JP2021142682A - 金属−ポリイミド積層体及びこれに用いられるポリイミド系樹脂ワニス、並びに金属−ポリイミド積層体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記ポリイミド系樹脂膜は、厚みが1μm〜15μmであることが好ましい。
前記金属層は、銅又はニッケルを含むことが好ましい。
本実施形態のポリイミド系ワニスは、前記金属−ポリイミド積層体において、前記ポリイミド系樹脂膜を形成するためのものである。前記ポリイミド系樹脂は、ジアミンと、テトラカルボン酸二無水物とから合成され、前記ジアミンは、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、又は2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニルを70モル%以上含むことが好ましい。
前記ポリイミド系樹脂の濃度は、1質量%〜15質量%であることが好ましい。
ポリイミド系ワニスは、25℃における粘度が、100mPa・s〜100,000mPa・sであることが好ましい。
また、本実施形態の金属−ポリイミド積層体の製造方法は、
熱膨張係数が−5ppm/K〜12ppm/Kの支持基材に、ポリイミド系樹脂ワニスを塗布して熱膨張係数が−5ppm/K〜15ppm/Kのポリイミド系樹脂膜を形成する工程と、
前記ポリイミド系樹脂膜の前記支持基材と反対側の面に、めっき法により金属層を形成する工程と、
前記金属層を形成した後、前記ポリイミド系樹脂膜を挟んで前記金属層と反対側に設けられている前記支持基材の一部又は全部を除去する工程と、
を含む。
本実施形態のポリイミド系樹脂ワニス(以下、単に「樹脂ワニス」という。)は、ジアミンとテトラカルボン二無水物が原料として用いられて製造されるものである。樹脂ワニスは、熱膨張係数が−5ppm/K〜15ppm/Kの範囲にあるポリイミド系樹脂膜の形成が可能なものである。この樹脂ワニスは、除去可能な熱膨張係数が−5ppm/K〜12ppm/Kの範囲にある支持基材に塗膜されてポリイミド系樹脂膜として形成された後、このポリイミド系樹脂膜上にめっき法により金属層が形成される。金属層が形成された後、支持基材は、一部又は全部が除去される。これにより、金属−ポリイミド積層体は、平坦性、耐熱性、機械特性が向上するとともに、金属層とポリイミド系樹脂膜との接着性が向上する。
(製造方法1)
ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を原料として、溶媒中で溶液重合によりポリイミドの前駆体であるポリアミド酸のワニスを合成する。得られたポリアミド酸ワニスは、本実施形態の樹脂ワニスとなる。この場合、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物は、例えばジアミンを溶媒に溶解又は分散させておき、そこにテトラカルボン酸二無水物を添加して重合する方法、テトラカルボン酸二無水物を溶媒に溶解又は分散させておき、そこにジアミンを添加して重合する方法、溶媒中にジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを同時に添加する方法、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを交互に添加する方法等、任意の添加方法で反応させてよい。この場合、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物との重合は、撹拌しながら行うことが好ましい。また、窒素やアルゴン等のイナート雰囲気下で行ってもよい。
上記の(製造方法1)で得られたポリアミド酸ワニスに、さらに熱イミド化又は化学イミド化によりポリアミド酸をポリイミドに変換し、ポリイミド溶液を本実施形態のポリイミド系樹脂ワニスとする。
上記の2つの方法のうち、(製造方法1)のようにポリアミド酸ワニスをポリイミド系樹脂ワニスとする方法は、合成が容易であり、得られるポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数を−5ppm/K〜15ppm/Kの範囲内にコントロールする上で好ましい。
本実施形態の金属−ポリイミド積層体は、除去可能な熱膨張係数が−5ppm/K〜12ppm/Kの範囲にある支持基材上に、上述した樹脂ワニスを塗布して−5ppm/K〜15ppm/K、好ましくは−3ppm/K〜12ppm/K、より好ましくは−2ppm/K〜5ppm/Kの熱膨張係数を有するポリイミド系樹脂膜を形成した後、めっき法により金属層を形成し、その後に支持基材の一部もしくは全部を除去したものである。
伸び率Z(%)=(Y−X)/X×100
上記ポリイミドの純水に浸漬した後の伸び率を0.12%以下とすることで、金属層形成のためのめっき工程中に、支持基材からのポリイミド系樹脂膜の剥離等を低減することができる。
支持基材の除去の方法は、使用する支持基材により適宜選択することが可能である。例えば、支持基材を物理的に剥離してもよい。また、例えば、支持基材として、ステンレス箔やインバー箔等の金属箔を用いる場合、ポリイミド系樹脂膜に形成された金属層を保護した後、支持基材である金属箔を塩化鉄や塩化銅等のエッチャントによりエッチングすることで除去してもよい。さらに、支持基材としてガラスを用いる場合、レーザーによるリフトオフにより支持基材を除去してもよい。
なお、本実施例で使用する略号は、以下に示す通りである。
・m−TBHG:2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル
・TFMB:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4´−ジアミノビフェニル
・TPE−M:1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン
・TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
・PMDA:ピロメリット酸二無水物
・BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
・BTDA:3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
・DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
金属−ポリイミド積層体の金属層上に感光性のドライフィルムレジストをラミネートした後、所定のマスクを通して露光し、塩化第二鉄水溶液を用いて金属層のエッチング加工を行い、その後ドライフィルムレジストの剥離、水洗、乾燥を行って、1mm×150mmの複数のパターンにエッチング加工した。
各実施例に記載の方法で得られたポリイミド系樹脂膜を3mm×15mmの大きさに切り出して測定用サンプルとし、熱機械分析装置(島津製作所株式会社製TMA−60)を用いて、荷重2.5gを加えながら、室温から210℃まで、10℃/分で昇温して210℃で10分ホールド後、10℃/分の速度で降温させて、200℃から100℃の冷却時の寸法変化からポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数を求めた。
各実施例に記載の方法で得られたポリイミド系樹脂膜を約10mm×約70mmのサイズに切り出して測定用サンプルとした。23℃で1%以下の湿度にコントロールされたデシケータ中にポリイミド系樹脂膜を12時間放置して乾燥状態のポリイミド系樹脂膜とし、二次元測長機(ニコン製MM−60)を用いて約70mmの辺の長さを正確に測定して、乾燥状態のポリイミド系樹脂膜の長さXmmとした。次に、23℃の純水に12時間、当該ポリイミド系樹脂膜を浸漬し、その後に純水から取り出して直ちにワイピング材を用いて目視で純水が確認できなくなる程度まで純水を拭き取り、二次元測長機を用いて先に測定した辺の寸法(Ymm)を測定し、以下の式から純水に浸漬した後の伸び率Z(%)を求めた。
伸び率Z(%)=(Y−X)/X×100
撹拌機及び撹拌羽根を備えた2Lのセパラブルフラスコ中にジアミンであるm−TBHG20.168g(0.095モル)、TPE−M1.462g(0.005モル)を入れ、そこに890gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA11.997g(0.055モル)及びBPDA13.240g(0.045モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液中のポリアミド酸の濃度は5%であり、粘度は2,500mPa・sであった。アプリケータを用いて、得られたポリアミド酸ワニスを熱膨張係数が3ppm/Kのガラス板上に硬化後の厚みが5μmとなるように塗膜して、130℃10分で溶媒を乾燥させた後、さらに160℃、200℃、270℃、360℃の各温度で2分間ずつ熱処理を行って、ポリイミド膜とした。その後、ポリイミド膜をガラス板から引き剥がしてポリイミド膜のみとして、その熱膨張係数を測定したところ、2ppm/Kであった。また、ポリイミド膜を純水に浸漬した後の伸び率は0.05%であった。
撹拌機及び撹拌羽根を備えた2Lのセパラブルフラスコ中にジアミンであるm−TBHG19.106g(0.09モル)、TPE−M2.923g(0.01モル)を入れ、そこに613gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA15.268g(0.07モル)及びBPDA8.827g(0.03モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液中のポリアミド酸の濃度は7%であり、粘度は5,000mPa・sであった。その後、実施例1と同様にして得られた厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数は1ppm/Kであった。また、ポリイミド膜を純水に浸漬した後の伸び率は0.04%であった。
撹拌機及び撹拌羽根を備えた2Lのセパラブルフラスコ中にジアミンであるm−TBHG20.168g(0.095モル)、TPE−R1.462g(0.005モル)を入れ、そこに623gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA11.997g(0.055モル)及びBPDA13.240g(0.045モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液中のポリアミド酸の濃度は7%であり、粘度は7,000mPa・sであった。その後、実施例1と同様に行い得られた厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数は3ppm/Kであった。また、ポリイミド膜を純水に浸漬した後の伸び率は0.07%であった。
撹拌機及び撹拌羽根を備えた2Lのセパラブルフラスコ中にジアミンであるm−TBHG21.229g(0.10モル)を入れ、そこに893gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA10.906g(0.05モル)、BPDA13.240g(0.045モル)及びBTDA1.611g(0.005モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液中のポリアミド酸の濃度は5%であり、粘度は2,000mPa・sであった。その後、実施例1と同様にして得られた厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数は0ppm/Kであった。また、ポリイミド膜を純水に浸漬した後の伸び率は0.06%であった。
撹拌機及び撹拌羽根を備えた2Lのセパラブルフラスコ中にジアミンであるTFMB28.822g(0.09モル)、TPE−M2.923g(0.01モル)を入れ、そこに742gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA15.268g(0.07モル)及びBPDA8.827g(0.03モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液中のポリアミド酸の濃度は7%であり、粘度は6,000mPa・sであった。その後、実施例1と同様にして得られた厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜の熱膨張係数は3ppm/Kであった。また、ポリイミド膜を純水に浸漬した後の伸び率は0.03%であった。
厚みが50μmのステンレス箔(SUS430、熱膨張係数10ppm/K)を準備し、その上にアプリケータを用いて実施例1で得られたポリアミド酸ワニスを塗膜し、130℃で30分溶媒を乾燥し、さらに160℃、200℃、270℃、360℃の各温度で熱処理を行って、ステンレス箔上に厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜を形成した。
実施例1で得られたポリアミド酸ワニスの代わりに実施例2で得られたポリアミド酸ワニスを用いた以外は、実施例6と同様に行い、厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜上に厚みが10μmの銅層が形成された金属−ポリイミド積層体を得た。得られた金属−ポリイミド積層体は概ねフラットであり、金属(銅)の接着力は0.5kN/mであった。
実施例1で得られたポリアミド酸ワニスの代わりに実施例3で得られたポリアミド酸ワニスを用いた以外は、実施例6と同様に行い、厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜上に厚みが10μmの銅層が形成された金属−ポリイミド積層体を得た。得られた金属−ポリイミド積層体は概ねフラットであり、金属(銅)の接着力は0.5kN/mであった。
実施例1で得られたポリアミド酸ワニスの代わりに実施例4で得られたポリアミド酸ワニスを用いた以外は、実施例6と同様に行い、厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜上に厚みが10μmの銅層が形成された金属−ポリイミド積層体を得た。得られた金属−ポリイミド積層体は概ねフラットであり、金属(銅)の接着力は0.5kN/mであった。
実施例1で得られたポリアミド酸ワニスの代わりに実施例5で得られたポリアミド酸ワニスを用いた以外は、実施例6と同様に行い、厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜上に厚みが10μmの銅層が形成された金属−ポリイミド積層体を得た。得られた金属−ポリイミド積層体は概ねフラットであり、金属(銅)の接着力は0.5kN/mであった。
厚みが50μmのステンレス箔(SUS430)を準備し、その上にアプリケータを用いて実施例1で得られたポリアミド酸ワニスを塗膜し、130℃で30分溶媒を乾燥し、さらに160℃、200℃、270℃、360℃の各温度で熱処理を行って、ステンレス箔上に厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜を形成した。
支持基材として、厚みが1mmのガラス板を準備した。その上にアプリケータを用いて実施例1で得られたポリアミド酸ワニスを塗膜し、130℃で30分乾燥した後、160℃、200℃、270℃、360℃の各温度でそれぞれ2分間熱処理を行い、ガラス板上に厚み5μmのポリイミド系樹脂膜を形成した。
次に、レーザー光によるリフトオフを行い、ガラス板をポリイミド系樹脂膜から取り除いて、目的とする金属−ポリイミド積層体を得た。
撹拌機及び撹拌羽根を備えた1Lのセパラブルフラスコ中にジアミン化合物であるm−TBHG10.615g(0.05モル)及びTPE−M14.617g(0.05モル)を入れ、そこに671gのDMAcを加えて撹拌を行って、ジアミン化合物を溶解・分散させた。次に、窒素気流中で撹拌を続けながら、テトラカルボン酸二無水物であるPMDA11.997g(0.055モル)及びBPDA13.240g(0.045モル)を加えて、さらに室温で6時間撹拌を続けて重合を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。
以下、実施例6と同様に処理を行い、厚みが5μmのポリイミド系樹脂膜上に厚みが10μmの銅層が形成された金属−ポリイミド積層体を得たが、得られた金属−ポリイミド積層体は反りやしわが強く実用に耐えないものであった。
Claims (7)
- ポリイミド系樹脂を含むポリイミド系ワニスが硬化することにより形成され、熱膨張係数が−5ppm/K〜15ppm/Kであるポリイミド系樹脂膜と、
前記ポリイミド系樹脂膜の上に、めっきにより形成されている金属層と、
を備える金属−ポリイミド積層体。 - 前記ポリイミド系樹脂膜は、厚みが1μm〜15μmである請求項1記載の金属−ポリイミド積層体。
- 前記金属層は、銅又はニッケルを含む請求項1又は2記載の金属−ポリイミド積層体。
- 請求項1〜3のいずれか一項記載の金属−ポリイミド積層体において、前記ポリイミド系樹脂膜を形成するためのポリイミド系ワニスであって、
前記ポリイミド系樹脂は、ジアミンと、テトラカルボン酸二無水物とから合成され、
前記ジアミンは、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、又は2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニルを70モル%以上含むポリイミド系樹脂ワニス。 - 前記ポリイミド系樹脂の濃度は、1質量%〜15質量%である請求項4記載のポリイミド系樹脂ワニス。
- 25℃における粘度は、100mPa・s〜100,000mPa・sである請求項4又は5記載のポリイミド系樹脂ワニス。
- 熱膨張係数が−5ppm/K〜12ppm/Kの支持基材に、ポリイミド系樹脂ワニスを塗布して熱膨張係数が−5ppm/K〜15ppm/Kのポリイミド系樹脂膜を形成する工程と、
前記ポリイミド系樹脂膜の前記支持基材と反対側の面に、めっき法により金属層を形成する工程と、
前記金属層を形成した後、前記ポリイミド系樹脂膜を挟んで前記金属層と反対側に設けられている前記支持基材の一部又は全部を除去する工程と、
を含む金属−ポリイミド積層体の製造方法。
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