JP7086201B2 - 基板処理システム及び基板処理方法 - Google Patents
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Description
32 ウェハ搬送装置
60 反転装置
61 改質分離装置
70 加工装置
S 支持ウェハ
T 重合ウェハ
W 処理ウェハ
Claims (12)
- 基板を処理する基板処理システムであって、
基板の内部の面方向に形成された内部面改質層を起点に、当該基板を第1の分離基板と第2の分離基板に分離する分離部と、
前記第1の分離基板の分離面と前記第2の分離基板の分離面をそれぞれ研削する加工部と、
少なくとも前記分離部又は前記加工部に対して、前記基板を搬送する搬送機構と、
前記第2の分離基板の表裏面を反転させる反転機構と、を有し、
前記加工部は、
前記基板、前記第1の分離基板又は前記第2の分離基板を保持する複数の保持部を備え、回転自在な回転テーブルと、
前記保持部に保持された前記第1の分離基板の分離面を研削する第1の研削部と、
前記保持部に保持された前記第2の分離基板の分離面を研削する第2の研削部と、を有する、基板処理システム。 - 前記搬送機構は、少なくとも前記分離部又は前記加工部に対して、前記第1の分離基板及び前記第2の分離基板を搬送する、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記分離部は、前記回転テーブルの上方に設けられ、前記保持部に保持された前記基板を分離する、請求項1又は2に記載の基板処理システム。
- 前記分離部は前記反転機構を有する、請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記反転機構は前記搬送機構に設けられている、請求項1~4のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記基板の内部にレーザ光を照射して、前記内部面改質層を形成する内部面改質部を有する、請求項1~4のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記基板の内部において、除去対象の周縁部と中央部との境界に沿って厚み方向にレーザ光を照射して、周縁改質層を形成する周縁改質部を有する、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 基板を処理する基板処理方法であって、
分離部において、基板の内部の面方向に形成された内部面改質層を起点に、当該基板を第1の分離基板と第2の分離基板に分離することと、
反転機構によって、前記第2の分離基板の表裏面を反転させることと、
加工部において、前記第1の分離基板の分離面と前記第2の分離基板の分離面をそれぞれ研削することと、を有し、
前記加工部は、
前記基板、前記第1の分離基板又は前記第2の分離基板を保持する複数の保持部を備え、回転自在な回転テーブルと、
前記保持部に保持された前記第1の分離基板の分離面を研削する第1の研削部と、
前記保持部に保持された前記第2の分離基板の分離面を研削する第2の研削部と、を有し、
前記第1の研削部による前記第1の分離基板の分離面の研削と、前記第2の研削部による前記第2の分離基板の分離面の研削とを並行して行う、基板処理方法。 - 前記分離部は、前記回転テーブルの上方に設けられ、前記保持部に保持された前記基板を分離する、請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記分離部で分離された前記第2の分離基板を搬送中に、前記反転機構によって当該第2の分離基板の表裏面を反転させる、請求項8又は9に記載の基板処理方法。
- 前記分離部で前記基板を分離する前に、前記基板の内部にレーザ光を照射して、前記内部面改質層を形成する、請求項8~10のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記分離部で前記基板を分離する前に、前記基板の内部において、除去対象の周縁部と中央部との境界に沿って厚み方向にレーザ光を照射して、周縁改質層を形成する、請求項8~11のいずれか一項に記載の基板処理方法。
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