JP2021148699A5 -

Info

プローブと、
前記プローブを基板の所定位置に案内し一部分が前記基板のガイド穴に挿入されるガイドピンと、
を備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有し、
前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きい、プローブヘッド。
前記基板が前記ガイドピンの前記一端側に位置する、請求項１に記載のプローブヘッド。
前記ガイドピンは、前記テーパ部に対して前記ガイドピンの前記一端側に位置する案内部を有する、請求項１又は２に記載のプローブヘッド。
前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、
前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、請求項１～３のいずれか一項に記載のプローブヘッド。