JP2021126012A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021126012A5 JP2021126012A5 JP2020019842A JP2020019842A JP2021126012A5 JP 2021126012 A5 JP2021126012 A5 JP 2021126012A5 JP 2020019842 A JP2020019842 A JP 2020019842A JP 2020019842 A JP2020019842 A JP 2020019842A JP 2021126012 A5 JP2021126012 A5 JP 2021126012A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- force
- coil
- transport system
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020019842A JP7483397B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送システム |
| US17/156,243 US12015319B2 (en) | 2020-02-07 | 2021-01-22 | Transport system |
| KR1020210009878A KR102804834B1 (ko) | 2020-02-07 | 2021-01-25 | 반송 시스템 |
| CN202110154441.7A CN113258746B (zh) | 2020-02-07 | 2021-02-04 | 输送系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020019842A JP7483397B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021126012A JP2021126012A (ja) | 2021-08-30 |
| JP2021126012A5 true JP2021126012A5 (enExample) | 2023-02-14 |
| JP7483397B2 JP7483397B2 (ja) | 2024-05-15 |
Family
ID=77176920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020019842A Active JP7483397B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12015319B2 (enExample) |
| JP (1) | JP7483397B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102804834B1 (enExample) |
| CN (1) | CN113258746B (enExample) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7534923B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-08-15 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び搬送システムの制御方法 |
| KR102505763B1 (ko) * | 2021-01-29 | 2023-03-02 | 고려대학교 산학협력단 | 자성 전사 장치와 자성 전자 장치의 제조 방법 |
| US11418398B1 (en) * | 2021-04-06 | 2022-08-16 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Automated discovery and configuration techniques |
| JP7683388B2 (ja) | 2021-07-30 | 2025-05-27 | 株式会社リコー | レーザ装置、検出装置、移動体及びレーザ装置の駆動方法 |
| CN113859892A (zh) * | 2021-10-09 | 2021-12-31 | 上海果栗自动化科技有限公司 | 一种线性传输系统 |
| KR102774528B1 (ko) * | 2021-10-12 | 2025-03-04 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 방법 |
| JP2023087446A (ja) | 2021-12-13 | 2023-06-23 | キヤノン株式会社 | 搬送装置 |
| JP2023174388A (ja) * | 2022-05-27 | 2023-12-07 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、成膜装置、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 |
| CN218041162U (zh) * | 2022-06-30 | 2022-12-13 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 直驱系统 |
| JP7639137B2 (ja) * | 2022-11-25 | 2025-03-04 | エーエーシー テクノロジーズ (ナンジン) カンパニーリミテッド | ダイレクトドライブシステム及びその制御方法、電子機器並びに記憶媒体 |
| JP7662788B2 (ja) * | 2022-11-29 | 2025-04-15 | エーエーシー テクノロジーズ (ナンジン) カンパニーリミテッド | マルチ可動子ダイレクトドライブトランスミッションシステム |
| WO2025101918A1 (en) * | 2023-11-08 | 2025-05-15 | Brooks Automation Us, Llc | Distributed network controls apparatus for substrate handlers |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157366A (ja) | 1983-02-21 | 1984-09-06 | ユニチカ株式会社 | 透水性、湿潤抑制性長繊維不織布 |
| JP3456307B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2003-10-14 | 株式会社ニコン | 磁気浮上型ステージ |
| JP4831719B2 (ja) | 2001-08-06 | 2011-12-07 | 学校法人日本大学 | 磁気浮上式xy面リニア同期モータ |
| JP4227452B2 (ja) | 2002-12-27 | 2009-02-18 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置、及びその位置決め装置を利用した露光装置 |
| JP5253824B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2013-07-31 | ヤマハ発動機株式会社 | リニアモータ、部品実装装置及び部品検査装置 |
| DE102014003882B4 (de) | 2014-03-19 | 2017-07-13 | Applied Materials, Inc. (N.D.Ges.D. Staates Delaware) | Transportvorrichtung zum Bewegen und/oder Positionieren von Objekten |
| JP6335603B2 (ja) | 2014-04-15 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | 台車搬送システム |
| JP6419535B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2018-11-07 | 株式会社日立製作所 | リニアモータ並びにリニアモータを搭載した圧縮機及び機器 |
| DE102015004582B4 (de) * | 2015-04-09 | 2017-02-09 | Mecatronix Ag | Vorrichtung zum Halten, Positionieren und Bewegen eines Objekts |
| JP6521772B2 (ja) | 2015-07-07 | 2019-05-29 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及びその制御方法、並びに台車及びその制御方法 |
| JP6704705B2 (ja) | 2015-10-22 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | 可動磁石型リニアモータ制御システム及びその制御方法 |
| JP2017156465A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | キヤノン株式会社 | 駆動装置、リソグラフィ装置、冷却方法、および物品の製造方法 |
| JP7066333B2 (ja) | 2017-05-17 | 2022-05-13 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム、物品の製造方法、搬送システムの制御方法及び可動機構 |
| CN108328249B (zh) | 2017-07-06 | 2019-10-25 | 上海果栗自动化科技有限公司 | 一种线性传输系统 |
| US10965201B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system and manufacturing method of article |
| US10889449B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system and manufacturing method of article |
| JP7137300B2 (ja) | 2017-09-25 | 2022-09-14 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、搬送システム、搬送システムの制御方法、加工システム及び物品の製造方法 |
| JP7179488B2 (ja) | 2018-05-11 | 2022-11-29 | キヤノン株式会社 | 搬送システムおよびその制御方法 |
| CN110829781B (zh) | 2018-08-08 | 2022-07-26 | 佳能株式会社 | 运输系统、动子、控制设备及控制方法 |
-
2020
- 2020-02-07 JP JP2020019842A patent/JP7483397B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-22 US US17/156,243 patent/US12015319B2/en active Active
- 2021-01-25 KR KR1020210009878A patent/KR102804834B1/ko active Active
- 2021-02-04 CN CN202110154441.7A patent/CN113258746B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2021126012A5 (enExample) | ||
| JP2021184701A5 (ja) | 搬送システム、可動子の制御方法、製造システム及び物品の製造方法 | |
| JP2020028212A5 (enExample) | ||
| US10562720B2 (en) | Transport system, processing system, and control method of transport system | |
| CN108328249B (zh) | 一种线性传输系统 | |
| US11356004B2 (en) | Apparatus for molding hairpin | |
| JP5956993B2 (ja) | リニアモータ | |
| US10523075B2 (en) | Automatic stator wire lead routing | |
| TWI531138B (zh) | Flat voice coil motor | |
| JP2017022155A5 (ja) | 搬送システム及びその制御方法、並びに台車及びその制御方法 | |
| CN109217614A (zh) | 线性马达及其动子 | |
| CN108336885A (zh) | 线性马达及其动子运动定位控制装置 | |
| JP2017185675A5 (enExample) | ||
| JP2021125979A5 (enExample) | ||
| CN101971483A (zh) | 直线电动机装置 | |
| CN113950455A (zh) | 传送装置 | |
| US20150211575A1 (en) | Driving device and bearing including the same | |
| JP5182990B2 (ja) | 巻線機 | |
| JP7451205B2 (ja) | 搬送装置および物品の製造方法 | |
| JP2021093781A5 (enExample) | ||
| US11551897B2 (en) | Electromagnetic system | |
| JP2021126002A5 (enExample) | ||
| EP4356502A1 (en) | Double-sided linear motor | |
| JP2019216591A5 (enExample) | ||
| US20120280579A1 (en) | Linear moving magnet motor cogging force ripple reducing |