JP2021090036A - 載置台及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1を参照しながら基板処理装置1の全体構成の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す断面図である。なお、本実施形態では、基板処理装置1がRIE(Reactive Ion Etching)型の基板処理装置である例について説明する。ただし、基板処理装置1は、プラズマエッチング装置やプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置等であってもよい。
本実施形態の基板処理装置1について、エッジリング載置面25b1に形成された給電部91に給電する構造について説明する。
本実施形態の載置台10は、エッジリング30を載置するエッジリング載置面25b1に、給電部91を備える。それにより、エッジリング30に安定して電圧を印加することができる。さらに、載置台10の静電チャック25によりエッジリング30を吸着することにより、エッジリング30をエッジリング載置面25b1に保持できる。そのように、エッジリング30をエッジリング載置面25b1に保持し、エッジリング30で給電部91をエッジリング載置面25b1に押さえつけることにより、より安定してエッジリング30との接触状態を確保できるとともに、再現良く電圧を印加することができる。
以下、給電部91への給電方法の変形例について説明する。なお、以下の変形例では、筒状保持部材12に設けられた端子100との接続について説明する。なお、端子100には、電源95が接続されて、電源が供給される。
図5は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第2変形例について説明する図である。第2変形例では、端子100と配線92bの間をマルチコンタクト102で接続している。配線92bは、静電チャック25と基台11の側面に設けられている。マルチコンタクト102は、配線92bの側面を押圧しながら、配線92bに給電する。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。なお、マルチコンタクト102は、第1配線の側面を押圧しながら給電する弾性部材の一例である。
図6は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第3変形例について説明する図である。第3変形例では、配線92cに端子103を設け、端子103と端子100との間を給電ピン110で接続している。配線92cは、静電チャック25の側面に設けられている。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。
図7は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第4変形例について説明する図である。第4変形例では、配線92dと端子100との間を給電ピン110で接続している。配線92dは、静電チャック25の側面に設けられている。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。
図8は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第5変形例について説明する図である。第5変形例では、配線92eに、凹部104が形成され、凹部104と端子100との間を給電ピン110で接続している。配線92eは、静電チャック25及び基台11の側面に設けられている。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。
図9は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第6変形例について説明する図である。第6変形例では、配線92fと端子100との間をリード線105で接続している。配線92fは、静電チャック25の側面に設けられている。配線92fとリード線105は、スポット溶接で接続されている。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。
図10は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング30への給電の第7変形例について説明する図である。第7変形例では、配線92gと端子100との間をリード線106で接続している。配線92gは、静電チャック25の側面に設けられている。リード線106は、配線92gの上から基台11に、絶縁ねじ107で取り付けられることにより接続される。このように、エッジリング30に安定して給電することができる。
今回開示された本実施形態に係る載置台、基板処理装置及びエッジリングは、すべての点において例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
10 載置台
11 基台
25 静電チャック
25a 中心部
25a1 基板載置面
25b 外周部
25b1 エッジリング載置面
91 給電部
92 配線
93 配線
Claims (15)
- 基板を載置する基板載置面と、
前記基板載置面の周囲にてエッジリングを載置するエッジリング載置面と、
前記エッジリング載置面に形成され、電圧を前記エッジリングに供給するように構成された導電性の電極と、
を備える、載置台。 - 前記エッジリング載置面に前記エッジリングを吸着するように構成された静電チャックを更に備える、
請求項1に記載の載置台。 - 前記電極は、導電性の膜である、
請求項1または請求項2に記載の載置台。 - 前記導電性の膜は、物理蒸着、化学蒸着、メッキ、塗布、ゾルゲル、スピンコート、溶射、印刷のいずれかにより形成される、
請求項3に記載の載置台。 - 前記電極は、金、アルミニウム、タングステン、ニッケル、ゲルマニウム、アンチモン、テルル、タンタル、チタン、ルテニウム、白金、モリブデン、スズ、インジウムまたはそれらのいずれかを含む合金で形成される、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の載置台。 - 前記電極は、前記エッジリング載置面に複数の給電部を有し、前記複数の給電部のそれぞれに直流電圧、又は高周波電力を供給するように構成される、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の載置台。 - 前記直流電圧、又は高周波電力はパルス状に供給される、
請求項6に記載の載置台。 - 前記複数の給電部は、前記エッジリング載置面に等間隔に設けられる、請求項6に記載の載置台。
- 前記複数の給電部は、前記エッジリング載置面に放射状に設けられる、請求項6または請求項8に記載の載置台。
- 前記複数の給電部は、前記エッジリング載置面にリング状に設けられる、請求項6または請求項8に記載の載置台。
- 前記載置台の側面に、前記複数の給電部と接続する第1配線を備え、前記第1配線を介して、前記複数の給電部に給電する、
請求項6、請求項8から請求項10のいずれか一項に記載の載置台。 - 前記第1配線に、前記第1配線の側面を押圧しながら給電する弾性部材を備える、請求項11に記載の載置台。
- 前記載置台の側面に、前記複数の給電部と接続する第1配線を備え、前記載置台の背面に、前記第1配線と接続する第2配線を備える、
請求項6、請求項8から請求項10のいずれか一項に記載の載置台。 - 前記第2配線に、前記第2配線の側面を押圧しながら給電する弾性部材を備える、
請求項13に記載の載置台。 - 載置台を備える基板処理装置であって、
前記載置台は、
基板を載置する基板載置面と、
前記基板載置面の周囲にてエッジリングを載置するエッジリング載置面と、
前記エッジリング載置面に形成され、電圧を前記エッジリングに供給するように構成された導電性の電極と、を備える、
基板処理装置。
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