JP2021103725A - 基板処理方法及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
60 界面改質装置
61 内部改質装置
62 周縁除去装置
90 制御装置
Ad 境界
Ae 未接合領域
M 改質層
M1 周縁改質層
P (広間隔領域の)パルスピッチ
p (狭間隔領域の)パルスピッチ
R1 広間隔領域
R2 狭間隔領域
S 第2のウェハ
T 重合ウェハ
W 第1のウェハ
Wc 中央部
We 周縁部
Claims (20)
- 第1の基板と第2の基板が接合された重合基板を処理する方法であって、
前記第1の基板の除去対象の周縁部と、前記第1の基板の中央部の境界に沿って周縁改質層を形成することと、
前記重合基板の内部にレーザ光を照射して改質層を形成し、前記周縁部における前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を弱める未接合領域を形成することと、
前記周縁改質層を基点に前記第1の基板の周縁部を除去することと、を含み、
前記未接合領域の形成においては、
前記周縁部における径方向外側において、前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を低下させる第1の剥離領域と、
前記周縁部における前記第1の剥離領域の径方向内側において、前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を低下させる第2の剥離領域と、を形成し、
前記第2の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔は、前記第1の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔よりも小さい、基板処理方法。 - 前記第1の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔を、前記改質層の周方向の形成幅と一致させ、
前記第2の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔を、前記改質層の周方向の形成幅よりも小さくする、請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記未接合領域においては、前記レーザ光の照射により蓄積される内部応力により前記第1の基板と前記第2の基板との自然剥離が進行し、
前記第2の剥離領域においては、前記レーザ光の出力及び前記改質層の周方向の形成間隔により、径方向への前記第1の基板と前記第2の基板との自然剥離距離を制御する、請求項1または2に記載の基板処理方法。 - 前記第2の剥離領域の形成後に、前記第1の剥離領域を形成する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記第1の剥離領域の形成後、再度、前記第2の剥離領域を形成する、請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記第1の剥離領域の形成後に、前記第2の剥離領域を形成する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記周縁部の内部にレーザ光を照射して前記第1の基板の径方向に延伸する複数の分割改質層を形成することを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記第1の基板の面方向に沿って、前記第1の基板の分離の基点となる内部面改質層を形成することを含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記周縁部を、前記第1の基板の分離時において一体に除去する、請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記第1の基板の裏面を研削することにより、前記第1の基板を薄化することを含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 第1の基板と第2の基板が接合された重合基板を処理する基板処理システムであって、
前記第1の基板の除去対象の周縁部と、前記第1の基板の中央部の境界に沿って周縁改質層を形成する第1改質部と、
前記重合基板の内部にレーザ光を照射して改質層を形成し、前記周縁部における前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を弱める未接合領域を形成する第2改質部と、
前記周縁改質層を基点に前記第1の基板の前記周縁部を除去する除去部と、
前記第2改質部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記未接合領域の形成時において、
前記周縁部における径方向外側において、前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を低下させる第1の剥離領域と、
前記周縁部における前記第1の剥離領域の径方向内側において、前記第1の基板と前記第2の基板の接合強度を低下させる第2の剥離領域と、を形成し、
前記第2の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔が、前記第1の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔よりも小さくなるように、前記第2改質部の動作を制御する、基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記第1の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔が、前記改質層の周方向の形成幅と一致し、
前記第2の剥離領域における前記改質層の周方向の形成間隔が、前記改質層の周方向の形成幅よりも小さくなるように、前記第2改質部の動作を制御する、請求項11に記載の基板処理システム。 - 前記未接合領域においては、前記レーザ光の照射により蓄積される内部応力により前記第1の基板と前記第2の基板との自然剥離が進行し、
前記制御部は、
前記第2の剥離領域の形成における径方向への前記第1の基板と前記第2の基板との自然剥離距離を、前記レーザ光の出力及び前記改質層の周方向の形成間隔の制御により制御する、請求項11または12に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記第2の剥離領域の形成後に、前記第1の剥離領域を形成するように、前記第2改質部の動作を制御する、請求項11〜13のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記第1の剥離領域の形成後、再度、前記第2の剥離領域を形成するように、前記第2改質部の動作を制御する、請求項14に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記第1の剥離領域の形成後に、前記第2の剥離領域を形成するように、前記第2改質部の動作を制御する、請求項11〜13のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記周縁部の内部にレーザ光を照射して前記第1の基板の径方向に延伸する複数の分割改質層を形成するように、前記第1改質部の動作を制御する、請求項11〜16のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記第1の基板の面方向に沿って、前記第1の基板の分離の基点となる内部面改質層を形成するように、前記第1改質部の動作を制御する、請求項11〜17のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記周縁部を前記第1の基板の分離時において一体に除去するように、前記第1改質部、及び前記除去部の動作を制御する、請求項18に記載の基板処理システム。 - 研削砥石により前記第1の基板の裏面を研削することにより、前記第1の基板を薄化する研削部を備える、請求項11〜17のいずれか一項に記載の基板処理システム。
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