CN110850434A - 可变焦距透镜装置 - Google Patents

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Abstract

一种可变焦距透镜装置，其设置有：可变焦距透镜，其中响应于输入的驱动信号，聚焦位置周期性地改变；光源，其经由可变焦距透镜在物体处发射检测光；光电检测器，其接收被物体反射的检测光并输出光检测信号；信号处理器，其基于输入的光检测信号，输出与其中检测光被聚焦在物体表面上的聚焦时间点同步的光发射信号；照明器，其基于输入的光发射信号，利用照明光向物体提供脉冲照明；以及图像捕获器，其通过可变焦距透镜捕获物体的图像。

Description

可变焦距透镜装置
相关申请的交叉引用
本申请要求于2018年8月3日提交的日本申请2018-146605在35 U.S.C.§119下的优先权，该申请的公开内容通过引用全部明确结合于此。
技术领域
本发明涉及一种可变焦距透镜装置。
背景技术
近年来，已经开发了使用其中折射率周期性改变的液体透镜系统(以下简称为“透镜系统”)的可变焦距透镜(例如，参见美国专利申请公开2010/0177376的说明书)。透镜系统通过将由压电材料形成的中空圆柱形振动构件浸入透明流体中而形成。在透镜系统中，当AC电压被施加到振动构件的内圆周表面和外圆周表面时，振动构件在厚度方向上膨胀和收缩，并使得振动构件内侧上的流体振动。通过响应于流体的固有频率而调整施加电压的频率，在流体中形成同心圆的驻波，并且以振动构件的中心轴线为中心形成具有不同折射率的同心圆区域。因此，在透镜系统中，当光沿着振动构件的中心轴线透射时，光沿着根据每个同心圆区域的折射率分散或会聚光的路径行进。
上述透镜系统和用于使光聚焦的物镜(例如，普通凸透镜或透镜组)被布置在同一光轴上以配置可变焦距透镜。当平行光照射到普通物镜时，穿过透镜的光在位于预定焦距的焦点位置处聚焦。相反，当平行光照射到可变焦距透镜时，平行光或者被透镜系统分散或者会聚，并且穿过物镜的光在比原始(没有透镜系统的状态)焦点位置偏移得更远或者更近的位置处聚焦。
在结合可变焦距透镜的可变焦距透镜装置中，施加输入到透镜系统的驱动信号(具有在内部流体中生成驻波的频率的AC电压)，并且通过增加或减少驱动信号的幅度，可变焦距透镜的焦点位置可以根据需要被控制在固定范围(以物镜的焦点位置作为参考，可能由透镜系统改变的预定范围)内。
在可变焦距透镜装置中，正弦AC信号被用作输入到透镜系统的示例性驱动信号。当输入这样的驱动信号时，可变焦距透镜装置的焦点位置正弦地改变。在这种情况下，当驱动信号的幅度为0时，穿过透镜系统的光不被折射，并且可变焦距透镜的焦点位置与物镜的焦点位置重合。当驱动信号的幅度处于正峰值或负峰值时，穿过透镜系统的光被最大程度地折射，并且可变焦距透镜装置的焦点位置处于与物镜的焦点位置具有最大间隔的状态。
当使用这种可变焦距透镜装置获取目标(objective)图像时，输出与驱动信号的正弦波的相位同步的光发射信号，并提供脉冲照明。因此，通过在预定焦点位置的状态下提供脉冲照明，从正弦地改变的焦点位置当中，检测到焦点位置处的目标图像。以作为一个周期的部分的多个相位执行脉冲照明，并且当根据每个相位执行图像检测时，可以同时获得多个焦点位置处的图像。
在上述可变焦距透镜装置中，通过调整脉冲照明的定时，可以获取焦点位置与目标表面(聚焦图像)重合的时刻的图像。然而，对于脉冲照明的定时调整是手动执行的，例如基于图像的对比度信息，因此要求大量的时间和努力。
发明内容
本发明提供一种可变焦距透镜装置，其能够简单地获取聚焦图像。
根据本发明一个方面的可变焦距透镜装置被设置有：可变焦距透镜，其中响应于输入的驱动信号，聚焦位置周期性地改变；光源，其经由可变焦距透镜向目标发射检测光；光电检测器，其接收被目标反射的检测光，并输出光检测信号；信号处理器，其基于输入的光检测信号，输出与其中检测光被聚焦在目标表面上的聚焦时间点同步的光发射信号；照明器，其基于输入的光发射信号，利用照明光向目标提供脉冲照明；以及图像捕获器，其通过可变焦距透镜捕获目标图像。
在本发明中，响应于输入的驱动信号，可变焦距透镜的聚焦位置周期性地改变。因此，通过穿过可变焦距透镜行进，从光源发射的检测光向目标发射，同时改变光轴方向上的聚光位置。光电检测器接收由目标发射的检测光，并输出光检测信号。基于从光电检测器输入的光检测信号，信号处理器输出与其中检测光被聚焦在目标表面上的聚焦时间点同步的光发射信号。基于光检测信号计算聚焦时间点的方法可以采用各种聚焦检测方法，诸如共焦方法、双针孔方法、像散方法或刀口方法。例如，当采用共焦方法时，光电检测器被布置成使得当可变焦距透镜的聚焦位置与目标表面重合时，光检测信号达到峰值。因此，信号处理器可以检测光检测信号中的峰值作为聚焦时间点，并且可以输出与聚焦时间点同步的光发射信号。
照明器基于从信号处理器输入的光发射信号向目标发射照明光。换句话说，目标接收与聚焦时间点相协调的照明光的脉冲照明。因此，图像捕获器可以获取在可变焦距透镜的聚焦位置与目标表面重合时的场合的图像(聚焦图像)。如上所述，在本发明中，用于获取聚焦图像的脉冲照明的定时被自动调整，并且不需要像传统技术中那样手动调整。因此，可以简单地获取目标的聚焦图像。此外，根据本发明的脉冲照明是指在极短的时间量内发出照明光，其中该时间量足够长以使得图像捕获器能够获取没有焦点模糊问题的图像。脉冲照明可以通过与可变焦距透镜的驱动周期相匹配来重复，或者可以独立地执行一次。
在根据本发明的可变焦距透镜装置中，优选地，可变焦距透镜被设置有：液体透镜装置，其中响应于输入的驱动信号，折射率周期性地改变；物镜，被布置在与液体透镜装置相同的光轴上；以及多个中继透镜，被布置成使得物镜的出射光瞳和液体透镜装置的主点的位置共轭。在本发明中，即使当可变焦距透镜的聚焦位置波动时，入射到图像捕获器上的图像的放大率也是恒定的，因此可以进行视野没有波动的有利观察。
根据本发明的另一方面的可变焦距透镜装置被设置有：可变焦距透镜，其中响应于输入的驱动信号，聚焦位置周期性地改变；光源，其经由可变焦距透镜向目标发射光；光导，其引导在被目标反射后穿过与可变焦距透镜的聚焦位置具有共轭关系的位置的光；照明光学系统，其向目标发射由光导引导的光；以及图像捕获器，其通过可变焦距透镜捕获目标图像。
在本发明中，类似于上述方面，响应于输入的驱动信号，可变焦距透镜的聚焦位置周期性地改变。因此，通过穿过可变焦距透镜行进，从光源发射的光向目标发射，同时修改光轴方向上的聚光位置。在这种情况下，被目标反射的光聚集在可变焦距透镜的后焦点位置处，并且仅在其中来自光源的光被聚焦在目标表面的聚焦时间点处入射到光导上。此外，由光导引导的光经由照明光学系统向目标发射。换句话说，在本发明中，从光源发射并被目标反射的光仅在聚焦时间点处作为返回光向目标发射。因此，目标接收与聚焦时间点相协调的光的脉冲照明。因此，图像捕获器可以获取当聚焦位置与目标表面重合时的场合的图像(聚焦图像)。
因此，在本发明中，用于获取聚焦图像的脉冲照明的定时被自动调整，并且不需要像传统技术中那样手动调整。因此，可以简单地获取目标的聚焦图像。此外，在本发明中，不需要照明光源或光发射信号处理装置，因此可以降低成本。
在根据本发明的可变焦距透镜装置中，照明光学系统优选地包括扩散从光导发射的光的扩散板。在本发明中，可以增加向目标发射的光的数值孔径，因此可以增加照明状态的选择。
在根据本发明的可变焦距透镜装置中，优选地，可变焦距透镜被设置有：液体透镜装置，其中响应于驱动信号，折射率周期性地改变；物镜，被布置在与液体透镜装置相同的光轴上；以及多个中继透镜，被布置成使得物镜的出射光瞳和液体透镜装置的主点的位置共轭。在本发明中，即使当可变焦距透镜的聚焦位置波动时，入射到图像捕获器上的图像的放大率也是恒定的，因此可以进行视野没有波动的有利观察。
利用本发明，提供了一种可变焦距透镜装置，其能够简单地获取聚焦图像。
附图说明
通过本发明的示例性实施例的非限制性示例，参考所述多个附图，在下面的详细描述中进一步描述本发明，其中贯穿附图的几个视图，相同的附图标记表示相似的部分，并且其中：
图1是示出根据本发明第一实施例的可变焦距透镜装置的示意图；
图2是示出根据第一实施例的液体透镜装置的配置的示意图；
图3A至3C是示出根据第一实施例的液体透镜装置的振荡状态的示意图；
图4A至4E是示出根据第一实施例的液体透镜装置的聚焦位置的示意图；
图5是示意性示出根据第一实施例的控制组件的配置的框图；
图6是示出根据第一实施例的聚焦位置、光检测信号和光发射信号的曲线图；
图7是示出根据本发明第二实施例的可变焦距透镜装置的示意图；
图8是示出根据第二实施例的照明光学系统的示意图；
图9是示出根据第二实施例的修改的照明光学系统的示意图；以及
图10是示出根据第二实施例的修改的照明光学系统中的扩散板的示意图。
具体实施方式
本文示出的细节仅作为示例的方式并出于对本发明的实施例的说明性讨论的目的，并且是为了提供被认为是对本发明的原理和概念方面最有用和最容易理解的描述而呈现的。在这点上，没有试图比基本理解本发明所必需的更详细地示出本发明的结构细节，结合附图进行的描述对于本领域技术人员来说，如何可以在实践中具体体现本发明的形式是显而易见的。
此后，参考附图描述本发明的各种实施例。
第一实施例
如图1所示，可变焦距透镜装置1被配置成包括其中聚焦位置周期性地改变的可变焦距透镜10，并且可变焦距透镜装置1获取目标(物体、被测量的物体或可测量的物体)W的图像，该目标W被布置成与穿过可变焦距透镜10的光轴A相交。具体地，可变焦距透镜装置1设置有发射检测光的光源6；形成检测光的光路的光学系统(光导7和准直透镜75)；配置可变焦距透镜10的物镜2和液体透镜装置(液体透镜)3；接收由目标W反射的检测光的光电检测器8；利用照明光向目标W提供脉冲照明的照明器4；以及通过可变焦距透镜10捕获目标W的图像的图像捕获器(图像传感器、成像元件)5。此外，可变焦距透镜装置1设置有控制液体透镜装置3的操作的透镜控制器95和用于操作透镜控制器95的控制器9。控制器9还包括导入和处理光检测信号Sd以及向照明器4输出光发射信号Ci的功能。
可变焦距透镜
如图1所示，可变焦距透镜10被配置为包括物镜2和液体透镜装置3。物镜2由已知的凸透镜或透镜组配置而成。物镜2与液体透镜装置3同轴地布置在光轴A上。液体透镜装置3在其内部配置有透镜系统，并且液体透镜装置3的折射率响应于从透镜控制器95输入的驱动信号Cf而改变。驱动信号Cf是在液体透镜装置3中生成驻波的频率的正弦AC信号。通过以物镜2的焦距为基准改变液体透镜装置3的折射率，可以根据期望改变穿过可变焦距透镜10的光的聚焦位置Pf。
图2至4E描述了可变焦距透镜10的基本配置，但是省略了例如来自可变焦距透镜10的中继透镜52和53的任何描述。中继透镜52和53对物镜2的出射光瞳执行中继。在图2中，液体透镜装置3包括中空圆柱形外壳(case)31，并且中空圆柱形振荡构件32被安装在外壳31的内部。振荡构件32由弹性体制成的间隔件39支撑，间隔件39被布置在振荡构件32的外圆周表面33和外壳31的内圆周表面之间。振荡构件32是压电材料以中空圆柱形状形成的构件。由于驱动信号Cf的AC电压施加在外圆周表面33和内圆周表面34之间，振荡构件32在厚度方向上振荡。外壳31的内部填充有高度透明的液体35，整个振荡构件32浸入液体35中，并且中空圆柱形振荡构件32的内侧填充有液体35。驱动信号Cf的AC电压被调整到在振荡构件32内侧的液体35中产生驻波的频率。
如图3A至3C所示，在液体透镜装置3中，当振荡构件32振荡时，在内部液体35中出现驻波，并且折射率交替处出现同心圆区域(参见图3A和3B)。此时，自液体透镜装置3的中心轴线起的距离(半径)和液体35的折射率之间的关系如图3C示出的折射率分布R所示。
在图4A至4E中，因为驱动信号Cf是正弦AC信号，所以液体透镜装置3中液体35的折射率分布R中的波段(band)也根据驱动信号Cf而改变。此外，液体35中出现的同心圆区域的折射率正弦地改变，并且因此聚焦位置Pf正弦地改变。图4A至4E示出了从物镜2的焦点位置到聚焦位置Pf的距离。在图4A所描绘的状态下，折射率分布R的幅度最大，液体透镜装置3使透射光会聚，并且聚焦位置Pf在其最靠近物镜2的位置处。在图4B所描绘的状态下，折射率分布R是平坦的，液体透镜装置3允许透射光不受影响地透射，并且聚焦位置Pf处于标准值处。在图4C所描绘的状态下，折射率分布R的幅度在与图4A相反的极处最大，液体透镜装置3使透射光扩散，聚焦位置Pf在其离物镜2最远的位置处。在图4D所描绘的状态下，折射率分布R再次是平坦的，液体透镜装置3允许透射光不受影响地透射，并且聚焦位置Pf处于标准值处。图4E中描绘的状态再次返回到图4A中描绘的状态，并且此后重复类似的波动。这样，在可变焦距透镜10中，驱动信号Cf是正弦AC信号，聚焦位置Pf也正弦波动，如图4A至4E中的焦点波动波形Mf。还可能存在这样的情况，其中在可变焦距透镜10中，可变焦距透镜10的主点波动，由此在聚焦位置Pf改变时，焦距(从可变焦距透镜10的主点到聚焦位置Pf的距离)保持恒定。
此外，如图1所示，可变焦距透镜10不仅包括上述物镜2和液体透镜装置3，还包括中继透镜52和53以及光阑54。中继透镜52和53被布置在物镜2和液体透镜装置3之间，使得物镜2的出射光瞳和液体透镜装置3的主点位置共轭，并且光阑54被布置在中继透镜52和53之间。中继透镜52和53以及光阑54在保持远心光学系统的同时对物镜2的出射光瞳执行中继，并且因此，即使当可变焦距透镜10的聚焦位置Pf变化时，入射到图像捕获器5上的图像的放大率也是恒定的。
图像捕获光学系统
参考图1给出在可变焦距透镜装置1中执行图像捕获的图像捕获光学系统的描述。照明器4利用照明光Li向目标W提供脉冲照明，并且包括发射照明光Li的照明光源41、引导从照明光源41发射的照明光Li的光导42、以及校准从光导42发射的照明光Li并使照明光Li入射到物镜2上的照明光学系统43。照明光源41被配置为包括诸如LED的发光元件，并且基于输入的脉冲状光发射信号Ci发射照明光Li。具体地，照明光源41仅在光发射信号Ci处于高电平时发射照明光Li，并且在光发射信号Ci处于低电平时暂停照明光Li的发射。光导42由光纤等配置而成，并且连接到照明光源41。光导42将从照明光源41发射的照明光Li发送到照明光学系统43。
照明光学系统43包括收集器(collector)透镜44、聚光器(condenser)透镜45、场光阑46和孔径光阑47。已经从光导42传播的照明光Li视情况而被校准，并照射到物镜2。此外，照明光学系统43包括如下所述被布置在物镜2和中继透镜52之间的分束器48。分束器48反射从聚光器透镜45侧入射的照明光Li，朝向物镜2侧反射照明光Li。被分束器48反射的照明光Li经由物镜2轰击目标W。此外，分束器48允许从中继透镜52侧入射的光(检测光Ls，如下所述)穿过物镜2侧，并且还允许被目标W反射并且从物镜2侧入射的光(照明光Li、检测光Ls)穿过中继透镜52侧。
图像捕获光学系统51设置有分束器55、反射板56和成像透镜57。分束器55被布置在可变焦距透镜10和准直透镜75之间。分束器55分离从可变焦距透镜10侧入射的光(包括照明光Li和检测光Ls的光)，朝向反射板56侧反射第一光束，并且还允许第二光束穿过准直透镜75侧。此外，分束器55允许从准直透镜75侧入射的光(检测光Ls)穿过可变焦距透镜10侧。被分束器55反射的第一光束被反射板56反射，在此之后图像被成像透镜57在图像捕获器5上分辨。
图像捕获器5由已知的电荷耦合器件(charge coupled device，CCD)图像传感器等配置而成。图像捕获器5通过可变焦距透镜10捕获目标W的图像，并且以预定信号形式将捕获的图像Im输出到控制器9。
检测光学系统
接下来，描述获取可变焦距透镜装置1中的光检测信号Sd的检测光学系统。光源6例如是激光光源，并且连续发射检测光Ls，该检测光Ls具有与照明光Li不同的波长。光导7包括光纤分路器71以及光纤72至74。光纤分路器71具有其中连接光纤72至74中的每一个光纤的第一端部的光路，并且被配置为将从光纤73入射的光引导至光纤72，并将从光纤72入射的光引导至光纤74。
光纤73的第二端部连接到光源6。因此，从光源6发射的检测光Ls穿过光纤73、光纤分路器71和光纤72，并且从光纤72的端面720发射。在该示例中，光纤72的端面720作为点光源执行操作。此外，光纤74的第二端部连接到光电检测器8。因此，入射在光纤72的端面720上的检测光Ls穿过光纤72、光纤分路器71和光纤74，并且入射在光电检测器8上。在该示例中，光纤72的端面720被布置在准直透镜75的后焦点位置Pc。换句话说，光纤72的端面720被布置在相对于可变焦距透镜10的聚焦位置Pf产生共轭关系的位置处。
准直透镜75被布置在光轴A上，在光纤72的端面720和可变焦距透镜10之间。准直透镜75将从光纤72的端面720发射的检测光Ls转换成平行光，并使该平行光入射到可变焦距透镜10上。此外，准直透镜75收集从目标W反射离开并再次穿过可变焦距透镜10的检测光Ls。
光电检测器8可以是例如光电倍增管或光电二极管，并且连接到光纤74的第二端部。光电检测器8接收经由光纤74入射的检测光Ls，并输出与接收的光的强度相对应的光检测信号Sd。
在上述配置中，从光源6发射的检测光Ls穿过光导7行进并从光纤72的端面720发射，在此之后检测光Ls被准直透镜75沿着光轴A准直，并经由可变焦距透镜10向目标W发射。从目标W表面反射离开的检测光Ls再次穿过可变焦距透镜10，在此之后光被准直透镜75收集。在该示例中，可变焦距透镜10的聚焦位置Pf在光轴A方向上周期性地改变。因此，只有当聚焦位置Pf与目标W的表面重合时，从该表面反射离开的检测光Ls才在准直透镜75的后焦点位置Pc处形成斑点，并且反射的检测光Ls入射到光纤72的端面720上。因此，当聚焦位置Pf与目标W的表面重合时，入射到光电检测器8上的检测光Ls最大化。换句话说，当聚焦位置Pf与目标W的表面重合时，光电检测器8输出的光检测信号Sd呈现峰值。
控制器
如图5所示，控制器9由例如具有中央处理单元(CPU)和存储器的个人计算机等配置。控制器9通过运行预定软件来实现预期功能，并且包括定义透镜控制器95的设置的透镜设置部分91、处理各种输入信号的信号处理器92以及图像处理器93。透镜设置部分91例如针对透镜控制器95定义驱动信号Cf的频率、幅度和最大驱动电压的设置。在液体透镜装置3中，例如，谐振的许多改变可以根据环境温度的改变而改变。因此，透镜设置部分91通过反馈控制执行实时改变驱动信号CF的频率的操作，并稳定液体透镜装置3。
信号处理器92基于输入的光检测信号Sd向照明光源41输出光发射信号Ci。图像处理器93从图像捕获器5导入图像Im，并执行预定处理。透镜控制器95通过向液体透镜装置3输出驱动信号Cf来控制液体透镜装置3的操作。
脉冲照明
接下来，描述根据本实施例的脉冲照明方法。在开始可变焦距透镜10的操作之后，信号处理器92获取图6所示的光检测信号Sd。在图6中，可变焦距透镜10的聚焦位置Pf与驱动信号Cf同步地周期性地改变。在光轴A上聚焦位置Pf的改变范围内的目标W表面上的位置(目标位置Pw)在图6中给出作为示例。光检测信号Sd在聚焦位置Pf与目标位置Pw重合的时间点(聚焦时间点T)处呈现峰值，并且在驱动信号Cf的每个周期呈现两个峰值。
如图6所示，信号处理器92在光检测信号Sd变得等于或大于阈值Vt的时间点处将光发射信号Ci设置为高电平，并且在经过预定量的时间Δt之后，将光发射信号Ci切换为低电平。并且，在光检测信号Sd的值低于阈值Vt的时段期间，信号处理器92将光发射信号Ci保持在低电平。
在输入的光发射信号Ci处于高电平的时段期间，照明光源41继续发射照明光Li。在该示例中，光发射信号Ci保持在高电平的预定时间量Δt被设置为极短的时间量，其中该时间量足够长以使得图像捕获器5能够获取没有焦点模糊问题的图像，并且照明光源41利用照明光Li提供脉冲照明。光检测信号Sd的阈值Vt没有特别限制，但是可以被设置为使得光发射信号Ci处于高电平的时段(照明光Li提供脉冲照明的时段)与光检测信号Sd的峰值(聚焦时间点T)重叠。因此，信号处理器92可以向照明光源41输出与聚焦时间点T同步的光发射信号Ci。
因此，在可变焦距透镜装置1中，基于光发射信号Ci，照明器4在包括聚焦时间点T的极短时间段内用照明光Li向目标W提供脉冲照明。向目标W发射的照明光Li经由可变焦距透镜10、成像透镜57等形成图像，并且入射到图像捕获器5上。图像捕获器5捕获由照明光Li形成的目标W的图像。因此，图像捕获器5可以捕获聚焦位置Pf与目标位置Pw重合时的场合的图像(聚焦图像)。
除了检测光Ls之外，源自照明光Li的光也可以被包括在入射到光电检测器8上的光束中。类似地，除了照明光Li之外，源自检测光Ls的光也可以被包括在入射到图像捕获器5上的光束中。在本实施例中，检测光Ls和照明光Li的波长不同，并且光电检测器8的检测波长和图像捕获器5的图像捕获波长彼此不同。因此，可以抑制源自聚焦图像中的检测光Ls的光斑的影响。并且，由照明器4提供的脉冲照明应该在极短的时间量内发射照明光Li，其中该时间量足够长以使得图像捕获器5能够获取没有焦点模糊问题的图像。脉冲照明可以与可变焦距透镜的驱动周期匹配，并且在每个聚焦时间点T处重复，或者可以当期望时独立地执行一次。
第一实施例的效果
如上所述，在根据本实施例的可变焦距透镜装置1中，基于输入光检测信号Sd，信号处理器92输出与聚焦时间点T同步的光发射信号Ci。并且，照明器4基于输入的光发射信号Ci，利用照明光Li向目标W提供脉冲照明。因此，用于获取聚焦图像的脉冲照明的定时被自动调整，并且不需要像传统技术中那样手动调整。因此，可以简单地获取目标W的聚焦图像。此外，根据本实施例的可变焦距透镜装置1使用照明光源41来配置照明器4，并且因此，可以通过调整照明光源41的光强来实现期望的照明光的强度。
可以考虑本实施例的比较示例，其中光发射信号Ci相对于焦点波动波形Mf以预定相位角定义。然而，当液体透镜装置3中的焦点波动波形Mf的幅度或峰值由于一些因素而改变时，在该改变前后，在发射光发射信号Ci时可能出现聚焦位置Pf的差异，需要校正以消除该差异。相反，在本实施例中，即使当焦点波动波形Mf的幅度或峰值改变时，光发射信号Ci也与聚焦时间点T同步，该聚焦时间点T是光检测信号Sd中的峰值，并且因此即使不执行校正，脉冲照射时间处的聚焦位置Pf也被自动调整到目标位置Pw。因此，在不执行复杂处理的情况下，总是可以正确地获取聚焦图像。
在本实施例中，可变焦距透镜10在物镜2和液体透镜装置3之间设置有多个中继透镜52和53。中继透镜52和53被布置成使得物镜2的出射光瞳和液体透镜装置3的主点的位置共轭，并且中继透镜52和53在保持远心光学系统的同时对物镜2的出射光瞳执行中继。因此，即使当聚焦位置Pf波动时，入射到图像捕获器5上的图像的放大率也是恒定的。
在本实施例中，使用共焦方法检测聚焦时间点T。因此，与其中使用不同的焦点检测方法检测聚焦时间点T的情况相比，本实施例中的测量精度不太可能受到目标W表面中的表面纹理(诸如倾斜、粗糙度等)的影响，并且可以提高聚焦时间点T的检测精度。此外，光纤72的端面720担任共焦光学系统中点光源和检测针孔两者的角色，并且因此可以大大减少制造期间的校准工作量。
第一实施例的修改
在第一实施例中，使用共焦方法检测聚焦时间点T，但是本发明不限于此。具体地，聚焦时间点T也可以使用各种其它聚焦检测方法来检测，诸如双针孔方法、像散方法或刀口方法。例如，在使用双针孔方法的情况下，在与聚焦位置Pf具有共轭关系的聚光位置之前和之后分别提供光电检测器，并且基于从光电检测器中的每一个输出的光检测信号来执行计算，由此可以找到聚焦时间点T。信号处理器92还可以输出与以这种方式找到的聚焦时间点T同步的光发射信号Ci。
此外，在第一实施例中，信号处理器92将光发射信号Ci设置为高电平，并且在经过预定时间量Δt之后，信号处理器92将光发射信号Ci设置为低电平。然而，本发明不限于此。例如，信号处理器92也可以在光检测信号Sd低于阈值Vt的时段期间总是将光发射信号Ci设置为低电平，并且可以仅在光检测信号Sd等于或大于阈值Vt的时段期间将光发射信号Ci设置为高电平。
此外，在第一实施例中，当源自聚焦图像中的检测光Ls的光斑不是问题时，光电检测器8的检测波长的波长范围和图像捕获器5的图像捕获波长可以重叠。
第二实施例
参考图7描述根据第二实施例的可变焦距透镜装置1A。在第二实施例中，相同的附图标记用于类似于第一实施例中的结构，并且省略其详细描述。
根据本实施例的可变焦距透镜装置1A设置有使用从光源6A发射的检测光Ls的返回光作为照明光Li的配置。因此，可变焦距透镜装置1A没有设置第一实施例的光电检测器8，并且控制器9A不具有第一实施例的信号处理器92。光源6A连续发射具有可用作照明光的波长的光，以允许图像捕获器5捕获目标W的图像。
此外，可变焦距透镜装置1A包括光导7A和照明光学系统43，其中光导7A引导被目标W反射后穿过准直透镜75的后焦点位置Pc行进的光；照明光学系统43向目标W发射由光导7A引导的光。光导7A具有不同于根据第一实施例的光导7的配置的配置。代替第一实施例中连接到光电检测器8的光纤74，光导7A包括光纤76。光纤76具有连接到光纤分路器71的第一端部和布置在照明光学系统43附近的第二端部。照明光学系统43具有类似于第一实施例中的配置的配置，并且适当地校准从光纤分路器71的第二端部发射的光，并且经由物镜2向目标W发射光作为照明光Li。
在上述配置中，从光源6A发射的检测光Ls穿过光导7A行进并从光纤72的端面720发射，在此之后检测光Ls被准直透镜75沿着光轴A准直，并经由可变焦距透镜10向目标W发射。从目标W表面反射离开的检测光Ls再次穿过可变焦距透镜10，在此之后光被准直透镜75收集。在该示例中，可变焦距透镜10的聚焦位置Pf在光轴A方向上周期性地改变。因此，只有当聚焦位置Pf与目标W的表面重合时，从该表面反射离开的检测光Ls才在准直透镜75的后焦点位置Pc处形成斑点，并且反射的检测光Ls入射到光纤72的端面720上。入射在光纤72的端面720上的检测光Ls作为照明光Li经由光导7A和照明光学系统43向目标W发射。当聚焦位置Pf与目标W表面重合时，照明光Li的脉冲照明被提供给目标W。
因此，在第二实施例中，类似于第一实施例，用于获取聚焦图像的脉冲照明的定时也被自动调整，并且不需要像传统技术中那样手动调整。因此，可以简单地获取目标W的聚焦图像。此外，即使当焦点波动波形Mf的幅度或峰值改变时，只有当聚焦位置Pf与目标W的表面重合时，检测光Ls才变成照明光Li(作为返回光)，并且因此即使不执行校正，脉冲照明时的聚焦位置Pf也被自动调整到目标位置Pw。因此，在不执行复杂处理的情况下，总是可以正确地获取聚焦图像。此外，根据第二实施例，可以将成本削减到不使用第一实施例的照明光源41的程度。此外，控制器9A中的处理被简化到不执行根据第一实施例的光发射信号Ci的处理的程度。
第二实施例的修改
如图8所示，在第二实施例的照明光学系统43中，光纤76的芯直径(通常为1mm或更小的直径)本身是照明光Li的尺寸，并且因此目标W上的照明光Li的数值孔径NA几乎为零。因此，在第二实施例中，利用照明光Li仅实现相干照明。图8省略了照明光学系统43的分束器48，并且示出了照明光Li的光轴恢复成直线的状态。
在这方面，如图9所示，作为第二实施例的修改，照明光学系统43A还可以在光纤76的发射端760和收集器透镜44之间设置准直透镜431和扩散板432。扩散板432是例如设置有透镜阵列的透镜扩散板(见图10)，但是也可以是以不同形式实现的扩散板。
在该修改中，从光纤76的发射端760发射的照明光Li被准直透镜431准直，在此之后光被扩散板432扩散。因此，向目标W发射的照明光Li的尺寸增加，并且照明光Li在目标W上的数值孔径NA增加。因此，可以实施非相干照明或部分相干照明，并且增加照明状态的选择。
附加修改
本发明不限于上述各种实施例，并且包括在能够实现本发明优点的范围内的修改和改进。
在上述实施例中的每一个中，驱动信号Cf和焦点波动波形Mf是正弦波。然而，驱动信号Cf和焦点波动波形Mf可以代替地是三角波、锯齿波、矩形波或一些其它波形。液体透镜装置3的具体配置可以视情况而被修改。例如，代替具有中空的圆柱形，外壳31和振动构件32可以具有中空的六边形。这些组件的尺寸和液体35的性质也可以视情况而被选择以用于应用。
在上述实施例中的每一个中，可以采用代替光导7和7A而使用针孔的配置。具体地，通过使用配置点光源的针孔和被布置在准直透镜75的后焦点处的针孔，可以实现与上述实施例中的每一个的效果类似的效果。具体地，第二实施例的光导7A通过将这种针孔与诸如反射镜的光学系统结合来配置，从而从目标W反射离开然后穿过准直透镜75的后焦点位置Pc的光可以被引导至照明光学系统43的附近。
在上述实施例中的每一个中，可变焦距透镜10与准直透镜75一起配置无限校正光学系统(其中来自准直透镜75的平行光入射到可变焦距透镜10上的光学系统)，但是本发明不限于此。例如，可以省略准直透镜75，并且可变焦距透镜10可以配置有限校正光学系统。利用这种配置也可以实现类似于上述实施例的效果的效果。
在上述实施例中的每一个中，信号处理器92被配置在控制器9内，但是信号处理器92也可以被配置在透镜控制器95内。此外，透镜控制器95和控制器9可以被配置为集成控制设备。
本发明可以用作能够简单地获取聚焦图像的可变焦距透镜装置。
注意的是，前述示例仅仅是为了解释的目的而提供的，决不能解释为对本发明的限制。虽然已经参考示例性实施例描述了本发明，但是应当理解，本文使用的词语是描述和说明性的词语，而不是限制性的词语。在不脱离本发明的范围和精神的情况下，在当前陈述和修改的所附权利要求的范围可以进行改变。尽管本文已经参考具体结构、材料和实施例描述了本发明，但是本发明并不意图局限于本文公开的细节；相反，本发明延伸到所有功能等同结构、方法和用途，诸如在所附权利要求的范围内。
本发明不限于上述实施例，并且在不脱离本发明范围的情况下，各种变化和修改都是可能的。

Claims (6)

1.一种可变焦距透镜装置，包括：
可变焦距透镜，其中响应于输入驱动信号，聚焦位置周期性地改变；
光源，经由所述可变焦距透镜向物体发射检测光；
光电检测器，接收被所述物体反射的检测光，并输出光检测信号；
信号处理器，接收输出的光检测信号，并且基于接收到的光检测信号，输出与其中所述检测光被聚焦在所述物体表面上的聚焦时间点同步的光发射信号；
照明器，接收输出的光发射信号，并且基于所述光发射信号，利用照明光向所述物体提供脉冲照明；以及
图像传感器，通过所述可变焦距透镜捕获所述物体的图像。
2.根据权利要求1所述的可变焦距透镜装置，其中，所述可变焦距透镜包括：
液体透镜，其中响应于输入驱动信号，折射率周期性地改变；
物镜，被布置在与所述液体透镜相同的光轴上；以及
多个中继透镜，被布置成使得所述物镜的出射光瞳和所述液体透镜的主点的位置共轭。
3.一种可变焦距透镜装置，包括：
可变焦距透镜，其中响应于输入驱动信号，聚焦位置周期性地改变；
光源，其经由所述可变焦距透镜向物体发射光；
光导，其引导在被所述物体反射后穿过与所述可变焦距透镜的聚焦位置具有共轭关系的位置的光；
照明光学系统，其向所述物体发射由所述光导引导的光；以及
图像传感器，通过所述可变焦距透镜捕获所述物体的图像。
4.根据权利要求3所述的可变焦距透镜装置，其中，所述照明光学系统包括扩散从所述光导发射的光的扩散板。
5.根据权利要求3所述的可变焦距透镜装置，其中，所述可变焦距透镜包括：
液体透镜，其中响应于输入驱动信号，折射率周期性地改变；
物镜，被布置在与所述液体透镜相同的光轴上；以及
多个中继透镜，被布置成使得所述物镜的出射光瞳和所述液体透镜的主点的位置共轭。
6.根据权利要求4所述的可变焦距透镜装置，其中，所述可变焦距透镜包括：
液体透镜，其中响应于输入驱动信号，折射率周期性地改变；
物镜，被布置在与所述液体透镜相同的光轴上；以及
多个中继透镜，被布置成使得所述物镜的出射光瞳和所述液体透镜的主点的位置共轭。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113138434A (zh) * 2020-01-20 2021-07-20 株式会社三丰 焦距可变光学系统

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7098474B2 (ja) * 2018-08-07 2022-07-11 株式会社ミツトヨ 非接触式変位計
JP7390790B2 (ja) 2018-12-28 2023-12-04 株式会社ミツトヨ 画像測定装置および非接触形状測定装置
GB2607286A (en) 2021-05-26 2022-12-07 Occuity Ltd Optical measurement apparatus and method of scanning a focus
CN114397090B (zh) * 2021-11-15 2023-05-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种连续变焦相机光轴平行性快速测量方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006098290A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Sunx Ltd 変位センサ
CN103038664A (zh) * 2010-07-29 2013-04-10 Iee国际电子工程股份公司 主动照明扫描成像器
CN103983981A (zh) * 2013-10-11 2014-08-13 北京理工大学 基于相位测距原理的三维压缩成像方法及装置
CN105308475A (zh) * 2012-11-21 2016-02-03 尼康计量公众有限公司 用于激光雷达的低漂移参考
CN107346059A (zh) * 2016-05-02 2017-11-14 株式会社三丰 可变焦距成像系统
US20170350979A1 (en) * 2016-06-07 2017-12-07 Raytheon Company Optical system for object detection and location
JP2017223651A (ja) * 2016-05-03 2017-12-21 株式会社ミツトヨ 高速で周期的に変更される可変焦点距離レンズシステムのための自動合焦システム
CN107884903A (zh) * 2016-09-29 2018-04-06 株式会社三丰 具有聚焦监测和控制的可变焦距透镜系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1123219A (ja) 1997-07-01 1999-01-29 Komatsu Eng Kk 共焦点光学系による変位計測装置
US8194307B2 (en) 2007-02-26 2012-06-05 Trustees Of Princeton University Tunable acoustic gradient index of refraction lens and system
US7990522B2 (en) 2007-11-14 2011-08-02 Mitutoyo Corporation Dynamic compensation of chromatic point sensor intensity profile data selection
WO2016121685A1 (ja) * 2015-01-28 2016-08-04 株式会社東京精密 レーザーダイシング装置
JP6845737B2 (ja) 2017-04-28 2021-03-24 株式会社ミツトヨ 焦点距離可変レンズ装置および焦点距離可変レンズ制御方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006098290A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Sunx Ltd 変位センサ
CN103038664A (zh) * 2010-07-29 2013-04-10 Iee国际电子工程股份公司 主动照明扫描成像器
CN105308475A (zh) * 2012-11-21 2016-02-03 尼康计量公众有限公司 用于激光雷达的低漂移参考
CN103983981A (zh) * 2013-10-11 2014-08-13 北京理工大学 基于相位测距原理的三维压缩成像方法及装置
CN107346059A (zh) * 2016-05-02 2017-11-14 株式会社三丰 可变焦距成像系统
JP2017223651A (ja) * 2016-05-03 2017-12-21 株式会社ミツトヨ 高速で周期的に変更される可変焦点距離レンズシステムのための自動合焦システム
US20170350979A1 (en) * 2016-06-07 2017-12-07 Raytheon Company Optical system for object detection and location
CN107884903A (zh) * 2016-09-29 2018-04-06 株式会社三丰 具有聚焦监测和控制的可变焦距透镜系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
何鹏举;谢娜;郭振宇;王西玲;徐荣青;: "变焦液体透镜响应时间测量系统的设计与实现", 计算机技术与发展, no. 05, pages 170 - 173 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113138434A (zh) * 2020-01-20 2021-07-20 株式会社三丰 焦距可变光学系统
CN113138434B (zh) * 2020-01-20 2023-12-19 株式会社三丰 焦距可变光学系统

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Publication number Publication date
CN110850434B (zh) 2024-03-26
US20200041757A1 (en) 2020-02-06
DE102019120919A1 (de) 2020-02-06
JP7175123B2 (ja) 2022-11-18
US11525978B2 (en) 2022-12-13
JP2020021014A (ja) 2020-02-06

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