JP2021076450A - 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置 - Google Patents

送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2021076450A
JP2021076450A JP2019202550A JP2019202550A JP2021076450A JP 2021076450 A JP2021076450 A JP 2021076450A JP 2019202550 A JP2019202550 A JP 2019202550A JP 2019202550 A JP2019202550 A JP 2019202550A JP 2021076450 A JP2021076450 A JP 2021076450A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feed shaft
shaft device
abnormality diagnosis
abnormality
diagnosis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019202550A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7361573B2 (ja
Inventor
真理子 伊藤
Mariko Ito
真理子 伊藤
匠 北郷
Takumi Kitago
匠 北郷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okuma Corp
Original Assignee
Okuma Corp
Okuma Machinery Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okuma Corp, Okuma Machinery Works Ltd filed Critical Okuma Corp
Priority to JP2019202550A priority Critical patent/JP7361573B2/ja
Priority to US17/061,736 priority patent/US11268884B2/en
Priority to CN202011209004.2A priority patent/CN112775719A/zh
Priority to DE102020213960.1A priority patent/DE102020213960A1/de
Publication of JP2021076450A publication Critical patent/JP2021076450A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7361573B2 publication Critical patent/JP7361573B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • G01M99/005Testing of complete machines, e.g. washing-machines or mobile phones
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M7/00Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/12Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring vibration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M13/00Testing of machine parts
    • G01M13/02Gearings; Transmission mechanisms
    • G01M13/028Acoustic or vibration analysis

Abstract

【課題】送り軸装置の制御に使われる最低限の構成を用いて送り軸装置の異常診断を低コスト及び低リスクで行う。
【解決手段】ボールねじ及びナットを有して工作機械に組み込まれる送り軸装置に対し、ボールねじが所定の動作パターンで動作するように送り軸装置の動作を制御し、送り軸装置から発生する物理量信号を検出する検出ステップ(S1)と、検出ステップで検出された物理量信号に基づき送り軸装置11の異常診断を行う異常診断ステップと、を実行し、異常診断ステップでは、物理量信号に対して周波数解析を行って(S2)、動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し(S3)、各動作位置に対応した周波数の変化を曲げ振動モードと比較して異常診断を行う(S4)。
【選択図】図2

Description

本発明は、ボールねじによる送り軸装置をもつ工作機械等の機械設備において、送り軸装置の異常を診断する方法及び装置に関する。
例えば工作機械の送り軸装置では、モータの回転運動をボールねじに伝えて駆動する方式が多く使用されている。しかしながら、数年間稼働した機械では、摩耗による予圧抜けや、異物の混入、潤滑不良などによる損傷により、精度不良や異音等が発生する場合がある。このような状態となると、ワークの形状不良や加工目不良などの不具合が発生する。したがって、ボールねじやサポート軸受、ガイドといった送り軸装置の機械要素は、劣化や破損が生じ、不具合が発生する前に交換されることが望ましい。
そこで、送り軸装置の機械要素の状態を知るために、変位センサを内蔵し位置決め精度を測定する方法や、振動センサによりボールねじやサポート軸受、リニアガイドの振動を検知し診断する方法など、さまざまな診断を行う方法が提案されている。特に特許文献1では、被駆動体の位置検出値とモータの位置検出値との差であるたわみ量を算出し、たわみ量の大きさが閾値を越えた場合に、機械の異常として警告表示する方法が開示されている。また、特許文献2では、ボールねじの振動と回転数とを検出し、振動信号を周波数分析と回転数に基づいた次数比分析または回転数に基づいたキャンベル解析とを行うことによって、ボールねじを構成するどの部品に異常が発生しているかを特定する方法が開示されている。
特開2007−219689号公報 特開2013−164386号公報
一般的な工作機械では、ロータリーエンコーダのみを用いたセミクローズドループ方式が採用されることが多い。しかし、特許文献1における機械は、フルクローズドループ方式を採用しているため、セミクローズドループ方式の機械には適用できない。また、特許文献1ではたわみ量検出器を採用し、特許文献2では診断用のセンサを追加している。これらの方法では、送り軸装置の制御に使われる最低限の構成よりも構成要素が増えるため、コスト増加の要因、また故障する可能性のある個所が増加することによる、故障リスクの増加といった課題がある。
そこで、本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、工作機械の送り軸装置の制御に使われる最低限の構成を用いて、送り軸装置の異常診断を低コスト及び低リスクで行うことができる異常診断方法及び異常診断装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、ねじ軸及びナットを有して機械設備に組み込まれる送り軸装置の異常を診断する方法であって、
前記ねじ軸が所定の動作パターンで動作するように前記送り軸装置の動作を制御する動作制御ステップと、
前記送り軸装置から発生する物理量信号を検出する検出ステップと、
所定の異常診断アルゴリズムに従い、前記検出ステップで検出された前記物理量信号に基づき前記送り軸装置の異常診断を行う異常診断ステップと、を含み、
前記異常診断ステップでは、前記物理量信号に対して周波数解析を行って、前記動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し、各前記動作位置に対応した周波数の変化に基づいて異常診断を行うことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、上記構成において、前記異常診断ステップでは、各前記動作位置に対応した前記周波数の変化を、前記送り軸装置の各前記動作位置における曲げ振動モードと比較して異常診断を行うことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、上記構成において、前記異常診断は、前記曲げ振動モードに基づいて設定した所定の領域内に、各前記動作位置に対応した前記周波数が含まれる割合を所定の閾値と比較するものであることを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項4に記載の発明は、ねじ軸及びナットを有して機械設備に組み込まれる送り軸装置の異常を診断する装置であって、
前記ねじ軸が所定の動作パターンで動作するように前記送り軸装置の動作を制御する動作制御手段と、
前記送り軸装置から発生する物理量信号を検出する検出手段と、
所定の異常診断アルゴリズムに従い、前記検出手段で検出された前記物理量信号に基づき前記送り軸装置の異常診断を行う異常診断手段と、を含み、
前記異常診断手段は、前記物理量信号に対して周波数解析を行って、前記動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し、各前記動作位置に対応した周波数の変化に基づいて異常診断を行うことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、上記構成において、前記異常診断手段は、各前記動作位置に対応した前記周波数の変化を、前記送り軸装置の各前記動作位置における曲げ振動モードと比較して異常診断を行うことを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、上記構成において、前記異常診断は、前記曲げ振動モードに基づいて設定した所定の領域内に、各前記動作位置に対応した前記周波数が含まれる割合を所定の閾値と比較するものであることを特徴とする。
本発明によれば、送り軸装置の制御に使われる最低限の構成に対してセンサ等の他の構成要素を増やすことなく異常診断が行えることになり、センサ等の増加に伴うコストの増加や故障リスクの増加が生じない。従って、送り軸装置の異常診断を低コスト及び低リスクで行うことができる。
送り軸装置及び位置制御装置のブロック図である。 異常診断の手順を示すフローチャートである。 送り軸装置の曲げ振動モードを示す説明図である。 抽出した動作位置と周波数との関係を示す説明図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明を適用する工作機械の送り軸装置及び位置制御装置のブロック図の一例である。
送り軸装置11は、モータ7によってボールねじ8を回転駆動させることで、ボールねじ8にナット9aが螺合する移動体9を直線移動させる。
位置制御装置12では、NC装置10からの位置指令とモータ7に取り付けられている位置検出器6からの現在位置が加算器1に入力され、演算された位置偏差が位置制御器2に入力される。位置制御器2は、位置誤差量に応じた速度指令値を生成する。速度制御器3は、速度指令値と現在位置とを微分器5により演算された速度検出値に応じてトルク指令値を生成する。電流制御器4は、入力されるトルク指令値に基づきモータ7への電流を制御する。位置検出器6で検出された現在位置をはじめ、これらの処理内で使用された情報は、位置制御装置12を含むNC装置10で記録、表示することが可能である。
ここでは、NC装置10が、送り軸装置11の動作位置に対応した周波数の変化を捉えて送り軸装置11の異常診断を行う異常診断部13を備えて、異常診断装置としても機能する。
異常診断部13は、NC装置10の記憶部に記憶され、所定の異常診断アルゴリズムに則って作成されたプログラムに基づいて、本発明の動作制御手段、検出手段、異常診断手段として機能し、送り軸装置11の異常診断を実行する。以下、異常診断部13による異常診断の手順を、図2のフローチャートに基づいて説明する。
まず、S(「STEP」の略、以下同じ)1で、所定の動作パターンで送り軸装置11を動作させ、送り軸装置11から発生する物理量信号を検出する(動作制御ステップ及び検出ステップ)。
次に、S2で、検出した物理量信号のデータに対して周波数解析を行う。
次に、S3で、周波数解析の結果から、動作位置に対応した周波数とその周波数強度とを算出し、所定の閾値より大きい周波数強度をもつ動作位置と周波数とを抽出する。
そして、S4で、抽出した動作位置と周波数との関係と、送り軸装置11に曲げ振動モードが発生する動作位置と周波数との関係との一致具合を判定することによって、ボールねじ8の摩耗判定を行う(S2〜S4:異常診断ステップ)。送り軸装置11の曲げ振動モードは、以下に示す梁の曲げ振動モード(固有振動数)の式(1)に送り軸装置11のパラメータを代入することによって算出する。
Figure 2021076450
ここで、境界条件と振動モードとによって決まる無次元の定数をλ、梁の長さをl、梁の材料のヤング率をE、梁の断面2次モーメントをI、梁の材料の単位体積あたりの質量をρ、梁の断面積をAとしている。
次に、上述した異常診断方法の具体例について述べる。
まず、S1での所定の動作パターンは、一定速度でボールねじ8のフルストロークを片道送ることとし、検出する物理量信号はトルク指令値とする。
S2において、検出したトルク指令値のデータに対する周波数解析は、一定ストローク区間毎に区切ったトルク指令値のデータに対してFFTを行い、フルストローク分のトルク指令値のデータに対するFFT結果を得る。
S3では、FFTを行ったストローク区間とFFT結果とを対応付けることによって、各動作位置に対応した周波数とその周波数強度とを算出し、所定の閾値より大きい周波数強度をもつ動作位置と周波数とを抽出する。
S4において、図3に示した送り軸装置11の曲げ振動モードは、梁の曲げ振動モードの式(1)に送り軸装置11のパラメータを代入することによって算出する。λはボールねじ8の支持状態によって変わる値である。lはボールねじ8の支持軸受からナット9aまでの距離となり、例えばナット9aの中心を用いて計算する。Eはボールねじ8のヤング率、Iはボールねじ8の断面2次モーメント、ρはボールねじ8の密度、Aはボールねじ8の断面積となる。
図4は、S3において抽出した動作位置と周波数との関係を示したものであり、動作音が大きくボールねじ8に摩耗が起きている事例である。図3に示したような曲線が現れていることが確認できる。
そして、抽出した動作位置と周波数との関係と、曲げ振動モードが発生する動作位置と周波数との関係との一致具合を確認する際は、例えば、境界条件が両端固定で振動モードが1次の場合の値4.730を式(1)のλに代入し、その場合に得られる図3に示した送り軸装置11の曲げ振動モードの実線で示す1次の曲線を中心として、両側に幅をもたせた領域A1(図4に一点鎖線で囲まれる領域)を設定する。幅の持たせ方は、中心とする曲線を平行移動させた範囲を設定しても、中心とする曲線から曲線の法線方向に一定距離離れた範囲を設定してもよい。また、動作位置と周波数との関係の全領域をA2(図4に点線で囲まれる領域)とする。
設定した領域A1内において、領域A2における周波数強度の平均値以上となっている領域の割合を算出し、算出結果が所定の閾値より大きい場合を異常(ボールねじ8の摩耗)と診断する。所定の閾値は、例えば領域A2において、周波数強度の平均値以上となっている領域の割合としてもよい。診断結果は、NC装置10のモニタに表示したり警告音を鳴らしたりすることで報知する。
このように、上記形態の送り軸装置11の異常診断方法及びNC装置10(異常診断装置)によれば、ボールねじ8(ねじ軸)及びナット9aを有して工作機械に組み込まれる送り軸装置11に対し、ボールねじ8が所定の動作パターンで動作するように送り軸装置11の動作を制御する動作制御ステップ(S1)と、送り軸装置11から発生するトルク指令値(物理量信号)を検出する検出ステップ(S1)と、検出ステップで検出されたトルク指令値に基づき送り軸装置11の異常診断を行う異常診断ステップと、を実行し、異常診断ステップでは、トルク指令値に対して周波数解析を行って(S2)、動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し(S3)、各動作位置に対応した周波数の変化を曲げ振動モードと比較して異常診断を行う(S4)ようになっている。
よって、送り軸装置11の制御に使われる最低限の構成に対してセンサ等の他の構成要素を増やすことなく異常診断が行えることになり、センサ等の増加に伴うコストの増加や故障リスクの増加が生じない。従って、送り軸装置11の異常診断を低コスト及び低リスクで行うことができる。
なお、本実施形態では、一番メリットのある例として、検出する物理量信号をモータへのトルク指令値としているが、送り軸装置から発生する物理量信号であれば音や振動を検出してもよい。また、比較する送り軸装置の曲げ振動モードの曲線に関しては、必要に応じて図3に点線で示す2次、3次の曲線のような高次数を用いるように拡張してもよい。
また、動作位置に対応した周波数の変化を捉えて診断する方法として、所定の閾値より大きい周波数強度の動作位置と周波数とを抽出して送り軸装置の曲げ振動モードと比較する方法にしぼって説明したが、この形態に限らない。例えば、あらかじめ異常時の動作位置によって変化する周波数の特徴を学習させたニューラルネットワークに、複数の動作位置に対応した周波数分析結果をカラーマップ表示した画像を入力して異常診断を行うようにしてもよい。同様に、当該ニューラルネットワークに、複数の動作位置に対応した周波数分析結果を行列として入力して異常診断を行うようにしてもよい。
さらに、本実施形態では、ボールねじの摩耗を異常として診断したが、曲げ振動モードはボールねじが振れ回ることによって発生するため、本発明は組立時の振れ回りの状態の判定にも用いることができる。
その他、異常診断装置をNC装置と別に設けて、有線若しくは無線によってNC装置と接続することで異常診断を実施することもできる。この場合、複数の工作機械の異常診断を並行して行うことができる。
そして、本発明は工作機械に限らず、送り軸装置を備えた他の機械設備であっても適用可能である。
1・・加算器、2・・位置制御器、3・・速度制御器、4・・電流制御器、5・・微分器、6・・位置検出器、7・・モータ、8・・ボールねじ、9・・移動体、10・・NC装置、11・・送り軸装置、12・・位置制御装置、13・・異常診断部。

Claims (6)

  1. ねじ軸及びナットを有して機械設備に組み込まれる送り軸装置の異常を診断する方法であって、
    前記ねじ軸が所定の動作パターンで動作するように前記送り軸装置の動作を制御する動作制御ステップと、
    前記送り軸装置から発生する物理量信号を検出する検出ステップと、
    所定の異常診断アルゴリズムに従い、前記検出ステップで検出された前記物理量信号に基づき前記送り軸装置の異常診断を行う異常診断ステップと、を含み、
    前記異常診断ステップでは、前記物理量信号に対して周波数解析を行って、前記動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し、各前記動作位置に対応した周波数の変化に基づいて異常診断を行うことを特徴とする送り軸装置の異常診断方法。
  2. 前記異常診断ステップでは、各前記動作位置に対応した前記周波数の変化を、前記送り軸装置の各前記動作位置における曲げ振動モードと比較して異常診断を行うことを特徴とする請求項1に記載の送り軸装置の異常診断方法。
  3. 前記異常診断は、前記曲げ振動モードに基づいて設定した所定の領域内に、各前記動作位置に対応した前記周波数が含まれる割合を所定の閾値と比較するものであることを特徴とする請求項2に記載の送り軸装置の異常診断方法。
  4. ねじ軸及びナットを有して機械設備に組み込まれる送り軸装置の異常を診断する装置であって、
    前記ねじ軸が所定の動作パターンで動作するように前記送り軸装置の動作を制御する動作制御手段と、
    前記送り軸装置から発生する物理量信号を検出する検出手段と、
    所定の異常診断アルゴリズムに従い、前記検出手段で検出された前記物理量信号に基づき前記送り軸装置の異常診断を行う異常診断手段と、を含み、
    前記異常診断手段は、前記物理量信号に対して周波数解析を行って、前記動作パターンでの複数の動作位置に対応した周波数をそれぞれ抽出し、各前記動作位置に対応した周波数の変化に基づいて異常診断を行うことを特徴とする送り軸装置の異常診断装置。
  5. 前記異常診断手段は、各前記動作位置に対応した前記周波数の変化を、前記送り軸装置の各前記動作位置における曲げ振動モードと比較して異常診断を行うことを特徴とする請求項4に記載の送り軸装置の異常診断装置。
  6. 前記異常診断は、前記曲げ振動モードに基づいて設定した所定の領域内に、各前記動作位置に対応した前記周波数が含まれる割合を所定の閾値と比較するものであることを特徴とする請求項5に記載の送り軸装置の異常診断装置。
JP2019202550A 2019-11-07 2019-11-07 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置 Active JP7361573B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019202550A JP7361573B2 (ja) 2019-11-07 2019-11-07 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置
US17/061,736 US11268884B2 (en) 2019-11-07 2020-10-02 Abnormality diagnostic method and abnormality diagnostic device for feed axis device
CN202011209004.2A CN112775719A (zh) 2019-11-07 2020-11-03 进给轴装置的异常诊断方法和异常诊断装置
DE102020213960.1A DE102020213960A1 (de) 2019-11-07 2020-11-06 Abnormalitäts-Diagnoseverfahren und Abnormalitäts-Diagnosevorrichtung für Vorschubachsenvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019202550A JP7361573B2 (ja) 2019-11-07 2019-11-07 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021076450A true JP2021076450A (ja) 2021-05-20
JP7361573B2 JP7361573B2 (ja) 2023-10-16

Family

ID=75584089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019202550A Active JP7361573B2 (ja) 2019-11-07 2019-11-07 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11268884B2 (ja)
JP (1) JP7361573B2 (ja)
CN (1) CN112775719A (ja)
DE (1) DE102020213960A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7412158B2 (ja) * 2019-12-18 2024-01-12 オークマ株式会社 工作機械の送り軸診断装置及び送り軸診断方法
DE102020003055A1 (de) * 2020-05-22 2021-11-25 Lenord, Bauer & Co. Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Belastung einer Antriebswelle

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0785047B2 (ja) * 1987-04-06 1995-09-13 大阪府 棒材又は板材の損失係数、動弾性係数、動せん断弾性係数及び動ポアソン比の測定方法並びに測定装置
JP2002022616A (ja) 2000-07-13 2002-01-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 亀裂診断方法及び亀裂診断装置
JP4644137B2 (ja) 2006-02-15 2011-03-02 オークマ株式会社 位置制御装置
JP2007288829A (ja) * 2006-04-12 2007-11-01 Yaskawa Electric Corp 機械の異常検出方法およびその装置
JP2008006532A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 深穴加工装置
JP5146008B2 (ja) * 2007-06-11 2013-02-20 日本精工株式会社 異常診断装置、及び異常診断方法
JP2010166686A (ja) * 2009-01-15 2010-07-29 Yaskawa Electric Corp 機械の故障診断部を備えた電動機制御装置
JP5365497B2 (ja) * 2009-12-15 2013-12-11 株式会社ジェイテクト 振動測定装置及び振動測定方法
JP2013164386A (ja) 2012-02-13 2013-08-22 Nsk Ltd ボールねじの異常診断装置、及びボールねじの異常診断方法
CN108367407B (zh) * 2015-12-11 2020-10-23 株式会社牧野铣床制作所 机床
JP7101952B2 (ja) * 2017-06-07 2022-07-19 中村留精密工業株式会社 故障予知機能を備えた複合加工機械
JP2019076993A (ja) 2017-10-24 2019-05-23 オークマ株式会社 工作機械における直動軸の異常診断装置及び異常診断方法、工作機械
JP7000135B2 (ja) * 2017-11-24 2022-01-19 オークマ株式会社 送り軸の異常診断方法及び異常診断装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP7361573B2 (ja) 2023-10-16
US11268884B2 (en) 2022-03-08
US20210140853A1 (en) 2021-05-13
DE102020213960A1 (de) 2021-05-12
CN112775719A (zh) 2021-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107272586B (zh) 机械学习装置、机械学习方法、故障预知装置及系统
US10725465B2 (en) State diagnostic device
JP6657256B2 (ja) 送り軸の異常診断方法及び異常診断装置
EP1955830B1 (en) A method and a control system for monitoring the condition of an industrial robot
JP7000135B2 (ja) 送り軸の異常診断方法及び異常診断装置
US9885237B2 (en) Apparatus and method for monitoring health of articulating machinery
CN111819042B (zh) 异常检测装置及异常检测方法
JP6572955B2 (ja) 異常診断装置、異常診断方法、及び異常診断プログラム
JP2011027452A (ja) データ収集装置及び該データ収集装置を備えた設備機器の診断装置
TWI676752B (zh) 滾動導引裝置的狀態診斷系統
KR102040179B1 (ko) 제조 설비의 이상 감지 및 진단 방법
JP7361573B2 (ja) 送り軸装置の異常診断方法及び異常診断装置
JP2009068950A (ja) 機械診断装置
CN110543147A (zh) 分析装置、分析方法及记录了分析程序的计算机可读介质
CN111771113A (zh) 异常种类判定装置以及异常种类判定方法
JP6733838B1 (ja) 転がり軸受の異常診断方法及び異常診断装置
CN116352760A (zh) 晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人
JP2021012032A (ja) 異常診断装置およびロボット制御装置
TW202100968A (zh) 異常診斷系統及異常診斷方法
JP7230707B2 (ja) 直動駆動装置の監視装置および直動駆動装置の監視方法
CN107689765B (zh) 双重检查控制轴的状态的控制装置以及控制方法
JP6777686B2 (ja) 診断装置、診断方法及び診断プログラム
JP6840875B2 (ja) 制御方法、制御プログラム、記録媒体、ロボットシステム、物品の製造方法、回転駆動装置の制御方法
JP7057760B2 (ja) 回転電機の異常診断システム
JP2023076024A (ja) 昇降機異常診断装置および昇降機異常診断方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220630

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230428

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230606

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230727

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230905

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231003

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7361573

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150