JP2021148699A - プローブヘッド - Google Patents
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Abstract
Description
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
図1は、実施形態1に係るプローブヘッド10Aを示す図である。図1内において、後述する基板20については、後述するガイド穴22の中心を基板20の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するソケット200については、後述する第1取付孔212及び第2取付孔222をソケット200の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するガイドピン100及びプローブ300については、側面が示されている。
図4は、実施形態2に係るプローブヘッド10Bを示す図である。実施形態2に係るプローブヘッド10Bは、以下の点を除いて、実施形態1に係るプローブヘッド10Aと同様である。
図6は、実施形態3に係るプローブヘッド10Cを示す図である。実施形態3に係るプローブヘッド10Cは、以下の点を除いて、実施形態1に係るプローブヘッド10Aと同様である。
図9は、変形例1に係るプローブヘッド10Dを示す図である。変形例1に係るプローブヘッド10Dは、以下の点を除いて、実施形態1に係るプローブヘッド10Aと同様である。
図10は、変形例2に係るガイドピン100Aの側面図である。変形例2に係るガイドピン100Aは、以下の点を除いて、実施形態1に係るガイドピン100と同様である。なお、変形例2の説明では、必要に応じて、図1〜図3に示した基板20を参照する。
図11は、変形例3に係るガイドピン100Bの断面図である。図11は、後述するねじ穴112B及び楔穴122Bをガイドピン100Bの上下方向に沿って通過する断面を示している。変形例3に係るガイドピン100Bは、以下の点を除いて、実施形態1に係るガイドピン100と同様である。
(態様1−1)
態様1−1は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
態様1−1によれば、テーパ部のうち基板のガイド穴の直径と略等しい直径及びガイド穴の直径より小さい直径を有する部分を基板のガイド穴の開口にはめ込むことができる。したがって、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。また、態様1−1によれば、ガイドピンの一端側からガイドピンをソケットの取付孔に通すとき、ガイドピンがソケットの取付孔に挿入されるように、ソケットを案内することができる。
(態様1−2)
態様1−2は、
前記ガイドピンの前記一端側は、検査装置の基板が位置する側である、態様1−1に記載のプローブヘッドである。
態様1−2によれば、態様1−1と同様にして、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。
(態様1−3)
態様1−3は、
前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイドピンが挿入される前記基板のガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きい、態様1−2に記載のプローブヘッドである。
態様1−3によれば、テーパ部のいずれかの部分が、ガイド穴の直径と略等しくなるようにすることができる。
(態様1−4)
前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、
前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、態様1−1〜1−3のいずれか一に記載のプローブヘッドである。
態様1−4によれば、ガイドピンの当該一部分を、取付孔の当該一部分内に限って移動可能にすることができる。
(態様2−1)
態様2−1は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、互いに分岐された複数の先端部を有する、プローブヘッドである。
態様2−1によれば、複数の先端部を基板のガイド穴に挿入して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
(態様2−2)
態様2−2は、
前記複数の先端部の先端から前記複数の先端部の前記先端の反対側の少なくとも一部分までにおける、前記先端と前記先端の前記反対側とを結ぶ方向に直交する方向の前記複数の先端部の最外縁間の間隔が、前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている、態様2−1に記載のプローブヘッドである。
態様2−2によれば、複数の先端部をガイド穴の開口縁に対して滑らせて複数の先端部をガイド穴に挿入することができる。したがって、複数の先端部の最外縁間の間隔が一定である場合と比較して、複数の先端部をガイド穴に挿入しやすくなっている。
(態様2−3)
態様2−3は、
前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている前記間隔の最大値が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より大きい、態様2−2に記載のプローブヘッドである。
態様2−3によれば、複数の先端部がガイド穴に挿入されたとき、複数の先端部がガイド穴の内側壁に接触して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
(態様3−1)
態様3−1は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、前記ガイドピンの少なくとも一部分の外側壁を前記ガイドピンの内側から押し広げる部材を有する、プローブヘッドである。
態様3−1によれば、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
(態様3−2)
態様3−2は、
前記ガイドピンの前記部材は、楔部と、前記楔部を押し込むねじ部と、を含む、態様3−1に記載のプローブヘッドである。
態様3−2によれば、ねじ部を楔部に押し込むことで、ガイドピンの外側壁を押し広げることができる。
(態様3−3)
態様3−3は、
前記部材によって前記ガイドピンの前記外側壁が押し広げられる前における前記ガイドピンの前記外側壁の直径が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より小さい、態様3−1又は3−2に記載のプローブヘッドである。
態様3−3によれば、ガイドピンをガイド穴に挿入した後、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
10B プローブヘッド
10C プローブヘッド
10D プローブヘッド
20 基板
20a パッド
22 ガイド穴
100 ガイドピン
100A ガイドピン
100B ガイドピン
110 第1案内部
110A 第1案内部
110B 第1案内部
112 フランジ
112B ねじ穴
114B ねじ部
120 第2案内部
120A 第2案内部
120B 第2案内部
122A 第1先端部
122B 楔穴
124A 第2先端部
124B 楔部
132 第1テーパ部
134 第2テーパ部
140 弾性体
200 ソケット
210 ピンブロック
212 第1取付孔
212a 第1孔部
212b 第2孔部
220 ピンプレート
222 第2取付孔
300 プローブ
Claims (4)
- ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッド。 - 前記ガイドピンの前記一端側は、検査装置の基板が位置する側である、請求項1に記載のプローブヘッド。
- 前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイドピンが挿入される前記基板のガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きい、請求項2に記載のプローブヘッド。 - 前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、
前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプローブヘッド。
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Publications (2)
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