JP2021107325A - n型シリコン単結晶のインゴット、シリコンウェーハ、およびエピタキシャルシリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
Description
携帯機器自体の消費電力を低減させるには、携帯機器の内部に搭載される半導体デバイスの消費電力を低減させることが必要である。
したがって、低耐圧パワーMOSFETが通電状態となったときの内部抵抗を小さくすることができれば、携帯機器の消費電力を低減させることが可能となる。そのような背景から、低耐圧パワーMOSFETが通電状態となったときの抵抗を小さくするために、低電気抵抗率(以下、低抵抗率と称す)のn型シリコン単結晶が強く求められている。
さらに、ヒ素をドーパントとして低抵抗率化を図る技術として、特許文献3が提案されている。
さらに、前記特許文献3に記載の技術では、ヒ素をドーパントとして低抵抗率のシリコンウェーハを製造することはできるが、実施例に開示されるシリコンウェーハの径は、直径150mmでしかない。
本発明のシリコンウェーハは、前述したn型シリコン単結晶のインゴットから切り出され、電気抵抗率が0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下の直径300mmのシリコンウェーハである。
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、前述したシリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が形成されていることを特徴とする。
本発明のシリコンウェーハは、前述したn型シリコン単結晶のインゴットから切り出され、電気抵抗率が1.7mΩcm以上、2.0mΩcm以下であることを特徴とする直径300mmのシリコンウェーハである。
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、前述したシリコンウェーハの表面にエピタキシャル成長膜が形成されていることを特徴とする。
図1には、本発明の実施形態に係るシリコン単結晶の製造方法を適用できるシリコン単結晶の引き上げ装置1の構造の一例を表す模式図が示されている。引き上げ装置1は、チョクラルスキー法によりシリコン単結晶10を引き上げる装置であり、外郭を構成するチャンバ2と、チャンバ2の中心部に配置されるルツボ3とを備える。
ルツボ3は、内側の石英ルツボ3Aと、外側の黒鉛ルツボ3Bとから構成される二重構造であり、回転および昇降が可能な支持軸4の上端部に固定されている。
具体的には、シリコン単結晶10の直胴径が201mm以上、230mm以下である場合、石英ルツボ3Aの内径は、シリコン単結晶10の直胴径の2.1倍以上、2.3倍以下とするのが好ましい。一方、シリコン単結晶10の直胴径が301mm以上、330mm以下である場合、石英ルツボ3Aの内径は、シリコン単結晶10の直胴径の1.7倍以上、2.0倍以下とするのが好ましい。
ルツボ3の内径をこのような範囲とすることにより、シリコン単結晶10と石英ルツボ3Aの間の隙間を少なくすることができるため、赤リン、ヒ素等のドーパントの蒸発を抑え、ドーパントの偏析現象による直胴部開始部における有転位化の発生を防止することができる。
ルツボ3の上方には、支持軸4と同軸上で逆方向または同一方向に所定の速度で回転するワイヤなどの引き上げ軸7が設けられている。この引き上げ軸7の下端には種結晶8が取り付けられている。
なお、チャンバ2内には、シリコン融液9の上方で育成中のシリコン単結晶10を囲む円筒形の水冷体が設けられていてもよい。
水冷体は、例えば、銅などの熱伝導性の良好な金属からなり、内部に流通される冷却水により強制的に冷却される。水冷体は、育成中のシリコン単結晶10の冷却を促進し、単結晶中心部および単結晶外周部の引き上げ軸方向の温度勾配を制御する役割を担う。
熱遮蔽板12は、育成中のシリコン単結晶10に対して、ルツボ3内のシリコン融液9やヒータ5やルツボ3の側壁からの高温の輻射熱を遮断するとともに、結晶成長界面である固液界面の近傍に対しては、外部への熱の拡散を抑制し、単結晶中心部および単結晶外周部の引き上げ軸方向の温度勾配を制御する役割を担う。
ガス導入口13からチャンバ2内に導入された不活性ガスは、育成中のシリコン単結晶10と熱遮蔽板12との間を下降し、熱遮蔽板12の下端とシリコン融液9の液面との隙間(液面Gap)を経た後、熱遮蔽板12の外側、さらにルツボ3の外側に向けて流れ、その後にルツボ3の外側を下降し、排気口14から排出される。
前述した引き上げ装置1を用いて本実施形態のn型シリコン単結晶であるシリコン単結晶10を製造する場合、シリコン融液9中に、赤リンまたはヒ素を主たるドーパントとして、引き上げ当初に添加したり、または引き上げ中に適宜添加することにより、製造することができる。赤リンまたはヒ素を主たるドーパントとする場合、n型ドーパントのうち50質量%以上を赤リンまたはヒ素とするが、さらに他のドーパントを添加してもよい。
直胴径201mm以上、230mm以下のシリコン単結晶10のインゴットの引き上げにおいて、赤リンをドーパントとした場合では、シリコン単結晶10の直胴部開始位置で、抵抗率を0.8mΩcm以上、1.05mΩcm以下に制御し、その後、シリコン単結晶10を引き上げて成長させるにつれて、順次シリコン単結晶10の抵抗率を下げていき、最終的に0.5mΩcm以上、0.7mΩcm以下のシリコン単結晶10を得る。
本実施形態のシリコン単結晶10のインゴットは、一般的な引き上げ条件で引き上げることができる。その際、ルツボ3内のシリコン融液9における赤リンやヒ素といったドーパント濃度を増加させる手段としては、引き上げ中にドーパントの添加量を変化させたり、引き上げに伴う偏析現象によるドーパント濃度の上昇を利用したり、チャンバ2内に導入される不活性ガスの導入量を変化させてドーパントの蒸発を抑制し、チャンバ2内の圧力を変化させることが挙げられる。
一方、シリコン単結晶10の直胴部引き上げの後半においては、ドーパントの蒸発を促進し、シリコン単結晶10の育成の進行に伴う偏析によるドーパント濃度の濃化と相殺させて、ルツボ3内のシリコン融液9におけるドーパント濃度を維持したい場合、Ar流量を50L/min〜200L/min、炉内圧力を20kPa〜80kPa(好ましくは30kPa以上、40kPa以下)とする。
また、シリコン単結晶10の引き上げに際しては、磁場強度0.2T以上、0.4T以下の磁場を印加するのも好ましい。磁場を印加することにより、引き上げ中のシリコン単結晶10のメルト対流を抑制し、メルト内の温度ムラや乱流現象を低減することができるため、有転位化を発生させずに、確実にシリコン単結晶10の引き上げを行うことができる。
1未満、すなわち下部ヒータの加熱量が上部ヒータの加熱量よりも小さいと、ルツボ3の底から、固液界面に下に向かう対流が強くならず、ドーパントが添加されたシリコン融液9の表面から結晶に液温が不安定な対流を弱くできないため、温度の不安定化の有転位化の発生を抑制できない。
一方、加熱量の比が、4を超えると、ルツボの下部の熱負荷が大きくなり、ルツボ3の変形や石英の剥離が生じる可能性がある。
具体的には、肩部形成の最初は、16rpm以上、30rpm以下の回転数でルツボ3を回転させながら引き上げ、その後、肩部の直径がシリコン単結晶10の直胴径の半分以上となったら、ルツボ3の回転数を徐々に下げていき、4rpm以上、12rpm以下とする。
次に、肩部の直径がシリコン単結晶10の直胴径の半分以上となった場合に、ルツボ3の回転数を4rpm未満とすると、ドーパントが添加されたシリコン融液9が安定せず、有転位化が発生する可能性が高くなる。
一方、ルツボ3の回転数が、12rpmを超えると、シリコン単結晶10の面内の酸素密度や抵抗率のばらつきが大きくなり、結晶品質が安定しない。
次に、直胴部開始位置から50mm以上、200mm以下の範囲で、ルツボ3の回転数が0.1rpm未満だと、ドーパントが添加されたシリコン融液9が安定せず、有転位化の発生の原因となる可能性が高い。
一方、ルツボ3の回転数が7rpmを超えると、シリコン単結晶10の面内の酸素濃度や電気抵抗率のばらつきが大きくなり、結晶品質が安定しない。
シリコン単結晶10のインゴットの外周研削を行って直胴径200mmとした後、当該部分をワイヤーソー等でシリコンウェーハに切り出し、切り出されたシリコンウェーハに、ラッピング工程、研磨工程を施すことにより、抵抗率0.5mΩcm以上、0.7mΩcm以下の直径200mmのシリコンウェーハを得ることができる。
さらに、シリコンウェーハの加工後、シリコンウェーハの表面に、エピタキシャル膜を形成して、直径200mmのエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、顧客に出荷する。
シリコン単結晶10のインゴットの外周研削を行って直胴径300mmとした後、当該部分をワイヤーソー等でシリコンウェーハに切り出し、切り出されたシリコンウェーハに、ラッピング工程、研磨工程を施すことにより、抵抗率0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下の直径300mmのシリコンウェーハを得ることができる。
さらに、シリコンウェーハの加工後、シリコンウェーハの表面に、エピタキシャル成長膜を形成して、直径300mmのエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、顧客に出荷する。
シリコン単結晶10のインゴットの外周研削を行って直胴径300mmとした後、当該部分をワイヤーソー等でシリコンウェーハに切り出し、切り出されたシリコンウェーハに、ラッピング工程、研磨工程を施した後、直径300mmのシリコンウェーハを得ることができる。
さらに、シリコンウェーハの加工後、シリコンウェーハの表面に、エピタキシャル膜を形成して、直径300mmのエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、顧客に出荷する。
[1]直胴径201mm以上、230mm以下のシリコン単結晶10のインゴットの場合
結晶径201mm以上、230mm以下のシリコン単結晶10を引き上げるに際し、シリコン単結晶10の直胴部開始位置(肩終わり位置)における抵抗率を、0.8mΩcm以上、1.05mΩcm以下に制御した。ルツボ3の内径と結晶径の比率(=ルツボ3の内径/結晶径)を、実施例においては2.1〜2.3、比較例および参考例においては2.6〜3.0とし、チャージ量を80kg〜180kgとした。また、引き上げ速度は、0.3mm/min〜1.0mm/minとし、結晶回転数を9〜17rpmとし、ルツボ3の回転数は、0.2rpm〜22rpmとした。
さらに、シリコン単結晶10の直胴部前半では、アルゴンガス流量を50L/min〜150L/minとし、炉内圧を40kPa〜80kPaとした。シリコン単結晶10の直胴部後半では、アルゴンガス流量を50L/min〜200L/minとし、炉内圧を20kPa〜80kPaとした。
シリコン単結晶10の直胴径に対して、石英ルツボ3Aの内径を変更し、複数の水準について、赤リンドーパント添加、Ar流量、炉内圧、熱遮蔽板12の液面高さ、シリコン単結晶10の引き上げ速度、およびこれらの組み合わせによって、抵抗率制御を行いながら、赤リンをドーピングしたシリコン単結晶10の引き上げを行った。結果を表1および図2に示す。なお、以下の説明において、直胴長0%位置とは、シリコン単結晶10の直胴部開始位置を意味し、直胴長100%位置とは、シリコン単結晶10のテール開始位置を意味する。また、直胴合格長さとは、抵抗率が合格(所望の抵抗範囲内)かつ無転位である直胴領域の長さを、直胴全長で割った値であり、無転位化成功率とは、引き上げtry数のうち、無転位で引き上げることのできたtry数の割合をいう。
直胴径201mm以上、230mm以下のシリコン単結晶10のインゴットの一部が、抵抗率0.5mΩcm以上、0.6mΩcm以下となる場合において、石英ルツボ3Aの内径の影響を確認した。
具体的には、Ar流量・炉内圧・引上速度の制御による抵抗率制御は、制御方向が蒸発抑制と蒸発促進の2方向があり、シリコン単結晶10の結晶トップ側から、所望抵抗率以下になるところまでは、蒸発を抑制する。次に、所望抵抗率範囲に入ったところで、偏析の効果を相殺するために、蒸発促進側へプロファイルを変えていく。0.6mΩcm以上、0.7mΩcm以下の狙い値に対し、0.5mΩcm以上、0.6mΩcm以下の範囲においては、蒸発抑制区間が結晶位置のより後半側まで(≦0.6mΩcmになるところまで)長く占める。
結果を表2および図3に示す。
結晶径301mm以上、330mm以下のシリコン単結晶10を引き上げた。
実施例および比較例において、ルツボ3の内径と結晶径の比率(=ルツボ3の内径/結晶径)を、実施例においては1.7〜2.0とし、比較例においては2.5〜2.6とし、チャージ量を80kg〜250kgとし、引き上げ速度を0.3mm/min〜1.0mm/minとし、結晶回転数を5rpm〜17rpmとし、ルツボ3の回転数を0.2rpm〜22rpmとした。
また、シリコン単結晶10の直胴部前半では、アルゴンガス流量を50L/min〜150L/minとし、炉内圧を40kPa〜80kPaとした。シリコン単結晶10の直胴部後半では、アルゴンガス流量を50L/min〜200L/minとし、炉内圧を20kPa〜80kPaとした。
赤リンをドーパントとした場合、結晶径301mm以上、330mm以下のシリコン単結晶10を引き上げるに際し、シリコン単結晶10の直胴開始位置(肩終わり位置)における抵抗率を、1.2mΩcm以上、1.7mΩcm以下に制御した。
シリコン単結晶10の直胴径301mm以上、330mm以下の場合について、前述と同様にシリコン単結晶10の直胴径に対する石英ルツボ3Aの内径を変更し、複数の水準について、赤リンドーパント添加による抵抗率制御を行いながら、赤リンをドーピングしたシリコン単結晶10の引き上げを行った。結果を表3および図4に示す。
一方、実施例9から実施例12によれば、無転位化成功率を20%以上実現することができ、結晶合格長さも7%から50%まであるので、シリコン単結晶10のインゴットの一部の抵抗率が、0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下のものを確保することができた。したがって、赤リンをドーパントとして、目標とする抵抗率0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下のシリコン単結晶10のインゴットを製造する場合、少なくとも石英ルツボ3Aの内径を、シリコン単結晶10の直胴径の1.7倍以上、2.0倍以下とすればよいことが確認された。
シリコン単結晶10の直胴径301mm以上、330mm以下の場合について、前述と同様にシリコン単結晶10の直胴径に対する石英ルツボ3Aの内径を変更し、複数の水準について、ヒ素ドーパント添加による抵抗率制御を行いながら、ヒ素をドーピングしたシリコン単結晶10の引き上げを行った。
このとき、シリコン単結晶10の直胴開始位置(肩終わり位置)における抵抗率を、2.5mΩcm以上、3.1mΩcm以下に制御した。結果を表4および図5に示す。
実施例13から実施例16によれば、無転位化成功率を10%以上実現することができ、結晶合格長さも13%から61%あるので、シリコン単結晶10のインゴットの一部の抵抗率が、1.7mΩcm以上、2.0mΩcm以下のものを確保することができた。したがって、ヒ素をドーパントとして、目標とする抵抗率1.7mΩcm以上、2.0mΩcm以下のシリコン単結晶10のインゴットを製造する場合、少なくとも石英ルツボ3Aの内径を、シリコン単結晶10の直胴径の1.7倍以上、2.0倍以下とすればよいことが確認された。
Claims (6)
- 赤リンを主たるドーパントとして含み、シリコン単結晶の直胴部開始位置の電気抵抗率が1.2mΩcm以上、1.7mΩcm以下であり、前記シリコン単結晶の直胴部最後部の電気抵抗率が0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下であることを特徴とする直径300mmウェーハ用のn型シリコン単結晶のインゴット。
- 請求項1に記載のn型シリコン単結晶のインゴットから切り出され、電気抵抗率が0.8mΩcm以上、1.0mΩcm以下であることを特徴とする直径300mmのシリコンウェーハ。
- 請求項2に記載のシリコンウェーハの表面に、エピタキシャル膜が形成されていることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
- ヒ素を主たるドーパントとして含み、シリコン単結晶の直胴部開始位置の電気抵抗率が2.5mΩcm以上、3.1mΩcm以下であり、前記シリコン単結晶の直胴部最後部の電気抵抗率が1.7mΩcm以上、2.0mΩcm以下であることを特徴とする直径300mmウェーハ用のn型シリコン単結晶のインゴット。
- 請求項4に記載のn型シリコン単結晶のインゴットから切り出され、電気抵抗率が1.7mΩcm以上、2.0mΩcm以下であることを特徴とする直径300mmのシリコンウェーハ。
- 請求項5に記載のシリコンウェーハの表面に、エピタキシャル膜が形成されていることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
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