JP2021091566A - SiC基板及びSiC単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
より濃くしてもよい。SiCガスは、高温領域から低温領域に向って流れる。坩堝10は、外側から加熱されるため、外側の温度は中央側の温度より高い。すなわち、昇華するSiCガスの一部は、外側から中央側に向って流れる。また昇華するSiCガスが、タンタル又はニオブの濃度が濃い領域を通過することで、C/Si比が適切に調整される。
例えば、SiC原料の表面にタンタル又はニオブが堆積していてもよい。原料Gの表面近傍にタンタル又はニオブが存在することで、タンタル又はニオブの昇華効率を高めることができる。また昇華するSiCガスが、タンタル又はニオブからなる層を通過することで、C/Si比が適切に調整される。
また例えば、原料Gを平面視した際に、中央の領域にタンタル又はニオブを充填し、その外周領域にSiC原料を充填してもよい。上述のように、昇華するSiCガスの一部は、外側から中央側に向って流れるため、昇華するSiCガスが通過する位置に、タンタル又はニオブを配置することで、C/Si比が適切に調整される。
Taの含有量が検出限界以下のSiC原料粉末に、3wt%のTa粉を添加し、坩堝内に収容した。そして、坩堝内に収容された原料と対向する位置に種結晶を設置し、昇華法により単結晶を成長させた。得られた単結晶におけるタンタルの含有率は、5×1014cm−3であった。同様の実験を20回行った。そして、実施例1の単結晶化率を求めた。単結晶化率は、実験数に対して単結晶中に異種多形が発生しなかった割合である。実施例1の単結晶化率は95%であった。
Taの含有量が検出限界以下のSiC原料粉末に、1wt%のTa粉を添加し、坩堝内に収容した。そして、坩堝内に収容された原料と対向する位置に種結晶を設置し、昇華法により単結晶を成長させた。得られた単結晶におけるタンタルの含有率は、3×1014cm−3であった。同様の実験を20回行った。そして、実施例2の単結晶化率を求めた。単結晶化率は、実験数に対して単結晶中に異種多形が発生しなかった割合である。実施例2の単結晶化率は90%であった。
Taの含有量が検出限界以下のSiC原料粉末に、8wt%のTa粉を添加し、坩堝内に収容した。そして、坩堝内に収容された原料と対向する位置に種結晶を設置し、昇華法により単結晶を成長させた。得られた単結晶におけるタンタルの含有率は、1×1015cm−3であった。同様の実験を20回行った。そして、実施例3の単結晶化率を求めた。単結晶化率は、実験数に対して単結晶中に異種多形が発生しなかった割合である。実施例3の単結晶化率は90%であった。
Taの含有量が検出限界以下のSiC原料粉末に、添加するTa粉の質量比を10wt%とした点が実施例1と異なる。得られた単結晶におけるタンタルの含有率は、2×1015cm−3であった。同様の実験を20回行った。そして、比較例1の単結晶化率を求めた。単結晶化率は、実験数に対して単結晶中に異種多形が発生しなかった割合である。比較例1の単結晶化率は80%であった。
Taの含有量が検出限界以下のSiC原料粉末に、添加するTa粉の質量比を0.5wt%とした点が実施例1と異なる。得られた単結晶におけるタンタルの含有率は1×1014cm−3であった。同様の実験を20回行った。そして、比較例2の単結晶化率を求めた。単結晶化率は、実験数に対して単結晶中に異種多形が発生しなかった割合である。比較例2の単結晶化率は80%であった。
20 コイル
100 製造装置
C 単結晶
G 原料
S 種結晶
Claims (10)
- 3×1014cm−3以上1×1015cm−3以下のタンタル又はニオブと、
1×1016cm−3以上1×1020cm−3以下の窒素と、を含有する、SiC基板。 - アルミニウムの含有量が1×1016cm−3未満である、請求項1に記載のSiC基板。
- ボロンの含有量が1×1016cm−3未満である、請求項1又は2に記載のSiC基板。
- 原料から昇華したガスを種結晶の表面で再結晶化させることで単結晶が成長する昇華法を用いたSiC単結晶の製造方法であって、
前記原料は、タンタル又はニオブを含む、SiC単結晶の製造方法。 - 前記原料内におけるタンタル又はニオブの濃度は略一定である、請求項4に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記原料の前記種結晶と対向する表面におけるタンタル又はニオブの濃度は、原料の内部より薄い、請求項4に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記タンタル又はニオブは、SiCの原料の表面に堆積している、請求項4に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記原料の前記種結晶と対向する表面におけるタンタル又はニオブの濃度は、原料の内部より濃い、請求項4に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記原料を平面視した際に、中央におけるタンタル又はニオブの濃度は外側より濃い、請求項4に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 原料から昇華したガスを種結晶の表面で再結晶化させることで単結晶が成長する昇華法を用いたSiC単結晶の製造方法であって、
前記原料と前記種結晶との間に、粉末又は板状のタンタル又はニオブを設置して、前記原料を昇華させる、SiC単結晶の製造方法。
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