JP2021076451A - 検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータ - Google Patents

検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータ Download PDF

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丈司 畠山
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Shingo Imanishi
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Yoshiki Okamoto
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Abstract

【課題】被検物から対物レンズまでの光路で発生する球面収差を補正する。【解決手段】検出光学系は、光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、被検物側から順に配置される、対物レンズと、第1リレーレンズと、第2リレーレンズと、結像レンズと、を備える。第1リレーレンズと第2リレーレンズとの間の光路上には一次結像面が設けられる。第2リレーレンズと結像レンズとの間に位置する、対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される。【選択図】図2

Description

本開示は、検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータに関する。
被検物からの光を検出するための検出光学系としては、例えば、光学顕微鏡、フローサイトメータ、イメージングサイトメータ等の検査装置が知られている。フローサイトメータ、イメージングサイトメータ等の検査装置は、被検物からの光を検出するための検出光学系を備える。この種のフローサイトメータ、イメージングサイトメータでは、液体と共に粒子を流す流路を有する流路チップ、いわゆるフローセルに光を照射し、被検物としての粒子からの散乱光や蛍光を検出する。
特許第4711009号明細書
被検物からの散乱光や蛍光を検出する感度を高めるために、対物レンズの開口数NAを可能な限り大きくすることが考えられる。しかし、所望の対物レンズを製造する場合には、検出光学系の製造コストの増大を招く。開口数NAが大きい対物レンズとして、例えば、光学顕微鏡で用いられる対物レンズを利用した場合、被検物と対物レンズとの間の光路で発生する球面収差の影響により、検出精度や検出効率が低下する。
そこで、本開示では、被検物から対物レンズまでの光路で発生する球面収差を補正することができる検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータを提案する。
本開示によれば、光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、前記被検物側から順に配置される、対物レンズと、第1リレーレンズと、第2リレーレンズと、結像レンズと、を備え、前記第1リレーレンズと前記第2リレーレンズとの間の前記光路上には一次結像面が設けられ、前記第2リレーレンズと前記結像レンズとの間に位置する、前記対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される。
実施例1の検出光学系を示す模式図である。 実施例2の検出光学系を示す模式図である。 実施例1の検出光学系を備える検査装置としてのフローサイトメータを示す模式図である。 実施例1の検出光学系を備える検査装置としてのイメージングサイトメータを示す模式図である。
以下に、本開示の実施例について図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例によって、本開示の検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータが限定されるものではない。
図1は、実施例1の検出光学系を示す模式図である。本実施例1の検出光学系は、被検物の光を検出するための検出光学系であり、例えば、フローサイトメータ、イメージングサイトメータ等の粒子検査装置に用いられる。図1に示すように、実施例1の検出光学系1は、流路チップ(フローセル)3が有する流路3aを流れる粒子を被検物Aとして、被検物Aからの散乱や蛍光を検出する検出光学系である。
なお、本開示の検出光学系は、フローサイトメータ、イメージングサイトメータ等の粒子検査装置に用いられるものに限定されず、例えば、被検物Aからの散乱光や蛍光を検出するための検出光学系全般に適用されてもよく、光学顕微鏡に適用されてもよい。
(検出光学系の構成)
図1に示すように、実施例1の検出光学系1は、光源10によって照らされる被検物Aからの光の光路に沿って、被検物A側から順に配置される、対物レンズ11と、リレーレンズ12と、結像レンズ13と、を備えており、結像レンズ13からの光が検出素子16によって検出される。
対物レンズ11とリレーレンズ12との間の光路上には、一次結像面14が設けられている。リレーレンズ12と結像レンズ13との間に位置する、対物レンズ11の瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板15が配置されている。非球面補正板15によって、被検物Aから対物レンズ11までの光路で発生する球面収差が補正される。
なお、被検物Aから対物レンズ11までの光路とは、被検物Aと、被検物Aからの光が入射する対物レンズ11の入射面11aとの間の光路を指す。また、非球面補正板15は、対物レンズ11の、リレーレンズ12側の瞳位置と共役となる位置に配置されることが望ましいが、共役となる位置に対して僅かにずれて配置された場合であっても、球面収差を適正に補正する作用が得られる。
実施例1における対物レンズ11は、例えば、市販されている対物レンズ用いられている。対物レンズ11としては、被検物Aからの散乱光や蛍光を検出するために検出光学系1を用いる場合、検出の感度を高めるために開口数NAを大きくすることが望ましいので、市販の対物レンズのうち、特に開口数NAが1以上の対物レンズが好ましい。
リレーレンズ12は、コリメータレンズが用いられており、一次結像面14を介して対物レンズ11から入射した光を平行光にする。実施例1におけるリレーレンズ12は、被検物A側から検出素子16側に向かって対物レンズ11の次に配置されたレンズを指す。結像レンズ13は、集光レンズであり、非球面補正板15から入射した光を、例えば、フォトディテクタ等の検出素子16の受光領域上に集光する。実施例1では、結像レンズ13から出射された光が、検出素子16に直接集光されるが、例えば、光ファイバ、導光板等の導光部材を介して、検出素子16の受光領域に集光されるように構成されてもよい。
なお、検出光学系1において、リレーレンズ12と非球面補正板15との間の光路上、及び非球面補正板15と結像レンズ13との間の光路上には、必要に応じて光路を構成する複数のリレーレンズが配置されてもよい。また、対物レンズ11、結像レンズ13は、複数のレンズ群を組み合わせて構成されてもよい。
(非球面補正板)
非球面補正板15は、検出光学系1の光路の光軸上に位置する中心部における屈折力が略ノンパワーに形成されており、中心部から外周部に向かって光軸から離れるのに従って徐々に負の屈折力が大きくなる形状に形成されている。言い換えると、非球面補正板15の中央部は、屈折力がほぼ無いので、入射光した光を屈折させずに透過する。非球面補正板15は、中央部から外周に近づくにつれて負の屈折力が徐々に大きくなるように形成されている。
非球面補正板15は、検出光学系1の光路の光軸方向における一方の面に平面15aが形成され、他方の面に非球面15bが形成されている。非球面補正板15は、例えば、凹状の非球面15bを有する凹レンズとして形成されている。これにより、中央部から外周部に向かって負の屈折力が徐々に大きくなる特性を有する非球面補正板15を容易に加工することができる。
なお、本実施例1における非球面補正板15は、一例として、非球面15b側をリレーレンズ12側に向けて、平面15a側を結像レンズ13側に向けて配置されるが、非球面15bの向きが限定されるものではない。非球面補正板15は、平面15a側をリレーレンズ12側に向けて、非球面15b側を結像レンズ13側に向けて配置されてもよい。
実施例1の検出光学系1は、被検物Aと、被検物Aからの光が入射する対物レンズ11の入射面11aとの間の光路(以下、被検物Aから対物レンズ11までの光路とも称する。)で発生する波面収差量をSA、対物レンズ11の焦点距離をFoとしたとき、
5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6 ・・・式1
を満たす。
このことを言い換えると、検出光学系1は、被検物Aから対物レンズ11までの光路において式1を満たす大きな球面収差量(便宜上、式1では波面収差量によって定義)が発生する光学系であり、非球面補正板15によって、式1を満たす大きな球面収差量を補正することができる。また、式1における下限値は、光学顕微鏡で発生する波面収差量を指している。式1における上限値は、フローサイトメータやイメージングサイトメータ等の粒子検査装置のように、流路チップ3内の粒子と対物レンズ11との間で生じる波面収差量の最大値を指している。すなわち、非球面補正板15は、光学顕微鏡での球面収差量(波面収差量)よりも大きく、粒子検査装置で発生する最大の球面収差量程度の球面収差を適正に補正するように形成されている。
また、本実施例1における対物レンズ11は、いわゆる液浸対物レンズであり、被検物Aとしての粒子が流れる流路チップ3と、対物レンズ11との間には、油浸オイル(イマ―ジョンオイル)18が充填されており、対物レンズ11の開口数NAが高められている。
(光の振る舞い)
検出光学系1では、被検物Aからの光が対物レンズ11に入射し、対物レンズ11から出射された光が、対物レンズ11とリレーレンズ12との間に位置する一次結像面14に像を結ぶと共に、リレーレンズ12に入射する。リレーレンズ12に入射した光は、非球面補正板15に入射し、球面収差が補正された光が結像レンズ13に入射する。結像レンズ13に入射した光は、検出素子16の受光領域に集光されて、検出素子16によって、被検物Aからの光が検出される。
特に、流路チップ3内の粒子からの光を検出する場合、流路チップ3を形成する材料の光学的な影響により、粒子と対物レンズ11との間で発生する球面収差が大きくなる傾向がある。このように大きな球面収差を非球面補正板15によって効果的に補正することが可能になる。なお、流路チップ3の形成材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリプロピレン、PDMS(polydimethylsiloxane)、ガラス、石英、及びシリコン等が挙げられる。
(効果)
上述したように実施例1の検出光学系1は、対物レンズ11と、リレーレンズ12と、結像レンズ13と、を備えており、対物レンズ11とリレーレンズ12との間の光路上に一次結像面14が設けられ、リレーレンズ12と結像レンズ13との間において、対物レンズ11の瞳位置と略共役となる位置に非球面補正板15が配置される。これにより、非球面補正板15によって、被検物Aから対物レンズ11までの光路で発生する球面収差を補正することができる。特に、対物レンズ11の内部又は近傍に補正板を配置するためのスペースを確保することが困難な場合に有効であり、リレーレンズ12と結像レンズ13との間の所定位置に配置する非球面補正板15によって、被検物Aから対物レンズ11までの光路で発生する球面収差を補正することができるので、検出光学系1の設計の自由度が高められる。
また、実施例1の検出光学系1における非球面補正板15は、光路の光軸上に位置する中心部における屈折力が略ノンパワーに形成され、中心部から外周部に向かって徐々に負の屈折力が大きくなる形状に形成されている。これにより、被検物Aから対物レンズ11までの光路で発生する球面収差を効果的に補正することができる。
また、実施例1の検出光学系1における非球面補正板15は、光路の光軸方向における一方の面に平面15aが形成され、他方の面に非球面15bが形成されている。これにより、球面収差を補正する所望の形状に容易に加工することが可能になり、非球面補正板15を容易に形成することができる。
また、実施例1の検出光学系1は、被検物Aと、被検物Aからの光が入射する対物レンズ11の入射面11aとの間の光路で発生する波面収差量をSA、対物レンズ11の焦点距離をFoとしたとき、5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6・・・(式1)を満たす。言い換えると、非球面補正板15は、光学顕微鏡での球面収差量よりも大きく、フローサイトメータやイメージングサイトメータ等の粒子検査装置で発生する最大の球面収差量程度の球面収差を適正に補正するように形成されている。このため、検出光学系1は、特に流路チップ3で発生する球面収差を効果的に補正することができる。
また、実施例1の検出光学系1における対物レンズ11の開口数NAは、1以上である。これにより、一般に市販されている開口数NAが大きい対物レンズを用いることで、検出光学系1の製造コストを抑えると共に、非球面補正板15によって被検物Aからの光の検出精度を高めることができる。つまり、開口数NAが大きい専用の対物レンズを形成することなく、被検物Aからの光の検出精度を高めることができる。また、検出光学系1は、開口数NAが1以上の対物レンズ11を備えることで、特に、散乱光や蛍光の検出精度を高めることができる。
以下、実施例2について図面を参照して説明する。実施例2において、実施例1と同一の構成部材には、実施例1と同一の符号を付して説明を省略する。
実施例2は、対物レンズ11が無限共役である場合の検出光学系である点で、対物レンズ11が有限共役である実施例1と異なる。図2は、実施例2の検出光学系を示す模式図である。
(検出光学系の構成)
図2に示すように、実施例2の検出光学系2は、光源10によって照らされる被検物Aからの光の光路に沿って、被検物A側から順に配置される、対物レンズ21と、第1リレーレンズ23と、第2リレーレンズ24と、結像レンズ13と、を備えており、結像レンズ13からの光が検出素子16によって検出される。
実施例2における対物レンズ21は、被検物Aから光を平行光として出射する。対物レンズ21も、実施例1における対物レンズ11と同様に、例えば、市販の対物レンズが用いられており、被検物Aからの散乱光や蛍光を検出する感度を高める観点では特に開口数NAが1以上の対物レンズが好ましい。
第1リレーレンズ23と第2リレーレンズ24との間の光路上には、一次結像面14が設けられている。第2リレーレンズ24と結像レンズ13との間に位置する、対物レンズ21の瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板15が配置されている。
第1リレーレンズ23は、集光レンズが用いられており、対物レンズ21から入射した光を、一次結像面14に結像させる。第2リレーレンズ24は、コリメータレンズが用いられており、一次結像面14を介して第1リレーレンズ23から入射した光を平行光にする。
また、検出光学系2において、対物レンズ21と第1リレーレンズ23との間の光路上、第2リレーレンズ24と非球面補正板15との間の光路上、及び非球面補正板15と結像レンズ13との間の光路上には、必要に応じて光路を構成する複数のリレーレンズが配置されてもよい。また、対物レンズ21は、複数のレンズ群を組み合わせて構成されてもよい。
また、実施例2の検出光学系2においても、上述の実施例1と同様に、被検物Aと、被検物Aからの光が入射する対物レンズ21の入射面21aとの間の光路で発生する波面収差量をSA、対物レンズ21の焦点距離をFoとしたとき、
5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6 ・・・式1
を満たす。
(光の振る舞い)
検出光学系2では、被検物Aからの光が対物レンズ21に入射し、対物レンズ21から出射された光が、第1リレーレンズ23に入射する。第1リレーレンズ23に入射した光は、第1リレーレンズ23と第2リレーレンズ24との間に位置する一次結像面14に像を結ぶと共に、第2リレーレンズ24に入射する。第2リレーレンズ24に入射した光は、非球面補正板15に入射し、球面収差が補正された光が結像レンズ13に入射する。結像レンズ13に入射した光は、検出素子16の受光領域に集光されて、検出素子16によって、被検物Aからの光が検出される。
(効果)
上述したように実施例2の検出光学系2は、対物レンズ21と、第1リレーレンズ23と、第2リレーレンズ24と、結像レンズ13と、を備えており、第1リレーレンズ23と第2リレーレンズ24との間の光路上に一次結像面14が設けられ、第2リレーレンズ24と結像レンズ13との間に位置する、対物レンズ21の瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板15が配置される。これにより、実施例2の検出光学系2においても、実施例1と同様に、非球面補正板15によって、被検物Aから対物レンズ21までの光路で発生する球面収差を補正することができる。
(検査装置の構成)
上述のように構成された実施例1、2の検出光学系1、2のいずれかを備える検出装置は、フローサイトメータ、イメージングサイトメータ等の粒子検出装置に適用されもよい。なお、フローサイトメータ、イメージングサイトメータにおける被検物Aとしての「粒子」には、細胞や微生物、リポソーム等の生体関連粒子、あるいはラテックス粒子やゲル粒子、工業用粒子等の合成粒子等が広く含まれるものとする。
図3は、実施例1の検出光学系1を備える検査装置としてのフローサイトメータを示す模式図である。図3に示すように、実施例のフローサイトメータ6は、実施例1の検出光学系1と、波長が異なる複数種類のレーザ光を照射する複数の光源10(10a〜10g)と、複数の光源10(10a〜10g)からの複数種類の各光を検出する複数の検出素子16(16a〜16g)と、を備える。また、フローサイトメータ6は、各光源10(10a〜10g)からの光の光路上に配置された複数のプリズムミラー31と、検出光学系1の結像レンズ13からの光が入射する複数の光ファイバ32と、各光ファイバ32からの光を各検出素子16(16a〜16g)に集光する複数の集光レンズ33と、を備える。
複数の光源10(10a〜10g)は、例えば、320[nm]、355[nm]、405[nm]、488[nm]、561[nm]、637[nm]、808[nm]の各波長(励起波長)のレーザ光を出射する。各検出素子16(16a〜16g)は、各光源10の各波長よりも長波長側の検波長域を有する。波長が320[nm]及び355[nm]の各レーザ光を出射する光源10a、10bに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16a、16bが、360.5[nm]〜843.8[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。波長が405[nm]のレーザ光を出射する光源10cに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16cが、413.6[nm]〜843.8[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。波長が488[nm]のレーザ光を出射する光源10dに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16dが、492.9[nm]〜843.4[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。波長が561[nm]のレーザ光を出射する光源10eに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16eが、555.3[nm]〜843.8[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。波長が638[nm]のレーザ光を出射する光源10fに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16fが、643.3[nm]〜843.8[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。波長が808[nm]のレーザ光を出射する光源10gに対応して、これらのレーザ光で励起された粒子からの散乱光や蛍光を検出する検出素子16gが、823.5[nm]〜920.0[nm]程度の波長を検出可能に設けられている。
また、各検出素子16(16a〜16g)は、受光領域同士が隣接するように密集して配置されており、フローサイトメータ6の小型化が図られている。また、フローサイトメータ6では、検出光学系1の非球面補正板15が、光路において、各光源10からの波長が異なる各光の光軸が重なる位置に配置されている。また、フローサイトメータ6は、複数の検出素子16を用いる代わりに、各光源10(10a〜10g)からの光を受光する各受光領域が隣接して配列された単一の検出素子が用いられてもよい。
流路チップ3を用いるフローサイトメータ6や、後述のイメージングサイトメータ7では、粒子と対物レンズ11との間の光路で発生する球面収差を、補正板を用いて補正する場合、流路チップ3近傍、例えば、対物レンズの内部に、補正板を配置するスペースを確保することが困難な場合が多い。このような場合であっても、対物レンズ11と結像レンズ13との間の光路における所定の位置に非球面補正板15を配置することにより、被検物Aから対物レンズ11までの光路で発生する球面収差を補正することが可能となり、検出光学系1の設計の自由度が高められる。
また、上述のように流路チップ3内の粒子からの散乱光や蛍光を検出する場合には、流路チップ3の形成材料の光学的な影響により、粒子から対物レンズ11までの光路で大きな球面収差が発生する。このため、上述のように所定の位置に配置された非球面補正板15を用いることにより、粒子から対物レンズ11までの光路で発生する球面収差を効果的に補正し、粒子からの散乱光や蛍光の検出精度を高めることができる。
特に、複数の検出素子16が隣接して密集して配置される場合には、隣り合う各検出素子16同士での光の誤検出、いわゆるクロストークが発生するおそれがある。このようなクロストークが問題となる場合であっても、非球面補正板15によって球面収差を適正に補正することができるので、クロストークの発生を抑えることができる。また、クロストークを避けるために、レーザ光で励起スポット位置を互いに離して配置したり、複数の検出素子16を互いに離して配置したりすることで、フローサイトメータ6全体の大型化を招くことを防ぐことができる。
したがって、実施例1、2の検出光学系1、2を備えるフローサイトメータ6、後述のイメージングサイトメータ7に適用された場合に、市販されている開口数NAが大きい対物レンズを用いて製造コストを抑えると共に、非球面補正板15によって散乱光や蛍光の検出精度を高めることができる。
図4は、実施例1の検出光学系を備える検査装置としてのイメージングサイトメータを示す模式図である。図4に示すように、実施例のイメージングサイトメータ7は、実施例1の検出光学系1と、被検物Aに光を照射する光源10と、被検物Aからの光を検出する検出素子16と、を有する検出モジュール5を備える。すなわち、イメージングサイトメータ7は、本開示の検出装置としての検出モジュール5を含む。また、イメージングサイトメータ7は、検出素子16の検出結果である検出信号に基づいて情報処理する情報処理部41と、検出素子16の検出結果に基づいて、すなわち情報処理部41からの出力信号に基づいて画像を生成する画像生成部42と、画像生成部42からの出力信号に基づいて画像を表示する画像表示部43と、を備える。
光源10は、例えば、レーザ光源が用いられている。情報処理部41及び画像生成部42は、例えば、中央演算処理装置や各種の記憶装置等が用いられている。画像表示部43は、例えば、液晶表示板等が用いられている。
また、イメージングサイトメータ8は、例えば、被検物Aからの光を、グレーティングやプリズム等の分光素子(図示せず)によって複数の光に波長毎に分割し、波長が異なる各光を複数の検出素子16によって検出するように構成されてもよい。この場合、イメージングサイトメータは、上述したフローサイトメータ6と同様に、各波長の光を検出する複数の検出素子16を備える。分光素子を用いる場合には、分光された各光を各検出素子16に集光する複数の集光レンズ(図せず)が設けられてもよい。また、イメージングサイトメータ7においても、分光素子を用いる代わりに、上述したフローサイトメータ6と同様に、波長が異なる複数種類の光を被検物Aに照射する複数の光源10を備えて構成されてもよい。
図3に示したフローサイトメータ6及び図4に示したイメージングサイトメータ7は、実施例1の検出光学系1を備えたが、実施例2の検出光学系2を備えてもよい。
なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
(1) 光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、前記被検物側から順に配置される、対物レンズと、第1リレーレンズと、第2リレーレンズと、結像レンズと、を備え、前記第1リレーレンズと前記第2リレーレンズとの間の前記光路上には一次結像面が設けられ、前記第2リレーレンズと前記結像レンズとの間に位置する、前記対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される、検出光学系。
(2) 光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、前記被検物側から順に配置される、対物レンズと、リレーレンズと、結像レンズと、を備え、前記対物レンズと前記リレーレンズとの間の前記光路上には一次結像面が設けられ、前記リレーレンズと前記結像レンズとの間に位置する、前記対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される、検出光学系。
(3) 前記非球面補正板は、前記光路の光軸上に位置する中心部における屈折力が略ノンパワーに形成され、前記中心部から外周部に向かって徐々に負の屈折力が大きくなる形状に形成されている、(1)または(2)に記載の検出光学系。
(4) 前記非球面補正板は、前記光路の光軸方向における一方の面に平面が形成され、他方の面に非球面が形成されている、(1)ないし(3)のいずれか1つに記載の検出光学系。
(5) 前記被検物と、前記被検物からの光が入射する前記対物レンズの入射面との間の光路で発生する波面収差量をSA、前記対物レンズの焦点距離をFoとしたとき、5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6を満たす、(1)ないし(4)のいずれか1つに記載の検出光学系。
(6) 前記対物レンズの開口数NAは、1以上である、(1)ないし(5)のいずれか1つに記載の検出光学系。
(7) (1)ないし(6)のいずれか1つに記載の検出光学系と、前記被検物に光を照射する光源と、前記被検物からの光を検出する検出素子と、を備える、検出装置。
(8) (1)ないし(6)のいずれか1つに記載の検出光学系と、前記被検物に複数種類の光を照射する複数の光源と、前記複数種類の光に対応する前記被検物からの各光を検出する複数の検出素子と、を備える、検出装置。
(9) (8)に記載の検出装置と、前記被検物である粒子が流れる流路を有する流路チップに波長が異なる複数種類の光を照射する前記複数の光源と、を備える、フローサイトメータ。
(10) (7)に記載の検出装置と、前記被検物である粒子が流れる流路を有する流路チップに光を照射する前記光源と、前記検出素子の検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部と、を備える、イメージングサイトメータ。
1、2 検出光学系
3 流路チップ
3a 流路
5 検出モジュール(検出装置)
6 フローサイトメータ
7 イメージングサイトメータ
10 光源
11 対物レンズ
11a 入射面
12 リレーレンズ
13 結像レンズ
14 一次結像面
15 非球面補正板
15a 平面
15b 非球面
16 検出素子
21 対物レンズ
21a 入射面
23 第1リレーレンズ
24 第2リレーレンズ
42 画像生成部
A 被検物

Claims (15)

  1. 光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、前記被検物側から順に配置される、対物レンズと、第1リレーレンズと、第2リレーレンズと、結像レンズと、を備え、
    前記第1リレーレンズと前記第2リレーレンズとの間の前記光路上には一次結像面が設けられ、
    前記第2リレーレンズと前記結像レンズとの間に位置する、前記対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される、
    検出光学系。
  2. 光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、前記被検物側から順に配置される、対物レンズと、リレーレンズと、結像レンズと、を備え、
    前記対物レンズと前記リレーレンズとの間の前記光路上には一次結像面が設けられ、
    前記リレーレンズと前記結像レンズとの間に位置する、前記対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される、
    検出光学系。
  3. 前記非球面補正板は、前記光路の光軸上に位置する中心部における屈折力が略ノンパワーに形成され、前記中心部から外周部に向かって徐々に負の屈折力が大きくなる形状に形成されている、
    請求項1に記載の検出光学系。
  4. 前記非球面補正板は、前記光路の光軸方向における一方の面に平面が形成され、他方の面に非球面が形成されている、
    請求項1に記載の検出光学系。
  5. 前記被検物と、前記被検物からの光が入射する前記対物レンズの入射面との間の光路で発生する波面収差量をSA、前記対物レンズの焦点距離をFoとしたとき、
    5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6
    を満たす、
    請求項1に記載の検出光学系。
  6. 前記対物レンズの開口数NAは、1以上である、
    請求項1に記載の検出光学系。
  7. 請求項1に記載の検出光学系と、
    前記被検物に光を照射する光源と、
    前記被検物からの光を検出する検出素子と、を備える、
    検出装置。
  8. 請求項1に記載の検出光学系と、
    前記被検物に複数種類の光を照射する複数の光源と、
    前記複数種類の光に対応する前記被検物からの各光を検出する複数の検出素子と、を備える、
    検出装置。
  9. 請求項8に記載の検出装置と、
    前記被検物である粒子が流れる流路を有する流路チップに波長が異なる複数種類の光を照射する前記複数の光源と、を備える、
    フローサイトメータ。
  10. 請求項7に記載の検出装置と、
    前記被検物である粒子が流れる流路を有する流路チップに光を照射する前記光源と、
    前記検出素子の検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部と、を備える、
    イメージングサイトメータ。
  11. 前記非球面補正板は、前記光路の光軸上に位置する中心部における屈折力が略ノンパワーに形成され、前記中心部から外周部に向かって徐々に負の屈折力が大きくなる形状に形成されている、
    請求項2に記載の検出光学系。
  12. 前記非球面補正板は、前記光路の光軸方向における一方の面に平面が形成され、他方の面に非球面が形成されている、
    請求項2に記載の検出光学系。
  13. 前記被検物と、前記被検物からの光が入射する前記対物レンズの入射面との間の光路で発生する波面収差量をSA、前記対物レンズの焦点距離をFoとしたとき、
    5×10−8<(SA/Fo)<1×10−6
    を満たす、
    請求項2に記載の検出光学系。
  14. 前記対物レンズの開口数NAは、1以上である、
    請求項2に記載の検出光学系。
  15. 請求項2に記載の検出光学系と、
    前記被検物に光を照射する光源と、
    前記被検物からの光を検出する検出素子と、を備える、
    検出装置。
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