JP2009283621A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置を構成する封止樹脂(アンダーフィル材とモールド材)の内部欠陥を防止して信頼性の向上を図った半導体装置を提供する。
【解決手段】基板2と、前記基板2の少なくとも一方側に設けられる半導体素子3と、前記基板1と、前記半導体素子3との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂4と、前記半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂5とを有し、前記第1の硬化性樹脂を封止した後、前記第2の封止樹脂5で前記半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重量%以下であることを特徴とする半導体装置1である。
【選択図】図1
【解決手段】基板2と、前記基板2の少なくとも一方側に設けられる半導体素子3と、前記基板1と、前記半導体素子3との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂4と、前記半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂5とを有し、前記第1の硬化性樹脂を封止した後、前記第2の封止樹脂5で前記半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重量%以下であることを特徴とする半導体装置1である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。
近年、半導体素子の大型化、半導体装置の多ピン化、多様化に伴い、半導体素子等の周辺に使用される樹脂材料に対する信頼性の要求も厳しくなってきている。従来、リードフレームに半導体素子を接着し、封止樹脂で封止した半導体装置が主流であったが、近年では多ピン化の限界からボールグリッドアレイ(BGA)の様な半導体装置が増えている。BGAに搭載される半導体素子をインターポーザー(基板)に接続する方式には、ワイヤーボンドで半導体素子をインターポーザーに接続する方式、フリップチップで半導体素子をインターポーザーに接続する方式等がある。
フリップチップで半導体素子をインターポーザーに接続する方式の半導体装置では、信頼性を高めるためにバンプで電気的に接合した半導体素子と基板との間隙にアンダーフィル材と呼ばれる封止樹脂が充填、注入されている。
アンダーフィル材と呼ばれる封止樹脂は、一般的に硬化性樹脂、硬化剤、充填材で構成され、毛細管現象等を利用して半導体装置の半導体素子、インターポーザー、バンプの間隙を充填する。
アンダーフィル材と呼ばれる封止樹脂は、一般的に硬化性樹脂、硬化剤、充填材で構成され、毛細管現象等を利用して半導体装置の半導体素子、インターポーザー、バンプの間隙を充填する。
さらに近年では、フリップチップで半導体素子をインターポーザーに接続する方式の半導体装置の耐衝撃性や耐吸湿性を高めるために、半導体素子とインターポーザーとをアンダーフィル材で封止した後に、トランスファーモールド用封止材(以下、モールド材とする)により更に周囲を封止する半導体装置の開発が行われている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、アンダーフィル材を封止した後に、モールド材により更に周囲を封止して得られる半導体装置では、アンダーフィル材とモールド材との界面での接着力が十分ではなかった。そのため、モールド材を封止した直後または温度変化の大きい厳しい環境下(リフロー後や厳しい冷熱サイクル環境下)において、アンダーフィル材とモールド材との界面で剥離が生じるという問題点があった。この界面に剥離が生じると、半導体素子やインターポーザーへの剥離の進展、半導体装置のクラック、水分の浸入等を招き信頼性が低下していた。
本発明の目的は、上記構造の半導体装置において、半導体装置を構成する封止樹脂(アンダーフィル材とモールド材)の内部欠陥を防止して半導体装置の信頼性を向上することである。
このような目的は、下記(1)〜(11)に記載の本発明により達成される。
(1) 基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前
記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、
前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする半導体装置。
(2) 前記第1の封止樹脂組成物が、第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である、前記(1)項に記載の半導体装置。
(3) 前記第1の硬化性樹脂が、常温で液状のエポキシ樹脂である前記(2)項に記載の半導体装置。
(4) 前記第2の封止樹脂組成物が、第2の硬化性樹脂と第2の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である、前記(1)ないし(3)項のいずれかに記載の半導体装置。
(5) 前記第2の硬化性樹脂は、エポキシ樹脂である前記(1)ないし(4)項のいず
れかに記載の半導体装置。
(6) 前記第1の封止樹脂組成物は、さらに無機充填材を含むものである前記(1)ないし(5)項請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
(7) 前記第1の硬化性樹脂が、熱硬化性樹脂である前記(1)ないし(6)項のいずれかに記載の半導体装置。
(8) 前記第2の硬化剤は、フェノール性水酸基を有するものである前記(1)ないし(7)項のいずれかに記載の半導体装置。
(3) 前記第1の硬化剤と前記第2の硬化剤が、異なる硬化剤である前記(1)項に記載の半導体装置。
(9) 前記(1)〜(8)のいずれかの半導体装置に用いられることを特徴とする第1の封止樹脂組成物。
(10) 基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の硬化性樹脂と前記第1の硬化剤と異なる第2の硬化剤とを含む第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置の製造方法であって、
前記基板と半導体素子との間に前記第1の封止樹脂組成物を充填する第1の工程と、
前記第1の封止樹脂組成物を硬化する第2の工程と、
前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲するように前記第2の封止樹脂組成物を供給する第3の工程と、
第2の封止樹脂組成物を硬化する第4の工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(11) 前記第2の工程の後にプラズマ処理を行う工程を有することを特徴とする前記(10)項記載の半導体装置の製造方法。
(1) 基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前
記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、
前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする半導体装置。
(2) 前記第1の封止樹脂組成物が、第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である、前記(1)項に記載の半導体装置。
(3) 前記第1の硬化性樹脂が、常温で液状のエポキシ樹脂である前記(2)項に記載の半導体装置。
(4) 前記第2の封止樹脂組成物が、第2の硬化性樹脂と第2の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である、前記(1)ないし(3)項のいずれかに記載の半導体装置。
(5) 前記第2の硬化性樹脂は、エポキシ樹脂である前記(1)ないし(4)項のいず
れかに記載の半導体装置。
(6) 前記第1の封止樹脂組成物は、さらに無機充填材を含むものである前記(1)ないし(5)項請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
(7) 前記第1の硬化性樹脂が、熱硬化性樹脂である前記(1)ないし(6)項のいずれかに記載の半導体装置。
(8) 前記第2の硬化剤は、フェノール性水酸基を有するものである前記(1)ないし(7)項のいずれかに記載の半導体装置。
(3) 前記第1の硬化剤と前記第2の硬化剤が、異なる硬化剤である前記(1)項に記載の半導体装置。
(9) 前記(1)〜(8)のいずれかの半導体装置に用いられることを特徴とする第1の封止樹脂組成物。
(10) 基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の硬化性樹脂と前記第1の硬化剤と異なる第2の硬化剤とを含む第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置の製造方法であって、
前記基板と半導体素子との間に前記第1の封止樹脂組成物を充填する第1の工程と、
前記第1の封止樹脂組成物を硬化する第2の工程と、
前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲するように前記第2の封止樹脂組成物を供給する第3の工程と、
第2の封止樹脂組成物を硬化する第4の工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(11) 前記第2の工程の後にプラズマ処理を行う工程を有することを特徴とする前記(10)項記載の半導体装置の製造方法。
本発明によれば、第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との接着性に優れており、半導体装置の信頼性を向上することができる。
また、第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った場合、より厳しい条件(吸湿条件、リフロー温度)においても半導体装置の信頼性に優れていた。
また、第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った場合、より厳しい条件(吸湿条件、リフロー温度)においても半導体装置の信頼性に優れていた。
以下、本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法について詳細に説明する。
本発明の半導体装置は、基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第
2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とするものである。
本発明の半導体装置は、基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第
2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とするものである。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、基板と、前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の硬化性樹脂と前記第1の硬化剤と異なる第2の硬化剤とを含む第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置の製造方法であって、前記基板と半導体素子との間に前記第1の封止樹脂組成物を充填する第1の工程と、前記第1の封止樹脂組成物を硬化する第2の工程と、前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲するように前記第2の封止樹脂組成物を供給する第3の工程と、第2の封止樹脂組成物を硬化する第4の工程とを有することを特徴とするものである。
以下、本発明の半導体装置について、好適な実施の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明の半導体装置を模式的に示す断面図である。
半導体装置1は、基板2と、基板2の上側(図面上側)に間隙を介して設けられた半導体素子3と、基板2と半導体素子3との間を封止する第1の封止樹脂4と、半導体素子3を包囲する第2の封止樹脂5とで構成されている。
半導体素子3と、基板2とは、突起電極6で接続される。
図1は、本発明の半導体装置を模式的に示す断面図である。
半導体装置1は、基板2と、基板2の上側(図面上側)に間隙を介して設けられた半導体素子3と、基板2と半導体素子3との間を封止する第1の封止樹脂4と、半導体素子3を包囲する第2の封止樹脂5とで構成されている。
半導体素子3と、基板2とは、突起電極6で接続される。
第1の封止樹脂4は、第1の封止樹脂組成物で構成され、第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含むものである。また、第2の封止樹脂5は、第2の封止樹脂組成物で構成され、第2の硬化性樹脂と第2の硬化剤とを含むものである。
ここで、本発明は、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする。これにより、第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との界面の接着性を向上することができる。界面の接着性が向上できる理由を以下に記す。第1の封止樹脂組成物における、200℃において固形の成分とは、硬化性樹脂、硬化剤、カップリング剤などの熱硬化(例えば150℃硬化)によって固形化するものおよび無機充填材やカーボンブラックなどの熱硬化以前から固形のものであり、200℃において揮発する成分とは、熱硬化(例えば150℃硬化)中に気化して封止樹脂組成物の系外に排出される溶剤などであるが、200℃において固形および揮発する成分以外の成分が多いと、その成分は熱硬化によっても固化することなく第1の封止樹脂組成物の硬化物表面に浮き出して、表面にべた付きを与える。この第1の封止樹脂のべた付きが第2の封止樹脂と第1の封止樹脂表面との密着性を低下させる。そこで200℃において固形および揮発する成分以外の成分を0.5重量%以下とすることによって、表面のべた付きが少なくなり、密着性が向上する。また第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行うことにより、200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重量%以下の場合には表面のべた付き成分がプラズマ処理によって除去されて、良好な密着性が得られるようになる。
ここで、本発明は、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする。これにより、第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との界面の接着性を向上することができる。界面の接着性が向上できる理由を以下に記す。第1の封止樹脂組成物における、200℃において固形の成分とは、硬化性樹脂、硬化剤、カップリング剤などの熱硬化(例えば150℃硬化)によって固形化するものおよび無機充填材やカーボンブラックなどの熱硬化以前から固形のものであり、200℃において揮発する成分とは、熱硬化(例えば150℃硬化)中に気化して封止樹脂組成物の系外に排出される溶剤などであるが、200℃において固形および揮発する成分以外の成分が多いと、その成分は熱硬化によっても固化することなく第1の封止樹脂組成物の硬化物表面に浮き出して、表面にべた付きを与える。この第1の封止樹脂のべた付きが第2の封止樹脂と第1の封止樹脂表面との密着性を低下させる。そこで200℃において固形および揮発する成分以外の成分を0.5重量%以下とすることによって、表面のべた付きが少なくなり、密着性が向上する。また第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行うことにより、200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重量%以下の場合には表面のべた付き成分がプラズマ処理によって除去されて、良好な密着性が得られるようになる。
第2の封止樹脂5は、半導体素子3を保護する機能を有する。
第2の封止樹脂5は、第2の封止樹脂組成物で構成され、第2の硬化性樹脂および第2の硬化剤を含むものである。
前記第2の硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のアラルキル型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂が挙げられ、これらは単独でも混合して使用しても良い。なお、ここでエポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を意味する。ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂が好ましい。これにより、電気特性を向上することができる。さらに、多量の無機充填材を添加しても成形可能な流動性を維持することができる。
第2の封止樹脂5は、第2の封止樹脂組成物で構成され、第2の硬化性樹脂および第2の硬化剤を含むものである。
前記第2の硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のアラルキル型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂が挙げられ、これらは単独でも混合して使用しても良い。なお、ここでエポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を意味する。ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂が好ましい。これにより、電気特性を向上することができる。さらに、多量の無機充填材を添加しても成形可能な流動性を維持することができる。
前記第2の硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記第2の封止樹脂組成物全体の3〜30重量%が好ましく、特に5〜20重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると流動性が低下し樹脂を封止するのが困難となる場合があり、前記上限値を超えると半田耐熱性が低下する場合がある。
前記第2の硬化剤としては、例えばジエチレントリアミン(DETA)、トリエチレンテトラミン(TETA)、メタキシレリレンジアミン(MXDA)などの脂肪族ポリアミン、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、m−フェニレンジアミン(MPDA)、ジアミノジフェニルスルホン(DDS)などの芳香族ポリアミンのほか、ジシアンジアミド(DICY)、有機酸ジヒドララジドなどを含むポリアミン化合物等のアミン系硬化剤、ノボラック型フェノール樹脂、フェノールポリマー等のフェノール系硬化剤(フェノール性水酸基を有する硬化剤)、ヘキサヒドロ無水フタル酸(HHPA)、メチルテトラヒドロ無水フタル酸(MTHPA)などの脂環族酸無水物(液状酸無水物)、無水トリメリット酸(TMA)、無水ピロメリット酸(PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸(BTDA)等の芳香族酸無水物等の酸無水物系硬化剤、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂が挙げられる。
また、前記第2の硬化性樹脂として上述のエポキシ樹脂を用いる場合、第2の硬化剤は、特に限定されないが、フェノール性水酸基を有する硬化剤を用いるのが好ましい。フェノール性水酸基を有する硬化剤は、他の硬化剤と比較して第2の封止樹脂の反応を制御することが容易となるため、半導体装置を製造する際の良好な流動性を確保することができる。また、フェノール性水酸基を有する硬化剤は、その反応性制御が容易なことより無機充填材の高充填化も可能となる。そのため、半導体装置の優れた信頼性を確保することができる。ここでフェノール性水酸基を有する硬化剤とは、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではない。具体的にはフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂等のアラルキル型フェノール樹脂、ビスフェノール化合物等が挙げられ、これらは単独でも混合して使用しても良い。
前記第2の硬化剤の含有量は、特に限定されないが、前記第2の封止樹脂組成物全体の
2〜10重量%が好ましく、特に4〜7重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると流動性が劣り第1の封止樹脂との密着性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると吸湿量が増えリフロー後の密着性を向上する効果が低下する場合がある。
また、前記第2の硬化性樹脂がエポキシ樹脂である場合、前記第2の硬化剤としてフェノール性水酸基を有する硬化剤が好ましく用いられ、その場合、前記エポキシ樹脂のエポキシ基とフェノール性水酸基を有する硬化剤のフェノール性水酸基との当量比(エポキシ基/フェノール性水酸基)は、特に限定されないが、0.5〜2.0が好ましく、特に0.7〜1.5が好ましい。当量比が前記範囲内であると、特に硬化性および耐湿信頼性に優れる。
2〜10重量%が好ましく、特に4〜7重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると流動性が劣り第1の封止樹脂との密着性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると吸湿量が増えリフロー後の密着性を向上する効果が低下する場合がある。
また、前記第2の硬化性樹脂がエポキシ樹脂である場合、前記第2の硬化剤としてフェノール性水酸基を有する硬化剤が好ましく用いられ、その場合、前記エポキシ樹脂のエポキシ基とフェノール性水酸基を有する硬化剤のフェノール性水酸基との当量比(エポキシ基/フェノール性水酸基)は、特に限定されないが、0.5〜2.0が好ましく、特に0.7〜1.5が好ましい。当量比が前記範囲内であると、特に硬化性および耐湿信頼性に優れる。
前記第2の封止樹脂組成物は、特に限定されないが、無機充填材を含有することが好ましい。前記無機充填材としては、例えばタルク、焼成クレー、未焼成クレー、マイカ、ガラス等のケイ酸塩、酸化チタン、アルミナ、溶融シリカ(溶融球状シリカ、溶融破砕シリカ)、結晶シリカ等のシリカ粉末等の酸化物、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ハイドロタルサイト等の炭酸塩、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム等の水酸化物、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム等の硫酸塩または亜硫酸塩、ホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸カルシウム、ホウ酸ナトリウム等のホウ酸塩、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素等の窒化物等を挙げることができる。前述の無機充填材は、単独でも混合して使用しても良い。これらの中でも溶融シリカ、結晶シリカ等のシリカ粉末が好ましく、特に球状溶融シリカが好ましい。これにより、耐熱性、耐湿性、強度等を向上させることができる。前記無機充填材の形状は、特に限定されないが、真球状であることが好ましく、かつ粒度分布がブロードであることが好ましい。これにより、第2の封止樹脂組成物の流動性を特に向上することができる。
さらに、前記無機充填材は、その表面がカップリング剤により表面処理されていても良い。
さらに、前記無機充填材は、その表面がカップリング剤により表面処理されていても良い。
第2の封止樹脂組成物に含まれる前記無機充填材の含有量は、特に限定されないが、前記第2の封止樹脂組成物全体の20〜95重量%が好ましく、特に30〜90重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐湿性が低下する場合があり、前記上限値を超えると流動性が低下する場合がある。
また、前記第2の封止樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等のジアザビシクロアルケンおよびその誘導体、トリブチルアミン、ベンジルジメチルアミン等のアミン系化合物、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラ安息香酸ボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイックアシッドボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイルオキシボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフチルオキシボレート等のテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート等の硬化促進剤、エポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン等のシランカップリング剤や、チタネートカップリング剤、アルミニウムカップリング剤、アルミニウム/ジルコニウムカップリング剤等のカップリング剤、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、カルナバワックス等の天然ワックス、ポリエチレンワックス等の合成ワックス、ステアリン酸やステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸およびその金属塩類、パラフィン等の離型剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力化成分、臭素化エポキシ樹脂や三酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硼酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、フォスファゼン等の難燃剤、酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体等の添加剤を添加するこ
とができる。
とができる。
第1の封止樹脂4は、基板2と半導体素子3との接続信頼性を向上する機能を有する。
第1の封止樹脂4は、第1の封止樹脂組成物で構成され、第1の硬化性樹脂および第1の硬化剤を含むものである。
前記第1の硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、N,N-
ジグリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトルイジン、ジアミノジフェニルメタン型グリシジルアミン、アミノフェノール型グリシジルアミンのような芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリフェノールプロパン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のアラルキル型エポキシ樹脂、ビニルシクロヘキセンジオキシド、ジシクロペンタジエンオキシド、アリサイクリックジエポキシ−アジペイド等の脂環式エポキシ等の脂肪族エポキシ樹脂ジシロキサン構造を有するシリコーン変性エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂が挙げられ、これらは単独でも混合して使用しても良い。なお、ここでエポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を意味する。ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂が好ましく、特に室温で液状のエポキシ樹脂が好ましい。これにより、作業性を向上することができる。さらに、特に第1の封止樹脂組成物の充填性を向上することができる。
第1の封止樹脂4は、第1の封止樹脂組成物で構成され、第1の硬化性樹脂および第1の硬化剤を含むものである。
前記第1の硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、N,N-
ジグリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトルイジン、ジアミノジフェニルメタン型グリシジルアミン、アミノフェノール型グリシジルアミンのような芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリフェノールプロパン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のアラルキル型エポキシ樹脂、ビニルシクロヘキセンジオキシド、ジシクロペンタジエンオキシド、アリサイクリックジエポキシ−アジペイド等の脂環式エポキシ等の脂肪族エポキシ樹脂ジシロキサン構造を有するシリコーン変性エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂が挙げられ、これらは単独でも混合して使用しても良い。なお、ここでエポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を意味する。ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂が好ましく、特に室温で液状のエポキシ樹脂が好ましい。これにより、作業性を向上することができる。さらに、特に第1の封止樹脂組成物の充填性を向上することができる。
前記の室温で液状のエポキシ樹脂としては、例えばビスフェノール系ジグリシジルエーテル類、フェノールノボラックとエピクロールヒドリンとの反応で得られる常温で液状のグリシジルエーテル、芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、常温で液状のシリコーン変性エポキシ樹脂およびそれらの混合物等が挙げられる。
さらに、これらの液状樹脂にジヒドロキシナフタレンのジグリシジルエーテル、テトラメチルビフェノールのジグリシジルエーテル等の常温で液状となりうるが純度が高いと結晶化するような結晶性エポキシ樹脂を混合し、液状にしたものを使用することもできる。
また、前記の常温で液状のエポキシ樹脂に、常温で固形のエポキシ樹脂を混合し、液状にしたものも使用することもできる。
前記固形のエポキシ樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂全体の50重量%以下が好ましく、特に20重量%以下が好ましい。含有量が前記範囲内であると、第1の封止樹脂4の硬化物特性を制御するのが容易となる。
さらに、これらの液状樹脂にジヒドロキシナフタレンのジグリシジルエーテル、テトラメチルビフェノールのジグリシジルエーテル等の常温で液状となりうるが純度が高いと結晶化するような結晶性エポキシ樹脂を混合し、液状にしたものを使用することもできる。
また、前記の常温で液状のエポキシ樹脂に、常温で固形のエポキシ樹脂を混合し、液状にしたものも使用することもできる。
前記固形のエポキシ樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂全体の50重量%以下が好ましく、特に20重量%以下が好ましい。含有量が前記範囲内であると、第1の封止樹脂4の硬化物特性を制御するのが容易となる。
また、前記第2の硬化性樹脂と第1の硬化性樹脂とは、特に限定されないが、同種の硬化性樹脂であることが好ましい。これにより、第2の封止樹脂と第1の封止樹脂との界面の接着性を特に向上することができる。
同種の硬化性樹脂とは、例えばエポキシ樹脂同士、フェノール樹脂同士等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂同士が好ましい。これにより、耐熱性および電気特性の両方に優れる。
同種の硬化性樹脂とは、例えばエポキシ樹脂同士、フェノール樹脂同士等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂同士が好ましい。これにより、耐熱性および電気特性の両方に優れる。
前記第1の硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記第1の封止樹脂組成物全体の4〜70重量%が好ましく、特に10〜50重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると作業性および流動性が低下する場合があり、前記上限値を超えると耐ヒートサイクル性(耐クラック性および半田の変形防止)が低下する場合がある。
前記第1の硬化剤としては、例えばジエチレントリアミン(DETA)、トリエチレンテトラミン(TETA)、メタキシレリレンジアミン(MXDA)などの脂肪族ポリアミン、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、m−フェニレンジアミン(MPDA)、ジアミノジフェニルスルホン(DDS)、下記式(1)で示される化合物などの芳香族ポリアミンのほか、ジシアンジアミド(DICY)、有機酸ジヒドララジドなどを含むポリアミン化合物等のアミン系硬化剤、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレンおよび/またはビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂等のアラルキル型フェノール樹脂、ビスフェノール化合物、アルキルおよび/またはアリル変性の液状ポリフェノール等のフェノール系硬化剤(1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般)、ヘキサヒドロ無水フタル酸(HHPA)、メチルテトラヒドロ無水フタル酸(MTHPA)などの脂環族酸無水物(液状酸無水物)、無水トリメリット酸(TMA)、無水ピロメリット酸(PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸(BTDA)等の芳香族酸無水物等の酸無水物系硬化剤、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂が挙げられる。
これらの中でも室温で液状である硬化剤が好ましい。これにより、第1の封止樹脂組成物の流動性を特に向上することができる。
前記第1の硬化剤の含有量は、特に限定されないが、前記第1の封止樹脂組成物全体の1〜50重量%が好ましく、特に3〜40重量%が好ましい。含有量が前記範囲内であると、特に第1の封止樹脂組成物が効率良く硬化する。
また、前記第2の硬化剤と第1の硬化剤とは、特に限定されないが、異なる硬化剤であることがより好ましい。これにより、本発明の効果がより顕著に得られる。
異なる硬化剤とは、例えば、フェノール性水酸基を有する硬化剤とアミン系硬化剤、フェノール性水酸基を有する硬化剤と酸無水物系硬化剤等が挙げられる。これらの中でも、第1の硬化剤にアミン系硬化剤を用い、第2の硬化剤にフェノール性水酸基を有する硬化
剤を用いることが好ましい。これにより、第1の封止樹脂は半田耐熱性が良好となり、第2の封止樹脂は他の硬化剤と比較して第2の封止樹脂の反応を制御することが容易となるため、半導体装置を製造する際の良好な流動性を確保することができる。
また、前記第2の硬化剤と第1の硬化剤とは、特に限定されないが、異なる硬化剤であることがより好ましい。これにより、本発明の効果がより顕著に得られる。
異なる硬化剤とは、例えば、フェノール性水酸基を有する硬化剤とアミン系硬化剤、フェノール性水酸基を有する硬化剤と酸無水物系硬化剤等が挙げられる。これらの中でも、第1の硬化剤にアミン系硬化剤を用い、第2の硬化剤にフェノール性水酸基を有する硬化
剤を用いることが好ましい。これにより、第1の封止樹脂は半田耐熱性が良好となり、第2の封止樹脂は他の硬化剤と比較して第2の封止樹脂の反応を制御することが容易となるため、半導体装置を製造する際の良好な流動性を確保することができる。
前記第1の封止樹脂組成物は、特に限定されないが、無機充填材を含有することが好ましい。これにより、耐湿性および耐ヒートサイクル性(耐クラック性および半田の変形防止)を向上することができる。
前記無機充填材としては、例えばタルク、焼成クレー、未焼成クレー、マイカ、ガラス等のケイ酸塩、酸化チタン、アルミナ、シリカ、溶融シリカ等の酸化物、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ハイドロタルサイト等の炭酸塩、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム等の水酸化物、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム等の硫酸塩または亜硫酸塩、ホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸カルシウム、ホウ酸ナトリウム等のホウ酸塩、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素等の窒化物等を挙げることができる。これらの中でもシリカ、溶融シリカが好ましく、特に球状溶融シリカが好ましい。これにより、流動性および供給安定性を向上することができる。
前記無機充填材としては、例えばタルク、焼成クレー、未焼成クレー、マイカ、ガラス等のケイ酸塩、酸化チタン、アルミナ、シリカ、溶融シリカ等の酸化物、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ハイドロタルサイト等の炭酸塩、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム等の水酸化物、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム等の硫酸塩または亜硫酸塩、ホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸カルシウム、ホウ酸ナトリウム等のホウ酸塩、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素等の窒化物等を挙げることができる。これらの中でもシリカ、溶融シリカが好ましく、特に球状溶融シリカが好ましい。これにより、流動性および供給安定性を向上することができる。
前記無機充填材(特に、球状シリカ)の平均粒子径は、特に限定されないが、10μm以下が好ましく、特に5μm以下が好ましい。平均粒子径が前記範囲内であると、第1の封止樹脂組成物の充填性を特に向上することができる。
前記第1の封止樹脂組成物は、毛細管現象等を利用して半導体装置の半導体素子基板等との間隙を充填するものであり、その間隙は150μm以下であることが多い。そのため、その間隙で第1の封止樹脂組成物の流動性を確保するためには、第1の封止樹脂組成物に用いる無機充填材は、前記範囲内であることが好ましい。
前記第1の封止樹脂組成物は、毛細管現象等を利用して半導体装置の半導体素子基板等との間隙を充填するものであり、その間隙は150μm以下であることが多い。そのため、その間隙で第1の封止樹脂組成物の流動性を確保するためには、第1の封止樹脂組成物に用いる無機充填材は、前記範囲内であることが好ましい。
第1の封止樹脂組成物に含まれる前記無機充填材の含有量は、特に限定されないが、前記第1の封止樹脂組成物全体の30〜90重量%が好ましく、特に40〜75重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐ヒートサイクル性(耐クラック性および半田の変形防止)が低下する場合があり、前記上限値を超えると作業性および流動性が低下する場合がある。
前記第1の封止樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で硬化促進剤、カップリング剤、低応力剤、顔料、染料、レベリング剤、消泡剤等の添加剤を混合することができる。ここで本発明の目的を損なわない範囲とは、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発する成分以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする。なお、イミダゾール等のその他の硬化剤無しでも硬化性樹脂と反応する成分は、硬化促進剤用途として用いている場合でも本発明では硬化剤と見なすこととする。これにより、第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との界面の接着性を向上することができる。界面の接着性が向上できる理由を以下に記す。第1の封止樹脂組成物で200℃において固形の成分とは、熱硬化(例えば150℃硬化)によって固形化するもの(例えば、硬化性樹脂、硬化剤、カップリング剤など)および熱硬化以前から固形のもの(例えば、無機充填材やカーボンブラックなど)であり、200℃において揮発する成分とは、熱硬化中に気化して封止樹脂組成物の系外に排出されるものである。200℃において固形および揮発する成分以外の成分が多いと、200℃において固形および揮発する成分以外の成分は熱硬化によっても固化することなく第1の封止樹脂組成物の硬化物表面に浮き出して、表面にべた付きを与える。この第1の封止樹脂表面のべた付きが第2の封止樹脂と第1の封止樹脂との密着性を低下させる。そこで200℃において固形および揮発する成分以外の成分を0.5重量%以下とすることによって、表面のべた付きが少なくなり、密着性が向上する。また第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行うことにより、200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重
量%以下の場合には表面のべた付き成分がプラズマ処理によって除去されて、良好な密着性が得られるようになる。
量%以下の場合には表面のべた付き成分がプラズマ処理によって除去されて、良好な密着性が得られるようになる。
本発明に用いられる半導体装置は、基板2の上に間隙を介して半導体素子3が対向配置され、この半導体素子3と基板2との間隙を第1の封止樹脂組成物で封止した後に、第2の封止樹脂組成物により更に周囲を封止して得られるものである。
本発明の半導体装置は、図1に示す以外の構成を有する半導体装置にも適用可能である。他の構成を有する半導体装置としては、例えば図2〜図4に示すようなものがある。図2〜図4は、他の構成を有する半導体装置1の模式図である。以下、図1に示す半導体装置との相違点を中心に説明する。
本発明の半導体装置は、図1に示す以外の構成を有する半導体装置にも適用可能である。他の構成を有する半導体装置としては、例えば図2〜図4に示すようなものがある。図2〜図4は、他の構成を有する半導体装置1の模式図である。以下、図1に示す半導体装置との相違点を中心に説明する。
図2に示される半導体装置1は、半導体素子3の上面が第2の封止樹脂5に覆われずに、開放されているものである(すなわち半導体素子3の側部全周が第2の封止樹脂5で包囲されている)。
図3に示される半導体装置1は、半導体素子3の上面に、接着剤や接着フィルム等(図示せず)を介して、他の半導体素子3aを搭載し、半導体素子3aからワイヤー6によりワイヤーボンディングを行い、基板2に接続したものを第2の封止樹脂組成物で封止するものである。
図4に示される半導体装置1は、基板2の半導体素子3を搭載している側と反対側にも第2の封止樹脂5が形成されているものである。
なお、図2〜4についても第1の封止樹脂4、第2の封止樹脂5の樹脂組成は前述の図1に示す半導体装置1と同様である。
なお、図2〜4についても第1の封止樹脂4、第2の封止樹脂5の樹脂組成は前述の図1に示す半導体装置1と同様である。
上述のような半導体装置の構成の中でも例えば図1〜3に示すような、基板2の片面のみを第2の封止樹脂組成物で封止するものに、本発明を好適に用いることができる。すなわち、第2の封止樹脂組成物が基板2の両面を封止する場合と比較して、片面封止の場合、半導体装置の温度変化に対する反り量の変化が大きくなる。そのため第1の封止樹脂4と第2の封止樹脂5との積層界面にかかる応力が大きく、より強い接着力が必要とされるからである。
次に、半導体装置の製造方法について説明する。
図5は、本発明における半導体装置の製造方法の一例を示す概略図である。
本発明の半導体装置の製造方法には、図5aに示すように予め基板2の一方側に設けられた半導体素子3を有するものを使用することができる。
図5は、本発明における半導体装置の製造方法の一例を示す概略図である。
本発明の半導体装置の製造方法には、図5aに示すように予め基板2の一方側に設けられた半導体素子3を有するものを使用することができる。
まず、基板2と、基板2の一方側に設けられる半導体素子3との間隙8に、第1の封止樹脂組成物を充填する。第1の封止樹脂組成物を充填する方法としては、半導体装置を熱板上に置き、第1の封止樹脂組成物が入ったシリンジのような注入器を用いて、第1の封
止樹脂組成物を半導体素子3の近傍に抽入して、毛細管現象により間隙8内に展開、充填する方法等が挙げられる。
第1の封止樹脂組成物を得るには、前記第1の熱硬化性樹脂や第1の硬化剤などを例えばロール、遊星ミキサー等で混合し、好ましくは真空脱泡する。
前記第1の封止樹脂組成物(充填液)の粘度は、特に限定されないが、0.5〜500Pa・sが好ましく、特に1〜200Pa・sが好ましい。粘度が前記下限値未満であると封止樹脂組成物が充填装置の吐出口より液垂れする場合があり、前記上限値を超えると流動性が低下する場合がある。
前記粘度は、例えば常温(25℃)でブルックフィールド型粘度計、E型粘度計等を用いて、測定条件0.5〜5rpmで評価することができる。
止樹脂組成物を半導体素子3の近傍に抽入して、毛細管現象により間隙8内に展開、充填する方法等が挙げられる。
第1の封止樹脂組成物を得るには、前記第1の熱硬化性樹脂や第1の硬化剤などを例えばロール、遊星ミキサー等で混合し、好ましくは真空脱泡する。
前記第1の封止樹脂組成物(充填液)の粘度は、特に限定されないが、0.5〜500Pa・sが好ましく、特に1〜200Pa・sが好ましい。粘度が前記下限値未満であると封止樹脂組成物が充填装置の吐出口より液垂れする場合があり、前記上限値を超えると流動性が低下する場合がある。
前記粘度は、例えば常温(25℃)でブルックフィールド型粘度計、E型粘度計等を用いて、測定条件0.5〜5rpmで評価することができる。
図5bに示すように第1の封止樹脂組成物が、間隙8に充填された後に、第1の封止樹脂組成物を硬化する。第1の封止樹脂組成物を硬化する方法は、加熱する方法である。加熱条件は、特に限定されないが、140〜180℃×10〜180分が好ましく、特に150〜165℃×30〜120分が好ましい。加熱条件が前記下限値未満であると硬化が不十分となる場合があり、前記上限値を超えると生産性を向上する効果が低下する場合がある。
次に、半導体素子3と、第1の封止樹脂組成物を硬化した第1の封止樹脂4を共に包囲するように第2の封止樹脂組成物を供給する。第2の封止樹脂組成物を供給する方法としては、例えばトランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法が挙げられる。
前記第2の封止樹脂組成物は、例えばミキサー等を用いて原料を充分に均一に混合した後、更に熱ロール、ニーダー、押出機等の混練機で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
第2の封止樹脂組成物を供給する際の粘度は、特に限定されないが、30〜300poiseが好ましく、特に50〜200poiseが好ましい。粘度が前記下限値未満であると流動性が低下し第1の封止樹脂との密着性が低下する場合があり、前記上限値を超えるとボイドの発生が多くなる場合がある。前記粘度は、例えば高化式フローテスター等で求めることができる。
前記第2の封止樹脂組成物は、例えばミキサー等を用いて原料を充分に均一に混合した後、更に熱ロール、ニーダー、押出機等の混練機で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
第2の封止樹脂組成物を供給する際の粘度は、特に限定されないが、30〜300poiseが好ましく、特に50〜200poiseが好ましい。粘度が前記下限値未満であると流動性が低下し第1の封止樹脂との密着性が低下する場合があり、前記上限値を超えるとボイドの発生が多くなる場合がある。前記粘度は、例えば高化式フローテスター等で求めることができる。
そして、図5cのように第2の封止樹脂組成物が供給された後に、第2の封止樹脂組成物を硬化する。第2の封止樹脂組成物を硬化する方法としては、加熱する方法、光照射する方法などが挙げられる。
加熱する方法の加熱条件は、特に限定されないが、160〜185℃×30〜180秒が好ましく、特に170〜185℃×50〜120秒が好ましい。加熱条件が前記下限値未満であるとランナー取られなどの離型不良が生じる場合があり、前記上限値を超えると成形のサイクルタイムが延び生産性が低下する場合がある。
加熱する方法の加熱条件は、特に限定されないが、160〜185℃×30〜180秒が好ましく、特に170〜185℃×50〜120秒が好ましい。加熱条件が前記下限値未満であるとランナー取られなどの離型不良が生じる場合があり、前記上限値を超えると成形のサイクルタイムが延び生産性が低下する場合がある。
なお、本発明の半導体装置の製造方法では、第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行っても良い。プラズマ処理を行うことにより、前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発する成分以外の成分が0.5重量%以下の場合には、硬化後の表面のべた付き成分がプラズマ処理によって除去されて、より良好な密着性が得られるようになる。
以上のような製造方法により、本発明の半導体装置が得られる。なお、上述の製造方法においては、第2の封止樹脂4が基板2の片面側から半導体素子3の周囲を完全に封止する場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、例えば半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する場合、基板2の両面に第2の封止樹脂5が封止される場合等である。
以上のような製造方法により、本発明の半導体装置が得られる。なお、上述の製造方法においては、第2の封止樹脂4が基板2の片面側から半導体素子3の周囲を完全に封止する場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、例えば半導体素子3の少なくとも側部全周を包囲する場合、基板2の両面に第2の封止樹脂5が封止される場合等である。
以下、本発明の実施例および比較例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
(実施例1)
(1)第1の封止樹脂組成物の調製
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.7重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.7重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.9重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.1重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%とを3本ロールにて室温で混練した後、真空脱泡機を用いて真空脱泡処理をして第1の封止樹脂を構成する第1の封止樹脂組成物Aを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
(実施例1)
(1)第1の封止樹脂組成物の調製
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.7重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.7重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.9重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.1重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%とを3本ロールにて室温で混練した後、真空脱泡機を用いて真空脱泡処理をして第1の封止樹脂を構成する第1の封止樹脂組成物Aを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
(2)第2の封止樹脂組成物の調製
第2の硬化性樹脂としてビフェニル型エポキシ樹脂(YX4000H、ジャパンエポキシレジン製、融点108℃、エポキシ当量185)8.43重量%と、第2の硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(PR−HF−3、住友ベークライト製、軟化点80℃、水酸基当量105)4.22重量%と、トリフェニルホスフィン(TPP、北興化学製)0.15重量%と、無機充填材として球状溶融シリカ(FB60、電気化学製、平均粒径24μm)86.8重量%と、カーボンブラック(MA600、三菱化学製)0.2重量%と、カルナバワックス(東亜化成製)0.2重量%とをミキサーで25℃、20分間混合した後、2本ロールを用いて95℃、5分間混練し、冷却後粉砕して第2の封止樹脂を構成する第2の封止樹脂組成物Gを得た。
第2の硬化性樹脂としてビフェニル型エポキシ樹脂(YX4000H、ジャパンエポキシレジン製、融点108℃、エポキシ当量185)8.43重量%と、第2の硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(PR−HF−3、住友ベークライト製、軟化点80℃、水酸基当量105)4.22重量%と、トリフェニルホスフィン(TPP、北興化学製)0.15重量%と、無機充填材として球状溶融シリカ(FB60、電気化学製、平均粒径24μm)86.8重量%と、カーボンブラック(MA600、三菱化学製)0.2重量%と、カルナバワックス(東亜化成製)0.2重量%とをミキサーで25℃、20分間混合した後、2本ロールを用いて95℃、5分間混練し、冷却後粉砕して第2の封止樹脂を構成する第2の封止樹脂組成物Gを得た。
(3)第1の封止樹脂組成物の充填(封止)
基板に予め半導体素子が形成されている基板を用いた。用いた半導体素子と基板は、以下の通りである。半導体素子はサイズが10mm×10mm×0.35mmtを用い、基板は352pBGA(サイズ35mm×35mm×0.56mmtのビスマレイミド・トリアジン樹脂/ガラスクロス基板であり、ゲート、ランナー部は金メッキが施されている)を用いた。半導体素子と基板とは、176個の半田バンプによりペリフェラル(外周部のみバンプがある形状)に接合されているものを用いた。半田バンプの高さは、0.05mmであった。また、半導体素子の保護膜には窒化ケイ素を用い、基板上のソルダーレジストには太陽インキ製造社のPSR4000を用いた。
上述の半導体素子が搭載された基板を110℃の熱板上で加熱し、半導体素子の一辺に第1の封止樹脂組成物をディスペンスし充填させ、150℃のオーブンで120分間第1の封止樹脂組成物を硬化し、第1の封止樹脂とした。
基板に予め半導体素子が形成されている基板を用いた。用いた半導体素子と基板は、以下の通りである。半導体素子はサイズが10mm×10mm×0.35mmtを用い、基板は352pBGA(サイズ35mm×35mm×0.56mmtのビスマレイミド・トリアジン樹脂/ガラスクロス基板であり、ゲート、ランナー部は金メッキが施されている)を用いた。半導体素子と基板とは、176個の半田バンプによりペリフェラル(外周部のみバンプがある形状)に接合されているものを用いた。半田バンプの高さは、0.05mmであった。また、半導体素子の保護膜には窒化ケイ素を用い、基板上のソルダーレジストには太陽インキ製造社のPSR4000を用いた。
上述の半導体素子が搭載された基板を110℃の熱板上で加熱し、半導体素子の一辺に第1の封止樹脂組成物をディスペンスし充填させ、150℃のオーブンで120分間第1の封止樹脂組成物を硬化し、第1の封止樹脂とした。
(4)第2の封止樹脂組成物の充填(封止)
その後トランスファー成形機を用い、金型温度175℃、注入圧力7.8MPa、硬化時間2分で第2の封止樹脂組成物を封止して成形した。得られた成形品のランナー、ゲート部の第2の封止樹脂と金メッキ部分とを人手により分離した。そして175℃、2時間で後硬化して第2の封止樹脂とし、半導体装置を得た。使用したサンプルは10個であった。
その後トランスファー成形機を用い、金型温度175℃、注入圧力7.8MPa、硬化時間2分で第2の封止樹脂組成物を封止して成形した。得られた成形品のランナー、ゲート部の第2の封止樹脂と金メッキ部分とを人手により分離した。そして175℃、2時間で後硬化して第2の封止樹脂とし、半導体装置を得た。使用したサンプルは10個であった。
(実施例2)
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例1と同様にした。プラズマ装置としては、March Plasma Systems社製AP−1000を用い、ガス種:Ar、ガス流量:200sccm、処理強さ:400W、処理時間:120s、ダイレクトプラズマモードの条件で処理を行った。
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例1と同様にした。プラズマ装置としては、March Plasma Systems社製AP−1000を用い、ガス種:Ar、ガス流量:200sccm、処理強さ:400W、処理時間:120s、ダイレクトプラズマモードの条件で処理を行った。
(実施例3)
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403
S、エポキシ当量165)11.6重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.6重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.8重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.2重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)0.2重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Bを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
(実施例4)
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例3と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403
S、エポキシ当量165)11.6重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.6重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.8重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.2重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)0.2重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Bを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
(実施例4)
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例3と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
(実施例5)
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.6重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.6重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.8重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.0重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)0.4重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Cを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.6重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.6重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.8重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.0重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)0.4重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Cを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。
(実施例6)
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例5と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例5と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
(実施例7)
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)8.3重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)8.3重量%と、第1の硬化剤として液状ポリフェノール(明和化成製、MEH−8000H、水酸基当量141)18.7重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)0.8重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.3重量%、硬化促進剤として2−フェニル−4メチルイミダゾール0.5重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Dを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。またイミダゾールはその他の硬化剤無しでも硬化性樹脂と反応する成分であるので、硬化促進剤用途として用いているが本発明では硬化剤成分と見なす。
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例1と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)8.3重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)8.3重量%と、第1の硬化剤として液状ポリフェノール(明和化成製、MEH−8000H、水酸基当量141)18.7重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)0.8重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート(東京化成工業製)0.3重量%、硬化促進剤として2−フェニル−4メチルイミダゾール0.5重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Dを得た。カーボンブラックと球状シリカは200℃において固形の成分である。またイミダゾールはその他の硬化剤無しでも硬化性樹脂と反応する成分であるので、硬化促進剤用途として用いているが本発明では硬化剤成分と見なす。
(実施例8)
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例7と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った以外は実施例7と同様にした。プラズマ処理条件は実施例2と同様にした。
(比較例1)
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例2と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.2重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.2重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.5重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.1重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)1.4重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Eを得た。
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例2と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)11.2重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)11.2重量%と、第1の硬化剤として3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(日本化薬製、カヤハードAA、当量63.
5)11.5重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)1.1重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート0.5重量%と、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)1.4重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Eを得た。
(比較例2)
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例2と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)8.0重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)8.0重量%と、第1の硬化剤として液状ポリフェノール(明和化成製、MEH−8000H、水酸基当量141)18.2重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)0.9重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート0.3重量%、硬化促進剤として2−フェニル−4メチルイミダゾール0.5重量%、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)1.0重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Fを得た。
第1の封止樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実施例2と同様にした。
第1の硬化性樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬製、RE−403S、エポキシ当量165)8.0重量%および4−(2,3−エポキシプロポキシ)−N,N−ビス(2,3−エポキシプロピル)−2−メチルアニリン(住友化学製、ELM−100、エポキシ当量100)8.0重量%と、第1の硬化剤として液状ポリフェノール(明和化成製、MEH−8000H、水酸基当量141)18.2重量%と、無機充填材として球状シリカ(アドマテックス製、SO−E3、平均粒子径1μm)63.0重量%と、カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM−403)0.9重量%と、顔料としてカーボンブラック(三菱化学製、MA−600)0.1重量%と、溶剤としてエチレングリコール−N−ブチルアセテート0.3重量%、硬化促進剤として2−フェニル−4メチルイミダゾール0.5重量%、低応力材としてVTBN(宇部興産製、VTBNX1300X33)1.0重量%とを用い第1の封止樹脂組成物Fを得た。
各実施例および比較例で得られた半導体装置について、以下の評価を行った。評価項目を内容と共に示す。得られた結果を表1、表2に示す。
(1)接着性
第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との界面の接着性を下記のように評価した。
接着性A
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(30℃/60%/192時間)、耐リフロー試験(JEDEC220℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
接着性B
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(60℃/60%/120時間)、耐リフロー試験(JEDEC260℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
接着性C
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(85℃/60%/168時間)、耐リフロー試験(JEDEC260℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
(1)接着性
第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との界面の接着性を下記のように評価した。
接着性A
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(30℃/60%/192時間)、耐リフロー試験(JEDEC220℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
接着性B
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(60℃/60%/120時間)、耐リフロー試験(JEDEC260℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
接着性C
各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(85℃/60%/168時間)、耐リフロー試験(JEDEC260℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に、超音波探傷機(SAT)にてアンダーフィル材(第1の封止樹脂)とモールド材(第2の封止樹脂)の積層界面の剥離について観察を行い、剥離した半導体装置の数を評価した。
(2)半田耐熱性
半田耐熱性は、各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(30℃/60%/192時間)、耐リフロー試験(JEDEC220℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に半導体素子と、第1の封止樹脂との剥離状態で評価した。各符号は、以下の通りである。
◎:剥離等が全く無し。
○:一部剥離等が有るが、実用上使用可能である。
△:一部剥離等有り、実用上使用不可能である。
×:剥離等有り。
半田耐熱性は、各実施例および比較例で得られた半導体装置を吸湿処理(30℃/60%/192時間)、耐リフロー試験(JEDEC220℃条件)3回、熱衝撃試験(−55℃/30分〜125℃/30分、1,000サイクル)を行った後に半導体素子と、第1の封止樹脂との剥離状態で評価した。各符号は、以下の通りである。
◎:剥離等が全く無し。
○:一部剥離等が有るが、実用上使用可能である。
△:一部剥離等有り、実用上使用不可能である。
×:剥離等有り。
表1、表2から明らかなように、実施例1〜8は、第1の封止樹脂と第2の封止樹脂との接着性に優れており、半導体装置の信頼性が向上していることが示された。
また、第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った場合、より厳しい条件(吸湿条件、リフロー温度)においても半導体装置の信頼性に優れていた。
また、第1の封止樹脂組成物を硬化した後、第2の封止樹脂組成物の封止前に、プラズマ処理を行った場合、より厳しい条件(吸湿条件、リフロー温度)においても半導体装置の信頼性に優れていた。
1 半導体装置
2 基板
3 半導体素子
3a 他の半導体素子
4 第1の封止樹脂
5 第2の封止樹脂
6 突起状端子
7 ワイヤー
8 間隙
2 基板
3 半導体素子
3a 他の半導体素子
4 第1の封止樹脂
5 第2の封止樹脂
6 突起状端子
7 ワイヤー
8 間隙
Claims (11)
- 基板と、
前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、
前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、
前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置であって、
前記第1の封止樹脂組成物の200℃において固形および揮発するもの以外の成分が、0.5重量%以下であることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の封止樹脂組成物が、第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の封止硬化性樹脂が、常温で液状のエポキシ樹脂である請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第2の封止樹脂組成物が、第2の硬化性樹脂と第2の硬化剤とを含む封止樹脂組成物である請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1の封止樹脂組成物が、さらに無機充填材を含むものである請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1の硬化性樹脂が、熱硬化性樹脂である請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2の硬化剤は、フェノール性水酸基を有するものである請求項1ないし6のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1の硬化剤と前記第2の硬化剤が、異なる硬化剤である請求項1ないし7のいずれ
かに記載の半導体装置。 - 請求項1〜8のいずれかの半導体装置に用いられることを特徴とする第1の封止樹脂組成物。
- 基板と、
前記基板の少なくとも一方側に設けられる半導体素子と、
前記基板と、前記半導体素子との間を封止する第1の硬化性樹脂と第1の硬化剤とを含む第1の封止樹脂組成物で構成される第1の封止樹脂と、
前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する第2の硬化性樹脂と前記第1の硬化剤と異なる第2の硬化剤とを含む第2の封止樹脂組成物で構成される第2の封止樹脂とを有し、前記第1の封止樹脂組成物で封止した後、前記第2の封止樹脂で前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲する半導体装置の製造方法であって、
前記基板と半導体素子との間に前記第1の封止樹脂組成物を充填する第1の工程と、
前記第1の封止樹脂組成物を硬化する第2の工程と、
前記半導体素子の少なくとも側部全周を包囲するように前記第2の封止樹脂組成物を供給する第3の工程と、
第2の封止樹脂組成物を硬化する第4の工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の工程の後にプラズマ処理を行う工程を有することを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
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JP2008133200A JP2009283621A (ja) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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JP7476589B2 (ja) | 2020-03-16 | 2024-05-01 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005026447A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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- 2008-05-21 JP JP2008133200A patent/JP2009283621A/ja active Pending
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