JP2021120970A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を収納可能な基板収納容器であって、前記基板を収納し、前記基板を出し入れする開口が形成された容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉止する蓋体と、前記容器本体の内部に気体を供給する気体供給部と、前記気体供給部から供給される前記気体の流速を減少させる、前記気体供給部から供給される前記気体の供給方向を変更させる、又は、その両方を行う、気流制御部と、を少なくとも備える基板収納容器。
(2)
前記気体供給部は、前記容器本体の底面から上方に向けて前記気体を供給し、前記気流制御部は、少なくとも、前記気体の垂直方向の流速を減少させる、(1)の基板収納容器。
(3)
前記気流制御部は、多孔質部材を含み、前記気体供給部から供給される前記気体が、前記多孔質部材に当たることにより、少なくとも、前記気体の垂直方向の流速を減少させる、(1)又は(2)の基板収納容器。
(4)
前記気流制御部は、前記気体の垂直方向の流速を1〜60%減少させる、(1)〜(3)のいずれかの基板収納容器。
(5)
前記気体供給部は、前記容器本体の底面から上方に向けて前記気体を供給し、前記気流制御部は、前記気体の供給方向を、少なくとも水平方向に拡散させる、(1)の基板収納容器。
(6)
前記気流制御部は、偏向板又は多孔質部材を含み、前記気体供給部から供給される前記気体が、前記偏向板又は前記多孔質部材に当たることにより、前記気体の供給方向を、少なくとも水平方向に拡散させる、(5)の基板収納容器。
(7)
前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、垂直方向において、前記気流制御部の断面視における垂直方向における中心線が、前記容器本体の前記底面の内表面よりも低くなるように、前記気流制御部が前記気体導入部に接続されている、(1)〜(6)のいずれかの基板収納容器。
(8)
前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、垂直方向において、前記気流制御部の上表面が、前記容器本体の前記底面の内表面よりも低くなるように、前記気流制御部が前記気体導入部に接続されている、(1)〜(7)のいずれかの基板収納容器。
(9)
前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、前記気体供給部は、ハウジングと、前記ハウジングに格納された弁座体と、前記弁座体に接離し、前記気体の逆流を防止するよう作動する逆止弁体と、を少なくとも備え、前記気流制御部は、多孔質部材又は偏向板が、前記逆止弁体の上方に配置されるように、前記気体導入部に接続されている、
(3)、(4)、及び(6)〜(8)のいずれかの基板収納容器。
Claims (9)
- 基板を収納可能な基板収納容器であって、
前記基板を収納し、前記基板を出し入れする開口が形成された容器本体と、
前記容器本体の前記開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体の内部に気体を供給する気体供給部と、
前記気体供給部から供給される前記気体の流速を減少させる、前記気体供給部から供給される前記気体の供給方向を変更させる、又は、その両方を行う、気流制御部と、
を少なくとも備える基板収納容器。 - 前記気体供給部は、前記容器本体の底面から上方に向けて前記気体を供給し、
前記気流制御部は、少なくとも、前記気体の垂直方向の流速を減少させる、
請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記気流制御部は、多孔質部材を含み、前記気体供給部から供給される前記気体が、前記多孔質部材に当たることにより、少なくとも、前記気体の垂直方向の流速を減少させる、
請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記気流制御部は、前記気体の垂直方向の流速を1〜60%減少させる、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板収納容器。 - 前記気体供給部は、前記容器本体の底面から上方に向けて前記気体を供給し、
前記気流制御部は、前記気体の供給方向を、少なくとも水平方向に拡散させる、
請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記気流制御部は、偏向板又は多孔質部材を含み、前記気体供給部から供給される前記気体が、前記偏向板又は前記多孔質部材に当たることにより、前記気体の供給方向を、少なくとも水平方向に拡散させる、
請求項5に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、
垂直方向において、前記気流制御部の断面視における垂直方向における中心線が、前記容器本体の前記底面の内表面よりも低くなるように、前記気流制御部が前記気体導入部に接続されている、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、
垂直方向において、前記気流制御部の上表面が、前記容器本体の前記底面の内表面よりも低くなるように、前記気流制御部が前記気体導入部に接続されている、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体の底面には、前記気体供給部から前記容器本体の内部に前記気体を導入する気体導入部が設けられ、
前記気体供給部は、ハウジングと、前記ハウジングに格納された弁座体と、前記弁座体に接離し、前記気体の逆流を防止するよう作動する逆止弁体と、を少なくとも備え、
前記気流制御部は、多孔質部材又は偏向板が、前記逆止弁体の上方に配置されるように、前記気体導入部に接続されている、
請求項3、4、及び6〜8のいずれか一項に記載の基板収納容器。
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