり
101 基板
103 半導体素子
105 導体部
107 第1封止層
109 第1配線層
111 第2封止層
113 第2配線層
115 凹部
117 凹部
Claims (5)
- 半導体素子と、
前記半導体素子および前記半導体素子に設けられた導体部を封止する第1の封止材と、
前記第1の封止材上に設けられるとともに、前記導体部に電気的に接続する第1の配線層と、
前記第1の封止材上に設けられるとともに、前記第1の封止材および前記第1の配線層を封止する第2の封止材と、
前記第2の封止材上に設けられるとともに前記第1の配線層に電気的に接続する第2の配線層と、
を含み、
前記第1および第2の封止材が、それぞれ、
熱硬化性樹脂と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、第1および第2のLDS(LASER DIRECT STRUCTURING)用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている、半導体装置。 - 前記第1および第2のLDS用熱硬化性樹脂組成物がカップリング剤をさらに含む、請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体素子および前記半導体素子を封止する第1の封止材を有する構造体を準備する工程と、
前記第1の封止材の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記第1の封止材の表面の前記活性エネルギー線が照射された領域に金属層を選択的に形成することにより、前記半導体素子に設けられた導体部に電気的に接続する第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の封止材上に、前記第1の封止材および前記第1の配線層を封止する第2の封止材を形成する工程と、
前記第2の封止材の表面の特定の部位に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記第2の封止材の表面の前記活性エネルギー線が照射された領域に金属層を選択的に形成することにより、前記第1の配線層に電気的に接続する第2の配線層を形成する工程と、
を含み、
前記第1および第2の封止材が、それぞれ、
熱硬化性樹脂と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、第1および第2のLDS(LASER DIRECT STRUCTURING)用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている、半導体装置の製造方法。 - 第1の配線層を形成する前記工程の後、第2の封止材を形成する前記工程の前に、前記第1の配線層が設けられた前記第1の封止材の表面にArプラズマ処理を施す工程を含む、請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のLDS用熱硬化性樹脂組成物がシート状または液状である、請求項3または4に記載の半導体装置の製造方法。
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