JP2021129120A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021129120A5 JP2021129120A5 JP2021092781A JP2021092781A JP2021129120A5 JP 2021129120 A5 JP2021129120 A5 JP 2021129120A5 JP 2021092781 A JP2021092781 A JP 2021092781A JP 2021092781 A JP2021092781 A JP 2021092781A JP 2021129120 A5 JP2021129120 A5 JP 2021129120A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- separation
- excitation light
- emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 22
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
Claims (12)
- 基板上に複数の発光素子が形成された対象物を検査する検査装置であって、
前記発光素子に照射される励起光を生成する光源部と、
前記励起光が照射された前記発光素子の発光を検出する光検出部と、
前記発光素子の発光色に関する情報を受け付ける入力部と、
前記入力部によって受付けられた前記発光色に関する情報に基づいて前記励起光の波長を決定し、該波長の前記励起光が生成されるように前記光源部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、３６５ｎｍ～４９０ｎｍの範囲の波長を、前記励起光の波長に決定する、検査装置。 - 前記制御部は、前記入力部によって受付けられた前記発光色に関する情報が緑色の場合、３６５ｎｍ～４９０ｎｍの範囲の波長を、前記励起光の波長に決定する、請求項１記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記入力部によって受付けられた前記発光色に関する情報が青色の場合、３６５ｎｍ～４２０ｎｍの範囲の波長を、前記励起光の波長に決定する、請求項１記載の検査装置。
- 前記光源部は、前記励起光の白色光源と、互いに異なる波長帯の前記励起光を透過する複数の第１のバンドパスフィルタとを有し、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて前記第１のバンドパスフィルタを切り替える、請求項１～３のいずれか一項記載の検査装置。 - 前記光源部は、互いに異なる波長の前記励起光を生成する複数の光源を有し、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて前記複数の光源を切り替える、請求項１～３のいずれか一項記載の検査装置。 - 互いに異なる波長帯の前記発光を透過する複数の第２のバンドパスフィルタを更に備え、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて、前記発光素子から前記光検出部に至る光路に設置される前記第２のバンドパスフィルタを切り替える、請求項１～５のいずれか一項記載の検査装置。 - 互いに異なる波長を第１の分離波長として該第１の分離波長により前記励起光と前記発光とを分離する複数の第１の波長分離素子を更に備え、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて、前記光源部から前記発光素子に至る光路且つ前記発光素子から前記光検出部に至る光路に設置される前記第１の波長分離素子を切り替える、請求項１～６のいずれか一項記載の検査装置。 - 互いに異なる波長を第２の分離波長として該第２の分離波長により前記第２の分離波長よりも長い波長の発光と前記第２の分離波長よりも短い波長の発光とを分離する複数の第２の波長分離素子を更に備え、
前記光検出部は、前記発光のうち前記第２の分離波長よりも長い波長の発光を検出する第１の光検出器と、前記発光のうち前記第２の分離波長よりも短い波長の発光を検出する第２の光検出器と、を有し、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて、前記発光素子から前記第１の光検出器及び前記第２の光検出器に至る光路に設置される前記第２の波長分離素子を切り替える、請求項１～７のいずれか一項記載の検査装置。 - 互いに異なる波長帯の前記発光を透過する複数の第２のバンドパスフィルタと、互いに異なる波長を第１の分離波長として該第１の分離波長により前記励起光と前記発光とを分離する複数の第１の波長分離素子と、互いに異なる波長を第２の分離波長として該第２の分離波長により前記第２の分離波長よりも長い波長の発光と前記第２の分離波長よりも短い波長の発光とを分離する複数の第２の波長分離素子と、を更に備え、
前記光源部は、前記励起光の白色光源と、互いに異なる波長帯の前記励起光を透過する複数の第１のバンドパスフィルタとを有し、
前記光検出部は、前記発光のうち前記第２の分離波長よりも長い波長の発光を検出する第１の光検出器と、前記発光のうち前記第２の分離波長よりも短い波長の発光を検出する第２の光検出器と、を有し、
前記制御部は、決定した前記励起光の波長に応じて、前記第１のバンドパスフィルタ、前記第２のバンドパスフィルタ、前記第１の波長分離素子、及び前記第２の波長分離素子を一体的に切り替える、請求項１～８のいずれか一項記載の検査装置。 - 基板上に複数の発光素子が形成された対象物を検査する検査方法であって、
前記発光素子の発光色に関する情報を入力するステップと、
前記発光色に関する情報に基づいて、光源部から前記発光素子に照射される励起光の波長が、３６５ｎｍ～４９０ｎｍの範囲となるように、前記光源部を制御するステップと、を含む検査方法。 - 前記光源部を制御するステップでは、前記入力するステップにおいて受付けられた前記発光色に関する情報が緑色の場合、３６５ｎｍ～４９０ｎｍの範囲の波長を、前記励起光の波長に決定する、請求項１０記載の検査方法。
- 前記光源部を制御するステップでは、前記入力するステップにおいて受付けられた前記発光色に関する情報が青色の場合、３６５ｎｍ～４２０ｎｍの範囲の波長を、前記励起光の波長に決定する、請求項１０記載の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021092781A JP7432558B2 (ja) | 2020-01-17 | 2021-06-02 | 検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020005830A JP6894019B1 (ja) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 検査装置及び検査方法 |
| JP2021092781A JP7432558B2 (ja) | 2020-01-17 | 2021-06-02 | 検査装置及び検査方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020005830A Division JP6894019B1 (ja) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021129120A JP2021129120A (ja) | 2021-09-02 |
| JP2021129120A5 true JP2021129120A5 (ja) | 2023-01-19 |
| JP7432558B2 JP7432558B2 (ja) | 2024-02-16 |
Family
ID=76464636
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020005830A Active JP6894019B1 (ja) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 検査装置及び検査方法 |
| JP2021092781A Active JP7432558B2 (ja) | 2020-01-17 | 2021-06-02 | 検査装置及び検査方法 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020005830A Active JP6894019B1 (ja) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220373480A1 (ja) |
| EP (1) | EP4080199A4 (ja) |
| JP (2) | JP6894019B1 (ja) |
| KR (1) | KR20220123378A (ja) |
| CN (1) | CN114729891A (ja) |
| TW (1) | TW202129237A (ja) |
| WO (1) | WO2021145048A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102602029B1 (ko) * | 2021-11-11 | 2023-11-14 | 주식회사 에타맥스 | 광루미네선스 검사와 자동광학검사를 동시에 수행하는 마이크로 led 검사장비 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3408017B2 (ja) * | 1995-05-17 | 2003-05-19 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
| US6534774B2 (en) * | 2000-09-08 | 2003-03-18 | Mitsubishi Materials Silicon Corporation | Method and apparatus for evaluating the quality of a semiconductor substrate |
| JP2003240638A (ja) | 2002-02-13 | 2003-08-27 | Nikon Corp | 検査装置 |
| JP2007088389A (ja) | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Yamaguchi Univ | 半導体発光素子の内部量子効率を測定する装置及びその方法 |
| US8112146B2 (en) * | 2008-07-24 | 2012-02-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional imaging using a luminescent surface and a differentially attenuating medium |
| WO2012176106A2 (en) | 2011-06-24 | 2012-12-27 | Kla-Tencor Corporation | Method and apparatus for inspection of light emitting semiconductor devices using photoluminescence imaging |
| JP6051917B2 (ja) | 2013-02-18 | 2016-12-27 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子の検査方法及び半導体発光素子の製造方法 |
| JP2015010834A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | 東レエンジニアリング株式会社 | 発光体の発光波長推定方法とその装置 |
| DE102013219087A1 (de) * | 2013-09-23 | 2015-03-26 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines optoelektronischen Bauteils |
| JP6359819B2 (ja) | 2013-10-29 | 2018-07-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 蛍光イメージング装置 |
| WO2015064757A1 (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | コニカミノルタ株式会社 | 検出装置、当該検出装置を用いた検出方法および当該検出装置に用いられる検出チップ |
| CN106796176B (zh) * | 2014-08-08 | 2021-02-05 | 宽腾矽公司 | 用于对分子进行探测、检测和分析的带外部光源的集成装置 |
| CN107110782B (zh) * | 2015-01-28 | 2020-12-29 | 东丽工程株式会社 | 宽带隙半导体基板的缺陷检查方法和缺陷检查装置 |
| JP2018132308A (ja) | 2017-02-13 | 2018-08-23 | 東レエンジニアリング株式会社 | 分光測定装置および発光体の発光波長推定装置 |
-
2020
- 2020-01-17 JP JP2020005830A patent/JP6894019B1/ja active Active
- 2020-10-27 WO PCT/JP2020/040255 patent/WO2021145048A1/ja unknown
- 2020-10-27 KR KR1020227017882A patent/KR20220123378A/ko unknown
- 2020-10-27 EP EP20914588.7A patent/EP4080199A4/en active Pending
- 2020-10-27 CN CN202080080019.5A patent/CN114729891A/zh active Pending
- 2020-10-27 US US17/772,282 patent/US20220373480A1/en active Pending
- 2020-11-06 TW TW109138759A patent/TW202129237A/zh unknown
-
2021
- 2021-06-02 JP JP2021092781A patent/JP7432558B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10408413B2 (en) | Lighting device having at least one light sensor | |
| JP2006032350A5 (ja) | ||
| JP2021081441A5 (ja) | ||
| JP2021129120A5 (ja) | ||
| JP7132121B2 (ja) | 木部繊維ウェブからの蛍光液の光学的検出方法 | |
| JP2009500786A (ja) | Ｌｅｄ照明器具の光出力を制御する制御システム | |
| JP2005157316A5 (ja) | ||
| GB2587511A (en) | Optical inspection and sorting machine, and corresponding method thereof | |
| JP6076133B2 (ja) | 蛍光発光体の検査装置 | |
| US20070013904A1 (en) | Apparatus and system for characterizing a target | |
| JP2008249687A (ja) | 混合光中の光の１つ以上の他のスペクトルの検出強度に応じてこの混合光中の光の１つのスペクトルの強度を推定するための方法および装置 | |
| JP5538009B2 (ja) | 移動する物体を光学的に検出するための方法、照明機器およびシステム | |
| US20150146406A1 (en) | Blue light mixing method and system using the same | |
| US9741194B2 (en) | Banknote discrimination apparatus | |
| JP2015022818A (ja) | 光源装置 | |
| JP6692556B2 (ja) | 個々の発光ダイオードの経時変化プロセスを検出するための測定装置 | |
| EP3907496A1 (en) | Detection device and detection method | |
| JP2016100469A (ja) | 発光装置及び車両用灯具 | |
| JP6893830B2 (ja) | 照明装置 | |
| TW202244487A (zh) | 螢光影像檢測系統及螢光檢測方法 | |
| JP2023539435A (ja) | 蛍光顕微鏡における照明調整方法および対応する蛍光顕微鏡 | |
| JP2012127924A (ja) | 複数の対象物の検出装置及び検出方法 | |
| JP2012013450A (ja) | 蛍光検出装置 | |
| JP6350086B2 (ja) | 光学的検出器 | |
| TW201329435A (zh) | 用以改善發光二極體磊晶片之光激發光強度量測失真的量測系統與方法 |