JP2021058977A - 切削ブレード及び加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フランジ機構に装着された状態であっても、ブレード情報を確認することができること。【解決手段】加工装置は、中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレード２１と、切削ブレード２１を先端に固定するスピンドルと、ワークを保持する保持テーブルと、複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、スピンドルとブレードストッカーとの間で切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換ユニットと、読み取りユニットと、制御ユニットとを備える。ブレード情報を記録するバーコード２１３が切削ブレード２１の切り刃の外周に円形に形成されている。読み取りユニットは、バーコード２１３を読み取る。制御ユニットは、読み取りユニット読み取ったデータからブレード情報を確認する。【選択図】図６

Description

本発明は、切削ブレード及び加工装置に関する。

半導体ウエーハなどのワークを切削加工する切削ブレードには、従来、切削ブレードのブレード情報を識別するための文字が印字されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−７９０９８号公報

しかしながら、特許文献１に示された切削ブレードは、スピンドルに装着するためのフランジ機構に装着された状態では、切り刃の刃先しか露出しないため、ブレード情報を確認できないという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フランジ機構に装着された状態であっても、ブレード情報を確認することができる切削ブレード及び加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードは、中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードであって、切削ブレードの品種と使用履歴との少なくともいずれかを含むブレード情報を記録するバーコードが該切削ブレードの切り刃の外周に円形に形成されていることを特徴とする。

本発明の加工装置は、該切削ブレードを用いる加工装置であって、該切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、ワークを保持する保持テーブルと、複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で該切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、該バーコードを読み取る読み取り部と、読み取ったデータから該ブレード情報を確認するブレード情報確認部と、を備えることを特徴とする。

前記加工装置では、該切削ブレードは、先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードより小径で該切削ブレードを支持する支持面を有した第１のフランジ部と、該ボス部に装着される装着穴を有し、該切削ブレードより小径で、該ボス部に装着された該切削ブレードを該第１のフランジ部との間に挟持する第２のフランジ部と、該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該ボス部と締結して該第１のフランジ部と該第２のフランジ部との間に切削ブレードを固定する固定ナットと、を含むフランジ機構と一体になったブレードユニットを形成し、該ブレードストッカーは、該ブレードユニットの状態で該切削ブレードを収容し、該読み取り部は、該第１のフランジ部と該第２のフランジ部との外方に露出した切削ブレードの切り刃に形成された該バーコードを読み取っても良い。

本発明は、切削ブレードがフランジ機構に装着された状態であっても、ブレード情報を確認することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットの断面図である。 図３は、実施形態１に係る切削ブレードの平面図である。 図４は、図３に示された切削ブレードの要部を拡大して示す平面図である。 図５は、実施形態１に係る切削ブレードを含むブレードユニットの断面図である。 図６は、図５に示されたブレードユニットの平面図である。 図７は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。 図８は、図７に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカーの構成例を示す斜視図である。 図９は、図７に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。 図１０は、図９に示されたブレード着脱ユニットの固定ねじ着脱機構がワッシャ及び固定ねじを保持した状態を示す斜視図である。 図１１は、図９に示されたブレード着脱ユニットの固定ねじ着脱機構がワッシャ及び固定ねじを保持した状態を示す側面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削ブレード及び加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットの断面図である。図３は、実施形態１に係る切削ブレードの平面図である。図４は、図３に示された切削ブレードの要部を拡大して示す平面図である。図５は、実施形態１に係る切削ブレードを含むブレードユニットの断面図である。図６は、図５に示されたブレードユニットの平面図である。図７は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。

（加工装置）
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すワーク２００を切削加工する切削装置である。実施形態１では、ワーク２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ワーク２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明のワーク２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、ワーク２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された加工装置１は、ワーク２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１を用いて切削加工（加工に相当）する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、ワーク２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持するワーク２００を切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮像する撮像ユニット３０と、ブレード交換ユニット７と、ブレード情報確認部である制御ユニット１００とを備える。

また、加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、保持テーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット４４とを備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

保持テーブル１０は、円盤形状であり、ワーク２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により切削ユニット２０の下方の加工領域６３と、切削ユニット２０の下方から離間してワーク２００が搬入出される搬入出領域６４とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置されたワーク２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、粘着テープ２０６を介してワーク２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持されたワーク２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の一方の柱部に設けられている。他方の切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、支持フレーム３の他方の柱部に設けられている。なお、支持フレーム３は、柱部の上端同士を水平梁により連結している。

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられた回転軸となるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端に固定されて切削ブレード２１が装着されるマウント２４と、フランジ機構２５とを備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、図３及び図４に示すように、ワーク２００を切削する円環状の切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャーブレードである。切削ブレード２１の切り刃２１１は、中央にスピンドル２３に対する装着用の円形の装着穴２１２を有する円盤状に形成されている。切り刃２１１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。

また、切削ブレード２１は、図３及び図４に示すように、外表面にバーコード２１３を付している。バーコード２１３は、切削ブレード２１のブレード情報を記録し、ブレード情報を示す識別子である。実施形態１において、バーコード２１３が記録し、示すブレード情報は、当該バーコード２１３が付された切削ブレード２１の品種を示す情報を含んでいるが、本発明では、バーコード２１３が付された切削ブレード２１の使用履歴を含んでも良い。要するに、本発明では、ブレード情報は、切削ブレード２１の品種と使用履歴との少なくともいずれかを含めば良い。

実施形態１では、バーコード２１３を構成する複数の直線２１４は、切削ブレード２１の装着穴２１２の中心２１５を中心とした径方向２１６（図３及び図４に破線で示す）に沿って延びている。このために、実施形態１では、バーコード２１３を構成する複数の直線２１４は、中心２１５寄りの端の幅よりも中心２１５から離れた側の端の幅が広く形成されている。

バーコード２１３を構成する複数の直線２１４は、切削ブレード２１の径方向の中央部から切り刃２１１の刃先に亘って形成されている。バーコード２１３は、複数の直線２１４が装着穴２１２の中心２１５を中心とした径方向２１６に沿って延び、かつ切削ブレード２１の径方向２１６の中央から切り刃２１１の刃先に亘って形成されていることで、切り刃２１１の外周に円形に形成されていることとなる。

また、実施形態１では、切削ブレード２１は、外表面のバーコード２１３よりも内周側に切削ブレード２１の品種を示す文字、数字又は記号などからなる印２１７が形成されている。

スピンドル２３は、図示しないモータにより回転される回転軸となるとともに、先端がスピンドルハウジング２２の先端面２２１より突出している。スピンドル２３は、先端面に開口したねじ孔２３１が設けられている。スピンドル２３は、先端に切削ブレード２１を固定する。

マウント２４は、スピンドル２３の先端に固定される。マウント２４は、内側にスピンドル２３の先端を通す円筒状のボス部２４１と、ボス部２４１のスピンドルハウジング２２寄りの一端部に設けられた円環状のフランジ部２４２とを備えている。ボス部２４１は、内外径が軸心方向に一定に形成され、内径がスピンドル２３の先端の外径と等しく形成されている。フランジ部２４２は、ボス部２４１の一端部から外周方向に突出している。フランジ部２４２は、支持面２４３が外縁部の全周に亘って形成されている、支持面２４３は、マウント２４の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。マウント２４は、ボス部２４１の内側にスピンドル２３の先端が挿入されて、スピンドル２３の先端に固定される。マウント２４は、スピンドル２３と同軸に配置される。

フランジ機構２５は、切削ブレード２１をマウント２４を介してスピンドル２３の先端に固定するためのものである。フランジ機構２５は、図２及び図５に示すように、第１のフランジ部である第１のフランジ部材２６と、第２のフランジ部である第２のフランジ部材２７と、固定ナット２８とを含む。

第１のフランジ部材２６は、内側にマウント２４のボス部２４１を通す円筒状のボス部２６１と、ボス部２６１のスピンドルハウジング２２寄りの一端部から径方向に突出したフランジ部２６２とを備えている。第１のフランジ部材２６は、ボス部２６１の内側にマウント２４のボス部２４１が通されてスピンドル２３の先端に装着される。ボス部２６１は、内外径が軸心方向に一定の円筒状に形成され、内径がマウント２４のボス部２４１の外径と等しく形成されている。ボス部２６１は、スピンドルハウジング２２から離れた側の先端の外周面に雄ねじ２６４が形成されている。

フランジ部２６２は、ボス部２６１の一端部から径方向に沿って外周方向に突出して、ボス部２６１の外径よりも大径な円環状に形成されている。フランジ部２６２は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径に形成されている。フランジ部２６２は、ボス部２６１の内側にマウント２４のボス部２４１が通されると、支持面２４３に支持される。フランジ部２６２は、切削ブレード２１を支持する支持面２６３を外縁部の全周に亘って有している。このために、支持面２６３は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。支持面２６３は、第１のフランジ部材２６の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。

第２のフランジ部材２７は、中央に第１のフランジ部材２６のボス部２６１に装着される装着穴２７１を有した円環状に形成されている。第２のフランジ部材２７は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。第２のフランジ部材２７は、装着穴２７１内に第１のフランジ部材２６のボス部２６１を通して、第１のフランジ部材２６の支持面２６３との間に切削ブレード２１を挟持する挟持面２７３を外縁部の全周に亘って有している。このために、挟持面２７３は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。挟持面２７３は、第２のフランジ部材２７の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。また、第２のフランジ部材２７は、挟持面２７３が支持面２６３との間に挟持した切削ブレード２１の装着穴２１２内に侵入して、切削ブレード２１を外周面上に支持するブレード支持凸部２７２を備える。ブレード支持凸部２７２は、円環状に形成されている。

固定ナット２８は、円環状に形成され、ボス部２６１の雄ねじ２６４と螺合する雌ねじ２８４が内周面に形成されている。固定ナット２８は、挟持面２７３との間に支持面２６３で切削ブレード２１を挟持した第１のフランジ部材２６のボス部２６１の雄ねじ２６４に雌ねじ２８４が螺合して、ボス部２６１に締結する。固定ナット２８は、ボス部２６１に締結して、第１のフランジ部材２６と第２のフランジ部材２７との間に切削ブレード２１を固定する。

こうして、実施形態１に係る切削ブレード２１は、装着穴２７１内にボス部２６１が通された第２のフランジ部材２７の挟持面２７３と第１のフランジ部材２６の支持面２６３との間に挟持され、ブレード支持凸部２７２の外周面により装着穴２１２の内周面が支持された状態で、ボス部２６１の雄ねじ２６４に固定ナット２８の雌ねじ２８４が螺合することで、フランジ機構２５と一体となったブレードユニット２９を形成する。ブレードユニット２９は、バーコード２１３を構成する複数の直線２１４が切り刃２１１の刃先まで形成され、フランジ部材２６，２７の外径が切削ブレード２１の切り刃２１１の外径よりも小径であるので、図６に示すように、バーコード２１３が露出している。また、ブレードユニット２９の第２のフランジ部材２７は、外周面から凹の嵌合溝２７４が全周に亘って形成されている。

また、切削ユニット２０は、図２に示すように、スピンドル２３の先端面及びボス部２４１の先端面に重ねられたワッシャ３１内を通ってねじ孔２３１と螺合してブレードユニット２９をスピンドル２３の先端に固定する固定ねじ３２を備える。なお、ワッシャ３１の外径は、マウント２４のボス部２４１の外径よりも大径である。

このように構成された切削ユニット２０は、スピンドル２３の先端に固定されたマウント２４のボス部２４１がブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のボス部２６１内に通されて、支持面２４３にブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のフランジ部２６２を支持した状態で、ワッシャ３１内に通された固定ねじ３２がねじ孔２３１に螺合する。切削ユニット２０は、ブレードユニット２９をマウント２４のフランジ部２４２とワッシャ３１との間に挟持して、スピンドル２３の先端に固定する。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、第１のフランジ部材２６，切削ブレード２１、第２のフランジ部材２７、及び固定ナット２８は、互いに同軸となる位置に配置されている。切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、第１のフランジ部材２６，切削ブレード２１、第２のフランジ部材２７、及び固定ナット２８の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された切削前のワーク２００の分割すべき領域を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮像して、ワーク２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

Ｘ軸移動ユニット４１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、加工装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、加工装置１は、切削前後のワーク２００を収容するカセット５１が載置されかつカセット５１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ５０と、切削後のワーク２００を洗浄する洗浄ユニット６０と、カセット５１にワーク２００を出し入れするとともにワーク２００を搬送する搬送ユニット６１とを備える。

制御ユニット１００は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものでもある。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットと、報知ユニット１０１とに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット１０１は、音と光の少なくとも一方を発して、オペレータに報知するものである。

（ブレード交換ユニット）
ブレード交換ユニット７は、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２３の先端に固定されたマウント２４のボス部２４１に切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を着脱して、交換するものである。なお、着脱位置とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置が予め定められた位置であり、各切削ユニット２０がブレード交換ユニット７によりブレードユニット２９が着脱される際に位置付けられる位置である。また、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、マウント２４のボス部２４１に装着するブレードユニット２９を交換することで、切削ブレード２１を交換する。要するに、ブレード交換ユニット７は、マウント２４のボス部２４１にフランジ機構２５毎切削ブレード２１を着脱する。

ブレード交換ユニット７は、図１に示すように、支持フレーム３の図１中の背面側でかつ加工領域６３よりも搬入出領域６４から離れた位置に設置されている。ブレード交換ユニット７は、図７に示すように、交換前後の切削ブレード２１を収容するブレードストッカー７０と、読み取り部である読み取りユニット７６と、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を着脱するとともにブレードストッカー７０と切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送するブレード交換部であるブレード着脱ユニット８０とを備える。

実施形態１では、ブレードストッカー７０は、切削ユニット２０と１対１で対応して設けられている。即ち、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、ブレードストッカー７０を一対備えている。

また、実施形態１では、一方のブレードストッカー７０は、一方の切削ユニット２０のスピンドル２３の交換前後の切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を複数保持し、他方のブレードストッカー７０は、他方の切削ユニット２０のスピンドル２３の交換前後の切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を複数保持する。このように、各ブレードストッカー７０は、複数のブレードユニット２９を収容する。こうして、各ブレードストッカー７０は、ブレードユニット２９の状態で複数の切削ブレード２１を収容する。

なお、各ブレードストッカー７０が収容するブレードユニット２９の切削ブレード２１は、未使用のものの他、既使用であるが寿命に達しておらず使用可能なもの、同種類および／または異種類のものを含む。

次に、本明細書は、ブレード交換ユニット７の各構成要素を説明する。

（ブレードストッカー）
図８は、図７に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカーの構成例を示す斜視図である。ブレードストッカー７０は、対応する切削ユニット２０に装着される前の交換用の切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を保持するとともに、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を保持するものである。なお、本明細書は、一対のブレードストッカー７０のうちこれらの構成が等しいので、図７中奥側のブレードストッカー７０を代表して説明し、一対のブレードストッカー７０の同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

ブレードストッカー７０は、図８に示すように、装置本体２に配設された支柱７１と、支柱７１の上端に回転軸７２を介して取り付けられた支持部材７３とを備える。支持部材７３は、対応するブレード着脱ユニット８０とＹ軸方向に対向して配置され、対応するブレード着脱ユニット８０に対向する表面側に複数（実施形態１では、４つ）のブレード保持部７４が同心円状に配設されており、対応する切削ユニット２０に着脱される切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を複数個（実施形態１では、４つ）保持可能である。

ブレード保持部７４は、切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を保持するものである。ブレード保持部７４は、ブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のボス部２６１内に通される円筒状のブレード嵌合部７４１と、このブレード嵌合部７４１の外周面に設けられかつボス部２６１内にブレード嵌合部７４１が通されたブレードユニット２９を位置決めする位置決め部７４２とを備える。位置決め部７４２は、ブレード嵌合部７４１の外周面から突没自在に設けられたボールと、ボールを径方向外側に押圧するスプリングとを含み、ボールに作用する径方向内側の力が所定の値になるまでボールがボス部２６１の内縁に嵌合して位置決め機能が働く。

このように構成されたブレードストッカー７０は、ブレード保持部７４に第１のフランジ部材２６のフランジ部２６２を重ね、第１のフランジ部材２６のボス部２６１内にブレード嵌合部７４１が通されて、ブレード嵌合部７４１がボス部２６１の内縁に嵌合して、ブレードユニット２９を保持する。具体的には、ブレード保持部７４は、ブレード嵌合部７４１が第１のフランジ部材２６のボス部２６１内に通される際に、位置決め部７４２のボールが一旦ブレード嵌合部７４１内に没し、ブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のボス部２６１が乗り越えた後に復帰した位置決め部７４２のボールがボス部２６１の内縁に嵌合して、ブレードユニット２９を保持する。また、実施形態１では、ブレード嵌合部７４１の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

支持部材７３を支柱７１の上端に取り付けている回転軸７２は、一端が支柱７１の上端に配設され、他端が支持部材７３の裏面中央に連結されている。そして、回転軸７２の一端側は、支柱７１の内部に配設されたモータ７５の駆動軸に連結されており、支持部材７３は、回転軸７２を中心とした間欠的な回転が可能に構成されている。実施形態１では、支持部材７３は、９０度毎に間欠的に回転可能に構成されている。そして、支持部材７３は、回転軸７２の間欠的な回転によって各ブレード保持部７４をその移動経路上の予め設定された所定の受け渡し位置７４４に選択的に位置付ける。受け渡し位置７４４に位置付けられたブレード保持部７４の軸心のＺ軸方向の高さは、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

読み取りユニット７６は、切削ブレード２１のバーコード２１３を読み取るものである。読み取りユニット７６は、バーコード２１３を読み取る周知のバーコードリーダにより構成され、各ブレードストッカー７０の支柱に固定されている。読み取りユニット７６は、ブレード着脱ユニット８０により受け渡し位置７４４のブレード保持部７４から取り外されて保持されたブレードユニット２９の切削ブレード２１のバーコード２１３を読み取り、バーコード２１３が示すブレード情報を制御ユニット１００に出力する。こうして、実施形態１において、読み取りユニット７６は、第１のフランジ部材２６と第２のフランジ部材２７との外方に露出した切削ブレード２１の切り刃２１１に形成されたバーコードを読み取ることとなる。

（ブレード着脱ユニット）
図９は、図７に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。図１０は、図９に示されたブレード着脱ユニットの固定ねじ着脱機構がワッシャ及び固定ねじを保持した状態を示す斜視図である。図１１は、図９に示されたブレード着脱ユニットの固定ねじ着脱機構がワッシャ及び固定ねじを保持した状態を示す側面図である。

ブレード着脱ユニット８０は、図９に示すように、ユニット本体８１と、ユニット本体８１をＸ軸方向に移動させる移動ユニット８２と、一対のブレード交換機構９０と、一対の固定ねじ着脱機構１１０と、着脱移動機構１２０を備えている。

移動ユニット８２は、図７に示すように、ユニット本体８１に設けられたナット８１１と螺合するとともにＸ軸方向に延在したねじ軸８２１と、ねじ軸８２１を軸心回りに回転することでユニット本体８１をＸ軸方向に移動させるモータ８２２とを備える。ねじ軸８２１は、固定板８１２を介して装置本体２等に固定された固定板８１２に軸心回りに回転自在に支持されている。モータ８２２は、固定板８１２に取り付けられている。

ブレード交換機構９０と固定ねじ着脱機構１１０とは、１対１で対応しており、ブレードストッカー７０及び切削ユニット２０とも１対１で対応している。ブレード交換機構９０は、対応する切削ユニット２０のスピンドル２３の先端に固定されたマウント２４にブレードユニット２９を着脱するものである。

また、実施形態１では、ブレード交換機構９０は、対応するブレードストッカー７０に保持された交換用のブレードユニット２９を保持し、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後のブレードユニット２９を保持する。また、ブレード交換機構９０は、保持した交換用のブレードユニット２９を対応する切削ユニット２０に装着し、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後のブレードユニット２９を対応するブレードストッカー７０に保持させる。

各ブレード交換機構９０は、図７及び図９に示すように、直線状に延びた回動アーム９１と、回動アーム９１の両端部に設けられた一対のブレードチャック９２とを備える。

回動アーム９１は、直線状に延在したアーム状に形成されている。回動アーム９１は、長手方向の中央がＹ軸方向と平行な軸心回りに着脱移動機構１２０の回転移動ユニット１２１により間欠的に回転されるとともに、Ｙ軸方向に着脱移動機構１２０のスライド移動ユニット１２２によりスライド移動される。実施形態１では、回動アーム９１は、長手方向がＸ軸方向と平行になるように、回転移動ユニット１２１により１８０度毎に間欠的に回転される。

ブレードチャック９２は、回動アーム９１の長手方向の両端部に配置されている。ブレードチャック９２は、厚手の円板状のチャック本体９２１と、チャック本体９２１の外周面に支持され、ブレードユニット２９の第２のフランジ部材２７の外周面を把持する複数（実施形態１では、４個）の把持部材９２２と、チャック本体９２１内に設けられかつ複数の把持部材９２２をチャック本体９２１の径方向に移動させる図示しない作動機構とを備える。

把持部材９２２は、直線状に延在したアーム状に形成され、先端にブレードユニット２９の第２のフランジ部材２７の外周面に形成された嵌合溝２７４に嵌合して、第２のフランジ部材２７の外周面を把持する把持爪９２３を備えている。把持部材９２２は、長手方向がＹ軸方向と平行に配置され、チャック本体９２１の周方向に等間隔に配置されている。作動機構は、複数の把持部材９２２を連動して径方向の内側に移動させるとともに、外側に移動させる。即ち、複数の把持部材９２２は、作動機構により同時にチャック本体９２１の径方向の内側に移動する、又は、径方向の外側に移動する。

各ブレードチャック９２の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。各ブレードチャック９２は、複数の把持部材９２２をチャック本体９２１の径方向の内側に移動させて、把持爪９２３で第２のフランジ部材２７の嵌合溝２７４に嵌合して、第２のフランジ部材２７の外周面を把持して、ブレードユニット２９を保持する。各ブレードチャック９２は、複数の把持部材９２２をチャック本体９２１の径方向の外側に移動させて、把持爪９２３での第２のフランジ部材２７の外周面の把持を解除して、ブレードユニット２９の保持を解除する。

各ブレードチャック９２の軸心のＺ軸方向の高さは、受け渡し位置７４４に位置付けられたブレード保持部７４の軸心のＺ軸方向の高さ、及び着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

固定ねじ着脱機構１１０は、対応する切削ユニット２０の固定ねじ３２をワッシャ３１とともにスピンドル２３から着脱する。固定ねじ着脱機構１１０は、ユニット本体８１上に設置され、対応するブレード交換機構９０とＸ軸方向に並ぶ位置に配置されている。

固定ねじ着脱機構１１０は、箱状の機構本体１１１と、機構本体１１１の対応する切削ユニット２０のスピンドル２３と対向する面に設けられた円筒状の円筒部材１１２と、円筒部材１１２の外周面に支持され、ワッシャ３１の外周面を把持する複数（実施形態１では、４個）の把持部材１１３と、機構本体１１１内に設けられかつ複数の把持部材１１３を円筒部材１１２の径方向に移動させる図示しない作動機構と、円筒部材１１２の中心から対応する切削ユニット２０に向かってＹ軸方向に延びて先端が固定ねじ３２に嵌合するドライバ部材１１４と、機構本体１１１内に設けられドライバ部材１１４を軸心回りに回転するモータ１１５と、を備える。

機構本体１１１は、ユニット本体８１に対して、Ｙ軸方向に着脱移動機構１２０の第２スライド移動ユニット１２３によりスライド移動される。円筒部材１１２の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

把持部材１１３は、直線状に延在したアーム状に形成され、先端にワッシャ３１の外周面を把持する把持爪１１６を備えている。把持部材１１３は、長手方向がＹ軸方向と平行に配置され、円筒部材１１２の周方向に等間隔に配置されている。作動機構は、複数の把持部材１１３を連動して径方向の内側に移動させるとともに、外側に移動させる。即ち、複数の把持部材１１３は、作動機構により同時に円筒部材１１２の径方向の内側に移動する、又は、径方向の外側に移動する。

固定ねじ着脱機構１１０は、複数の把持部材１１３を円筒部材１１２の径方向の内側に移動させて、把持爪９２３でワッシャ３１の外周面を把持するとともに、ドライバ部材１１４の先端をスピンドル２３に固定された固定ねじ３２に嵌合させる。固定ねじ着脱機構１１０は、ドライバ部材１１４をモータ１１５で固定ねじ３２がねじ孔２３１から外れる方向に回転して、ワッシャ３１を把持部材１１３で把持した状態で、第２スライド移動ユニット１２３により切削ユニット２０から離れる方向に移動されて、図１０及び図１１に示すように、固定ねじ３２をスピンドル２３から取り外す。

固定ねじ着脱機構１１０は、把持爪９２３でワッシャ３１の外周面を把持した状態で、第２スライド移動ユニット１２３により切削ユニット２０に近付く方向に移動しながら、ドライバ部材１１４をモータ１１５で固定ねじ３２がねじ孔２３１に螺合する方向に回転して、固定ねじ３２をワッシャ３１とともにスピンドル２３に固定する。固定ねじ着脱機構１１０は、複数の把持部材９２２を円筒部材１１２の径方向の外側に移動させて、把持爪１１６でのワッシャ３１の外周面の把持を解除して、ワッシャ３１の保持を解除する。

各固定ねじ着脱機構の軸心のＺ軸方向の高さは、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

着脱移動機構１２０は、回動アーム９１を軸心回りに１８０度毎間欠的に回転する回転移動ユニット１２１と、回動アーム９１をユニット本体８１に対してＹ軸方向にスライド移動させるスライド移動ユニット１２２と、固定ねじ着脱機構１１０の機構本体１１１をユニット本体８１に対してＹ軸方向にスライド移動される第２スライド移動ユニット１２３とを備える。

（加工装置の加工動作）
加工装置１は、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前のワーク２００をカセット５１に収容して、カセット５１をカセットエレベータ５０の上面に設置し、ブレード交換ユニット７の各ブレードストッカー７０のブレード保持部７４に切削ブレード２１を取り付ける。加工内容情報は、ワーク２００を切削加工する際に用いる切削ブレード２１のブレード情報、各ブレードストッカー７０の各ブレード保持部７４に保持されている切削ブレード２１のブレード情報を含む。

その後、加工装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。加工装置１は、加工動作を開始すると、搬送ユニット６１がカセット５１内からワーク２００を搬入出領域６４の保持テーブル１０に搬送し、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。

加工動作では、加工装置１は、Ｘ軸移動ユニット４１が保持テーブル１０を加工領域６３に向かって移動して、撮像ユニット３０がワーク２００を撮像して、撮像ユニット３０が撮像して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。加工装置１は、分割予定ライン２０２に沿ってワーク２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませてワーク２００を個々のデバイス２０３に分割する。加工装置１は、個々のデバイス２０３に分割されたワーク２００を搬送ユニット６１が保持テーブル１０から洗浄ユニット６０に搬送し、洗浄ユニット６０がワーク２００を洗浄する。

加工装置１は、搬送ユニット６１が切削加工後で洗浄後のワーク２００を洗浄ユニット６０からカセット５１まで搬送し、カセット５１内に収容する。加工装置１は、切削ユニット２０等がカセット５１内に収容したワーク２００を順に切削加工すて、カセット５１内の全てのワーク２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。

（切削ブレードの着脱動作）
実施形態１において、加工装置１は、次に、制御ユニット１００が、加工装置１の加工動作中に、少なくとも一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード２１の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数のワーク２００を切削する毎や、測定された切削ブレード２１の外径が事前に設定した数値を下回ったとき等であり、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚のワーク２００を加工している途中でも良く、複数のワーク２００を連続して加工する際に、ワーク２００を交換するタイミングでも良い。

着脱動作は、切削ユニット２０のスピンドル２３から固定ねじ３２を取り外し、切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を取り外し、ブレードストッカー７０に保持された切削ブレード２１を含むブレードユニット２９をスピンドル２３に取り付け、固定ねじ３２をスピンドル２３に取り付ける動作である。即ち、切削ブレード２１の着脱動作は、ブレードストッカー７０に保持されたブレードユニット２９と、切削ユニット２０に装着されたブレードユニット２９とを交換する動作である。

着脱動作では、加工装置１は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。着脱動作では、加工装置１は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に装着すべき品種の切削ブレード２１を含むブレードユニット２９を保持したブレード保持部７４を受け渡し位置７４４に位置付ける。着脱動作では、加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０のブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応したブレード交換機構９０の一方のブレードチャック９２をブレードストッカー７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４とＹ軸方向に対向させる。

加工装置１は、一方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の外側に移動した後、一方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４にＹ軸方向に沿って近付けて、一方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の内側に移動して、一方のブレードチャック９２が交換用のブレードユニット２９を保持し、一方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４からＹ軸方向に沿って遠ざける。加工装置１は、読み取りユニット７６で一方のブレードチャック９２に保持されたブレードユニット２９の切削ブレード２１のバーコード２１３を読み取る。加工装置１は、制御ユニット１００が、読み取りユニット７６が読み取ったデータからバーコード２１３のブレード情報を確認し、ブレード情報が示す切削ブレード２１の品種と、切削ユニット２０に装着すべき切削ブレード２１の品種とが一致するか否かを判定する。実施形態１では、加工装置１は、制御ユニット１００が、一致しないと判定すると、報知ユニット１０１を動作させて、オペレータに報知して、着脱動作を停止する。

加工装置１は、制御ユニット１００が一致していると判定すると、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応した固定ねじ着脱機構１１０を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、固定ねじ着脱機構１１０の複数の把持部材１１３を径方向の外側に移動した後、固定ねじ着脱機構１１０を着脱位置の切削ユニット２０にＹ軸方向に沿って近付けて、ドライバ部材１１４の先端を固定ねじ３２に嵌合させるとともに、複数の把持部材１１３を径方向の内側に移動して、把持部材１１３でワッシャ３１の外周面を把持する。加工装置１は、モータ１１５でドライバ部材１１４をねじ孔２３１から固定ねじ３２が外れる方向に回転するとともに、固定ねじ着脱機構１１０を着脱位置の切削ユニット２０のスピンドル２３からＹ軸方向に沿って遠ざけて、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３から固定ねじ３２及びワッシャ３１を取り外す。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応したブレード交換機構９０の他方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、他方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の外側に移動した後、他方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０にＹ軸方向に沿って近付けて、他方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の内側に移動して、他方のブレードチャック９２が切削ユニット２０に装着されているブレードユニット２９を保持する。加工装置１は、他方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０からＹ軸方向に沿って遠ざけて、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０からブレードユニット２９を取り外す。

加工装置１は、ブレード交換機構９０の回動アーム９１を１８０度回転して、交換用のブレードユニット２９を保持した一方のブレードチャック９２を、着脱位置のブレードユニット２９が取り外された切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、一方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０のスピンドル２３にＹ軸方向に沿って近付けて、交換用のブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のボス部２６１内にスピンドル２３に固定されたマウント２４のボス部２４１を通して、交換用のブレードユニット２９の第１のフランジ部材２６のフランジ部２６２をマウント２４の支持面２４３に密に接触させる。

加工装置１は、一方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の外側に移動して、一方のブレードチャック９２と着脱位置の切削ユニット２０とをＹ軸方向に沿って相対的に遠ざけて、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に交換用のブレードユニット２９を取り付ける。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、固定ねじ３２を保持した固定ねじ着脱機構１１０を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、固定ねじ着脱機構１１０の着脱位置の切削ユニット２０のスピンドル２３にＹ軸方向に沿って近付けて、モータ１１５でドライバ部材１１４をねじ孔２３１に固定ねじ３２が螺合する方向に回転して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３に固定ねじ３２及びワッシャ３１を取り付けて、ブレードユニット２９をスピンドル２３の先端に固定する。加工装置１は、固定ねじ着脱機構１１０の複数の把持部材１１３を径方向の外側に移動した後、固定ねじ着脱機構１１０を着脱位置の切削ユニット２０からＹ軸方向に沿って遠ざける。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、切削ユニット２０から取り外された交換後のブレードユニット２９を保持した他方のブレードチャック９２をブレードストッカー７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、他方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４にＹ軸方向に沿って近付けて、ブレード保持部７４に交換後のブレードユニット２９を保持した後、他方のブレードチャック９２の複数の把持部材９２２を径方向の外側に移動する。加工装置１は、他方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４からＹ軸方向に沿って遠ざけて、着脱動作を完了する。

以上説明したように、実施形態１に係る切削ブレード２１は、切り刃２１１の刃先までバーコード２１３を形成しているので、フランジ機構２５により切削ブレード２１の切り刃２１１の外縁部しか露出しない状態であっても、バーコード２１３が露出する。このために、切削ユニット２０は、フランジ機構２５で切り刃２１１の外縁部しか露出しない状態でもバーコード２１３を読み取りブレード情報を確認することができる。その結果、切削ブレード２１は、フランジ機構２５に装着された状態であっても、バーコード２１３が記録したブレード情報を確認することができるという効果を奏する。また、切削ブレード２１は、切り刃２１１の刃先までバーコード２１３を形成しているので、切り刃２１１が摩耗してもバーコード２１３を読み取ることができ、バーコード２１３が記録したブレード情報を確認することができるという効果を奏する。

実施形態１に係る加工装置１は、前述した切削ブレード２１を備えるので、フランジ機構２５に装着された状態であっても、バーコード２１３が記録したブレード情報を確認することができるとともに、バーコード２１３が記録したブレード情報を確認することができるという効果を奏する。

また、加工装置１は、ブレードストッカー７０と、ブレード交換ユニット７と、読み取りユニット７６等を備えているので、ブレードストッカー７０からブレード交換ユニット７が取り外した切削ブレード２１のバーコード２１３を読み取りユニット７６で読み取り、制御ユニット１００で確認した後、切削ユニット２０に取り付けることができる。その結果、加工装置１は、所望の品種の切削ブレード２１を切削ユニット２０のスピンドル２３に装着することができるという効果を奏する。

また、加工装置１は、ブレードユニット２９毎、切削ブレード２１を交換するので、ワッシャーブレードである切削ブレード２１を傷つけることなく、交換することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１ 加工装置
１０ 保持テーブル
２１ 切削ブレード
２３ スピンドル
２５ フランジ機構
２６ 第１のフランジ部材（第１のフランジ部）
２７ 第２のフランジ部材（第２のフランジ部）
２８ 固定ナット
２９ ブレードユニット
７０ ブレードストッカー
７６ 読み取りユニット（読み取り部）
８０ ブレード着脱ユニット（ブレード交換部）
１００ 制御ユニット（ブレード情報確認部）
２００ ワーク
２１１ 切り刃
２１２ 装着穴
２１３ バーコード
２６１ ボス部
２６３ 支持面
２６４ 雄ねじ
２７１ 装着穴
２８４ 雌ねじ

Claims (3)

1. 中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードであって、
   切削ブレードの品種と使用履歴との少なくともいずれかを含むブレード情報を記録するバーコードが該切削ブレードの切り刃の外周に円形に形成されていることを特徴とする切削ブレード。
2. 請求項１に記載の切削ブレードを用いる加工装置であって、
   該加工装置は、
   該切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、
   ワークを保持する保持テーブルと、
   複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、
   該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で該切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、
   該バーコードを読み取る読み取り部と、
   読み取ったデータから該ブレード情報を確認するブレード情報確認部と、を備える加工装置。
3. 請求項２に記載の加工装置であって、
   該切削ブレードは、
   先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードより小径で該切削ブレードを支持する支持面を有した第１のフランジ部と、
   該ボス部に装着される装着穴を有し、該切削ブレードより小径で、該ボス部に装着された該切削ブレードを該第１のフランジ部との間に挟持する第２のフランジ部と、
   該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該ボス部と締結して該第１のフランジ部と該第２のフランジ部との間に切削ブレードを固定する固定ナットと、を含むフランジ機構と一体になったブレードユニットを形成し、
   該ブレードストッカーは、
   該ブレードユニットの状態で該切削ブレードを収容し、
   該読み取り部は、
   該第１のフランジ部と該第２のフランジ部との外方に露出した切削ブレードの切り刃に形成された該バーコードを読み取ることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。

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