TW202100968A - 異常診斷系統及異常診斷方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於謀求兼顧設備之適當維護與其之有效率的運作。 本發明之解決手段為一種異常診斷系統，其係在設備中進行關聯於各控制軸的異常診斷，該設備係組入有複數個具有馬達及藉由該馬達所被驅動的輸出部的控制軸；其具備有：複數個振動感測器，其被設置於複數個控制軸之各者，且檢測關聯於與各控制軸相對應的馬達之驅動而所產生的振動；計算部，其基於藉由複數個振動感測器之各者所被檢測出的振動資訊，對於複數個控制軸之各者而計算出複數個既定的頻率範圍中的振動等級；及診斷部，其基於藉由計算部所計算出之在複數個控制軸上之複數個既定的頻率範圍中的振動等級之分佈狀態，執行關聯於各控制軸的異常診斷。

Description

異常診斷系統及異常診斷方法
本發明關於進行具有複數個控制軸的設備之異常診斷的系統、及其之異常診斷方法。
於機器人或工作機械、半導體・液晶製造裝置等各種裝置類中，使用有用以導引可動部之行進路線的零件。例如，於可動部直線行進的部位使用線性導件。於選定如此之零件時，通常針對乘上安全係數的負載而選定持有具有餘裕之額定負載者，但近年來，例如將應變計安裝於零件，而亦嘗試進行計算出施加於零件之實際負載以更加適當地管理零件(例如參照專利文獻1)。
此外，在專利文獻2中，揭示有一種高精度地診斷線性導件之製品壽命的技術。於此，以相對於線性導件之軌道構件所形成有的軌道的移動構件之位移量為基礎，對於沿著軌道方向而將移動構件之轉動面加以區分的每個假想之區間，計算出移動構件移動時在各區間所產生的應力即移動時應力，並且以位移量為基礎，對於每個區間計算出隨著移動構件沿軌道移動時之波動而重複產生的移動時應力之產生次數。接著，基於被計算出之移動時應力的大小與移動時應力的產生次數而進行線性導件之壽命診斷。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本專利特開2007-263286號公報 [專利文獻2] 日本專利特開2018-109538號公報
(發明所欲解決之問題)
機器人或工作機械等之設備係以各種零件所構成。一般而言，為了使該設備執行所期望之動作而搭載有複數個馬達，並配合該所期望之動作而驅動各馬達。為了較佳地使設備運作，有需要迅速地檢測所產生的不良狀況，以適時地實施設備之維護。由於一般的設備存在有多個驅動部位，因而在設備整體中有可能產生異常狀態之部位為多個，為了檢測異常狀態，亦需要多個感測器等檢測裝置。因此，於搭載有複數個馬達的設備中檢測異常狀態並不容易，而難以提高其之檢測精度。
對於設備之維護，存在有設備實際故障之後進行與該故障相對應之事後保全的情況，或是基於與該設備相關之至目前為止的運轉經驗或運轉歷程等，在未產生故障之時間點進行保全相對應的情況。然而，在如此之保全相對應中，會較長期地使設備停止，或是儘管設備尚可進行穩定之運轉，但卻徒然地使設備停止，而難以稱為進行有效率之設備運作。另一方面，為了有效率之設備運作，較佳為直至故障之前，迅速地檢測其預兆即異常狀態，接著實施維護。
本發明係鑑於上述問題而完成者，其目的在於提供一種技術，其可兼顧設備之適當維護與其之有效率的運作。 (解決問題之技術手段)
於本發明中，為了解決上述課題，本發明之異常診斷系統採用如下構成，即：藉由於設備所包含有之複數個控制軸之各者上設置有振動感測器的簡便構成，基於與複數個控制軸相對應的振動等級之分佈狀態，而進行各控制軸之異常診斷。
詳細而言，本發明係一種異常診斷系統，其係在設備中進行與各控制軸關聯的異常診斷，該設備係組入有複數個具有馬達及藉由該馬達所被驅動的輸出部的控制軸，該設備被構成為該複數個控制軸之至少一軸被傳遞有當驅動與其他控制軸之至少一軸相對應的該馬達時因其驅動所產生的振動；上述異常診斷系統具備有：複數個振動感測器，其被設置於上述複數個控制軸之各者，且檢測關聯於與各控制軸相對應的上述馬達之驅動而所產生的振動；計算部，其基於藉由上述複數個振動感測器之各者所被檢測出的振動資訊，對於上述複數個控制軸之各者而計算出複數個既定的頻率範圍中的振動等級；及診斷部，其基於藉由上述計算部所計算出之在上述複數個控制軸上之上述複數個既定的頻率範圍中的上述振動等級之分佈狀態，執行關聯於各控制軸的異常診斷。 (對照先前技術之功效)
可謀求兼顧設備之適當維護與其之有效率的運作。
本實施形態之異常診斷系統係在設備中進行各控制軸之異常診斷，該設備係組入有複數個控制軸，且該設備被構成為複數個控制軸之至少一軸被傳遞有當驅動其他控制軸中之至少一軸的該馬達時所產生的振動。此處所提及之控制軸間之振動的傳遞，係指以在控制軸間振動為進行相互作用之方式構成該設備。此外，各控制軸具有所相對應的馬達與輸出部。於一個控制軸中，亦可包含有複數個馬達、複數個輸出部。控制軸之輸出部未必一定要與設備中之輸出部一致，亦可組合複數個控制軸之輸出部而形成為設備中之輸出部。
於如此般所構成之設備中，若驅動與複數個控制軸中某控制軸相對應的馬達，則因該驅動而所產生之振動會作用於其他控制軸。於此，可藉由被設置於各控制軸的振動感測器而檢測此時之振動。換言之，被設置於複數個控制軸的複數個振動感測器可對驅動被設置於各控制軸之所相對應的馬達時傳遞至設備整體的振動進行檢測。此外，在設備中，藉由被設置於各控制軸的振動感測器所被檢測的振動等級(振動之大小)並非全部相同，而是反映設備之機械構成者。
於此，在設備中，其機械構成處於正常狀態之情況下與該機械構成處於異常狀態之情況下，自振動傳遞的觀點來看，在機械性之條件上產生差異。再者，本實施形態中之「異常狀態」係指，自設備之維護的觀點來看，為了使該設備持續地運作而需要進行維護之與設備的運作狀況相關的狀態，其與該設備變得完全無法運作之所謂故障狀態有所不同。換言之，設備中之異常狀態，係指設備尚可運作之狀態但需要進行更換某一零件等之維護的狀態，且為與正常狀態有所區別之狀態。而且，因應於設備中之異常狀態的程度(以下，包含有異常狀態之有無)，在各控制軸上所被檢測的振動等級係與設備處於正常狀態之情況相比而有所變化。此外，依照在設備中所產生之異常狀態的種類，在與該設備中之振動傳遞所相關之機械性條件亦對於該種類之各者而會有所不同，因此可將整體地觀察控制軸時之振動等級的分佈狀態與異常狀態之每個種類建立關聯。
於此，在本實施形態之異常診斷系統中，為了可較佳地辨別會在設備中產生之異常狀態的種類，計算部基於以振動感測器所被檢測的振動資訊，而對複數個既定的頻率範圍之各者計算出振動等級，除此之外，診斷部基於對複數個控制軸全部而取得之在控制軸整體上之振動等級的分佈狀態，而執行與設備中之各控制軸關聯的異常診斷。上述複數個既定的頻率範圍可考慮到設備之機械構成、或用以容易地進行檢測在此處所被預測之異常狀態的振動特性(振動之共振頻率等)，而適當地進行設定。複數個頻率範圍未必一定為連續之頻率範圍，此外，各頻率範圍之寬度未必一定相同。
如此地，在上述異常診斷系統中，藉由在各控制軸設置有振動感測器之較為簡便的構成，在考慮到在控制軸間振動為進行相互作用之情形上而可較佳地執行設備中之異常診斷。特別是，提供異常診斷的資訊係來自設備實際地運作而被取得的資訊，因此確實地反映此時設備之異常狀態的程度，藉此可一面較佳地維持設備之運作，一面較佳地實現該異常診斷。其結果，亦可適當地設定實施更換設備之零件等維護的時間點。
以下，對於本發明之具體的實施形態，基於圖式而進行說明。本實施形態所記載之構成零件之尺寸、材質、形狀、其之相對配置等，只要無特別記載，則其並非旨在將本發明之技術範圍僅限定於該等內容。
＜實施形態＞ 圖1表示被應用於本實施形態之異常診斷系統的設備1之一例即縱型綜合加工機之概略構成。特別是，圖1之上段(a)表示設備1之加工區域的外觀，下段(b)表示構成設備1的三個控制軸之概略構成。設備1為具有X軸、Y軸及Z軸等三個控制軸的縱型綜合加工機，X軸及Y軸係被配置於水平面上，Z軸係被配置於鉛直方向上。如圖1之上段(a)所示，於設備1之加工區域中，配置有放置工件的平台2。平台2係沿著X軸及Y軸而受到控制。於X軸配置有蓋11，於Y軸配置有蓋21。此外，以可對被配置在平台2的工件進行切削加工之方式，配置轉軸31，轉軸31之位置係沿著Z軸而受到控制。再者，轉軸31之馬達本體係被配置在蓋32內。
於此，對於各控制軸之詳細內容，基於圖1之下段(b)而進行說明。於X軸上，配置有X軸之致動器即馬達13，馬達13之輸出軸係被連結於滾珠螺桿14，與滾珠螺桿14相對應的螺帽15係相當於X軸之輸出部。此外，X軸係直接驅動平台2的控制軸，沿著該X軸的移動係藉由軌道12a與一面在其上滑動一面支撐平台2的移動構件12b而被實現。相同地，於Y軸上，亦配置有Y軸之致動器即馬達23，馬達23之輸出軸係被連結於滾珠螺桿24，與滾珠螺桿24相對應的螺帽25係相當於Y軸之輸出部。再者，Y軸係驅動平台2與上述X軸之構成的控制軸，沿著該Y軸的移動係藉由軌道22a與一面在其上滑動一面支撐平台2及X軸構成的移動構件22b而被實現。此外，於Z軸上，配置有Z軸之致動器即馬達33，馬達33之輸出軸係被連結於滾珠螺桿34，與滾珠螺桿34相對應的螺帽35係相當於Z軸之輸出部。此外，Z軸係將轉軸31朝鉛直方向驅動的控制軸，沿著該Z軸的移動係藉由軌道32a與一面在其上滑動一面支撐轉軸31的移動構件32b而被實現。
在如此般所被構成之設備1中，X軸與Y軸係一起地實現在水平面上移動平台2的控制軸，關聯於X軸的機械構成係被配置在Y軸上。因此，可理解X軸及Y軸成為以下之構成：藉由各者上之馬達13、23之驅動而所產生的振動會相互地傳遞。此外，Z軸係與X軸及Y軸不同，其係使轉軸31朝鉛直方向移動的控制軸，但可理解其成為以下之構成：經由綜合加工機即設備1之框體，Z軸與X軸及Y軸之間仍會傳遞振動。再者，並非全部的振動在X~Z軸中相互地傳遞，亦會存在有因振動之特性(振幅或頻率等)而在實質上不在控制軸間傳遞的振動。
進而，於X軸~Z軸之各控制軸，為了檢測在各者上之振動，配置有振動感測器16、26、36。再者，藉由X軸之振動感測器16所檢測的振動方向為X軸方向，由Y軸之振動感測器26所檢測的振動方向為Y軸方向，由Z軸之振動感測器36所檢測的振動方向為Z軸方向。各振動感測器16、26、36以不會對各控制軸上之輸出部的移動造成妨礙之方式，而被配置在於各控制軸所包含有之軌道12a、22a、32a的端部。再者，作為振動感測器16、26、36，可利用公知之振動感測器或加速度感測器，因而省略其詳細說明。
於此，對於本實施形態之異常診斷系統的構成，基於圖2而進行說明。再者，該異常診斷系統係以處理裝置5、及電性連接於其之X軸~Z軸的振動感測器16、26、36所構成。處理裝置5為在實質上具有運算處理裝置及記憶體的電腦，於此，藉由執行既定的控制程式，而形成圖2所示之功能部。再者，藉由振動感測器16、26、36各者所被檢測的振動資訊係被遞交至處理裝置5。
處理裝置5具有計算部51、診斷部52及存放部53。計算部51自振動感測器16、26、36各者接收在各控制軸上之振動資訊，而且，基於該振動資訊而對每個控制軸計算出在複數個既定的頻率範圍中的振動等級。於設備1中預測所產生的複數個異常狀態可與在各控制軸中所產生的各種振動建立關聯。例如有如下情況，即，在第一異常狀態中，與其他控制軸相比，容易於X軸產生振動，在第二異常狀態中，與其他控制軸相比，容易於Z軸產生振動。此外，有如下情況，即，在第三異常狀態與第四異常狀態中，雖與其他控制軸相比，有於Y軸產生振動之傾向，但在Y軸所產生之振動的頻率特性(例如振動之共振頻率)不同。如此般將在設備1所產生之各種異常狀態與在各控制軸上之振動所相關的特徵建立關聯時，藉由利用與該振動所相關之特徵，而可診斷在設備1中之異常狀態。考慮到此點而設定複數個既定的頻率範圍。即，基於用以容易地進行檢測在設備1中預測所產生之異常狀態的振動特性，而可適當地設定各個既定的頻率範圍。
例如，在後述之圖4中，作為既定的頻率範圍而被設定有五個範圍(頻帶1~頻帶5)。在各頻率範圍間，頻率不重覆，對於各範圍所屬之頻率的相關關係，成為頻帶1＜頻帶2＜頻帶3＜頻帶4＜頻帶5之關係。各頻率範圍未必一定為連續之頻率範圍，此外，各頻率範圍之寬度(各頻帶之寬度)未必一定相同。再者，所被設定之複數個既定的頻率範圍係相對於各控制軸而共通地被使用。
計算部51對自振動感測器16、26、36各者所接收的振動資訊施以快速傅立葉轉換(FFT，Fast Fourier Transform)處理，基於預先被設定的頻率範圍中之與頻率相關之既定的特徵量，而計算出在該頻率範圍中的振動等級。作為該既定的特徵量，例如亦可採用該頻率範圍中之FFT處理值之峰值或平均值等。計算部51對在相同時間點各控制軸中之與複數個既定的頻率範圍各者相對應的振動等級進行計算。在本實施形態中，振動等級係以在設備1中未產生異常狀態之正常狀態下之各控制軸之上述既定的特徵量作為基準，而例如如下述數式般相對地所被計算出的指數。 振動等級 = (實際之既定的特徵量) / (在正常狀態下之既定的特徵量) 因此，例如在圖4所示之例中，於實際之既定的特徵量與在正常狀態下之既定的特徵量為同值之情況下，振動等級設為「1」，藉由在設備1中之異常狀態之程度反映在實際之既定的特徵量而使振動等級之數值變動。即，隨著振動等級之數值超過1而變大，則意味著在設備1中之異常狀態的程度變大。
其次，診斷部52基於藉由計算部51所計算出之在複數個既定的頻率範圍各者中之在控制軸整體上的振動等級之分佈狀態，而執行關聯於各控制軸的異常診斷。因在設備1中之異常狀態的種類不同，而容易受到影響之控制軸或容易表現該影響之頻率範圍產生變動，因此，該分佈狀態可稱為反映在設備1中之異常狀態之種類的資訊。於此，如上述般，診斷部52可基於振動等級的分佈狀態而執行異常診斷。而且，為了進行該異常診斷，將與該分佈狀態進行比較的振動分佈資訊存放在存放部53。該振動分佈資訊係與在設備1中預測所發生的異常狀態建立關聯的資訊，且為假若在設備1中產生該異常狀態時，基於在各控制軸上所被檢測的振動資訊而所形成的振動等級之分佈資訊。換言之，振動分佈資訊係以可將在設備1中所產生的一個異常狀態與其他異常狀態加以區別之方式所表示之與振動分佈相關的資訊。因此，於振動等級的分佈狀態與某個振動分佈資訊一致時，或近似於該振動分佈資訊時，診斷部52可診斷為於設備1中產生該振動分佈資訊所表示的異常狀態。
於此，對於與藉由處理裝置5所進行之異常診斷控制相關的處理之一例，基於圖3所示之流程圖而進行說明。該異常診斷控制可在設備1中開始工件加工前或結束工件加工後等之既定的時間點進行執行。首先，在S101中，為了檢測在設備1中之異常狀態，而開始預先被設定之診斷用之各控制軸的馬達13、23、33、轉軸31之驅動。例如，可驅動三個控制軸之馬達中之一馬達、轉軸31，亦可同時地驅動複數個控制軸之馬達、轉軸31。如此般為了異常診斷而驅動預先被設定的馬達等，藉此可將關聯於該馬達等之驅動的異常狀態限定至某種程度，而可提高異常狀態之檢測精度。若S101之處理結束，則朝S102前進。
在S102中，於S101中所被開始驅動之馬達等的驅動中，藉由被設置在各控制軸的振動感測器16、26、36而檢測在各控制軸上之振動，且計算部51取得與該振動相關的振動資訊。若S102之處理結束，則朝S103前進。接著，在S103中，判定在S101中所被開始驅動的馬達等之該驅動是否已完成。若在S103中判定為肯定，則處理朝S104前進，若判定為否定，則繼續進行S102之處理。
接著，在S104中，計算部51基於在S102中所被取得的各控制軸之振動資訊，而對每個控制軸計算出在複數個既定的頻率範圍中的振動等級。接著，在S105中，診斷部52生成振動等級的分佈狀態，進而，在S106中，基於該生成之分佈狀態而診斷在設備1中的異常狀態之程度。
於此，基於圖4，對於藉由診斷部52所進行之與異常狀態之程度相關的診斷進行說明。於設備1中產生例示性之三個異常狀態時，圖4(a)至(c)表示在S105所被生成的振動等級之分佈狀態。更具體而言，圖4之上段(a)表示在Y軸之蓋21產生異常狀態之情況下之振動等級的分佈狀態。該分佈狀態係藉由驅動Y軸之馬達23而被檢測、生成。在該異常狀態中，受到蓋21之影響而基於Y軸之振動感測器26之振動資訊的振動等級係在頻帶1~頻帶3之頻率範圍相對地變高。進而，如上所述，於設備1中，X軸係與Y軸重疊地被配置，因此，起因於蓋21之異常狀態的振動容易傳遞至X軸。另一方面，若為蓋21之異常狀態，則該振動大致上不被傳遞至Z軸。其結果，X軸之振動等級係與Y軸相同地在頻帶1~頻帶3之頻率範圍相對地變高，但為較Y軸低之等級。進而，Z軸之振動等級未受到X軸及Y軸之影響。如此，圖4之上段(a)所示之振動等級的分佈狀態可稱為與Y軸之蓋21之異常狀態建立關聯。
此外，圖4之中段(b)表示在Z軸之轉軸31產生異常狀態之情況下之振動等級的分佈狀態。該分佈狀態係藉由驅動轉軸31而被檢測、生成。在該異常狀態中，於轉軸31中產生週期性之機械振動。此時，基於Z軸之振動感測器36之振動資訊的振動等級係在頻帶1~頻帶2之頻率範圍相對地變高，另一方面，該振動大致上不被傳遞至X軸及Y軸。如此，圖4之中段(b)所示的振動等級之分佈狀態可稱為與轉軸31之某個異常狀態(即產生上述週期性之機械振動的異常狀態)建立關聯。此外，圖4之下段(c)亦是表示於Z軸之轉軸31上產生異常狀態之情況下的振動等級之分佈狀態，但在該異常狀態中，於轉軸31上產生金屬彼此之摩擦。再者，該分佈狀態亦是藉由驅動轉軸31而被檢測、生成。此時，基於Z軸之振動感測器36之振動資訊的振動等級係在較高之頻率範圍即頻帶4~頻帶5之頻率範圍相對地變高，另一方面，該振動大致上不被傳遞至X軸及Y軸。如此，圖4之下段(c)所示之振動等級的分佈狀態可稱為與轉軸31之某個異常狀態(即產生金屬彼此摩擦的異常狀態)建立關聯。
如此，如圖4所示，在設備1中會產生的異常狀態係與振動等級之分佈狀態建立關聯。於此，診斷部52藉由將如此之分佈狀態與被存放在存放部53的振動分佈資訊加以比較，在基於該比較結果而與被存放之振動分佈資訊之任一者一致之情況下，可診斷為於設備1中產生該振動分佈資訊所表示之異常狀態。再者，即便在所被生成之分佈狀態與所被存放之振動分佈資訊不同的情況下，於該差異量收斂於既定之範圍時(例如，與振動分佈資訊不同的頻率範圍之數量為既定數量以下等之條件為成立的情況)，亦可將該分佈狀態作為近似於該振動分佈資訊，而診斷為於設備1中產生該振動分佈資訊所表示之異常狀態。
如此，根據本異常診斷控制，藉由在各控制軸設置有振動感測器16、26、36之較為簡便的構成，在考慮到在控制軸間振動為進行相互作用之情形上而可較佳地執行設備1中之異常診斷。特別是，提供異常診斷的資訊係設備1實際地運作而取得的資訊，因此確實地反映此時設備1之異常狀態的程度，藉此可一面較佳地維持設備1之運作，一面實現該異常診斷。其結果，亦可適當地設定實施更換設備1之零件等維護的時間點。
再者，在上述之異常診斷控制中，於S101中進行異常診斷用之馬達等的驅動，但該驅動並非一定需要之處理。即，亦可於設備1中為了工件之加工等而進行馬達等之驅動時，進行S102之振動資訊的取得。
此外，在圖4中，將振動等級的分佈狀態以數值之分佈表示，但亦可取代此態樣，而如圖5所示般將各振動等級以相對應之圖像(影像)資訊表示。在圖5中，以隨著振動等級變高而圖像之色彩變濃之方式，將振動等級與圖像建立相對應。而且，圖5所示之上段(a)與圖4之上段(a)相對應，圖5所示之中段(b)與圖4之中段(b)相對應，圖5所示之下段(c)與圖4之下段(c)相對應。如此般藉由將振動等級進行圖像化，伴隨圖像處理的公知之深度學習技術則成為容易進行利用。其結果，將振動等級的分佈狀態與被存放在存放部53的振動分佈資訊加以比較，變得容易對其一致或近似程度進行判斷，藉此，可較佳地診斷在設備1中的異常狀態之程度。
＜變形例＞ 至上述內容為止之實施形態中，將振動等級的分佈狀態與振動分佈資訊加以比較，而診斷在設備1中的異常狀態之程度。於此，關於會在設備1中產生之異常狀態，有該異常狀態突發性地產生之情況，亦有該異常狀態需要某種程度之時間且逐漸地產生之情況。於後者之情況下，可推知，因應於設備1中之異常狀態的演變，而振動等級的分佈狀態亦逐漸演變之情形，最終成為與振動分佈狀態一致或近似之狀態，藉此達到發生既定的異常狀態之狀態。
於此，診斷部52藉由利用如此振動等級的分佈狀態之演變，而可預測什麼時候產生異常狀態。具體而言，可基於在設備1中之各控制軸上的馬達13、23、33、轉軸31之驅動歷程、及振動等級的分佈狀態之演變，而預測異常狀態。例如，於目前時間點之振動等級的分佈狀態中，與X軸及Y軸所相關之頻帶1~頻帶3之數值係圖4之上段(a)所示之數值的一半，若至目前為止Y軸的馬達23之驅動歷程為1000小時，則可預測到，當馬達23進而驅動1000小時時，會產生圖4之上段(a)所示之異常狀態，即Y軸之蓋21之異常狀態。
若如此般藉由診斷部52預測異常狀態，則可自處理裝置5對使用者通知其預測結果，而催促使用者準備維護作業。此外，即便進行該異常狀態之預測的情況下，仍可藉由執行圖3所示之異常診斷控制，於在實際上該異常狀態產生時，迅速地檢測其之產生。
1:設備 2:平台 5:處理裝置 11、21、32:蓋 12a、22a、32a:軌道 12b、22b、32b:移動構件 13、23、33:馬達 14、24、34:滾珠螺桿 15、25、35:螺帽 16、26、36:振動感測器 31:轉軸 51:計算部 52:診斷部 53:存放部
圖1(a)及(b)係表示實施形態之設備即縱型綜合加工機之概略構成的圖。 圖2係表示實施形態之異常診斷系統之功能性構成的圖。 圖3係藉由異常診斷系統所被執行之異常診斷控制之流程圖。 圖4(a)至(c)係在圖3所示之異常診斷控制中所被利用之表示振動等級之分佈狀態的第一圖。 圖5(a)至(c)係在圖3所示之異常診斷控制中所被利用之表示振動等級之分佈狀態的第二圖。
16、26、36:振動感測器

Claims (6)

  1. 一種異常診斷系統，其係在設備中進行與各控制軸關聯的異常診斷，該設備係組入有複數個具有馬達及藉由該馬達所被驅動的輸出部的控制軸，該設備被構成為該複數個控制軸之至少一軸被傳遞有當驅動與其他控制軸之至少一軸相對應的該馬達時因其驅動所產生的振動；上述異常診斷系統具備有： 複數個振動感測器，其被設置於上述複數個控制軸之各者，且檢測關聯於與各控制軸相對應的上述馬達之驅動而所產生的振動； 計算部，其基於藉由上述複數個振動感測器之各者所被檢測出的振動資訊，對於上述複數個控制軸之各者而計算出複數個既定的頻率範圍中的振動等級；及 診斷部，其基於藉由上述計算部所計算出之在上述複數個控制軸上之上述複數個既定的頻率範圍中的上述振動等級之分佈狀態，執行關聯於各控制軸的異常診斷。
  2. 如請求項1之異常診斷系統，其中， 上述複數個既定的頻率範圍係被設定為共通於上述複數個控制軸。
  3. 如請求項1或2之異常診斷系統，其中， 上述振動等級的分佈狀態係作為可對於該振動等級之各者加以區別的圖像資訊而進行表示， 上述診斷部係藉由對表示上述振動等級之分佈狀態的上述圖像資訊施以既定的圖像處理，而執行關聯於各控制軸的異常診斷。
  4. 如請求項1至3中任一項之異常診斷系統，其中，進而具備有： 存放部，其存放有振動分佈資訊，該振動分佈資訊係與在上述設備中所被預設的一個或複數個異常狀態建立關聯且表示上述振動等級之分佈狀態； 上述診斷部將藉由上述計算部所被計算出的上述振動等級之分佈狀態與被存放在上述存放部的上述振動分佈資訊加以比較，基於其比較結果而執行關聯於各控制軸的異常診斷。
  5. 如請求項1至4中任一項之異常診斷系統，其中， 上述診斷部基於上述設備中之在上述複數個控制軸上之上述馬達的驅動歷程與藉由上述計算部所被計算出的上述振動等級之分佈狀態之演變，預測關聯於各控制軸的異常狀態之產生。
  6. 一種異常診斷方法，其係在設備中進行與各控制軸關聯的異常診斷，該設備係組入有複數個具有馬達及藉由該馬達所被驅動的輸出部的控制軸，該設備被構成為該複數個控制軸之至少一軸被傳遞有當驅動與其他控制軸之至少一軸相對應的該馬達時因其驅動所產生的振動；其中， 基於藉由被設置於上述複數個控制軸各者的複數個振動感測器之各者所被檢測出之關聯於與各控制軸相對應的上述馬達之驅動而所產生的振動所相關的振動資訊，對於上述複數個控制軸之各者而計算出複數個既定的頻率範圍中的振動等級， 基於在上述複數個控制軸上之上述複數個既定的頻率範圍中的上述振動等級之分佈狀態，執行關聯於各控制軸的異常診斷。
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